【課題】幅広い範囲の流量領域において、高い精度で判定を行う。
【解決手段】発熱素子および発熱素子の両側に設けられる一対の温度検出素子を有する流量センサの出力を用いて空気の流量を算出する流量算出部１３１と、流量センサの出力を増幅することで、空気の流量に対する出力電圧の変化の度合いを拡大させる増幅部１３２と、増幅部１３２による増幅率を変更する増幅率変更回路と、増幅部１３２の基準電圧をシフトすることで、空気の流量に対する出力電圧により表される出力特性をシフトさせる出力シフト回路と、増幅率変更回路をオン／オフする第１のスイッチと、出力シフト回路をオン／オフする第２のスイッチと、外部からの信号に応じて第１のスイッチおよび第２のスイッチのオン／オフをそれぞれ制御するスイッチ制御部１３３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークの種類に関わらずワークを精度よく搬送可能なワーク搬送方法およびワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】同心円周上に所定ピッチで複数個の貫通孔が形成さえた、保持面から僅かに突出したパッド７７を先端のＵ形の保持アーム３４に、さらに所定ピッチで複数個有し、当該パッド７７から保護シートに向けて圧縮空気を吹き付けて保持アーム３４の保持面と保護シートとの間に負圧を発生させて保護シートを浮遊させた状態で懸垂保持し、あるいは当該パッド７７で表面の回路の露出したウエハの裏面を吸着保持してそれぞれを搬送する。 （もっと読む）

【課題】イオンエアを基板主面全体に拡散させることにより、異物の除去や除電を確実にかつ均一に行うことができる配線基板の非接触搬送装置を提供すること。
【解決手段】本発明の非接触搬送装置は吸引部を備える。吸引部は、吸引面に凹部７３が設けられるとともに、凹部７３の内周面にて開口する６個のエア吹出穴８１が設けられる。また、凹部７３の中心部には、基板主面１２０に向けてイオンエアを吹き付けるためのイオンエア吹出穴８２が設けられる。各エア吹出穴８１は、仮想円Ｃ２上においてイオンエア吹出穴８２を取り囲むように設けられ、中心軸Ｃ１を基準として等角度間隔で配置されるとともに、仮想円Ｃ２の接線Ｌ１に対して同じ角度θ１だけ傾斜した状態で開口する。 （もっと読む）

【課題】 従来、工場等の製造現場で、品物、ワークの物を、確実、かつ安定的に挾持、搬送できる機具として、万能チャックがある。万能チャックは、大小の物を、挾持、搬送する手段として活用されている。しかし、異形、歪等の如く、特殊な形状の物を、挾持、搬送する手段として、希望する器具がないのが現況である。
【解決手段】 作業機械のアームに取付ける本体に、対で枢支した第一アームと、第一アームを駆動するモータと、第二アームとを駆動するモータと、第三アームを駆動するモータと、垂下杆と、垂下杆の先端に設けた挾持具で構成した万能チャックで、第一〜第三アームを、本体と、第一アーム、第二アームに移動可能に構成し、第一〜第三アームの移動を、本体と、第一アーム、第二アームに設けたモータと、モータの駆動で回転する移動機構とする万能チャックである。 （もっと読む）

【課題】多孔質体の塑性変形を抑制することのできる吸着装置を提供する。
【解決手段】吸着装置１は、吸着面２ａに接着層を介して貼着された、樹脂からなる多孔質体３と、吸着面２ａよりも当該吸着面２ａが面する方向に突出するストッパー４と、を備えている。ストッパー４の吸着面２ａからの高さは、接着層および多孔質体３で規定される厚さと対象物５の厚さの合計以下、接着層および多孔質体３で規定される厚さの７０％以上である。この構成によれば、多孔質体３の変形がストッパー４によって規制されるため、多孔質体３にかかる圧力を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】吸盤を用いてワークを把持する吸着パッドを用いて把持を行う際に、吸着力の不足により把持が不完全な状態になることや把持ができても移動する際に落下することを防止する。
【解決手段】ワークを把持する吸着パットであって、ワークの一方向に位置する固定部材１１と、固定部材１１のワークに対向する面に密着して取り付けられた中央に減圧空間１７を有する形状自在パッド１２と、減圧空間１７内の圧力を所定負圧に減圧しかつ大気圧に戻すことができる減圧装置と、を備える。さらに、形状自在パッド１２は、ワークの固定部材１１に対向する面に対して押し付ける押付力によりワークの表面形状をならうようになっている。 （もっと読む）

【課題】ワークにそりや局部的な変形を発生させない吸着装置を提供する。
【解決手段】ワーク５を吸着する吸着装置２０であって、吸着板２１と、吸着板２１に設けられワーク５の外形に沿って額縁状に形成された多孔質の多孔質吸着部２２と、多孔質吸着部２２に連通された負圧発生部２５と、を備えている。このため、ワーク５を吸着する部分がワーク５の外形付近であり、吸着する面積が広いためワーク５にそりや局部的な変形を与えることなく吸着ができる。そして、ワーク５に不要な応力をかかることがなく、ワーク５の割れを防止できる。 （もっと読む）

【課題】構造が簡易で、回転板の微小変位に対応可能な、回転板位置調整装置及び方法を提供する。
【解決手段】吸着搬送装置５１と認識カメラ７と制御装置１０とを備えた回転板位置調整装置５０において、上記吸着搬送装置に備わり回転板２の吸着動作を行う吸着ヘッド１は、ヘッド本体１０１と、上記回転板を吸着する金属製の吸着パッド１０２と、上記ヘッド本体と上記吸着パッドとを接合し、かつ上記回転板の姿勢に上記吸着パッドが倣うように変形する接着部１０３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】被搬送物Ｗの搬送中に、ロボットハンド９による被搬送物Ｗの保持状態を安定させて、被搬送物Ｗの搬送作業の煩雑化を十分に抑えること。
【解決手段】ハンド本体１１に複数の吸着パッド１９が設けられ、ハンド本体１１に複数のロッド状の支持脚２１が吸着パッド１９の軸心方向に平行な方向へ移動可能に設けられ、各支持脚２１は先端側に被搬送物Ｗの表面に接触可能な接触部２１ｆを有し、各支持脚２１は、ハンド本体１１を被搬送物Ｗに対して接近させると、コイルバネ２９の付勢力に抗して基端方向へ移動するように構成されていること。 （もっと読む）

【課題】負圧源の能力を必要以上に大きくすることなく、かつ、段取り工程を設けることなく、大きさの異なるワークを吸着して保持することができるワーク保持装置を提供する。
【解決手段】ワーク保持装置は、内部に中空部３３ｂが形成された箱状で、ワークＷとの当接面３３ｓと中空部３３ｂと連通する複数の貫通穴５０を有する。各貫通穴５０の軸方向の中間に、直径が貫通穴５０の直径よりも大径の洞部５１を設け、洞部５１に洞部５１の直径よりも小径かつ貫通穴５０の直径よりも大径のボール５２を配置する。 （もっと読む）