【課題】ガラス基板のような板状体のための合成樹脂発泡体製の板状体搬送用ボックスにおいて、搬送用ボックスが大型化する場合であっても、蓋体の天面に形成した各横溝内に、容器本体に収容した各ガラス基板の上縁を確実に挿入できるようにし、それにより、搬送中に収容したガラス基板などの板状体同士が接触したりするのを確実に防止する。
【解決手段】一方の相対向する側壁に板状体の左右の側縁を挿入して支持するための複数の縦溝２０が一定ピッチで形成されている容器本体１０と、容器本体１０に収容した板状体の上縁を挿入して支持するための複数の横溝３６を天面部に一定ピッチで形成している蓋体３０とからなる合成樹脂発泡体製の板状体搬送用ボックス１において、蓋体３０を、横溝３６に交差する方向で２分割された第１の蓋部材５０と第２の蓋部材６０とで構成する。 （もっと読む）

【課題】フープの蓋であるフープドアの閉状態の異常を迅速且つ確実に検知することができるようにすること。
【解決手段】半導体処理装置の内外を仕切るポートプレート４０の開口窓４１に着脱可能に装着されるポートドア４２と、フープ１０をフープドア着脱位置に位置決めするドックユニット６０とを備えており、ポートドア４２に、吸盤機構４３とフープドア３０をフープ本体２０に固定すると共に固定を解除するためのロック機構４４とが設置されているフープオープナＭであって、ドックユニット６０上のフープドア着脱位置に位置するフープ本体２０に固定されたフープドア３０がフープ本体２０の開口部２１に正常に装着されているか否かを検知するフープドア検知センサ８０，９０をポートプレート４０に設置した。 （もっと読む）

【課題】基板の直径が大きくなる傾向にある近年において、回路が形成された２枚の基板を、接合すべき電極同士が接触するように高い精度で位置合わせするために、その２枚の基板をそれぞれ保持する２枚の基板ホルダを精密に管理する機構が求められている。
【解決手段】基板を挟持して搬送するときに対で用いられる第１基板ホルダと第２基板ホルダを対で収容するホルダ対ケースと、ホルダ対ケースを載置する棚とを備えるホルダラック。 （もっと読む）

【課題】マスクブランク、転写マスクなどの膜付きガラス基板の外周端面が挿入保持される基板収納容器の溝の断面形状を改良して、基板表面に形成されている膜が溝側面に干渉して剥離するなどの弊害が発生しないようにすること。
【解決手段】容器本体と容器蓋とから成る収納容器の容器本体の左右および底にはマスクブランク１０の左右および下側の外周端面１１ｂが収納保持されている保持溝４３、４５が形成されており、保持溝４３（４５）は、溝底面４３ａ（４５ａ）と溝側面４３ｂ、４３ｃ（４５ｂ、４５ｃ）の入り隅の角度θａを適切に設定することにより、当該溝側面がマスクブランク１０の遮光膜およびレジスト膜の端１４に干渉しないようにしてある。 （もっと読む）

【課題】搬送車システムにおいて、下位のコントローラだけで運用試験を行うときに自動運転を可能にする。
【解決手段】搬送車システムは、搬送車を搬送させるための搬送車システムであって、複数のストッカ（５１，５３，５５，５７）と、搬送車（４４，４８）と、複数のコントローラ（５２，５４，５６，５８）とを備えている。ストッカは、内部で物品を搬送可能である。搬送車は、複数のストッカ間で物品を搬送可能である。複数のコントローラは、互いに通信可能であり、複数のストッカおよび搬送車を制御する。コントローラは、搬送制御部６１と、シナリオ記憶部６３と、搬送指令作成部６２とを有している。搬送制御部６１は、搬送指令を実行することで搬送制御を行う。シナリオ記憶部６３は、複数の搬送指令作成情報を含む搬送パターンシナリオを記憶する。搬送指令作成部６２は、搬送指令作成情報に対応する搬送指令を作成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、搬送装置のメンテナンス作業を効率よく行うことができる搬送装置のメンテナンス方法を提供する。
【解決手段】 マスクケース搬送装置（２９）のメンテナンス方法は、ＣＺ軸駆動部（２６）によってケース保持部（２３）を上下方向の第１位置に配置する工程（Ｓ１０２）と、最上段、最下段および中央段に設けられた複数のＣＺ軸駆動部２６のカバー部材のうち第１位置に配置されたケース保持部と異なる高さに位置するカバー部材を取り外す第１取り外し作業を行う工程（Ｓ１０６）と、第１取り外し作業後に取り外されていない複数の前記カバー部材のうち第１位置に配置されたケース保持部と異なる高さに位置するカバー部材を取り外す第２取り外し作業を行う工程（Ｓ１０７）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】基板に異物が付着するのを防ぐことができる基板カートリッジ、基板処理装置、基板処理システム、制御装置及び表示素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】基板が出し入れされる開口部を有し、前記開口部を介した前記基板を収容するカートリッジ本体と、前記カートリッジ本体に設けられ、外部接続部に対して着脱可能に接続されるマウント部とを備え、前記開口部は、前記マウント部と前記外部接続部との間の接続状態に応じて、前記基板によって閉塞可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】パージ時間を短縮し、スループットを向上する。
【解決手段】基板９を出し入れする基板収納口及び基板収納口に着脱自在に装着されたドア１０ａを備えたキャリア１０を載置する基板授受ポートと、基板授受ポートに載置されたキャリア１０のドア１０ａを保持する可動部４０と、可動部４０に保持されたドア１０ａを可動部４０と共に移動させて基板収納口を開閉するキャリア開閉装置と、可動部４０及び基板収納口を少なくとも囲うチャンバ６０と、可動部４０に設けられ、基板収納口からキャリア１０内にガス６２を導入するガス導入部６３、６６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板保持体もしくは基板保持体に保持された基板の清浄化に要する時間を短縮し、基板処理のスループットを向上させることができる基板処理装置、ガス導入装置、及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板を保持する基板保持体１０と、基板保持体にガスを導入するガス導入装置と、を備え、ガス導入装置は、ガスを清浄化しつつ放射状に放出するフィルタと、フィルタの外周に設けられフィルタから放射状に放出されたガスの流れを絞る絞り部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】各当接片で各薄板を均一な力で確実に支持する。
【解決手段】内部に薄板を複数枚収納して搬送される薄板支持容器の容器本体を塞ぐ薄板支持容器用蓋体である。上記薄板を支持する薄板押えを、蓋体裏面側に固定される２つの基端支持部と、上記薄板の周縁に沿って複数個配設されて当該薄板に直接に当接される当接片と、上記各基端支持部にそれぞれ支持されて上記複数の当接片のうち両端の当接片の外側端を支持する２つの弾性支持板部と、上記各当接片の間を互いに連接して各当接片を支持する連接支持板部と、当該連接支持板部の上記蓋体裏面に沿うズレを防止して上記蓋体裏面に垂直な方向の変動を許容する支持用部材とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】被処理体の処理室における再加熱時間の短縮が可能であるとともに、複数の被処理体を搬送しても、これら複数の被処理体各々の温度を精度良く制御することも可能な搬送装置を提供すること。
【解決手段】ベース５１と、被処理体Ｇを支持し、ベース５１に対して進出退避して被処理体Ｇを搬送する被処理体支持体５２と、被処理体支持体５２の少なくとも上下に設けられ、被処理体支持体５２に支持された被処理体Ｇからの輻射熱を反射する反射体８０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】大口径のウェーハ等の薄板であっても、自重の影響を受けることなく、ロボット装置等によって支障なく薄板収納容器から取り出すことができるようにする。
【解決手段】薄板収納容器において、薄板を収容する空間Ｓに向けて突出するように設けられて薄板を支持する薄板支持部１２を複数個備える。さらに、その複数個の薄板支持部１２を、水平方向に並べて設けるとともに、垂直方向からその並び方向に向かって所定の角度αだけ傾斜するように設けて、垂直方向に対して傾斜させた状態で薄板を支持する。 （もっと読む）

【課題】薄い電子部品を面方向でテスト等することができ、しかも、電子部品が剥がれて脱落するおそれを排除できる電子部品保持具及びその使用方法を提供する。
【解決手段】保持フレーム１０の中空部１１に可撓性の保持層２０を覆着し、保持層２０の表面に薄い半導体ウェーハ１を保持させる電子部品保持具で、保持層２０に半導体ウェーハ１用の露出口２１を穿孔してその周縁には半導体ウェーハ１の周縁部４を粘着保持させ、保持層２０の表面には、半導体ウェーハ１を包囲してその周縁部４に干渉する中空の抑え層３０を貼着し、保持層２０と抑え層３０とに、半導体ウェーハ１の周縁部４を挟持させる。保持層２０と抑え層３０とに半導体ウェーハ１の周縁部４を挟持させるので、電子部品保持具を表裏逆にしたり、起立させても、半導体ウェーハ１のシャープエッジの欠けや割れを招いたり、半導体ウェーハ１が剥がれて脱落するおそれを排除できる。 （もっと読む）

【課題】基板の素子形成領域に塵芥が付着することを防止する。
【解決手段】複数の半導体素子が形成された素子形成領域を有する半導体基板の素子形成領域の表面を、素子形成領域に対して離間した状態で覆うとともに、素子形成領域の裏面を露出させた基板カバー。上記基板カバーは、半導体基板に対して気密に接して、素子形成領域を気密に包囲してもよい。また、上記基板カバーは、半導体基板に対して接する領域は、半導体基板のノッチまたはオリエンテーションフラットと相補的な形状を有してもよい。 （もっと読む）

【課題】バルブに双向性を付与して取付け作業の簡素化や迅速化を図ることができ、しかも、必要に応じてガス供給ポートの数等を迅速に増やすことのできるパージバルブ及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】容器本体の底板３の貫通孔４に嵌着されるバルブケース２１と、バルブケース２１にコイルバネ２７を介し往復動可能に挿入支持され、バルブケース２１を開閉する中空の内圧調整弁体３９と、内圧調整弁体３９内にコイルバネ４１を介し往復動可能に挿入支持され、内圧調整弁体３９を開閉する外圧調整弁体４４と、バルブケース２１と内圧調整弁体３９及び外圧調整弁体４４との間に介在されるガス濾過用のフィルタ４８とを備える。バルブケース２１の一端部から他端部方向にガスが流通する場合には、外圧調整弁体４４を往動させてその閉じた内圧調整弁体３９との間を開放し、バルブケース２１の他端部から一端部方向にガスが流通する場合には、内圧調整弁体３９を往動させてその閉じたバルブケース２１との間を開放する。 （もっと読む）

【課題】大気圧に伴う変形を抑えつつ基板の搬送状態を視認可能にした真空搬送装置を提供する。
【解決手段】有底多角筒状をなして内部に搬送ロボットＲを搭載した搬送容器１１がその上部開口に取付けられた容器蓋体２０によりその内部を密閉可能に構成されてなる真空搬送チャンバ１０と、搬送容器１１の外周面に連結されて真空搬送チャンバ１０の内部と連通可能である複数の真空処理チャンバ１４とを具備し、真空搬送チャンバ１０が１つの真空処理チャンバ１４から他の真空処理チャンバ１４へ基板Ｓを搬送する真空搬送装置であって、容器蓋体２０は、水平方向から見て搬送容器１１の内部から外部に突出する弧状をなす断面が同水平方向に延びるかたちで構成された透明体２３を具備する。 （もっと読む）

【課題】溝付き天パッドを中蓋に装設してガラス基板の上端部に容易に被着できて、しかも、ガラス基板の大きな撓みや溝外れおよび干渉による破損を防止できる、ガラス基板の搬送容器を提供する。
【解決手段】一方の相対向する側壁内面に支持用溝１３を有する容器本体１と、側壁上端部に外嵌合して被着される蓋体２と、その内側でガラス基板Ｂの上端部を支持する溝付きの天パッド５と、蓋体２とは別に蓋体２の内側で被着可能な中蓋３を備え、中蓋３は、その天板３１の下面において、容器本体１の支持用溝１３を有する側壁１２ｂに対応する両辺で側方に開口し、また、他方の相対向する側壁１２ａと対応する側の両辺には側壁上端部に内嵌合する端部壁３２ａを有し、包装状態において、中蓋３の天板下面に天パッド５が装設され、この状態で両端部壁３２ａが容器本体１の側壁上端部に内嵌合し、蓋体２の垂下側壁２２ａ，２２ｂが側壁上端部に外嵌合している。 （もっと読む）

【課題】被処理体を収容する容器本体と、その開口部を開閉するための蓋体とを備えた搬送容器の前記蓋体を開閉する、簡単な構成の蓋体開閉システムを提供すること。
【解決手段】蓋体を容器本体から取り外して保持する保持部材と、前記蓋体と容器本体とが結合されかつ蓋体と保持部材とが結合されていない状態とする一方の位置と、蓋体と保持部材とが結合されかつ蓋体と容器本体とが結合されていない状態とする他方の位置との間で蓋体と平行にかつ直線的に移動可能に設けられた作動部材と、作動部材を移動させる動作機構と、を備えたシステムに用いられ、少なくとも前記動作機構と保持部材と搬送容器を保持するための保持部とを備えるようにシステムを構成する。それら結合の形成及び解除によって容器本体、保持部材が夫々蓋体を保持することができるため、蓋体を保持するための真空吸着機構を蓋体開閉システムに設ける必要が無くなる。 （もっと読む）

【課題】基板の横ぶれや位置ずれを抑制してクランプハンドのハンドリングの円滑化を図ることができ、しかも、基板の取り出し作業の作業性を向上させることのできる基板収納容器及び基板の取り出し方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ１を収納する容器本体１０を正面が開口したフロントオープンボックスタイプに形成してその内部下方には半導体ウェーハ１の周縁部２下方を縦に支持する下部支持ブロック１６を設け、容器本体１０の内部上方には、半導体ウェーハ１の周縁部２上方に隙間を介して左右横方向から対向する上部規制板２１を設けるとともに、容器本体１０の内部後方には、半導体ウェーハ１の周縁部２後方を縦に支持する後部支持ブロック２４を設ける。容器本体１０を左右方向に傾斜させた場合に上部規制板２１に傾斜した半導体ウェーハ１の周縁部２上方を支持させる。 （もっと読む）

【課題】箱から基板を取り出して他の箱や搬送装置に渡すのに、多機能、コンパクトで簡易な構造であって、高スループットの基板取出装置を提供する。
【解決手段】蓋付きの箱３内に垂直方向に立てて並べて収納される複数枚の基板５を１枚ずつ取り出して、他の装置に移載する基板取出装置１が、箱３を左右に挟んで設けられる平行な一対の走行レール２と、一対の走行レール２上をそれぞれ走行自在に設けられる走行体１１と、両方の走行体に連結され、走行体の高さ方向に沿って昇降自在に設けられる昇降体２０と、走行体の高さ方向に沿って昇降体を昇降駆動する昇降機構２３と、昇降体に、箱の蓋４と対面して設けられる蓋把持手段４０と、昇降体に設けられ、基板を垂直状態及び水平状態に回転自在に保持する基板把持手段６０と、基板把持手段を回転駆動する回転機構６３とを有している。 （もっと読む）