【課題】搬送機構及び反転機構が各々独立したチャンバーに設けられているため、チャンバーの数が複数必要となり、設置面積が大きくなる。
【解決手段】、基板搬送装置１は、基板９０を搬送方向へ移動させる搬送機構２と、基板９０の上下を反転させる反転機構３と、を具備し、搬送機構２は、基板９０を搬送方向へ摺動させる搬送アーム１４を備え、反転機構３は、基板９０を反転させる際に上方向から抑える上部チャック３４と、基板９０を反転させる際に下方向から支持する下部チャック３５と、上部チャック３４及び下部チャック３５を上下方向に回動可能に軸支する回動軸３２とを備え、搬送機構２及び反転機構３は一つの支持台５に固定支持される。搬送機構２及び反転機構３が同一チャンバー内に設けられることにより必要なチャンバーの数を少なくし、配置するための面積を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】板材の受け渡しの際に、板材が滑ることのない板材の搬送システムを提供する。
【解決手段】第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板材１０１が受け渡される前においては、第１送出装置１０は搬送部２０と加圧部４０の流体１０４とによって板材１０１を挟むように保持しながら搬送するとともに、第２送出装置１１の搬送部２０は板材１０１と接触しないようにし、第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板材１０１が受け渡された後においては、第２送出装置１１は搬送部２０と加圧部４０の流体１０４とによって板材１０１を挟むように保持しながら搬送するとともに、第１送出装置１０の搬送部２０は板材１０１と接触しないように構成されている。 （もっと読む）

【課題】エネルギー線照射システムにおいて、異なる寸法のワークに効率的にエネルギー線を照射できるコンパクトで低コストの搬送機構を実現する。
【解決手段】異なる寸法のワークＷ１、Ｗ２がそれぞれ搭載される第１、第２ワークホルダ３１ａ、３２ａと、各々のワークホルダを各々のワーク授受領域とエネルギー線照射領域ＡＲ１との間で進退移動させる進退機構３３と、互いに異なる位置に設けられた第１及び第２ワーク収容部２１ａ、２２ａと、第１のワーク授受領域にある第１ワークホルダ３１ａと第１ワーク収容部２１ａとの間でワークＷ１を搬送する第１搬送アームと、第２のワーク授受領域にある第２ワークホルダ３２ａと第２ワーク収容部２２ａとの間でワークを搬送する第２搬送アームとを設けた。 （もっと読む）

【課題】作業効率の高い姿勢変換（方向変換）を行うことができる姿勢変換装置、および姿勢変換装置を適用した梱包方法を提供する。
【解決手段】姿勢変換装置１は、太陽電池モジュール３０を水平方向に載置させる載置台１０と、載置台１０の裏面に配置され載置台１０を支持する支持台１５と、載置台１０と支持台１５とを連結し、支持台１５に対して載置台１０を水平方向から垂直方向へ回転させる回転機構部１６とを備える。回転機構部１６は、水平方向に回転中心を有する回転軸１７と、支持台１５に形成されて回転軸１７を支持する第１軸受け１８と、載置台１０の裏面（載置面１１の反対側の面）に形成されて回転軸１７を支持する第２軸受け１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な機構で、ラックギヤとピニオンギヤとを円滑に噛み合わせることができる搬送装置、及びこれを備えた真空処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置は、基板３を搭載して搬送軌道９上を移動するキャリア２０に設けられたラックギヤ７と、ラックギヤ７に噛合する複数のピニオンギヤ５ａ，５ｂとを備え、ラックギヤ７は、ピニオンギヤ５ａがラックギヤ７の一端で歯合するときに、ピニオンギヤ５ｂと歯合する箇所のラックギヤ７が高くなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送にともなう浮上環境の変化に速やかに応答し、基板を一定の浮上高さで搬送することができる浮上搬送装置を提供する。
【解決手段】噴出口１１と吸引口１２とが基板Ｗの搬送される方向に複数個ずつ配列された表面を有する浮上ステージ１０と、吸引力供給手段３０と、吸引力供給手段３０と連通する主配管１３と、主配管１３と連通し、それぞれの吸引口１２と連通する分岐配管１５と、主配管１３の途中に設けられた差圧ダンパ２０と、を備える浮上搬送装置であり、差圧ダンパ２０は、主配管１３内と外気とを連通する経路であるマニホールド２１および当該経路を遮断する弁２２を有し、弁２２は、主配管１３内と外気との差圧が弁２２に及ぼす外力によって開閉する動作をとり、差圧の変化に応じて弁２２が動作して開度が変化することにより、所定の差圧を保持することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板を収納する端数カセットを減らし、カセットを格納するストッカー規模を縮小し、更に従来行われていたオペレーターによる端数カセットに収納されていた基板の集約混載、及び生産工程へ投入するロットの基板を集約混載されたカセットから選び出し事前準備することを可能とした在庫管理システム及び在庫管理方法を提供する。
【解決手段】予定管理部と、設定管理部と、ライン管理部と、実績管理部と、カセット情報管理部と、に基づいて端数カセットに格納されている基板を集約混載すると判断または集約混載されているカセットから当該工程へ投入予定の基板を事前準備して当該工程へ投入可能なカセットを用意すると判断する判断部と、カセット搬送指示をストッカー設備に通知するストッカー搬送管理部と、カセット搬送指示に従ってカセット内の基板のソート計画を作成するソート計画部と、を備えたことを特徴とする在庫管理システム。 （もっと読む）

【課題】高速の薄板状ワーク搬送を安定して行うことができ、薄板状ワークがより薄くなった場合であったとしても、薄板状ワークの反りによる影響を受けることなく安定して搬送することが可能である薄板状ワーク搬送装置及び薄板状ワーク搬送方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板Ｗの下面に空気を吹き付けて非接触状態で支持するエア浮上ユニット２と、ガラス基板Ｗの下面に接触してワーク搬送方向の移動力を付与する搬送ローラ３７と、ガラス基板Ｗの搬送ローラ３７との接触部位Ｗｔを搬送ローラ３７側に引き寄せる吸引手段４を備え、ガラス基板Ｗの上面に向けて空気を噴出させて、ガラス基板Ｗを搬送ローラ３７に押し付けるエア押し付けユニット５を設けた。 （もっと読む）

【課題】移動時のエア消費量を抑え、安定して移動できる移動装置を提供する。
【解決手段】移動装置１は、ガイドレール３と、移動部材１０とを備える。ガイドレール３は、上面３Ｕと、上面３Ｕと反対側の下面３Ｌとを含む。移動部材１０は、ガイドレール３に沿って移動可能である。移動部材１０の第１対向面は、上面３Ｕと対向して配置され、ガスを噴出する複数の開口が形成される。第２対向面は、下面３Ｌと対向して配置され、ガスを噴出する複数の開口が形成される。 （もっと読む）

【課題】他の装置との非干渉領域を拡大して作業性と安全性を大幅に改善する板状被処理材の取扱装置を提供する。
【解決手段】水平走行本体ＨＳに旋回ポストＣＰを装着し、旋回ポストＣＰに水平旋回アームＣＡを装着し、その先端に旋回首振可能に横断面がコ字型の竪フレームＴＦを連結装着し、竪フレームＴＦの下端部に長尺ボックスＴＢを傾動可能に装着する回動駆動連結機構ＸＫを設け、長尺ボックスＴＢに板状被処理材Ｗの下端縁と上端縁を上下の挟持爪ＨＴで挟持支持・開放する挟持爪機構ＫＫを装着し、挟持爪機構ＫＫは、長尺ボックスＴＢ内に上下駆動機構を内装し、長尺ボックスＴＢの外側の縦長手方向に移動可能に左右一対の爪保持リングＴＲを設け、爪保持リングＴＲの前面に上下一対の挟持爪ＨＴを装着し、爪保持リングＴＲの後部を長尺ボックスＴＢの後側からボックスＴＢ内に挿入し挿入部をスクリューに連結してなる。 （もっと読む）