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【課題】光導波路を高速光伝送に適した長さにすることが可能で、かつモノリシックに集積することができる半導体光素子及びそれを用いた光送受信装置を提供すること。
【解決手段】半導体基板1上に形成した少なくとも2種類の屈折率の異なる半導体層からなる反射器7と、反射器7の上に形成した下部クラッド層3と上部クラッド層4に挟持された光導波路2と、光導波路2の少なくとも一方の端面に基板1面に対して45°の角度をもって配置された反射鏡5と、反射鏡5に対向した位置の基板1の裏面に形成した反射防止膜6とを備える。 (もっと読む)


【課題】2次元フォトニック結晶と、これと同一周期の網目構造を有する放熱層との位置合わせをすることなく同時に形成することができ、放熱特性が良く、光学特性を損なうことを抑制することが可能となるフォトニック結晶面発光レーザ等を提供する。
【解決手段】フォトニック結晶面発光レーザであって、基板101上の活性層104で発光した光を面内で共振させる、第1の半導体106a及び第1の半導体よりも低屈折率の低屈折率媒質106bとが2次元的に配置された2次元フォトニック結晶層106と、2次元フォトニック結晶層上の第2の半導体を有する層107と、第2の半導体を有する層上の放熱層108と、を有し、放熱層は、第2の半導体よりも熱伝導率の高い材料からなる放熱部108aと、第3の半導体108bとで構成され、放熱部は第1の半導体の上部に形成される。 (もっと読む)


【課題】本願発明は、ディスク状の光共振器を備えた発光素子において、発光のメカニズムを解明することによって、新たな構造を提案してレーザ発振の可能な発光素子を実現することを目的とする。
【解決手段】本願発明は、基板上に積層されたディスク状の光共振器を備える発光素子であって、前記光共振器は光を伝搬させる半導体からなるコアと前記コアに対して積層方向の前記基板側又はその反対側のうち少なくとも前記基板側に積層されたクラッドとを有し、前記コアは少なくともディスク外周側が空間又は前記クラッドよりも屈折率の低い透明体で覆われており、前記クラッドはディスク外周側の一部が空間又は前記クラッドよりも屈折率の低い透明体で覆われていることを特徴とする発光素子である。 (もっと読む)


【課題】電子漏れが抑制でき、光閉じ込めの向上を図ることができ、非発光を抑制することが可能なフォトニック結晶面発光レーザを提供する。
【解決手段】基板上に、n型クラッド層、活性層、電子ブロック層、2次元フォトニック結晶層がこの順に積層されているフォトニック結晶面発光レーザであって、
2次元フォトニック結晶層は、第一のp型半導体によるバンドギャップの異なる複数の層を備え、
第一のp型半導体による複数の層のバンドギャップは、電子ブロック層を構成する第二のp型半導体のバンドギャップよりも小さく、複数の層の積層方向に向かって段階的ないしは連続的にそのバンドギャップが減少するように積層され、
積層された層の面内方向の高屈折率部と低屈折率部とによる2次元フォトニック結晶層の該低屈折率部には、
電子ブロック層の表面を覆うように、第二のp型半導体よりもアクセプタドープ濃度の小さい第三のp型半導体が設けられている。 (もっと読む)


【課題】 漏れ光の入射を低減しつつ、反射戻り光を発生しにくい構成のフォトニック結晶面発光レーザアレイを提供する。
【解決手段】 レーザ発振を起こす複数の第1のフォトニック結晶領域と、面外方向への光回折を起こす第2のフォトニック結晶領域と、第2のフォトニック結晶領域の上に設けられている波長λの光を吸収する光吸収体を有する。第1のフォトニック結晶領域の放射係数は、第2のフォトニック結晶領域の放射係数より小さい。 (もっと読む)


【課題】 光モジュールにおける高速変調動作の信頼性を高め、送信器(送受信器)に組み込まれた際のビット誤り率を低減する。
【解決手段】 出力光を表面出射するテーパーミラーと、光変調素子と、光変調用駆動回路とを備え、前記光変調素子と前記光変調用駆動回路とでテーパーミラーを挟み込むように配置する。 (もっと読む)


【課題】 良好なデバイス特性を得ることできる、複数の細孔が形成された窒化物半導体を有する構造体の製造方法、および該構造体を備えた発光素子の提供を目的とする。
【解決手段】 Inを含むIII族窒化物半導体からなる第1の半導体層を形成する工程と、第1の半導体層の上に、第1の半導体層よりもIn組成が低いIII族窒化物半導体からなる第2の半導体層を形成する工程を有する。第2の半導体層および第1の半導体層に複数の細孔を形成する工程と、窒素元素を含む雰囲気下で熱処理することにより、複数の細孔が形成された第1の半導体層の側壁の少なくとも一部に、第1の半導体層よりもIn組成が低い半導体結晶構造を形成する。 (もっと読む)


【課題】発光面積に依らず横モードがシングルモードで発振でき、出射ビームの偏光を1次元的に揃わせる面発光レーザを提供する。
【解決手段】2次元フォトニック結晶を備えた面発光レーザであって、共振モードは、基本並進ベクトルa1、a2が伸びる方向の共振モードを有し、長さ|a1|は、a1方向の共振モードにおける共振波長λ1と、a1方向の共振モードによって決まる実効屈折率neff1と、2以上の整数pによる関係式|a1|=p×(λ1/2neff1)を満足させ、長さ|a2|は、a2方向の共振モードにおける共振波長λ2と、a2方向の共振モードによって決まる実効屈折率neff2による関係式|a2|=λ2/2neff2を満足させ、共振波長λ1とλ2は、実効屈折率neff2と面発光レーザの外側の外部媒質の屈折率noutによって記述される関係式λ2≦2×(neff2/(nout+neff2))×λ1を満足させる。 (もっと読む)


【課題】特性が改善可能な半導体面発光素子及び製造方法を提供する。
【解決手段】 この半導体面発光素子は、閃亜鉛構造の第1化合物半導体からなる基本層6A内に複数の穴Hを周期的に形成し、穴H内に、閃亜鉛構造であって第2化合物半導体からなる埋め込み層6Bを成長させてなるフォトニック結晶層6と、フォトニック結晶層6に対して光を供給する活性層4と、を備え、穴の側面は、{110}面を有しており、埋め込み層6Bは、穴の側面との界面である少なくとも1つの{110}面から突出した凸部HB1を有している。 (もっと読む)


【課題】波長選択フィルタを介して分岐された光導波路から構成された光合分波器において、損失の低減、および損失の伝送モード依存性の軽減を図ること。
【解決手段】光合分波器は、第1〜3光導波路コア1〜3と、波長選択フィルタ4とによって構成されている。第1光導波路コア1は、波長選択フィルタ4を挟んで第2光導波路コア2と第3光導波路コア3に分岐している。第1光導波路コア1の波長選択フィルタ4におけるコア径は、第2光導波路コア2の波長選択フィルタ4におけるコア径よりも小さい。そのため、光導波路の分岐部分における放射損失が低減されている。 (もっと読む)


【課題】光ピックアップやレーザ加工装置等の光源に適した偏光を有するレーザ光を出射することができる2次元フォトニック結晶面発光レーザ光源を提供する。
【解決手段】活性層と、前記活性層の一方の側に設けた2次元フォトニック結晶43と、2次元フォトニック結晶43の周囲の少なくとも一部に設けた反射部であって、該反射部により光が反射されることにより生じる該光の位相変化が-0.5πよりも大きく0.5πよりも小さくなるように形成された反射部61とを備える。これにより、中心部に強度を持たない環状の断面形状を有し、その中心から外側に向かう方向に偏光した径偏光環状レーザビームが得られる。径偏光環状レーザビームを集光することにより、ビーム径が回折限界値よりも小さいレーザビームを得ることができるため、このビームは光ピックアップやレーザ加工装置等の光源に好適に用いることができる。 (もっと読む)


【課題】高出力化を実現することが可能なレーザー光源装置、レーザー光源装置の製造方法及びプロジェクターを提供する。
【解決手段】レーザー光を射出する第1発光部41R、42Rと第2発光部41G、42Gをそれぞれ有する第1、第2発光素子31、32と、それらそれぞれから射出されたレーザー光の光路上に配置され、入射するレーザー光の一部を第1、第2発光素子に向かう方向とは異なる方向に射出させ、残りのレーザー光を第1、第2発光素子に向かう方向に射出させる第1,第2分離部14,15とを備え、第1、第2発光素子それぞれの第1、第2発光部は、互いに一方の発光部から射出されたレーザー光が他方の発光部に入射するように対応して形成されており、第1発光素子の第1発光部と第2発光素子の第1発光部との間隔を、第1発光素子の第2発光部と第2発光素子の第2発光部との間隔より長くする。 (もっと読む)


【課題】電流狭窄構造を別途設けることなく、容易に作製できる2次元フォトニック結晶面発光レーザおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】2次元フォトニック結晶面発光レーザは、第1および第2半導体層と、前記第1半導体層と、前記第2半導体層とに挟まれ、キャリア注入によって、光を発生する活性層とを備え、前記第1半導体層は、前記活性層側とは反対側に複数の凸部を有し、前記複数の凸部のうちの全部または一部によって2次元フォトニック結晶構造を形成する。 (もっと読む)


【課題】半導体のエッチング工程で精密に制御して形成した孔のサイズを、熱処理工程を施した後においても大きく変動させることなく、半導体の内部に空孔を含む微細構造の形成が可能となる窒化物半導体の微細構造の製造方法を提供する。
【解決手段】窒化物半導体の微細構造の製造方法であって、
窒化物半導体の主面に形成された細孔と、細孔を除く窒化物半導体の主面を覆う熱処理用マスクと、を備えた半導体構造を用意する工程と、
半導体構造を用意する工程の後に、半導体構造を窒素元素を含む雰囲気下で熱処理し、細孔の側壁の少なくとも一部に窒化物半導体の結晶面を形成する第一熱処理工程と、
第一熱処理工程の後に、熱処理用マスクを除去する工程と、
熱処理用マスクを除去する工程の後に、半導体構造を窒素元素を含む雰囲気下で熱処理し、側壁に結晶面が形成された細孔の上部を窒化物半導体で塞ぐ第二熱処理工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】選択横方向成長を用いた場合であっても、結合領域での欠陥を含む選択横方向成長領域上に共振器を構成でき、大型化を抑制することが可能となる2次元フォトニック結晶面発光レーザを提供する。
【解決手段】基板上に、活性層と2次元フォトニック結晶層を備えた2次元フォトニック結晶面発光レーザであって、
前記基板上に設けられたパターンを有する構造体と、
前記構造体をマスクとして、前記基板が露出している面から該構造体を覆うように選択横方向成長によって半導体同士を結合させて形成された半導体層と、を備え、
前記活性層と前記2次元フォトニック結晶層は、前記半導体層上に設けられ、該2次元フォトニック結晶層には、フォトニック結晶欠陥が導入されており、
該フォトニック結晶欠陥によって、前記半導体同士を結合させた領域に発生した結晶欠陥の上部における前記2次元フォトニック結晶層中の共振光の電界強度を弱める構成を備えている。 (もっと読む)


【課題】
光結合効率が高く、高密度実装された小型の光モジュールを提供する。
【解決手段】
光モジュールにおいて、半導体基板11の主表面に対して光を垂直方向に出射する発光素子が光出射領域に集積されたレンズ19と光出射領域を囲むように集積された保持部22とを有することにより、発光素子と発光素子からの光を導波する光ファイバ31との水平垂直方向の位置合わせの簡易性が向上し、光結合効率が高く、高密度実装された小型の光モジュールを提供することができる。 (もっと読む)


【課題】クロストークと戻り光の両方を同時に低減し、2次元アレイ状の配列に適した面発光レーザを提供する。
【解決手段】基板上に、該基板に平行な面内方向に共振モードを有する2次元フォトニック結晶と、光導波層と、該光導波層と該基板との間に光閉じ込めのためのクラッド層と、が積層された積層構造を有する面発光レーザであって、
前記積層構造は、前記基板に平行な方向に、
レーザ発振波長において前記面内方向へ光が伝搬される伝搬モードとして、少なくとも1つの導波モードを有する第1の領域と、
前記レーザ発振波長において基板側に光が放射される基板放射モードを有する第2の領域と、を含み構成されている。 (もっと読む)


【課題】小型であって、かつ、複数のレーザー光同士のコヒーレンスを低減させ、スペックルノイズを抑えたレーザー光源装置及びこれを備えた画像表示装置を提供する。
【解決手段】本発明のレーザー光源装置は、基本波光を出力する光源部分と、前記基本波光を入射して、該基本波光に含まれる所定の波長を選択的に透過する波長選択素子と、を備え、前記波長選択素子は、前記基本波光の入射によって選択波長が変化することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】結晶へのダメージを抑制し、特性を向上する二次元正方格子構造および二次元正方格子構造の製造方法を提供する。
【解決手段】二次元正方格子構造10aは、AlxGa(1-x)N(0<x≦1)よりなる第1の部分11と、第1の部分11を構成する材料の屈折率と異なる屈折率を有する第2の部分12とを備えている。第1の部分11を構成する材料は、1×103cm-2以上1×107cm-2未満の転位密度を有する。 (もっと読む)


【課題】トータルのデバイス長が短い集積型光デバイスを搭載することで小型な光モジュールを実現する。
【解決手段】第1導波路型光素子部と第2導波路型光素子部とを、基板に垂直な方向に集積することで素子長の短い集積型光デバイスを実現する。第1導波路型光素子部と第2導波路型光素子部の光学的な結合には、それぞれに集積形成した45°傾斜全反射ミラーを用いる。即ち、第1導波路型光素子部で生成した光は第1導波路型光素子部の端部に形成された全反射ミラーで上方に折れ曲がり、この光を第2導波路型光素子部の端部に形成された45°傾斜全反射ミラーで全反射して第2導波路型光素子部に結合する。また、第1導波路型光素子部は、基板面に垂直な方向に光を出射する光出射部分に出射光を集束するレンズ素子を有し、第2導波路型光素子部は、基板面に垂直な方向から光が入射する光入射部分に入射光を集光するレンズ素子を有する。 (もっと読む)


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