【課題】この発明は、簡易な構成で、捻り振動以外の不要な屈曲振動成分の除去を図って安定した楕円振動の発生を実現して、摺動特性の向上を図り、モータ効率の向上を実現し得るようにした超音波モータを提供することにある。
【解決手段】棒状弾性体１０の側面に凹部９を積層型圧電素子１１に対応して設け、この凹部９で棒状弾性体１０の捻り振動の励起による捻り振動以外の不要な屈曲振動による変位を低減して、縦振動共振周波数と捻り振動共振周波数との一致を図るように構成したものである。 （もっと読む）

【課題】最近の半導体製造では、装置の更なる薄型化によるコンパクト化とともに、配線パターンの更なる細密化、立体化が進み、プレートの昇降量についても制御可能なプレートチャック装置構造の要求が高まっていた。
【解決手段】ピン昇降機は、回転軸を中心に円周方向に回転する可動体と、該可動体と接続して可動体の回転運動を径方向の直線運動に変換する変換機構と、径方向に沿って傾斜面が形成されるとともに、変換機構に連結して径方向に往復運動するスロープ部と、傾斜面上を摺動または転動する係合部材を有し、該係合部材により鉛直方向にプレートを昇降するピン部を備えた昇降部とを有する。 （もっと読む）

【課題】小型化した場合であっても、被駆動体を安定して駆動することができる駆動装置を提供する。
【解決手段】被駆動体２を駆動する駆動装置１０は、被駆動体２を駆動方向に変位可能に保持する筐体６と、電気的制御により屈曲変位して被駆動体２を変位させる屈曲変位部材５と、筐体６に支持され、かつ屈曲変位部材５の一端を固定端として固定する固定壁６ａと、筐体６に固定され、かつ固定壁６ａと当接している変位規制部材７とを備えている。これにより、固定壁６ａは、変位規制部材７を介して筐体６に保持される。 （もっと読む）

【課題】被駆動部材を効率よく移動させ、低背化を図ること。
【解決手段】駆動装置（２０）は、伸縮方向で互いに対向する一対の端面（４４１ａ，４４１ｂ）を持つ電気機械変換素子（４４１）と、この電気機械変換素子の一対の端面の一方（４４１ｂ）に取り付けられた振動摩擦部（４４３）と、この振動摩擦部と摩擦結合される被駆動部材（４２３）と、振動摩擦部と被駆動部材との間に摩擦力を発生させる摩擦力付加手段（４２４）とを備え、電気機械変換素子の伸縮方向に被駆動部材が移動可能である。振動摩擦部（４４３）は、伸縮方向と直交する方向に第１の端面（４４３１）としての摩擦面を持つ。被駆動部材は、振動摩擦部の摩擦面と摺接する棒状の移動軸（４２３）を含む。摩擦力付加手段（４２４）は、振動摩擦部（４４３）以外の部材（４２２）に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】駆動中の異音の発生を防止することができる、送り装置を提供することを課題とする。
【解決手段】送り装置４１は、超音波振動子５１を有する出力部４５と、出力部を被駆動部に対して当接・離隔するようにスライド自在に支持するガイド機構４９と、出力部に対して被駆動部４２に向けた予圧を付与する予圧付与機構４７とを備える。予圧付与機構は、コイルばね５７と、シート部材６１とを有する。シート部材は、コイルばねの巻軸回りに湾曲してコイルばねを外側から覆っており、且つ、コイルばねを構成する巻線材の間を架橋している。シート部材と巻線材との間には接合材が介在されている。シート部材は、ポリイミドテープであり、接合材は、前記ポリイミドテープの表面に設けられている粘着層である。 （もっと読む）

【課題】安価なコストで、良好な駆動性能を達成可能な振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明の振動アクチュエータ（１０）は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子により振動波を生じる振動体（１１）と、前記振動体（１１）と加圧接触する接触面（３２ａ）を有し、前記振動波によって前記接触面（３２ａ）が駆動されることにより前記振動体（１１）に対して相対移動する相対移動部材（１５）と、を備える振動アクチュエータ（１０）であって、前記相対移動部材（１５）は、樹脂で形成された第１の部材（３１）及び前記第１の部材（３１）より剛性の高い第２の部材（３０）を含み、前記接触面（３２ａ）と前記接触面（３２ａ）以外の少なくとも１面とを含む部分が、前記第１の部材（３１）で形成されていること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エンコーダなどのセンサを用いることなく、移動体の回転位置や回転速度の検出が可能なセルフセンシング方式の超音波モータにおいて、駆動性能の低下を抑える。
【解決手段】振動体（ステータ）は圧電素子１２ａの振動によって移動体（ロータ）を駆動し、その移動体に形成した溝を振動体の接触部が通過する際の検出電極ＩＳからの出力変化で移動体の回転位置を検出するにあたって、振幅検出部２８は検出電極ＩＳからの出力振幅を検出し、偏差算出部２９が、理想振幅値（最適駆動の振幅値）との偏差を演算し、その演算結果に応じて制御部２４が駆動電圧発生部２５の発振周波数を変化させる。したがって、溝の無い通常域の通過時には通常の共振周波数で振動させ、溝の有る検出域の通過時には振動周波数を低下させて共振周波数にマッチさせ、駆動性能（トルク）の低下を抑えることができる。回転位置は、位置検出部３０が、駆動周波数の変化から検出する。 （もっと読む）

【課題】簡便な予圧機構を小スペースに設けることが可能であり、駆動部材と被駆動体との間で作用する摩擦力、および被駆動体の駆動速度が安定した駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置は、一端部が筐体に固定されており、電気的制御により屈曲変位が生じる電気機械変換素子と、一端部が上記電気機械変換素子に連結されており、他端部が被駆動体と摩擦接触している摩擦部材と、一端部が上記被駆動体に保持されるとともに他端部が上記筐体に保持されており、上記被駆動体を上記摩擦部材と摩擦接触する方向へ付勢する予圧部材とを備えている。これにより、駆動装置の構造をより簡単に、かつ機能をより安定させることができる。例えば、本発明に係る駆動装置をカメラ等の撮像装置のレンズ駆動に用いた場合には、より小型化された、駆動速度がより均一で、かつピント調整の精度がより優れた製品を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】モータ起動時から加速初期の速度追従性を向上させることができる振動型モータの駆動制御装置を提供する。
【解決手段】ＣＰＵ３０１は、振動型モータ３１０を目標速度にするための速度指令値を、関数演算値に基づき逐次変化させて生成する速度指令値生成部４０１と、振動型モータ３１０の実速度を検出する速度検出部４０３とを備える。また、速度指令値生成部４０１で生成される速度指令値と速度検出部４０３で検出される実速度とを逐次比較し、両者の差分に対し比例、積分演算を行う比較演算部４０２を備える。 （もっと読む）

【課題】平行配置された２つの圧電素子に接続された梁状本体部に形成された柱状突起の先端に楕円運動を生起させることで駆動対象に送りを掛けるようにした圧電アクチュエータの動作効率を向上させる。
【解決手段】第１，第２の圧電素子ＰＺＴ１，ＰＺＴ２の先端に固着された梁状本体部５の中央から左右に等しい間隔をおいて同一形状同一寸法の２つの柱状突起６，７を設けると共に、梁状本体部５の中央部には柱状突起６，７と逆方向に向けて突出する中央支持体８を設け、第１，第２の圧電素子ＰＺＴ１，ＰＺＴ２および中央支持体８の基部をベースプレート１１に固着し、何れかの圧電素子を正弦波または三角波からなる高速送り用駆動信号で駆動することにより、柱状突起６，７の先端に位相の異なる楕円運動を生起させ、圧電素子の１振動周期の内に柱状突起６，７を利用して２回の送り動作をかける。 （もっと読む）

【課題】振動アクチュエータの組立性を向上させる。
【解決手段】振動アクチュエータ１００は、ロータ１６０、ステータ１２０、及び電気機械変換部１３０に挿通され、ベース部１５０と螺合しており、ベース部１５０と共にステータ１２０及び電気機械変換部１３０を締付ける締付部１１６と、ステータ１２０からロータ１６０の側へ延びる外延部１１２とが設けられた軸部材１１０と、外延部１１２が挿通されると共にステータ１２０に接するように配され、外延部１１２と螺合し、ステータ１２０から振動を付与される振動体２１０とを備え、軸部材１１０とベース部１５０との螺合部と、外延部１１２と振動体２１０との螺合部とが互いに逆ネジの関係にあることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】単一の部材からなり、構造が単純であり、溝部等が不要であり、縦振動とねじれ振動を容易に励起することができ、該縦振動と該ねじれ振動を合成することにより楕円振動を形成し、該楕円振動によりロータを回転させる超音波モータを提供することである。
【解決手段】超音波モータ１０は、中心軸に垂直な断面が矩形状の長さ比率を有する振動子である圧電素子１１と、該圧電素子１１の楕円振動発生面に接して振動子の該楕円振動発生面と直交する中心軸を回転軸として回転駆動されるロータ１６と、を少なくとも備えている。そして、上記圧電素子１１の回転軸方向に伸縮する縦１次共振振動と、上記回転軸をねじれ軸とするねじれ２次共振振動とを合成することにより、上記楕円振動を形成する。 （もっと読む）

【課題】出力トルクを効率よく向上させることができる振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】振動アクチュエータ１００は、軸部材１１０と、軸部材１１０の軸線Ｌ周りに回転自在な一対のロータ１６０、１６１と、一対のロータ１６０、１６１の間に、一対のロータ１６０、１６１のそれぞれに接して配された一対のステータ１２０、１２１と、一対のステータ１２０、１２１の間に配され、一対のステータ１２０、１２１のそれぞれに対して軸線Ｌの周りに遷移する振動を付与する一対の電気機械変換部１３０、１３１と、一対の電気機械変換部１３０、１３１の間に配され、ステータ１２０、１２１の両方に結合してステータ１２０、１２１のそれぞれとの間で対応する電気機械変換部１３０、１３１を保持する保持部材１７０とを備え、ステータ１２０、１２１と保持部材１７０とは、電気機械変換部１３０、１３１よりも保持部材１７０側で結合されている。 （もっと読む）

【課題】駆動性能が良好な振動アクチュエータ、振動アクチュエータの製造方法、レンズ鏡筒及びカメラを提供する。
【解決手段】振動アクチュエータ（１０）は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子（１３）と、電気機械変換素子（１３）の励振によって振動波を生じる弾性体（１２）と、導電性を有する熱可塑性樹脂により形成され、電気機械変換素子（１３）と弾性体（１２）とを接合する樹脂層（２４）と、弾性体（１２）と加圧接触され、振動波によって弾性体（１２）に対して相対移動する相対移動部材（１５）とを備えるものとした。 （もっと読む）

【課題】実際の製品として利用可能な形態で超音波振動子から被駆動部材への押圧力を直接的に高精度で測定することができ、製品に組み込まれた後であっても容易に押圧力を再設定できる超音波モータ及び超音波モータの押圧力検出方法を提供すること。
【解決手段】内部電極23a,23b,25a,25b,27a,27bが設けられた圧電シートが複数枚積層されて構成された圧電振動子３に縦振動と屈曲振動とを同時に発生させて楕円振動を発生させて駆動力を得る超音波モータに、前記圧電振動子3の出力端を被駆動部材7に押し付ける押圧手段5と、前記押圧手段5による押圧力を検出する押圧力検出手段と、を具備させる。前記押圧力検出手段は、前記内部電極23a,23b,25a,25b,27a,27bと、前記内部電極23a,23b,25a,25b,27a,27bにおいて圧電効果によって生じた電気信号に所定のフィルタ処理を施す積分器101と、を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子によって制御される作動片の重量を極力掛けないようにして変位可能な圧電素子への負荷を減らすこと。
【解決手段】箱体内に、プランジャと、このプランジャの先端部が箱体の開口から突出するように該プランジャを常時付勢するバネ部材と、電圧信号を機械的な変位に変換する圧電素子と、この圧電素子に接続され、かつ該圧電素子の制御によって前記プランジャに係脱する作動片をそれぞれ組み込んだ圧電アクチュエーターであって、作動片は、前記箱体の底壁の内面を水平方向にスライドして前記プランジャに係脱し、また、圧電素子は、第１圧電素子と該第１圧電素子の一端部にその一端部が結合すると共に、自由端部側から外拡変位可能な第２圧電素子を有し、第１圧電素子の基端部は箱体側に支持され、一方、第２圧電素子片の自由端部に前記作動片が係合していることを特徴とする圧電アクチュエーター。 （もっと読む）

【課題】温度変化及び負荷変化等が生じた場合であっても最適な駆動周波数で駆動可能であり、且つ単純な構造でコストダウン及び小型化可能な超音波モータを提供すること。
【解決手段】棒状弾性体11の側面において対向して配置された２個の積層型圧電素子13の伸縮振動を利用して棒状弾性体11に縦振動と捻じれ振動とを同時に励起して棒状弾性体11の端面に設けられた摩擦子15に楕円運動を励起させてロータを回転させる超音波モータ1における前記積層型圧電素子13を、第１圧電板31と第２圧電板32とを交互に積層して構成する。ここで、前記第１圧電板31は、複数個に分割され且つ各々の分割領域が当該圧電板31の周縁部へ露出している第１内部電極A+,B+を備え、前記第２圧電板32は、前記第１内部電極A+,B+とは逆の極性の内部電極であって複数個に分割され且つ各々の分割領域が当該圧電板の周縁部へ露出している内部電極A-,B-を備える。 （もっと読む）

【課題】ロータとステータとの固着を抑止できる振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、及び、光学機器を提供すること。
【解決手段】振動アクチュエータ（１０）を、円環状に形成されるステータ（１１）と、前記ステータに接触する円環状の接触面を有し、前記ステータの振動に応じて回転するロータ（１５）と、前記ステータと前記ロータとを前記接触面に交差する方向から加圧する加圧部（１９）とを備える構成とし、前記ロータを、円環状に形成された本体部（３０）と、前記接触面を有する接触部（３１）と、前記本体部から前記接触面と略平行な方向へ延在して設けられ、前記本体部と前記接触部とを接続する接続部（３２）とを有する構成とし、前記加圧部による加圧状態において、回転軸（１８）と直交する面と前記接続部が延在する方向とがなす角度（Ａ１）を、前記回転軸と直交する面と前記接触部の接触面とがなす角度（Ａ２）よりも大きくした。 （もっと読む）

【課題】出力を効率よく高めることができると共に、被駆動部の設計の自由度を広げることができる振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】振動アクチュエータ１００は、回転軸周りに回転するロータ１４０と、ロータ１４０と同軸に配されてロータ１４０が回転軸周りに摺動可能に挿通された筒型の振れ回り部材１２０と、振れ回り部材１２０を振れ回り運動させる駆動部１３０と、を備え、ロータの回転軸周りに摺動可能に嵌り合う円環状且つ無端状の凸部１５２及び凹部１５４をそれぞれ、ロータ１４０の外周部１４３と振れ回り部材１２０の内周部１２１に備える。 （もっと読む）

【課題】凸部と凹部との嵌り合いにより、ロータが挿抜不能に組付けされる振れ回り部を、一体で成形できる振動アクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】ロータ１４０を準備するロータ準備工程と、ロータ１４０の外周部１４３における振れ回り部１２０から覆われる領域を覆う犠牲層２０２を形成する犠牲層形成工程と、犠牲層２０２を覆う振れ回り部１２０を一体で形成する振れ回り部形成工程と、犠牲層２０２をロータ１４０と振れ回り部１２０との間から除去する犠牲層除去工程とを実施する。 （もっと読む）