【課題】薄物のワークの局所変形を抑制しつつ、ワークを取り出す際の撓みを許容できる真空吸着装置の提供。
【解決手段】吸着面１０ａを有する多孔質体１０と、吸着面１０ａの周囲を気密に閉塞して多孔質体１０を保持するホルダ２０と、吸着面１０ａから吸引を行う吸引装置３０と、ホルダ２０を支持し、吸着面１０ａの水平面に対する傾きを変位自在とするベローズ管４０と、を有する真空吸着装置１を採用する。 （もっと読む）

【課題】ワークの変形を抑制してワークを安定して保持することが可能なワーク保持装置を提供する。
【解決手段】シート状のワークＷを保持するワーク保持装置１であって、ワークＷの一端を固定する固定手段１０と、ワークＷの一端を除いた端部に配置されるとともに、ワークＷの面に平行かつワークＷに対して外向きの張力を発生させる張力発生手段２０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】面状部材を安定且つ位置ずれの少ない状態で非接触吸着して面状部材へのストレスを低減できると共に簡易な構成で安価に実現できる非接触吸着装置を提供する。
【解決手段】基体１から噴出する流体による負圧により面状部材４を非接触吸着する非接触吸着装置であって、基体１の一側は凹部５が設けられ、凹部５には前記流体を噴出する第一流体噴出部６が設けられ、凹部５の周囲には面状部材４を非接触吸着する非接触吸着部２が設けられ、凹部５内にして第一流体噴出部６にはガイド体７が対設され、第一流体噴出部６から噴出した流体が前記ガイド体７により外方向に案内され、非接触吸着部２を通過することで生ずる負圧により面状部材４が非接触吸着部２に非接触吸着されるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】反りがある半導体ウエハに対して、安定して吸着することができ、かつ、半導体ウエハを平らに矯正することができる真空ピンセット。
【解決手段】本体２と、本体２の端部に設けられた支持部３と、一端が支持部３に接続され、他端に吸着部５を備えた複数の先端部材４と、を少なくとも備え、先端部材４と支持部３と本体部２の内部に吸引流路１０ａ〜１０ｃが設けられた、反りを有する平板状の被処理体用Ｗの真空ピンセット１Ａであって、複数の先端部材４は、反りの形状に合わせるように、及び、反りを矯正するように、支持部３に対して可動であることを特徴とする真空ピンセット１Ａ。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の静電破壊の低減化を図る。
【解決手段】吸着パッド１２における支持部１２ｃの肉厚が吸着部１２ａの肉厚より薄く、かつ支持部１２ｃが屈曲可能に形成されていることにより、吸着パッド１２によってＩＣ１３を真空吸着した際に、支持部１２ｃが屈曲することで、ＩＣ１３と接触する吸着部１２ａの滑りを抑えてＩＣ１３の表面と吸着部１２ａとの間で起こる摩擦を低減することができ、ＩＣ１３の表面での帯電を少なくすることができる。その結果、ＩＣ１３の静電気放電による破壊を低減できる。 （もっと読む）

【課題】板状体の大きさや形状に簡単に対応させることができ、しかも、スルーホールを有する板状体であっても確実に吸着させる。
【解決手段】板状体４を吸着させてピックアップするピックアップ装置を構成する際、表面に複数の吸着口２４を有する第一の吸着ユニット２１と、第一の吸着ユニット２１の左右に設けられ、表面に複数の吸着口２４を有する複数の第二の吸着ユニット２２と、第二の吸着ユニット２２をスライドレール３１に沿って離間させるためのリードスクリュー３２を備えるようにする。そして、リードスクリュー３２のネジ山を、第一の吸着ユニット２１に対してそれぞれ逆方向に設定し、リードスクリュー３２をモーター３３で回転させることによって、第二の吸着ユニット２２を同時に離間させる。 （もっと読む）

【課題】反りがある半導体ウエハに対して、安定して吸着することができる真空ピンセット。
【解決手段】長尺状の本体２と、この本体２の端部に設けられ、複数の吸着面４〜６を有する吸着部３と、吸着面４〜６毎に少なくとも一つ設けられ、被処理体を吸着する吸着孔７と、を備え、少なくとも一つの吸着面は、一辺に屈曲部１１を有し、被処理体に対して吸着孔７が接近又は離間するように、屈曲部１１を中心に回動可能に構成されていることを特徴とする真空ピンセット１を提供する。 （もっと読む）

【課題】反りがある半導体ウエハに対して、安定して吸着することができる真空ピンセット。
【解決手段】長尺状の本体２と、本体２の端部に設けられ、平坦部を有する先端部３と、先端部３の平坦部３ａに設けられた複数の突部４と、を備え、突部４のうち少なくとも１つが、可撓性を有する材料からなる吸着部４であることを特徴とする真空ピンセット１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 照明装置を追加することなく、アライメント用カメラでワーク端部を明瞭に観察できるワーク端部検出機構及び該ワーク端部検出機構を利用したワーク搬送機構を提供する。
【解決手段】 一方の端部に開口部を有し、他方の端部に閉塞部材を有する筒状の胴部材からなるワーク端部検出機構であって、前記閉塞部材の下面側に、前記開口部から入射した光を反射するための光反射手段が設けられており、かつ、前記胴部材の開口部側の内径（φ１）よりも、前記閉塞部材側の内径（φ２）の方が大きいことを特徴とするワーク端部検出機構。前記胴部材の内部に空気吸引口を穿設し、胴部材の上部に真空吸着ヘッドを配設することによりワーク端部検出と共に真空吸着によるワーク搬送も可能になる。 （もっと読む）

【課題】 様々な大きさのワークに適応可能な保持具を、低コストで提供することである。
【解決手段】 ベルヌーイの原理を利用して本体に設けた保持面１ａにワークＷを保持する保持具を前提とし、上記保持面１ａの外形より突出する風よけ部材８を備え、この風よけ部材８の全部あるいは一部が、保持面１ａに保持されたワークＷと対向する位置関係を保つ構成にし、ワークＷを保持搬送する際に、ワークＷが脱落する方向ｘ２の風圧を風よけ部材８がさえぎるようにした。 （もっと読む）