【課題】吸着パッドなどの機能部品に対する真空源の構成や配管の取り回しを簡素化することのできる真空源ユニットを提供する。
【解決手段】空気を噴出させる噴気部８が先端部に形成されるとともに後端部に供給ポート１１が形成されたノズル体４と、噴気部８の外周側に所定の隙間を空けた状態でノズル体４と一体化され、その噴気部８の外周側から先端側に至る箇所にディフューザ部が形成されたスリーブ体５と、負圧が生じる部分からスリーブ体５の外周面に延びてその外周面に開口するようにスリーブ体５に形成された第一連通孔１８と、スリーブ体５を気密状態に挿入する取付孔２１が貫通して形成された本体部３と、その本体部３の外表面部に形成された複数の接続用ポート２２と、それらの接続用ポート２２と取付孔２１に挿入されているスリーブ体５における第一連通孔１８とを繋ぐ第二連通孔２２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】自重で撓んだ状態の基板を破損させずに基板収容容器から取り出すことができる基板搬送アームを提供する。
【解決手段】基板搬送アーム１は、基板収容容器内に水平に置かれた基板の下側に挿入されて、この基板の裏面を支持しつつ基板を前記収容容器から搬出する。基板搬送アーム１は、基板が搬出されるときに基板の裏面を支持する載置面１２ｓを有する載置部と、当該基板搬送アーム１が基板の下側に挿入されるときに、基板の裏面を少なくとも載置面１２ｓの高さにまで押し上げる押上部１２ｒとを備える。 （もっと読む）

【課題】エア源を使用することなく、部品を組み付けることが可能な部品組み付け装置及び機械部品の製造方法を提供する。
【解決手段】第１のアーム１２ａの先端部に第１のハンド５１ａを有し、第１のハンド５１ａを用いて第１の部品を保持する第１のロボット１１ａと、第２のアーム１２ｂの先端部に第２のハンド５１ｂを有し、第２のハンド５１ｂを用いて第１の部品に組み付けられる第２の部品を保持する第２のロボット１１ｂと、を備え、第１のハンド５１ｂは、第１の部品又は第２の部品を上方から押さえる押さえ部材７４を有し、第２のハンド５１ｂは、第２の部品に形成された孔に挿入され、第２の部品を保持する支持ピン５５、５６を有する。 （もっと読む）

【課題】
ワークを固定し、搬送する真空吸着装置などの吸着面に使用し、安価でワークに皺や吸着跡が残らず、また吸着汚れを発生させることのない不織布製吸着プレートを提供する。
【解決手段】
低融点繊維９０〜１００重量％と、低融点繊維よりも融点が７０℃以上高い繊維が１０〜０重量％からなる目付５０〜２００ｇ／ｍ²、嵩密度０．６０〜１．２０ｇ／ｃｍ³の熱接着タイプの不織布Ａを吸着面とし、低融点繊維２０〜９０重量％、低融点繊維よりも融点が７０℃以上高い繊維８０〜１０重量％からなる熱接着された目付３００〜８００ｇ／ｍ²で嵩密度０．１０〜０．５０ｇ／ｃｍ³の熱接着タイプの不織布Ｂを真空吸引側として、上記両不織布Ａ，Ｂを積層し、外周を熱プレスにて融着して吸着プレート１を形成すると共に、非融着部の通気量を５０〜１５０ｃｃ／ｃｍ²／ｓｅｃ、融着部の通気量をが５ｃｃ／ｃｍ²／ｓｅｃ以下とした。 （もっと読む）

【課題】アームの制御性低下を効果的に抑制するとともに、吸着ＯＮ・ＯＦＦ状態の切替応答性が向上するリンク式ロボットアーム装置を提供する。
【解決手段】アームの先端側に配置され且つ吸着用エア供給口Ｃ３を有するエンドエフェクタＣによって搬送対象物を吸着保持可能なリンク式ロボットアーム装置Ｘとして、アーム１の内部に設けたエア管４を介して吸着用エア供給口Ｃ３に接続され、吸着用エア供給口Ｃ３に吸着用エアを供給可能な状態と、吸着用エア供給口Ｃ３への吸着用エア供給を停止する状態との間で切替可能な吸着切替ユニット３を備え、この吸着切替ユニット３を、アーム１のうちアーム長１Ｌの半分１Ｃよりもシータ軸Ｊ３に近い位置に設けた。 （もっと読む）

【課題】ワークへの塵埃の付着を低減し吸着パッドから容易にワークを開放させる技術を提供する。
【解決手段】 吸着機構と押圧機構とを支持する支持部と、吸着機構に設けられ、ワークに当接するパッドと、吸引装置と接続されると共にパッドに設けられ吸引装置によりパッド内のエアを吸引させパッドにワークを吸着させる吸着用吸引路と、押圧機構に設けられ支持部に取り付けられたシリンダの内壁面に沿って摺動可能でありパッドに吸着されたワークを押圧しパッドからワークを取り外すピストンと、ピストンと支持部の間に設けられ弾性力によりピストンを押圧しパッドに吸着されたワークをピストンに押圧させる弾性体と、支持部に設けられると共に吸引装置と接続され吸引装置により弾性力に抗してピストンを吸引して弾性体を収縮させピストン先端をパッドに吸着されたワークから離間させる離間用吸引路とを備えた。 （もっと読む）

【課題】凸部が設けられた半導体ウエハ等の板状部材を支持して搬送する際に、当該支持の安定化を図ることができ、凸部に接触する接触面を当該凸部から簡単に切り離すことができるようにすること。
【解決手段】凸部Ｗ１が設けられた半導体ウエハＷの支持装置１２であり、当該装置は、凸部Ｗ１の先端に接触可能な接触体２６と、半導体ウエハＷに吸引力を付与する吸引手段３０とを含む。接触体２６は、接触面２６Ａ側に貫通する吸引口４０を備えた自粘性を有する材料によって構成されている。接触体２６を無負荷状態で断面視したときに、接触面２６Ａは、吸引口４０に向かって先細となる形状をなす。接触面２６Ａは、半導体ウエハＷを支持したときに、凸部Ｗ１の先端面形状に合わせて変形可能に設けられる。 （もっと読む）

【課題】弾性材料からなる吸着パッドにおける吸引口の位置精度を高め得る吸着装置および搬送装置を提供する。
【解決手段】吸着装置２０には、金属製のホルダ３０と、炭素を含む導電性のゴム等の弾性材料からなる４つの吸着パッド４０ａ〜４０ｄと、各吸着パッド４０ａ〜４０ｄを対応する吸引部３３ａ〜３３ｄに対して押圧した状態でホルダ３０に固定される金属製の固定治具５０とが設けられており、この固定治具５０には、各吸着パッド４０ａ〜４０ｄの吸引口４４が露出する開口が形成されている。 （もっと読む）

【課題】シートの特性によらずに広く適用でき、シートの重搬送を抑制することができるシート取出装置の提供。
【解決手段】シートＳを重ねて複数枚収容する収容部２からシートＳを取り出すシート取出装置１であって、収容部２には、シートＳが、その直下のシートＳに支持される支持部ｓ１と、その直下のシートＳに支持されない非支持部ｓ２とを有するようにして重ねて収容されており、少なくとも非支持部ｓ２を保持して上記取り出しを行うハンド装置３を有するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】半導体素子を基板に接合する際に、必要な低酸素濃度の環境を効率よく形成して、好適に接合を行うことを可能にする半導体保持装置及びこれを備えた半導体接合装置を提供する。
【解決手段】半導体素子１を保持する保持部３と、この保持部３の周囲に設けられるとともに下方に向かうに従い漸次保持部３の内側に傾斜する傾斜面４ａを有するフード４と、このフード４の保持部３の内側を向く傾斜面４ａに向けて不活性ガス５を吹き出す吹き出し孔６とを備えて半導体保持装置Ｂを形成する。 （もっと読む）