【課題】ドライエッチング加工を行ったウェハにおけるデガスの影響による異物の発生を低減する。
【解決手段】半導体装置の製造方法は、各ウェハ１５０を略水平にして複数のウェハ１５０を上下に並べて収容するとともに、側方に設けられたドア１０４を含む収納容器１００に、ドライエッチング加工が行われた複数のウェハを順次収容する工程と、ドア１０４が開いた状態で、収納容器１００に収容すべきすべてのウェハ１５０が当該収容容器に収容されてから３０秒以上、収納容器１００内のウェハ１５０に対して水平方向からパージガスを吹き付ける工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】搬送中のキャリアやボートの位置、搬送元、搬送先の把握を容易とする。
【解決手段】基板を搬送する搬送系と、搬送系の動作状態を操作画面に表示する操作部と、搬送系の動作を制御する制御部と、を備え、操作部は、搬送系の搬送元に対応する操作画面内の所定位置に搬送対象である搬送系を示す搬送系アイコン及び搬出中アイコンを表示し、搬送系の搬送先に対応する操作画面内の所定位置に搬入中アイコンを表示する。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハをキャリアと共に洗浄する際に、半導体ウエハを破損させることなく、半導体ウエハがキャリアから離脱すること防止する。
【解決手段】 半導体ウエハを洗浄する洗浄装置であって、半導体ウエハを収容するキャリアと、キャリアを収容する洗浄槽と、洗浄槽内でキャリアを支持し、キャリアと共に回転する回転部材を備えている。キャリアには、半導体ウエハを出し入れするための開口部が形成されている。回転部材には、回転部材に支持されたキャリアの開口部に配置される保持部材が形成されている。保持部材は、キャリアの開口部において、キャリアに収容された半導体ウエハの外周縁に対向する。その保持部材では、半導体ウエハの外周縁に当接し得る当接面が、半導体ウエハの外周縁に沿って湾曲していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の汚染を抑制しつつ、基板を長時間保管する。
【解決手段】保管装置３は、複数のウェハＷを上下方向に多段に収容し、内部を密閉可能な収容容器１１０を有している。収容容器１１０内には、複数のウェハＷの上方を覆うように拡散板１２０が設けられている。拡散板１２０には、当該拡散板１２０を厚み方向に貫通する貫通孔１２１が複数形成され、拡散板１２０は、給気口１３０から供給された不活性ガスを水平面内で均一に拡散させることができる。流路Ｒにおける収容容器１１０の下面には、給気領域Ａ１に不活性ガスを供給する給気口１３０が形成されている。排気領域Ａ３における収容容器１１０の下面には、排気領域Ａ３から収容容器１１０内の雰囲気を排気する排気口１３２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】大口径ウエハ向けのFIMSシステムであって、ポッド本体と蓋とが確実に係合されたことを検知可能なFIMSシステムを提供する。
【解決手段】本FIMSシステムは、ポッドの蓋外側面内に配置された被係合部に対し、ラッチ機構がポッド本体に対して所定の一軸に沿って摺動されることにより該ラッチ機構の係合部が該被係合部に係合して蓋をポッドに固定するポッドと対象とする。FIMSシステムにおける第一の開口部にラッチ機構を所定の一軸に沿って駆動するラッチ機構駆動手段、及び当該ラッチ機構駆動手段がラッチ機構を駆動する際の係合部の係合位置及び非係合位置に対応する信号を発する係合部位置センサを配する。 （もっと読む）

【課題】窒素ガスパージに伴うウエハ位置ずれによるウエハ移載ミスを防止する。
【解決手段】ポッド１０とボートとの間でウエハ９を授受するウエハ授受ポートにポッド１０のドア１０ａを着脱してウエハ出し入れ口１０ｂを開閉するポッドオープナを設け、ウエハ出し入れ口２２を被覆する筐体６０を設け、筐体６０にはクロージャ収容室６１に窒素ガス６２を流通させる給気管６３、排気管６４を接続する。ポッドの開放時に窒素ガス６２をクロージャ収容室６１、ウエハ収納室１０ｃに吹き込み、窒素ガスパージする。その後、クロージャ４０でドア１０ａをウエハ出し入れ口１０ｂへ嵌入し、ドア１０ａでウエハ９群をウエハ収納室１０ｃ内に押し込み、窒素ガスパージによるウエハ位置ずれを解消させる。 （もっと読む）

【課題】IMSシステムにおいてポッドの蓋に付随する極微小な塵等のミニエンバイロンメント内への拡散を抑制するポッド及び該ポッドに応じたFIMSシステムを提供する。
【解決手段】ポッドの蓋外側面内に被係合部３ｃを配置し、ポッド開口周囲に配される蓋が嵌合可能なフランジ部２ｃに対して外部空間より被係合部３ｃにアクセス可能となる挿通孔２ｅを配する。ラッチ機構はフランジ部２ｃにおけるポッド本体側の面においてフランジ側壁に平行な方向に摺動可能に支持され、ラッチ機構５における係合部５ｂは挿通孔２ｅを介して被係合部３ｃに至り、ラッチ機構の移動に応じて係合及び非係合の状態変化を為す。 （もっと読む）

【課題】蓋部材の構成の簡素化を図ることができながら基板の移載が行い易い基板用収納容器を提供する。
【解決手段】一端部に基板出し入れ用の開口が形成され且つ内部に基板を複数枚収納する容器本体４１と、容器本体４１に対して上方側から装着自在で且つ上方側へ離脱自在に構成されて容器本体４１に装着した状態において開口の全面を閉じる蓋部材４２とを備え、蓋部材４２が、容器本体４１における一端部の上端部分に位置する係合部１１４に係合支持される被係合部１１５を備えて、容器本体に装着した状態において被係合部１１５を中心に容器本体４１と蓋部材４２との並び方向と交差する横幅方向に沿う横軸心周りに揺動自在で且つ容器本体４１側に付勢される状態で容器本体４１に装着する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で基板移載装置による基板の移載が行い易い基板搬送設備を提供する。
【解決手段】収納容器２を、基板移載用の開口が形成され且つ内部に基板を複数枚収納する容器本体４１と、容器本体４１に対して着脱自在で容器本体４１に装着した状態において開口の全面を閉じる蓋部材４２とを備えて構成し、容器搬送手段１１１を、収納容器２を基板移載位置に下降移動させて搬送するように構成し、容器搬送手段１１１による収納容器２の基板移載位置への下降移動途中において蓋部材４２の被支持部１１９を受け止め支持して蓋部材４２を容器本体２から離脱させる受け止め支持体１２２を設ける。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハのバックグラインドされた裏面に回路が形成される場合に、裏面の回路の汚染や損傷を抑制し、リングスペーサを省略して薄い半導体ウェーハの破損を防止できる半導体ウェーハ用治具を提供する。
【解決手段】バックグラインドされた薄い半導体ウェーハＷを搭載する積層可能な治具であって、中空に形成され、半導体ウェーハＷよりも拡径の治具本体１と、治具本体１に形成されて半導体ウェーハＷを支持する複数の弾性支持片１０とを備える。そして、各弾性支持片１０を、治具本体１の内周縁部から上方内側に傾斜しながら伸長する傾斜起立部１１と、傾斜起立部１１の上部に屈曲形成されて半導体ウェーハＷの周縁部を水平に支持する保持部１３とから形成する。半導体ウェーハＷの表裏面に何も接触させないので、例えバックグラインドされた裏面に回路が形成される場合でも、汚染を嫌う裏面に合紙等が接触することがない。 （もっと読む）

【課題】薄型のポッドを複数縦に積み上げる様式にてロード可能なFIMSシステムを提供する。
【解決手段】ポッドをロードするプレート上に吸着パッドを配し、当該パッドによる吸着保持によってポッドの該プレートに保持固定する。吸着パッドに吸引力を付与するためのチューブは必要最低限の空間厚さを有する箱状部材内部の収容空間にて収容し、該チューブの撓み得る領域は該収容空間内部にのみ存在することとする。 （もっと読む）

【課題】貴重なクリーンルーム内の床面積に対する占有面積を小さくすることが可能な被収容物移替システムを提供する。
【解決手段】被収容物移替システムは、被収容物移載装置及び保管庫を備える。被収容物移載装置は、被収容物を収容する容器を載置する複数の載置部と、載置部の各々に載置された各容器同士の間で被収容物の移し替えを行う被収容物移載装置とを有する。保管庫は、容器を載置する棚と、棚と載置部との間で容器の移載を行う容器移載装置とを有する。被収容物移載装置において、各載置部は被収容物移替装置の高さ方向に配列されている。また、保管庫において、その高さ方向に配列された一群の棚は、被収容物移替装置と保管庫の配列方向に且つ容器移載装置を挟む位置に夫々配置されている。これらの構成により、貴重なクリーンルーム内の床面積に対する、被収容物移替システムの占有面積を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】FIMSシステムにおいて基板のポッドからの飛び出しを精度よく検出可能な構成を提供する。
【解決手段】FIMSシステムにおける基板飛び出し検出用センサとして光反射型センサを用いる。当該センサにおいて、センサ光の集光時の焦点よりずれてセンサ光の照射領域がセンサ光伝達用の光ファイバの口径まで広がった状態でセンサ光を当該光ファイバに導入させ、検出領域に当該センサ光を射出させる際に、基板から反射された検出光の到達範囲を拡大させる。 （もっと読む）

【課題】リングフレームのばたつきや振動を防いで異物の発生を抑制し、基板損傷のおそれを排除できる処理治具用の収納ケースを提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを搭載する処理治具のリングフレームを収納する収納ケースと、収納ケースの開口した前後面を開閉する一対の蓋体２０とを備え、各蓋体２０を、収納ケースの前後面に着脱自在に嵌合される断面略皿形のカバー体２１と、カバー体２１の収納ケースの前後面に対向する対向面の中央部に配列形成され、収納されたリングフレームの周縁端部を挟持する複数の挟持リブと、カバー体２１の対向面の両側部にそれぞれ一体形成され、リングフレームの周縁端部の両側に接触する一対の膨出壁２５とを備える。複数の挟持リブの両側部を膨出壁２５方向に円弧形に伸長形成して各膨出壁２５の側部２６とし、複数の挟持リブの両側部をリングフレーム２の周縁端部からその両側の間に沿わせる。 （もっと読む）

【課題】 FIMSシステムにおいてポッド開口を蓋によって閉鎖する動作時に当該蓋が適切にポッドに固定されていることを検知する構成を提供する。
【解決手段】 ポッドの蓋と該蓋により閉鎖されるポッドの開口の周囲壁との段差の変化を検知する段差センサを配する。当該段差センサは、蓋向けの当接センサとポッド向けの当接センサの一対からなり、これらセンサはFIMSのドア或いは該ドアに閉鎖される開口部の周囲の壁の何れかに両者共に配置される。 （もっと読む）

【課題】少ない台数のイオン発生手段で例えば被処理体移載エリア内の広範囲に亘って帯電箇所の除電及び浮遊する帯電塵の除電を行うことが可能な被処理体の移載機構を提供する。
【解決手段】複数の被処理体Ｗを複数段に亘って保持して収容することが可能な収容ボックス６と、複数の被処理体を複数段に亘って保持し、被処理体に対して所定の処理を施すための処理容器６４内へロード及びアンロードされる被処理体保持手段１８との間で、被処理体の移載を行う被処理体の移載機構５２において、昇降手段５４により上下方向へ昇降可能になされた昇降台５６と、昇降台に設けられて、被処理体を載置して前進、後退及び旋回可能になされたフォーク手段５８と、フォーク手段に設けられて静電気を除去するイオンを発生させるイオン発生手段６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】薄型のポッドを複数縦に積み上げる様式にてロード可能であって、且つウエハのマッピングが可能なFIMSシステムを提供する。
【解決手段】ポッドをロードする支持機構上の配置とFIMSと連通するミニエンバイロンメントとの間にトンネルを設け、FIMSドアによるポッドの蓋の保持した後のポッドからの蓋の分離が為される際のポッドの位置、蓋分離後にポッドが運ばれるウエハの挿脱可能な位置を当該トンネル内に配置することとし、ポッドから分離された蓋及びドアも当該トンネル内に付加された収容空間内に配置可能とする。また、該トンネルの向かい合う側壁各々に光センサの投光部と受光部とを配置し、ポッドに対しこれらの検知光が透過可能な検知窓を設ける。 （もっと読む）

【課題】筐体内で発生したパーティクルの筐体外への流出を防止することができ、筐体内で安定したダウンフローを生成することができる半導体製造装置を提供する。
【解決手段】処理炉５１を有するウエハ処理領域と、ウエハを収納するポッド２を搬送するポッド搬送装置３５を有するポッド保管室１１ｂと、ウエハ処理領域とポッド保管室１１ｂとを内部に有するメイン筐体１１とを備えたバッチ式ＣＶＤ装置において、メイン筐体１１の正面壁１１ａに開設されたポッド搬入口１２とエアインテーク２６を開閉する第一シャッタ１３と第二シャッタ２８とを両側ロッドシリンダ装置２９によって連動させる。ポッド２の搬入搬出時にはポッド搬入口１２を第一シャッタ１３で開き、エアインテーク２６を第二シャッタ２８で閉じる。ポッド保管室１１ｂ内でのポッド搬送時にはポッド搬入口１２を第一シャッタ１３で閉じ、エアインテーク２６を第二シャッタ２８で開く。 （もっと読む）

【課題】ポッドの有無を確実に検出する。
【解決手段】ポッド２を開閉するポッドオープナが設置されたロードポートに、ポッド２を載置しポッドオープナに対して遠近動作する内側載置ユニット１５と、内側載置ユニット１５と別体でポッド２を載置しポッドオープナに対して並行方向に昇降動作する外側載置ユニット１７とを設け、内側載置ユニット１５には内側載置ユニット１５上のポッド２を検出する内側検出器９１を設け、外側載置ユニット１７上のポッド２を検出する外側検出器９２を設ける。内側載置ユニットの進退中および前進後においても内側載置ユニット上のポッドを検出できる。外側載置ユニットの昇降中においても外側載置ユニット上のポッドを確実に検出できる。 （もっと読む）

【課題】重量物の搬送時にも発泡成形体が割れたり変形し難い基板搬送容器の提供。
【解決手段】メタロセン化合物を触媒として重合された、メルトフローレートが１．８以上の直鎖状低密度ポリエチレン系樹脂１００質量部に対して、３５０〜４５０質量部のポリスチレン系樹脂を複合して得られる樹脂粒子を型内発泡成形して得られる基板搬送容器であって、基板搬送容器を構成する発泡成形体は、５％圧縮強度が１５．０Ｎ／ｃｍ^２以上であり、対金型寸法変化率が６／１０００以下であることを特徴とする基板搬送容器。 （もっと読む）