【課題】基板上の塗布膜に乾燥ムラが生じるのを抑えて基板を搬送することができ、また、装置の製造上及び組付上の誤差が大きい場合でもパーティクルの発生を抑えることができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】ステージの表面から浮上させた基板を基板ガイドでガイドしつつ搬送する基板搬送装置であって、基板ガイドは、基板の側面に当接することで基板を拘束するとともに、ステージの表面と垂直な方向に変位可能な基板ガイド本体と、基板ガイド本体をステージの表面から浮上させる浮上ユニットと、基板ガイド本体をステージの表面側に付勢させる付勢手段と、を備えており、基板ガイド本体は基板の側面に当接する基板当接部を有しており、この基板当接部の高さ位置が、浮上ユニットと付勢手段により、ステージの表面から浮上する基板の高さ位置に維持される構成とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、試料の汚染低減の要求に応える搬送アームおよびそれを用いた吸着装置を提供するものである。
【解決手段】
本発明の一形態に係る搬送アーム１は、セラミックスからなるアーム本体２と、該アーム本体２の表面を被覆し、試料の載置領域６を有する被覆膜３とを備え、該被覆膜３は、導電性ポリエーテルエーテルケトン樹脂からなる。
また、本発明の一形態に係る吸着装置は、上記搬送アーム１を試料の吸着手段および搬送手段として用いる。 （もっと読む）

【課題】上流の基板受け渡し装置の処理時間と律速とならない基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板受け渡し装置と、基板受け取り装置と、基板受け取り装置に基板を受け渡す基板搬送ロボットと、を備え、基板受け渡し装置は、第一の基板を上昇させる第一の基板上昇手段と、第二の基板を上昇させる第二の基板上昇手段と、を有し、基板搬送ロボットは、第一の基板上昇手段で持ち上げられた第一の基板の下方に挿入して基板を保持する第一のロボットハンドと、第二の基板上昇手段で持ち上げられた第二の基板の下方に挿入して基板を保持する第二のロボットハンドと、を有し、基板受け取り装置は、第一のロボットハンドに保持された第一の基板を受け取り、基板を下降させる第一の基板下降手段と、第二のロボットハンドに保持された第二の基板を受け取り、基板を下降させる第二の基板下降手段と、を有することを特徴とする基板搬送装置。 （もっと読む）

【課題】レンズ基材を装着するときに、レンズ基材のレンズ光学面を傷つけるおそれのない作業性に優れたレンズ保持用ラックおよびレンズ製造方法を提供する。
【解決手段】レンズ保持用ラック１は、レンズ基材をレンズ装着位置に位置規制する下方保持部材１０、側方回動保持部材２０および側方固定保持部材３０と、側方回動保持部材を押圧可能な付勢部材２２と、を有するレンズ保持ユニットを備える。側方回動保持部材２０は、レンズ基材を保持しない状態では、付勢部材２２から離間することによりその付勢力を受けることなく、自身の重量のバランスによりレンズ装着位置から外れた待機位置に退避し、レンズ基材を保持する状態では、付勢部材２２に接触することによりその付勢力を受けてレンズ基材の外周部に接触する。 （もっと読む）

【課題】基板ステージ上の基板の搬出を迅速に行う。
【解決手段】 基板ホルダ３０ａには、基板Ｐの搬送に用いられる基板トレイ４０ａを収容するＸ溝３１ｘが形成されている。また、Ｘ溝３１ｘ内には、基板トレイ４０ａを押圧して基板トレイ４０ａと共に基板Ｐを移動させる基板搬出装置７０ａが設けられている。このため、基板Ｐに対する露光処理が終了した後、基板Ｐの交換のために基板ステージ２０ａを基板交換位置に位置させる前に基板Ｐの搬出動作を開始することができる。 （もっと読む）

【課題】空気浮上搬送方式に好適なスリット状開口部の清浄化機構を備えたスリットコート塗布装置を提供することを課題とした。
【解決手段】エアー噴出装置から噴出するエアーによって浮上した状態でスライダーにより所定方向に移動する基板に対し、スリット状開口部から塗布液を吐出して基板上に塗布層を形成する基板浮上型搬送機構用スリットコート式塗布装置であって、前記塗布装置は、少なくとも、スリット状の開口部を備える塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドを略上下方向に移動させる塗布ヘッド移動機構と、前記エアー噴出装置から噴出するエアーによって浮上した状態でスライダーにより所定方向に移動する拭き取り機構と、を備え、前記拭き取り機構は、ゴムパッドがスリット状の開口部に当接したまま開口部に沿って移動することでスリット状開口部を洗浄する機構である。 （もっと読む）

【課題】挿入ギャップＧを越えて後続の浮上ユニット１５側へ乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部と後続の浮上ユニット１５等との干渉を回避すること。
【解決手段】ユニットケース２１内の上部に一対の搬送ローラ２７が搬送方向に離隔して設けられ、ユニットケース２１内の下部に一対の搬送ローラ２７を回転させる搬送モータ２９が設けられ、ユニットケース２１の下面に設けられた吸引ファン４１の吸引中心位置は、一対の搬送ローラ２７の間で基板Ｗを凹状に変形させるように搬送方向における一対の搬送ローラ２７の中間位置に設定されていること。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、高い密度で集積された薄板基板を、湾曲させた状態で損傷したり汚したりすることなく、安全に搬送および保管することができるパレットの提供を目的とする。
【解決手段】 本発明は、薄板基板１を湾曲させて収納する基板保持用枠体１０を、多段に積層し載置するための湾曲形状保持部３０と、移動搬送装置のための移動搬送装置対応部４０を上下に固着した２層構造からなり、湾曲した湾曲形状保持部３０の上面に固着した嵌合用枠体２０の嵌合用金属枠部２１の上面から内周下方向に傾斜して突出しているパレット側嵌合部２２と、載置される基板保持用枠体１０の金属枠部１１の下面から内周下方向に傾斜して突出している第１嵌合部１２との嵌め合わせにより、上記の課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、プラズマディスプレイパネル、液晶ディスプパネル部材等の表面に機能層を備えた板状物からなる基板を、その表面の機能層を損傷したり汚したりすることなく、効率良く輸送及び保管することが可能な基板用トレイの基板保持部材を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の基板保持部材は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板を、トレイ枠部の枠内側領域において、前記基板をその下側から保持する前記枠部に支持された基板支持部を備えた基板用トレイにおいて、前記基板支持部に固定された基板保持部材が、前記基板支持部下面より下側に突出して設置され、上下方向の基板振動時のみ前記基板と接触する面を有する振動制御部を少なくとも有することにより、前記基板の搬送およびまたは保管において、振動による前記基板の品質面の問題を解消可能な基板保持部材を提供することにより上記の課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】開口角度を安定して再現でき、高いクランプ力を長期間にわたって維持することが可能で、更にクランプアームやプッシュピンの変形や劣化が起こりにくい基板クランプ装置を提供する。
【解決手段】基板の保持、解除をクランプアームの開閉によって行う基板クランプ装置であって、土台に設けられたブラケットと、ブラケット略両端に、それぞれ設けられた回転軸と、上記回転軸の一端を介して回転自在に取り付けられたクランプアーム押込み部と、上記回転軸の他の一端を介して回転自在に取り付けられたクランプ枝部と、上記クランプアーム押込み部及び上記クランプ枝部と、上記回転軸とは別の回転軸を介して取り付けられ、基板を保持するクランプアーム部と、を備えたことを特徴とする基板クランプ装置。 （もっと読む）