【課題】例え基板が撓みやすい場合でも、基板の給排等に支障を来たすことがなく、しかも、生産性を向上させ得る基板の取り扱い装置及び基板の取り扱い方法を提供する。
【解決手段】基板収納容器１を搭載する搭載装置４０と、搭載装置４０に搭載された基板収納容器１に対して基板Ｗを給排する多関節ロボット５０とを備え、基板収納容器１を、複数枚の基板Ｗを整列収納する容器本体２と、この容器本体２の開口正面部８を開閉する着脱自在の蓋体とから構成し、容器本体２の底部には複数の位置決め具６を配列する。また、搭載装置４０を、基板収納容器１を搭載する上下方向に回転可能なテーブル４１と、基板収納容器１を搭載したテーブル４１を上方向に傾斜させ、基板収納容器１の開口正面部８を多関節ロボット５０側の斜め上方向に向ける駆動機構４７とから構成する。 （もっと読む）

【課題】フォトマスク基板にパーティクルが付着する危険性を低減することができるとともに、小型化を図ることの可能なマスクケースの提供を目的とする。
【解決手段】マスクケース１は、フォトマスク基板１０を支持する支持用保持手段４と、フォトマスク基板１０と線接触して位置決めする、厚さ方向位置決め用保持手段５及びサイド方向位置決め用保持手段６と、これらが設けられた基部２と、この基部２に着脱自在に取り付けられ、フォトマスク基板１０を覆う蓋部３とを備えた構成としてある。 （もっと読む）

【課題】物品大量搬送を可能にするとともに、搬送途中において底蓋が開いてしまうことを防止することができ、物品が落下してしまう等の不具合がなく、物品のセッティングや搬送効率を上げることのできる物品搬送用ポッドを提供すること。
【解決手段】物品３０を収容する収容部１１を備えて、底蓋１２を開けて物品３０が出し入れされ、かつ搬送装置によって搬送される物品搬送用ポッド１０であって、底蓋１２に、搬送装置のアームまたは係止突起によって支持される支持手段４０を設けたこと。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハを収納する半導体ウェハ容器において、蓋の開け閉めによる摩擦によって粉塵が発生しない半導体ウェハ容器を提供する。
【解決手段】 半導体ウェハ４を水平に収納する容器本体１と、その容器本体１を密閉する蓋体２を有する半導体ウェハ容器において、容器本体１または蓋体２に逆止弁機構３を設け、該逆止弁機構３を介して容器本体１内の空気を排出し、容器本体１内を負圧にして、容器本体１と蓋体２を摩擦することなく密閉固定する。 （もっと読む）

複数の基板を保持する収納容器は、内部空間を画定する筐体部分を含む。この筐体は、基板を収容する複数のスロットと、開放面を気密的に閉鎖するドア（２６）とを有する。クッション（６２）はドアに収まる。
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【課題】レチクルケースの帯電を防止し、レチクルおよびレチクルケースへの塵埃等の異物の静電的付着を防止し、かつレチクル情報を確実に把握すること。
【解決手段】レチクルケースの上・下面に透明窓を設ける。これによりレチクルケース内のレチクル状態およびレチクル情報を把握できる。透明窓以外のレチクルケースは非帯電性材料で形成され、かつ連続している。これによりレチクルケースの帯電を防止できる。レチクルケースには呼吸弁およびケミカルアブソーバーが設置される。これによりレチクルケース内は、常に清浄な環境に保持される。呼吸弁はレチクルケース外表面から張り出さない構造である。このため、レチクルケース本体および蓋体の側面に形成されたV溝を用いて固定スライダでレチクルケース本体および蓋体を結合固定できる。また、呼吸弁の破損がなくなりレチクルケースの取り扱いも容易になる。 （もっと読む）

本発明によれば、輸送ボックス（１）は、インターフェース（２）に接続することができ、かつ基板（４）を中に配置することができるバスケット（３）を収容することができる。このバスケット（３）は、交互に積み重ねられかつ個々に交換可能な１セットのプレート（３ａ〜３ｆ）からなる。このバスケット（３）は、インターフェース（２）の内部に完全に移動させられ、次いで移動手段が選択されたプレートを、隣接するプレートを移動させることによって分離させ、ロボット（５）が来てこの選択された基板を抽出するのを可能にする。輸送位置にあるとき、このプレート（３ａ〜３ｆ）は互いに接触しており、したがって、基板（４）によって占められる空間の量を減少させる。
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【課題】基板搬送容器内空間のガス置換を満遍なく、また効率よく行うことができる基板搬送容器、および基板搬送容器内空間のガス置換を満遍なく、また効率よく行い得る方法を提供する。
【解決手段】一側面に開口部３が設けられ且つ複数枚の基板を夫々独立に収容できる基板支持手段４を有する容器本体１と、容器本体１に３開口部を閉塞可能にかつ開閉自在に取り付けられる蓋体２とを有する基板搬送容器であって、蓋体２には、容器外部から不活性ガスを導入するためのガス導入口１１と、ガス導入口１１から導入された不活性ガスを容器内に収容される基板間の空間に噴出可能に設けられてなるガス供給ノズルと、容器内のガスを容器外に排出するためのガス排出口１２とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 搬送効率の低下や無駄を省いて多品種少量生産等の生産管理方式に対応できる処理治具用収納ケースを提供する。
【解決手段】 下部構造体１、上部構造体２、及び中部構造体３を取り付け取り外しが可能な分割自在に備え、これらのうち、少なくとも下部構造体１と上部構造体２とを着脱自在に連結してそれらの間に半導体ウェーハを粘着保持する処理治具を整列収納する。下部構造体１を、底板５と、この底板５の両側部にそれぞれ設けられる一対の側壁１０と、この一対の側壁１０に設けられて処理治具を支持する支持板１３とから構成する。また、上部構造体２を、天板１４と、この天板１４の両側部にそれぞれ設けられ、下部構造体１の側壁１０に着脱自在に連結される一対の側壁１０と、この一対の側壁１０に設けられて処理治具を支持する支持板１３とから構成する。 （もっと読む）

【課題】広い作業スペースを必要とせず大型基板を出し入れでき、その表面を汚すことなく搬送可能な基板搬送ケースを提案すること。
【解決手段】マスクブランク搬送ケース１は、密閉型の収納箱２に、マスクブランク８が保持されているキャスタ付きの基板保持具４が前側から出し入れ可能である。基板保持具４を入れると、その支持台４１が、Ｏリング５９を挟み、収納箱側の仕切り用枠板３１、３２に下側から押し付けられ、基板収納部２３が上下に二分される。マスクブランク８の側に、キャスタ側から埃などの異物が回り込み、その表面を汚してしまうことを防止できる。また、前方からキャスタ付きの基板保持具４を出し入れするので作業スペースが少なくて済む。 （もっと読む）

本発明は、基板キャリヤを開放するための方法、システム及び装置を提供する。本発明は、基板キャリヤ搬送システムから基板キャリヤを受け取るための新規なロードポートを提供する。このロードポートは、ドア開放機構に対して基板キャリヤドアを保持するために真空圧を使用するように適応されたドア開放機構を含む。このロードポートは、更に、潜在的汚染物質が基板キャリヤに入らないようにするために基板キャリヤの周辺へガス流を加えるように適応される。他の種々な特徴部が設けられる。 （もっと読む）

【課題】マスクブランク、転写マスクなどの膜付きガラス基板の外周端面が挿入保持される基板収納容器の溝の断面形状を改良して、基板表面に形成されている膜が溝側面に干渉して剥離するなどの弊害が発生しないようにすること。
【解決手段】容器本体と容器蓋とから成る収納容器の容器本体の左右および底にはマスクブランク１０の左右および下側の外周端面１１ｂが収納保持されている保持溝４３、４５が形成されており、保持溝４３（４５）は、溝底面４３ａ（４５ａ）と溝側面４３ｂ、４３ｃ（４５ｂ、４５ｃ）の入り隅の角度θａを適切に設定することにより、当該溝側面がマスクブランク１０の遮光膜およびレジスト膜の端１４に干渉しないようにしてある。 （もっと読む）

【課題】搬送容器の入れ替えおよび搬送を自動化して工場全体の自動化を図る。
【解決手段】半導体ウェハ１を収容可能なＦＯＵＰ２間における半導体ウェハ１の移し替えが行われる移し替え部４と、複数のＦＯＵＰ２を保管可能なストッカー５と、移し替え部４とストッカー５との間でＦＯＵＰ２を移動させるクレーン７とによって構成され、半導体ウェハ１をＦＯＵＰ２から他のＦＯＵＰ２に移し替える移し替え部４と、ＦＯＵＰ２の保管を行うストッカー５とが一体化されたことにより、半導体ウェハ１の移し替え時のＦＯＵＰ２の配置および移し替え後のＦＯＵＰ２の移動を自動で行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 搬送時に純水や薬液が垂れることを抑制できるドアシェル搬送機及びドアシェル搬送方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るドアシェル搬送機は、ドアシェルを搬送するドアシェル搬送機において、ＦＯＵＰにおいてポッドシェルからドアシェルを分離する分離機能を有するとともに前記ドアシェルを保持する保持機能を有する分離保持機構としてのオープナー３２と、前記オープナーを回転させる回転機構とを具備する。この回転機構はオープナー３２が回転軸３８を介して接続されたロータリーアクチュエーター３７を有するものである。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェハを収容する際の工数を少なくすることができるウェハ収容容器を提供する。
【解決手段】本発明に係るウェハ収容容器は、上面が開口しており、底面に対して略垂直な状態で半導体ウェハ１を収容する容器本体１０と、容器本体１０の上面を覆う蓋２０と、蓋２０に設けられた開口部２２と、開口部２２に嵌め込まれ、位置決めされながら上下に移動可能なベース部材３２と、ベース部材３２の下面に設けられ、半導体ウェハ１の上端部が差し込まれる溝を有するガイド溝部材３４とを具備する。オリフラが上を向いていてガイド溝部材３４に差し込まれる場合には、ベース部材３２を下に位置させればよい。また、半導体ウェハ１のオリフラ以外の部分がガイド溝部材３４に差し込まれる場合には、ベース部材３２を上に位置させればよい。従って、蓋２０を乗せかえる必要がなくなり、半導体ウェハ１をウェハ収容容器に収容する際の工数が少なくなる。 （もっと読む）

【課題】 例え蓋体の押圧力や容器本体の固定力を小さくしても、容器本体の変形、基板の位置ずれや傾斜、基板の汚染のおそれ等を抑制でき、しかも、容器本体を蓋体で有効に閉鎖できる基板収納容器の蓋体開閉方法を提供する。
【解決手段】 蓋体開閉装置により容器本体２０の開口したリム部２４を蓋体３０で閉鎖して施錠する基板収納容器の蓋体開閉方法であって、容器本体２０の開口したリム部２４に蓋体３０を予め設定された押圧力で対向させ、容器本体２０に収納された半導体ウェーハＷの前部周縁に蓋体３０のフロントリテーナ３３を接近させた状態で停止させ、施錠機構４０の回転体４２の操作を開始して容器本体２０の係止穴４１に蓋体３０の係止爪４７を嵌合するとともに、回転体４２の操作の継続により係止穴４１と係止爪４７との嵌合部Ｅを起点としてリム部２４に蓋体３０を嵌入し、半導体ウェーハＷの前部周縁を蓋体３０のフロントリテーナ３３に保持させ、リム部２４を蓋体３０によりシール状態に閉鎖する。 （もっと読む）

本発明は、底面及び周縁(P)を有する少なくとも１つの加工物(W)を格納するための加工物容器(12)に関する。１つの実施形態においては、加工物支持構造体(202)は、容器包囲体(12)の中に配置され、容器包囲体(12)の中に複数の垂直方向積重ね式格納棚を形成する。１つの実施形態においては、各格納棚は、加工物を実質的に水平方向の向きに支持するための第１タイン及び第２タイン(206)を含む。格納棚上に着座する加工物(W)の底面及び周縁(P)は、第１タイン及び第２タイン(206)の両方の外縁(207)を越えて延びる。本発明によるエンドエフェクタは、加工物(W)の延長部分又は「把持区域」と係合することができる。
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【課題】マスクやウェハ等の基板を異物から保護しながら搬送するとともに搬送後における基板の利用を容易にする。
【解決手段】容器３００は、マスクやウェハ等の基板７１を吸着して保持するチャック３１０と、チャック３１０とともに保管空間１０８を形成するカバー３２０とを備える。基板７１は、チャック３１０にカバー３２０が装着された状態において保管空間１０８内に保持されて搬送される。 （もっと読む）

【課題】 基板収納容器に収納された基板の搬送中のたわみを抑制し、基板の取り扱いが容易で確実に運搬できるようにする。
【解決手段】 枚葉基板収納容器９は、方形状の容器本体１０及び蓋１７から構成されている。容器本体１０は、ウエハ収納部１１、蓋収納部１２、ウエハティース１３、支持部１４、複数の凹部１５、及び情報表示部１６を有し、蓋１７は、複数のリテーナ１８を有している。ウエハ収納部１１は、ウエハ７を収納する空間部分である。蓋収納部１２は、蓋１７を収納する空間部分であり、その上部に設けられた２つの凹部１５に蓋１７のストッパとしてのクランピング機構部１９をそれぞれ挿入することにより枚葉基板収納容器９が密封される。支持部１４は、ウエハ収納部１１の中央部に設けられ、ウエハ搬送機構１のアーム５間の間隔よりも狭い円形状を有し、ウエハ７を容器本体１０の中央部に着座させる役目をする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ移載装置の構造を簡易にしかつその製造コストを低減することができ、全ての半導体ウエハを短時間で効率良く容器から取り出しあるいは容器に収容できる半導体ウエハ移載装置、半導体ウエハ取出方法及び半導体ウエハ収容方法を提供する。
【解決手段】半導体ウエハＷの一部がフープ３２から露出してきたところで一対の支持部材１４、１６を挿入させることにより、複数枚の半導体ウエハＷの全てを一度に一対の支持部材１４、１６で支持させることができ、フープ３２から全ての半導体ウエハＷを一度に取り出すことができる。一方、複数枚の半導体ウエハＷの全てを一度に一対の支持部材１４、１６で支持させることにより、全ての半導体ウエハＷを一度にフープ３２に収容することができる。 （もっと読む）