【課題】FIMSシステムにおいてポッド開口を蓋によって閉鎖する動作時に当該蓋が適切にポッドに固定されていることを検知する構成を提供する。
【解決手段】ポッドの蓋に対して外部から検出可能な検複数の出マークを配し、当該マークが所定位置に存在することにより、蓋がポッド本体に対して適切に固定されていることを知る。 （もっと読む）

【課題】ミニエンバイラメント方式の半導体製造装置において、ＦＯＵＰのウエハの出入口とローディング部の開口部からダクトが侵入するのを防止する。
【解決手段】ローディング部４の開口部１８の内周面部に、方形枠状のフィルタ収納ケース３２内に、円筒状濾材３３を方形枠状に連結して形成された方形枠状フィルタ３４を配設した清浄空気噴出装置３０が設置され、該清浄空気噴出装置３０を構成するフィルタ収納ケース３２の外側面部３２ａおよび内周面部３２ｂに、多数開口された通気小孔４０より成る噴出部２９から、清浄空気４２をＦＯＵＰ６の出入口９および前記ローディング部４の開口部１８の全周面に沿って均一な風速で噴出して、エアカーテンを形成することにより、前記ＦＯＵＰ６の蓋１０の開放時に、ダスト２７を含んだ外気が、ＦＯＵＰ６および半導体製造装置１内の清浄空間へ侵入するのを阻止する。 （もっと読む）

【課題】ロードポート装置の出し入れ口に容器本体の正面部やリムフランジを適切に接触させることのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】ロードポート装置の出し入れ口に、２枚の半導体ウェーハを収納する容器本体１の横長に開口した正面部を対向させる基板収納容器であって、容器本体１の正面部周縁に形成されて外方向に張り出し、ロードポート装置の出し入れ口に対向するリムフランジ１０と、リムフランジ１０の両側部にそれぞれ穿孔される複数の取付孔１２と、複数の取付孔１２に選択的に挿入される着脱自在の情報表示パッドであるインフォパッド１５とを備える。各取付孔１２を、リムフランジ１０の正面側に位置する拡径部１３と、拡径部１３に一体形成されてリムフランジ１０の背面側に位置する縮径部とから形成し、インフォパッド１５の正面部を、リムフランジ１０の正面に略面一に揃えるか、あるいは取付孔１２の拡径部内に埋没させる。 （もっと読む）

【課題】落下等の衝撃が加わったとしても、半導体ウエハの割れを防止することを目的とする。
【解決手段】ウエハ設置部４より外側の周辺部分が、ウエハ設置部４のトレイ下面よりも上方に形成された突起部５と、ウエハ設置部４のトレイ下面よりも下方に形成された突起部６を有することにより、クッションとウエハ設置部４のトレイ下面との間に隙間が生じ、落下時の衝撃が、直接、ウエハ設置部４のトレイ下面を通じて半導体ウエハ３に伝達されることを防ぎ、半導体ウエハ３の割れを防止できる。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの偏心を解消し、搬送ロボットのハンドと搬送先の基板載置台との干渉を防止する。
【解決手段】
プリアライメント装置１３は、ウェーハ３１を載置した回転載置部１３１を回転させたとき、ラインセンサ１３２から得られるウェーハ３１のエッジ位置情報に基づき、ウェーハ３１の偏心ベクトルを検出し、さらに、回転載置部１３１をその偏心ベクトルの方向がハンド１４１のプリアライメント装置１３に対する挿抜方向と同じになるまで回転させる。搬送ロボット１４は、そのウェーハ３１をハンド１４１で保持して、いったん、プリアライメント装置１３から引き抜き、再度、プリアライメント装置１３へ挿入して、回転載置部１３１へ載置する。このとき、搬送ロボット１４は、ハンド１４１を前に挿入したときよりも、偏心ベクトルの大きさの分だけ、前進または後退した位置まで挿入する。 （もっと読む）

【課題】清浄な雰囲気で保管される必要がある化学増幅型レジスト膜を形成したマスクブランクの収納に好適な収納ケースを提供する。
【解決手段】上方が開口したケース本体５と、該ケース本体５に被せる蓋体６とを備えて、ケース本体５及び蓋体６のそれぞれに嵌合部を有して嵌め合わされ、化学増幅型レジスト膜を有するマスクブランク１を内部に収納するケースである。ケース本体５及び蓋体６は金属材料で形成され、マスクブランク１の各辺を少なくとも１箇所で支持する支持部材８をケース内部に設け、該支持部材８は樹脂材料で形成され、上記嵌合部に弾性部材７を介在させることにより該弾性部材７より内方では上記嵌合部同士が非接触で嵌め合わされる。 （もっと読む）

【課題】FIMSシステムが固定される半導体処理装置における所謂搬送室において、酸化性気体及びFFU起因の遊離物質の存在の低減を図る。
【解決手段】該搬送室をドアにより開閉可能な開口部によって連通する搬送ロボットが配置される第二の室とFIMSシステムとしてポッドの蓋を保持可能なドアを包含する微小な第一の室とに分離する。第二の室は微量窒素によって第一の室内部の圧力より高い状態で所謂高純度窒素に満たされた状態を維持し、第一の室は通常時はFFU経由のクリーンエアからなるダウンフローを用い且つウエハ搬送時においては窒素によるダウンフローを用いる。 （もっと読む）

【課題】基板の再酸化によるコンタクト抵抗の増大を抑制でき、更にパーティクルの数量を低減可能にする基板収容容器と、該基板収容容器を用いて再酸化によるコンタクト抵抗の増大を抑制でき、更にパーティクルの数量を低減可能な基板処理方法とを提供する。
【解決手段】ＦＯＵＰ１０は、複数のウェハＳの各々の処理面Ｓａを平行にして各ウェハＳを収容するシェル１１と、シェル１１の前方に設けられた開口を開閉する蓋体１２と、シェル１１の後方に搭載されてシェル１１の内部を目標圧力に減圧するパージ機構１３とを有する。ＦＯＵＰ１０のパージ機構１３は、複数のウェハＳの各々の面方向に沿って、不活性ガスを導入し、シェル１１の内部にある気体を排気する。 （もっと読む）

【課題】外部のガス導入装置などによる加圧手段に頼ることなく、簡便な構造で収納空間を外部環境よりも高い圧力に維持することが可能な収納容器を提供することを目的とする。
【解決手段】収納部を収納する収納空間に、容積が可変なポンプ空間を前記収納空間に対して気密に連結して形成した。前記ポンプ空間の内容積を変化させるために移動可能な作用部を有する。たとえば、作用部には伸縮自在のベローズや弾性体を用いる。さらに、ポンプ空間は収納空間と一体とすることも可能である。 （もっと読む）

【課題】薄型のポッドを複数縦に積み上げる様式にてロード可能なFIMSシステムを提供する。
【解決手段】ポッド本体におけるドアとの当接面、及び当該当接面に応ずるドア側面にインフォパッドを配置することとし、当該インフォパッドによってドアが微小空間側に押し込まれた状態を検知することによって該インフォパッドによってもたらされる情報を検知することとする。 （もっと読む）

【課題】薄型のポッドを複数縦に積み上げる様式にてロード可能なFIMSシステムを提供する。
【解決手段】ポッドをロードするプレート上に吸着パッドを配し、当該パッドによる吸着保持によってポッドの該プレートに保持固定する。吸着パッドに吸引力を付与するためのチューブは必要最低限の空間厚さを有する箱状部材内部の収容空間にて収容し、該チューブの撓み得る領域は該収容空間内部にのみ存在することとする。 （もっと読む）

【課題】搬送ミスが少なくイオンビームによるエッチング処理時に被加工物の冷却を充分に行うことができるミリング装置の提供。
【解決手段】真空チャンバ２０の外部にはロードロック扉４１が設けられており、ロードロック扉４１の開口部を、真空チャンバ２０を画成する壁部２０Ａに密着当接させて密閉することで、当該壁部２０Ａの部分とロードロック扉４１とでロードロック室４０を画成する。当該壁部２０Ａの部分には開口２０ａが形成されている。開口２０ａは真空チャンバ２０とロードロック室４０とを連通するように壁部２０Ａを貫通して形成されている。開口２０ａに基板保持端部６０Ａを挿入し、鍔部６５が開口２０ａを画成する壁部２０Ａの部分に密着当接することにより、真空チャンバ２０内とロードロック室４０内との連通が遮断される。 （もっと読む）

【課題】収納容器体内の雰囲気を被処理体の位置ずれを生ぜしめることなく迅速に、円滑に不活性ガスの置換を行なう被処理体の導入ポート機構を提供する。
【解決手段】収納容器体２内の被処理体Ｗを開口ゲート５２を介して不活性ガス雰囲気の被処理体移載エリア３６内へ取り込む被処理体の導入ポート機構において、収納容器体を載置する載置台５４と、開口ゲートを開閉可能に閉じる開閉ドア５６を有する開閉ドア機構５７と、開閉ドアに設けられて開閉蓋を開閉する蓋開閉機構６４と、不活性ガスを収納容器体内に向けて噴射するために開口ゲートの周辺部に沿って設けられると共に、多孔質材料により筒体状に成形された多孔質ガス噴射管８０を有するガス噴射手段１００と、開口ゲートの多孔質ガス噴射管を設けた周辺部以外の他の周辺部に設けられて、多孔質ガス噴射管から噴射された不活性ガスによりパージされた収納容器体内の雰囲気を排出する排気口８２を有する排気手段１０２とを備える。 （もっと読む）

【課題】搬送室内に形成されているダウンフローの流速を適切なタイミングで調整することによって，搬送室内にて基板の表面上にパーティクルが付着することを確実に防止する。
【解決手段】搬送室２００内に水平方向に移動自在であるとともに昇降自在に設けられ，搬出入口２１２，１５３などにアクセスしてウエハＷを搬送可能な搬送機構１６０と，搬送室内に清浄な気体のダウンフローを形成し，その流速を調整可能なダウンフロー調整手段と，搬送室内に所定の流速のダウンフローを形成しておき，搬送機構によってウエハを下降搬送している間はその下降速度よりもダウンフローの流速の方が速くなるようにダウンフロー調整手段を制御してダウンフローの流速を一時的に上げる制御部３００とを設けた。 （もっと読む）

【課題】底部開口容器を用いる場合に、検出装置を移動させることなく、基板の位置ずれを検出することができる基板位置ずれ検出システムを提供する。
【解決手段】底部に開口部を有する本体２と、開口部を開閉自在な蓋体３と、蓋体３に載置されてウエハＷを保持するカセット４とを有する容器１及びカセット４とともに蓋体３を昇降させる担持体８を有するカセットモジュール５に適用される基板位置ずれ検出システムは、担持体８に配されて昇降方向に光を投光・受光する回帰反射型センサ１０と、本体２の天井部において回帰反射型センサ１０と対向するように配されて光を反射する回帰反射板１２と、蓋体３に配されて光を透過させる透過窓１１とを有する検出装置を備え、該検出装置の構成要素は昇降方向の一直線上に配され、回帰反射型センサ１０が投光する光は、カセット４が所定の収容位置に保持するウエハＷによって遮光されない。 （もっと読む）

【課題】キャリアカセットの蓋体着脱装置を備えたロードポート装置において、製造装置のフレームの内側に配置された蓋体着脱装置の蓋体着脱具と、フレームの外側に配置された蓋体着脱装置の昇降装置とを連結する部材を挿通するために、プレートの上下方向に形成されたスリットを閉塞する。
【解決手段】フレームＦの外側には、ケース１１内に閉塞テープ１２が巻取り方向に付勢された状態で巻回された第１閉塞具１０がスリットＳの下形成端部Ｓ₁ 又は水平移動装置４０のベース体４２のいずれか一方に取り付けられていると共に、引き出された閉塞テープ１２の先端部がその他方に取り付けられ、フレームＦの内側には、第２閉塞具２０がスリットＳの上形成端部Ｓ₂ 又は水平移動装置４０の第１連結部材４１のいずれか一方に取り付けられていると共に、第２閉塞具２０の閉塞テープ２２の先端部がその他方に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】基板の中間的な位置ずれを検出可能にすることにより、基板の取りこぼしを防止することができる載置台を提供する。
【解決手段】蓋着脱部１５によりFOUP１から蓋７を取り外すとともに計数部１７で計数を行うが、飛び出し検出部２９に加え、中間センサ３５を備えているので、正規位置とずれ位置との間にあたる中間位置にまで基板Ｗがずれてきたとしても検出することができる。したがって、基板Ｗの取りこぼしを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】基板を収納したカセットの蓋を開閉するカセットステージにおいて、基板搬送ロボットの教示を正確に行えるようにする。
【解決手段】カセット２０の正面側に、基板の平面に平行になるよう光軸が設定される第１のセンサ７と、基板の平面に垂直になるよう光軸が設定され、かつカセット２０の正面の中心軸から均等に離間するよう光軸が設定される第２及び第３のセンサ９と、を備えたカセットステージとした。 （もっと読む）

【課題】スペーサとガラス板とを順次積み重ねる過程等におけるそれらの積層体の傾斜や倒れを回避すると共に、その過程等における作業の円滑化や迅速化を図り、且つ、簡易な手法で強固な板状物梱包体を製作できるようにする。
【解決手段】上下方向に積層された複数枚の板状物Ｇのそれぞれの相互間にスペーサ１を介在させた状態で梱包してなる板状物梱包体１１であって、底板１２の上方に、スペーサ１及び板状物Ｇを有する積層体１５を載置すると共に、スペーサ１の外周縁部の一部または全部を板状物Ｇの外周縁部から外方に食み出させ、その食み出し部の外周縁部に板状物Ｇの配設領域と干渉しないように複数の切欠き部１０を形成し、且つ、底板１２に立設固定された複数本の係合部材１３をスペーサ１の複数の切欠き部１０にそれぞれ係合させる。 （もっと読む）

【課題】FIMSシステムに固定されて開放状態にあるFOUP内部の酸化性ガスの分圧が時間の経過と共に増加することを防止する。
【解決手段】FIMS内部における開口部１０周囲にドアの動作範囲を覆い且つ開口部１０と対抗する第二の開口部３１を有するエンクロージャを配置する。また、該エンクロージャの上部であって開口部１０の上辺上にカーテンノズルを配置し、当該カーテンノズルからは開口部の上辺から下辺に向かう方向に沿ってパージガスを供給し且つ当該方向に流れるパージガスが突き当たるエンクロージャ壁に該パージガスがエンクロージャ内部から外部に流出する流出口を設ける。 （もっと読む）