【課題】FIMSシステムに固定されて開放状態にあるFOUPを閉鎖する際に内部の酸化性ガスの分圧の低減を図る。
【解決手段】FIMS内部における開口部１０の両側辺外方に拝されたパージガス供給用のノズルに加え、開口部１０の上辺上方にパージガスによるガスカーテンを形成可能とするカーテンノズルを配置する。蓋４によるポッド２の閉鎖時では、ドア開閉機構を用いて蓋４をカーテンガスの流れ方向に対して所定角度傾斜させて所定時間これを維持することとし、蓋４によってガスカーテンに供せられたパージガスもポッド内のパージに用いることとする。 （もっと読む）

【課題】薄型のポッドを複数縦に積み上げる様式にてロード可能なFIMSシステムを提供する。
【解決手段】ポッドをロードする支持機構上の配置とFIMSと連通するミニエンバイロンメントとの間にトンネルを設け、FIMSドアによるポッドの蓋の保持した後のポッドからの蓋の分離が為される際のポッドの位置、蓋分離後にポッドが運ばれるウエハの挿脱可能な位置を当該トンネル内に配置することとし、ポッドから分離された蓋及びドアも当該トンネル内に付加された収容空間内に配置可能とする。 （もっと読む）

【課題】
ウェーハの前垂れ状態を検知し、簡単な機構を用いて前垂れ状態を適正な状態に修正し、安定したウェーハの搬送が可能であるロードポート装置を提供する。
【解決手段】
ウェーハを収納するためのキャリアを載置するテーブルを備えたロードポート装置において、可動子を前記テーブルのキャリア載置面から突き出し引っ込み動作させるための機構を設ける。キャリア内のウェーハが前垂れ状態の場合、可動子を作動させてキャリアに振動を加え、ウェーハの前垂れ状態をロボットハンドに対して平行な状態に修正する。 （もっと読む）

【課題】シャッターと側壁との間の空隙を維持しつつ、処理装置側空間内の圧力を正圧に保ったまま、空隙から処理装置側空間内の雰囲気がクリーンルームに流出するのを防止する。
【解決手段】載置台２１の載置部２２に載置された基板収容容器４１の蓋体４３は、昇降部２３の上昇によって持ち上げられる。昇降部２３の上昇によって筒体部２４が上昇して搬入出部４を覆うシャッター板２８が上方へ移動し、開口部２５と搬入出部４とが正対する。側壁２における搬入出部４の周辺に形成された溝５１から周囲の雰囲気が吸引され、シャッター板２８と側壁２との間の空隙から、処理装置空間Ｓの雰囲気がクリーンルームＣＲ内に漏出することが防止される。 （もっと読む）

【課題】 搬送室に接続できる処理室の数に制限がなく、処理すべき基板の雰囲気を所定の環境に維持しながら処理室まで搬送することができる基板処理装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 内部に収容した基板に対して処理を施すための少なくとも一つの処理室３Ａ〜３Ｆが設けられる。搬送ケース４は、外部雰囲気から隔離された状態で基板を収容し、基板を搬入・搬出するための出入り口を有する。搬送機構５は、処理室に対して基板を搬入・搬出するための第１の位置に搬送ケース４を運ぶ。搬送ケース取り付け機構４０は、搬送機構から分離されて単独で搬送ケースを第１の位置に固定する。搬送ケース４は搬送機構に対して着脱可能に支持される。 （もっと読む）

【課題】解放式のカセットへのダストの侵入を防止し、クリーン度の低い空間でもカセットを保管・搬送できるようにする。また、シート材でラップしたカセットを用いて、処理装置へ物品を搬入するための具体的な構成を提供する。さらに、シート材のラップやアンラップを容易にできるようにする。
【解決手段】開放式のカセットにラッピング装置１４でシート材をラップして周囲から気密にするとともに、アンラッピング装置１０でシート材を剥がし、カセットに物品を出し入れできるようにする。 （もっと読む）

【課題】容器及び蓋からなる薄い基板容器を、容器に挟み込む力を作用させることなくハンドリングして、炉内に積層して載置し、炉内から搬出することができ、これにより基板の汚染を防止しながら水蒸気アニール処理をし、かつ炉内処理領域への基板のセット数を高めて、スループットを高めることができる基板容器用ロボットハンドと蓋付基板容器を提供する。
【解決手段】水平に位置する蓋付基板容器３の外縁に沿って延び、水平かつ対向して互いに平行に拡縮可能な１対の容器支持枠１２と、容器支持枠を蓋付基板容器の外縁に近接する縮小位置Ｃと離れた拡大位置Ｏとの間で移動させる支持枠駆動装置１４と、支持枠駆動装置を支持し、容器支持枠を間隔を隔てて水平に囲む枠部材１６とを備える。蓋付基板容器３は、その外周の少なくとも一部に所定角度のテーパ下面３ｃを有し、１対の容器支持枠１２は、縮小位置においてテーパ下面に近接しかつ同一角度のテーパ上面１２ａを有する。 （もっと読む）

【課題】所謂ミニエンバイロメント方式を採用する際に、清浄度の低い外部環境のガスが局所クリーン領域に取り込まれることを抑制することができる局所クリーン搬送装置における物品受渡し時の清浄度保持装置を提供する。
【解決手段】クリーンルーム１１内の複数箇所に設けられ、清浄度がクリーンルーム１１内の清浄度より高い作業領域１２の物品受渡し部１３間における物品の搬送を手動台車１４で搬送されるポッド１５に収容して行う。物品受渡し部１３内はクリーンルーム１１内の圧力より高い圧力（陽圧）となっている。ポッド１５が移動部材２２上に載置され、移動部材２２と共にカセット１７が下降する途中で開口充填部２２ｂと受渡し口部２０ａとの隙間から物品受渡し部１３内のガスが排出され、クリーンルーム１１内のガスが物品受渡し部１３内に入り込むのが抑制される。 （もっと読む）

【課題】半導体収納容器開閉装置において半導体収納容器の蓋を開けるときに、半導体収納容器と半導体収納容器開閉装置の壁面との間隙から、外界の異物が半導体収納容器内部に進入し、ウエハに付着する問題を解決する。
【解決手段】半導体収納容器開閉装置１００において、半導体収納容器を開ける時の最大速度を、半導体製造装置内部の圧力と外界の圧力との差圧で、除した速度差圧比を０．０６（ｍ／ｓ・Ｐａ）以下に設定するようにした。 （もっと読む）

【課題】外力が加わっても、破損や収納不良が発生しにくいウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造を提供する。
【解決手段】蓋体７の裏面側７ａに固定される一対の支持枠部１０，１０の間に、下面１０ａ側と略面一に水平に延設されると共に、一定の幅で、しかも、弾性変形可能な長さを有して架設される水平部１１，１１が各々一体となるように設けられている。
そして、容器本体６内に収納される複数の半導体ウエハ４…が、ウエハ接触部９，９の移動抑制突起１６，１６が設けられた下向きに凸状の弾性変形可能な円弧部１４，１４に各々当接されて保持されている。 （もっと読む）

【課題】大きな容積を占有することなく、かつ容易な手段で密閉可能なウェーハ輸送ケースを提供すること。
【解決手段】リング形状のウェーハ収納容器１２にウェーハ１を載置したユニットを複数重ねた状態で覆うウェーハ輸送ケース１０であって、ウェーハ収納容器１２を載置するための円盤状の載置台２２と、ドーム状の形態を有するドーム部３５と、当該ドーム部３５の開口端から周方向外方に向かって延出する鍔部３７とを有し、載置台２２の上にウェーハ収納容器１２の全体を覆うように配置される蓋体２４と、載置台２２の上に配設されるリング状のガスケット２８と、鍔部３７と載置台２２の外周部２２ｂを狭持して両者を固定する固定部材２６とを有するものとする。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、概略的には、フラットパネルディスプレイ材料の格納及び搬送を行うシステムに関する。フラットパネルディスプレイシステムは、環境保護能力、材料のトラッキング機能、及び／又はワークステーション装填能力を有している。フラットパネルディスプレイシステムの構成要素の１つとして、搬送可能でシール可能な容器がある。フラットパネルディスプレイシステムの他の構成要素として、シール可能な装填ポートがある。装填ポートに容器がドッキングされ、基板が加工される。
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【課題】 基板に対するリテーナの接触領域を減少させ、基板の汚染を低減できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】 複数枚の半導体ウェーハＷを整列収納可能な容器本体１０と蓋体２０との間に、半導体ウェーハＷを保持するリテーナ３０を介在した基板収納容器であって、リテーナ３０を、蓋体２０の天井内面から容器本体１０に収納される半導体ウェーハＷ方向に伸長し、複数枚の半導体ウェーハＷの整列方向に並ぶ可撓性の複数の弾性片３１と、各弾性片３１の先端部に形成されて半導体ウェーハＷの周縁部上端を接触保持する保持溝片３４とから形成し、弾性片３１と保持溝片３４を蓋体２０の天井内面側から半導体ウェーハＷ方向に向かうに従い徐々に湾曲させて半導体ウェーハＷの半径外方向に向け、半導体ウェーハＷの周縁部上端に対する保持溝片３４の接触保持領域を減少させる。 （もっと読む）

【課題】イオウガスの発生でウエハが汚染されることなく、射出成形の加工が良好に行われて品質の良いウエハ収納容器内に設ける部材を提供する。
【解決手段】ウエハ３を収納する容器２内に設ける部材１であって、この容器内に設ける部材１は、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）樹脂を射出成形することにより形成される。このＰＢＴ樹脂は、重量平均分子量（Ｍｗ）が１５０００〜２００００であり、ＰＢＴ樹脂中に添加されるイオウ系二次酸化防止剤中のイオウの重量が、ＰＢＴ樹脂の重量に対して０．１％以下となるように、射出成形でウエハ収納容器内に設ける部材１を形成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、保管、輸送中の外力に耐える十分な剛性を有し、なおかつ蓋体を開ける際の急激な外気の巻き込みを抑制して、ペリクルへの異物付着を防止するペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】 樹脂のシート材を成形してペリクル収納容器の蓋体１とし、この蓋体１の上面に蓋体の短辺と成す角度が１０°以内で、なおかつ他のリブと交差しないリブ３を設ける。各リブが他のリブにより切断されることが無いため、リブ３の上下方向（縦方向）の剛性は大きく向上し、外力による蓋体の変形ならびにペリクルの損傷が防止される。
また、リブをほぼ一方向のものだけで構成することになるため、リブと直交する方向の曲げ剛性は低くなり、これにより、蓋体は開蓋時においてごく初期の段階からしなやかに撓みを生ずる。そのため、開蓋時の初期の段階から蓋体と容器本体の内部へ空気はスムーズに流入し、急激な外気の流入が発生しないため内部のペリクルに異物が付着するおそれが大幅に低減される。 （もっと読む）

【課題】撓んだ弾性片と隣接する他の弾性片との干渉を抑制し、基板のがたつきや摺れ、損傷、汚染を防ぐことのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハＷを整列収納可能な容器本体１０と、容器本体１０に着脱自在に嵌合されて複数枚の半導体ウェーハＷを被覆・保護する蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０の間に介在されて各半導体ウェーハＷを保持するリテーナ３０とを備える。リテーナ３０を、蓋体２０の天井内面から容器本体１０に整列収納された半導体ウェーハＷ方向に伸長し、複数枚の半導体ウェーハＷの整列方向に並ぶ可撓性の複数の弾性片３１と、各弾性片３１の先端部に形成されて半導体ウェーハＷの周縁部上端を保持する保持溝片３４と、弾性片３１と保持溝片３４の少なくともいずれか一方に形成される干渉回避面とから構成し、干渉回避面により、隣接する複数の保持溝片３４同士の干渉を回避する。 （もっと読む）

【課題】自動開閉装置の規格寸法内に収まり、蓋体の変形を良好な材料効率で抑制出来るウエハ搬送容器の蓋体構造を提供する。
【解決手段】肉厚部の厚さｄ２が、蓋体１４の他の平板部分の厚さｄ１よりも、１．２５倍、厚くなるように、構成されると共に、この肉厚部２０ｂの平面形状が、半導体ウエハ１…の並列方向で、この蓋体本体２０の略全幅で、しかも、被係合部１８，１８間に渡り、一定の幅Ｗを有する長方形面状を呈して、構成されている。 肉厚部の裏面側２０ａには、これらの中央リブ２０１及び縦リブ２０２…と、直交して交差する横リブ部２０３とが、一体に設けられていて、格子状の補強部が、面状を呈して構成されている。 （もっと読む）

【課題】未処理のウエハの戻し作業が生ずる事態を防止して、ロットごとの液処理を行うことにより生産効率を高めることを可能とした液処理装置を提供すること。
【解決手段】基板Ｗが収納されたキャリアＣを搬入出するキャリア搬入出部５と、キャリアＣを複数保管可能なキャリアストック部６と、キャリアＣを搬送するキャリア搬送装置１２と、検査／搬入出ステージ１５と処理部７との間で基板Ｗを搬送する基板搬送部３と、キャリアＣ内の基板Ｗを検査する基板検査装置１８と、一括して処理される複数のキャリアＣのうち、一のキャリアを基板検査装置１８に搬送し、液処理可能ならば一のキャリアをキャリアストック部６へ戻し、他のキャリアを基板検査装置１８に搬送し、液処理可能ならば一のキャリア及び他のキャリア内の複数の基板Ｗを、検査／搬入出ステージ１５から搬出するように制御する制御部９０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】ファンフィルタユニットのランニングコストを抑えることができる基板収納用の収納容器を提供する。
【解決手段】横倒れ姿勢の四角筒状に形成された容器本体６６の一端側の開口を、基板を一枚ずつ出し入れするための出入り口として構成し、容器本体６６の他端側の開口から出入り口に向けて通風するファンフィルタユニット６４を、容器本体６６における他端側の開口部に装備し、容器本体６６における出入り口を開閉する蓋６５を、閉じ状態において一部を通気口として開口する状態で、容器本体６６の出入り口部に装備する。 （もっと読む）

【課題】 マスクブランクス又はフォトマスク等の基板を収納するものであって、収納した基板に塵埃が付着するのを防止できる基板収納ケースを提供すること。
【解決手段】 基板収納ケース１が、ケース本体２とケース蓋体３とからなり、ケース本体２の開口縁に、ケース蓋体３と嵌合する薄肉案内縁２２が形成されている。薄肉案内縁２２に負圧緩和手段１０が設けられ、ケース蓋体３の開口部内側に、ケース本体２と異なる硬度の材質により形成された塵埃抑止手段１１を設けられている。負圧緩和手段１０は通気口である。塵埃抑止手段１１はケース本体２と異なる硬度の材質により形成された硬質テープである。 （もっと読む）