振動体の製造方法、振動体および振動型駆動装置
【課題】接着層を介さずに弾性体と電気機械エネルギ変換素子とを直接接合することができ、電気機械エネルギ変換素子の厚さを極めて薄くすることができる振動体の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子の製造にＡＤ法を用いる。１００μｍ以下の大きさの粉体とした圧電材料を不活性ガス（Ｈｅガス）を充填した攪拌槽でエアロゾル化し、高速で金属弾性体の成膜したい個所に吹き付ける。このとき、圧電材料の粉体を吹き付けるノズルに対し、金属弾性体が搭載されたステージを移動させる。１０μｍ程度にまで粉砕されたナノ粒子の粉体１０４は、金属弾性体１０２の表面に堆積される。圧電材料の吹き付け温度を５００℃から圧電材料の焼成温度７００℃まで徐々に上げていき、１時間以上焼成を行う。金属弾性体１０２の表面には、圧電素子からなる薄膜圧電層１０１が直接形成される。
【解決手段】圧電素子の製造にＡＤ法を用いる。１００μｍ以下の大きさの粉体とした圧電材料を不活性ガス（Ｈｅガス）を充填した攪拌槽でエアロゾル化し、高速で金属弾性体の成膜したい個所に吹き付ける。このとき、圧電材料の粉体を吹き付けるノズルに対し、金属弾性体が搭載されたステージを移動させる。１０μｍ程度にまで粉砕されたナノ粒子の粉体１０４は、金属弾性体１０２の表面に堆積される。圧電材料の吹き付け温度を５００℃から圧電材料の焼成温度７００℃まで徐々に上げていき、１時間以上焼成を行う。金属弾性体１０２の表面には、圧電素子からなる薄膜圧電層１０１が直接形成される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動体の製造に用いられる振動体の製造方法、この製造方法により製造された振動体および振動型駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、圧電材料からなる電気機械エネルギ変換素子は、種々の用途、例えば、物体の回転速度を検出するジャイロや、超音波モータや圧電アクチュエータ等の振動型駆動装置に用いられている。
【０００３】
例えば、超音波モータは、上ケースおよび下ケースを有し、それぞれのケースに設けられたベアリングによって出力軸を回転自在に支持する。出力軸の周りには、振動子を構成する金属弾性体が設けられている。金属弾性体の下面には、振動子の構成要素として、電気機械エネルギ変換素子である圧電素子の上面が接着している。また、圧電素子の下面には、フレキシブルプリント基板が接着している。フレキシブルプリント基板は、電源から供給された交番電圧を、圧電素子の表面に形成された電極に供給する。一方、金属弾性体の上面には、移動体が接触し、金属弾性体の表面に生じた進行波によって回転する。出力軸は皿バネに加圧されて移動体に固定されており、移動体とともに回転する。
【０００４】
図１１は従来の振動子の構造を示す断面図である。圧電素子３０１は、前述したように、金属弾性体３０２とフレキシブルプリント基板３０６の間に介在しており、その上面、下面にはそれぞれ電極３０３、３０５が形成されている。圧電素子３０１の上面は、接着剤３２０によって金属弾性体３０２の下面に接着して固定される。また、圧電素子３０１の下面は、前述したように、フレキシブルプリント基板３０６に固定されている。
【０００５】
また、従来の電気機械エネルギ変換素子である圧電素子の製造方法は、非特許文献１に記載されている。即ち、圧電素子を製造する場合、一般的な工程順序は次のとおりである。例えば、３〜５μｍの微粉体を有機溶剤等のバインダと混ぜ、圧延やプレス等で成形する。その後、１３００℃〜１４００℃近傍で２日以上焼成を行う。この結果、バインダの蒸発した箇所には、５０〜１００μｍの空洞が生じる。この後、銀電極焼付け、蒸着、スパッタ成膜等により電極パターンを形成し、２ｋｖ〜４ｋｖ／ｍｍの電圧を印加して分極処理を施す。
【０００６】
圧電素子が製造されると、金属弾性体にエポキシ系接着剤を塗布した後、その位置を合わせて圧電素子を加圧する。そして、その状態で加温接着することで、圧電素子は金属弾性体に接合される。こうして振動子は製造される。
【非特許文献１】見城尚志、指田年正著 「超音波モータ入門」 総合電子出版社、１９９１年２月２０日発行
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記従来の振動体の製造方法では、以下に掲げる問題があった。即ち、圧電素子３０１と金属弾性体３０２の間には、接着剤３２０が介在しているので、圧電素子３０１で発生した振動は、接着剤３２０で減衰した状態で金属弾性体３０２に伝達される。その結果、振動エネルギの効率が低下してしまっていた。
【０００８】
この問題に対し、接着剤３２０による振動の減衰を低下させるために、加温してから加圧接着を行うことで接着剤３２０の層を薄くすることも検討されている。ここで、超音波モータでは、圧電素子の厚さを薄くすることで、圧電素子に印加する駆動電圧を下げることができる。
【０００９】
図１２は圧電素子の構造を拡大して示す図である。従来の製造方法では、圧電素子の粒子３０４のサイズが大きく、圧電素子３０１の内部には、５０〜１００μｍの空洞が生じてしまう。１００μｍ以下の膜を作成する場合、焼成前の材料の圧延時や振動体との接着時、この空洞から亀裂が発生するおそれがあった。
【００１０】
さらに、電極を成膜する場合、厚さ方向に空洞が繋がっていると、表面の電圧が印加される電極とゼロ電位（ＧＮＤ）用の電極とが繋がってしまい、電界がかからなくなった。このため、リークを起こして圧電性能が上がらなくなる。従って、従来の製造方法では、圧電素子の厚さを１００μｍ以上にする必要があった。
【００１１】
また、焼成後の圧電素子は非常に割れ易いので、接着により金属弾性体に接合するためには、金属弾性体の接合面と圧電素子の接合面を略同等の平面度で高精度に造らなければならなかった。
【００１２】
また、圧電素子では、従来から電界強度と力が比例する関係にあることが知られている。圧電素子が厚くなると、電界強度を上げるために駆動電圧を上げる必要があった。この結果、低電圧化が阻害されていた。
【００１３】
また、圧電素子の絶縁耐電圧は、隣接する電極間の距離で決まる。一方、圧電素子にかかる電界は、厚さ方向における、設置電位ゼロと印加電圧とで決まるので、設置電位ゼロと交番電流の電圧差とで決定されることになる。振動波モータの場合、ゼロ電位を中心に、交番電流がプラス側、マイナス側と交互に位相を異にして隣り合う電極間に供給される。印加電圧が絶縁耐電圧を越えないためには、隣圧電極間の距離を圧電素子の厚さの１．５倍程度に確保する必要があった。
【００１４】
駆動電圧が高いほど、放電しないように隣り合う電極間の距離を長く設ける必要があるので、電極が形成されない領域、即ち、超音波モータを駆動するための振動の発生に寄与しない領域が増加してしまっていた。
【００１５】
そこで、本発明は、接着層を介さずに弾性体と電気機械エネルギ変換素子とを直接接合することができ、電気機械エネルギ変換素子の厚さを極めて薄くすることができる振動体の製造方法、振動体および振動型駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するために、本発明の振動体の製造方法は、弾性体および電気機械エネルギ変換素子から構成され、前記電気機械エネルギ変換素子の表面に形成された電極に交番電圧を供給することによって前記弾性体の表面に進行波を生じさせる振動体の製造に用いられる振動体の製造方法であって、前記弾性体の表面に薄膜として前記電気機械エネルギ変換素子を形成する工程を有することを特徴とする。
【００１７】
本発明の振動体は、弾性体および電気機械エネルギ変換素子から構成され、前記電気機械エネルギ変換素子の表面に形成された電極に交番電圧を供給することによって前記弾性体の表面に進行波を生じさせる振動体であって、前記弾性体の表面に薄膜として前記電気機械エネルギ変換素子が形成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１に係る振動体の製造方法によれば、弾性体の表面に薄膜として電気機械エネルギ変換素子を形成するので、接着層を介さずに弾性体と電気機械エネルギ変換素子とを直接接合することができ、電気機械エネルギ変換素子の厚さを極めて薄くすることができる。従って、電気機械エネルギ変換素子を駆動する電圧の低電圧化を図ることができる。また、弾性体および電気機械エネルギ変換素子間の接合面の平面度を高精度にしないで済む。さらに、電気機械エネルギ変換素子の表面において、電極が形成されていない領域を減らすことができる。
【００１９】
請求項２、３に係る振動体の製造方法によれば、弾性体に堆積する粉体の密度が高くなり、電気機械エネルギ変換素子の内部の空間が少なくなる。この結果、リークが発生しにくい構造とすることができる。
【００２０】
請求項４に係る振動体の製造方法によれば、耐絶縁電圧を上げることが可能になり、高い駆動電圧を印加できるようになる。
【００２１】
請求項５に係る振動体の製造方法によれば、電気機械エネルギ変換素子を平面状に形成することができる。請求項６に係る振動体の製造方法によれば、電気機械エネルギ変換素子を円筒状に形成することができる。
【００２２】
請求項７に係る振動体の製造方法によれば、複数層積み上げることで、振動型モータの所望するトルクに適した厚さに形成することができる。
【００２３】
請求項８に係る振動体の製造方法によれば、弾性体および電気機械エネルギ変換素子間の導電性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の振動体の製造方法、振動体および振動型駆動装置における実施の形態について図面を参照しながら説明する。本実施形態の振動体の製造方法は、超音波モータに搭載される振動体の製造に用いられる。
【００２５】
［第１の実施形態］
図１は第１の実施形態における超音波モータの構造を示す断面図である。超音波モータは、上ケース１１２および下ケース１１３を有し、それぞれのケースに設けられたベアリング１１０、１２０を介して回転自在に支持された出力軸１０９を有する。出力軸１０９の周りには、振動子を構成する金属弾性体１０２が設けられている。金属弾性体１０２の下面には、振動子の構成要素として、電気機械エネルギ変換素子である圧電素子１０１の上面が接着している。また、圧電素子１０１の下面には、フレキシブルプリント基板１０６が接着している。フレキシブルプリント基板１０６は、電源（図示せず）から供給された交番電圧を、圧電素子１０１の表面に形成された電極に供給する。一方、金属弾性体１０２の上面には、移動体１０７が接触し、金属弾性体１０２の表面に生じた進行波によって回転する。出力軸１０９は、皿バネ１１１に加圧されて移動体１０７に固定されており、移動体１０７とともに回転する。
【００２６】
図２は振動子の構造を示す断面図である。振動子は、金属弾性体１０２、圧電素子１０１および電極１０３からなる構造を有する。図３は圧電素子１０１の構造を拡大して示す図である。金属弾性体１０２の表面には、薄膜圧電層からなる圧電素子１０１が直接形成されており、この圧電素子（薄膜圧電層）１０１は、後述する製造方法によって粉砕された圧電材料の粉体１０４から構成される。
【００２７】
上記構造を有する振動子の製造方法を示す。本実施形態では、エアロゾルデポジッション法（以下、ＡＤ法ともいう）が用いられる。圧電材料としては、ＰＺＴ等の周知の圧電性セラミック材料などが用いられる。ＡＤ法では、金属弾性体の表面に直接的に圧電素子からなる層を形成することで、金属弾性体と圧電素子との間に接着層が介在しなくなる。
【００２８】
本実施形態のＡＤ法は、１００μｍ以下の大きさの微粒子を高速で基板に衝突させて薄膜を形成する方法である。また、本実施形態では、１００μｍ以下の大きさの粉体とした圧電材料を不活性ガス（Ｈｅガス）を充填した攪拌槽でエアロゾル化し、高速で金属弾性体の成膜したい個所に吹き付ける。このとき、圧電材料の粉体を吹き付けるノズルに対し、金属弾性体が搭載されたステージを移動させることで、成膜したい個所に高速で均一に圧電材料からなる粉体を吹き付けることができる。
【００２９】
また、圧電材料の吹き付け温度を５００℃から圧電材料の焼成温度７００℃まで徐々に上げていき、１時間以上焼成を行う。
【００３０】
このように、ＡＤ法により圧電材料を高速で吹き付けることによって、１０μｍ程度にまで粉砕されたナノ粒子の粉体１０４は、金属弾性体１０２の表面に堆積される。圧電材料からなるナノ粒子の粉体１０４が金属弾性体１０２に堆積することで、その密度が高くなり、薄膜圧電層１０１の内部の空間が少なくなる。この結果、リークが発生しにくい構造とすることができる。
【００３１】
こうして接着剤を用いることなく、金属弾性体１０２の表面には、圧電素子である薄膜圧電層１０１が直接形成される。つまり、ＡＤ法によって製造された振動体（図２参照）では、金属弾性体１０２の表面に１００μｍ以下となる薄膜圧電層１０１が直接形成されている。
【００３２】
また、電極１０３は、薄膜圧電層１０１の表面に形成された導電性の薄膜からなる。この導電性の薄膜の形成は、蒸着、スパッタ、スクリーン印刷、電子ビームコ−ティング等の方法で行われる。また、導電材料として、白金、金、銀、銀パラ、銅、ニッケル等が用いられる。電極が形成されると、通常の分極処理が行われる。
【００３３】
電極１０３には、給電基板であるフレキシブルプリント基板１０６が取り付けられており、超音波モータの外部から電極１０３に電流が供給される。なお、フレキシブルプリント基板１０６の取り付けには、圧接、半田、ワイヤーボンディング等の手段が用いられる。
【００３４】
第１の実施形態における振動体の製造方法によれば、接着層を介さずに、金属弾性体１０２と圧電材料からなる薄膜圧電層１０１とを直接接合することができ、圧電素子の厚さを極めて薄くすることができる。従って、圧電素子を駆動する電圧の低電圧化を図ることができる。
【００３５】
ここで、従来の方法で製造した振動体および本実施形態の方法で製造した振動体に対し、供給電圧を同等にした場合の出力を比較した。具体的に、従来の方法で厚さ２００μｍの圧電層が形成された振動体と、ＡＤ法で厚さ１５μｍの圧電層が形成された振動体に対し、略同一の交番電圧をそれぞれの振動子の電極に印加した状態で、その出力を測定した。この結果、ＡＤ法で圧電層が形成された振動体は、従来の方法によるものと比べ、２．８倍の出力が得られることを確認することができた。
【００３６】
また、前述したように、印加電圧が絶縁耐電圧を越えないようにするためには、隣接する電極間の距離を圧電素子の厚さの１.５倍程度に確保する必要がある。つまり、薄膜圧電層の厚さが薄くなるほど、隣接する電極間の距離を短くできるので、電極が形成されない領域を減らすことができる。
【００３７】
なお、上記実施形態に限らず、種々の態様の振動子を製造することが可能である。図４は他の薄膜圧電層１５１の構造を拡大して示す図である。薄膜圧電層１５１は、粉砕された圧電材料の粉体１０４間に生じる空孔が絶縁体１０５によって充填された構造を有する。ナノサイズの空孔を絶縁体１０５で充填する構造とすることで、さらに耐絶縁電圧を上げることが可能になり、高い電圧を印加できるようになる。また、電界強度と有効面積を増すことができ、圧電材料の力を増すことが可能となる。従って、出力の高い超音波モータを提供することが可能となる。
【００３８】
図５は他の振動子の構造を示す断面図である。この振動子は、金属弾性体１０２、複数層の薄膜圧電層１０１ａ〜１０１ｄおよび電極１０３からなる構造を有する。ＡＤ法によって形成された薄膜圧電層を複数層積み上げることによって、所望する超音波モータのトルクに合わせて任意の厚さの薄膜圧電層１０１を形成することができる。
【００３９】
図６は他の振動子の構造を示す断面図である。この振動子は、金属弾性体１０２の底面の一部に予め電極１１３を形成しておき、その上から薄膜圧電層１０１ｅ〜１０１ｈが積層された構造を有する。金属弾性体１０２の底面に電極１１３を形成しておくことによって、金属弾性体１０２および薄膜圧電層１０１間の導電性を高めることができる。
【００４０】
また、ＡＤ法では、金属弾性体に直に成膜するので、自由な曲面等に対しても、成膜が可能である。従って、振動波モータの小型化が可能である。
【００４１】
［第２の実施形態］
前記第１の実施形態では、弾性体の平坦な表面に形成された圧電素子を示したが、第２の実施形態では、円筒形状を有する弾性体の曲面に形成された圧電素子を示す。
【００４２】
図７は第２の実施形態における超音波モータの構造を示す断面図である。この超音波モータは、ケース２１２を挿通し、金属弾性体２０２の内側に設けられたベアリング２１０を介して回転自在に支持された出力軸２０９を有する。金属弾性体２０２は、ケース２１２に固定されており、中央部が小径である筒状に形成されている。出力軸２０９には、圧入、接着、溶接、ローレット接合等により移動体２０７が固定されている。移動体２０７は、進行波を生じさせる金属弾性体２０２の端面に、接触バネ２０８を介して接触している。金属弾性体２０２に生じた進行波による回転力を移動体２０７に伝達することで、移動体２０７は出力軸２０９とともに回転する。ここで、移動体２０７の金属弾性体２０２に対する加圧力を上げると、移動体２０７のトルクは大きくなり、一方、弱くすると、トルクは小さくなる。従って、任意のトルクが得られるように、加圧力を発生させるためのバネ（図示せず）を設けることで、種々の用途に適したトルクを発生する超音波モータを得ることが可能となる。
【００４３】
また、金属弾性体２０２が固定されたケース２１２は、移動体２０７および金属弾性体２０２を含む振動体全体を覆っており、樹脂や金属等で成形される。ケース２１２の出力軸２０９が挿通される箇所（隙間部分）は、回転に支障の出ない範囲（３０μm以下の隙間）で出力軸２０９と密接した構造になっている。このような構造は、外部からのゴミ、埃、水分、湿気、油等の侵入を防ぐとともに、内部の摺動部で発生する摩耗粉等を外部環境に放出することも防ぐ。なお、この隙間部分に、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイト）やＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）を主成分とする、摩耗に対して強い材料を用いることで、更に隙間を少なくする、あるいは接触(ゼロ隙間)させることも可能である。
【００４４】
図８は振動子の構成を示す断面図である。振動子は、金属弾性体２０２、圧電素子２０１および電極２０３から構成される。金属弾性体２０２は、前述したように、中央部２０２ａの径が両端部２０２ｂ、２０２ｃの径よりも小さい円筒形状に形成されている。圧電素子２０１は、前記第１の実施形態と同様、ＡＤ法によって、金属弾性体２０２の中央部２０２ａの外周面に、薄膜圧電層として円筒形状に形成されている。
【００４５】
電極２０３は、後述するように、４つの領域に分割されており、薄膜圧電層２０１を伸縮させるために、薄膜圧電層２０１に電界を与えるものである。電極２０３は、前記第１の実施形態と同様、導電性の薄膜から構成され、蒸着、スパッタ、スクリーン印刷、電子ビームコ−ティング等の方法で形成される。導電材料としては、白金、金、銀、銀パラ、銅、ニッケル等が用いられる。電極２０３には、給電基板であるフレキシブルプリント基板２０６が取り付けられており、超音波モータの外部から電極２０３に電流が供給される。フレキシブルプリント基板２０６の取り付けは、圧接、半田、ワイヤーボンディング等で行われる。
【００４６】
図９は圧電素子の構成を示す図である。同図（Ａ）は円筒形状を有する圧電素子２０１の上面を示す。同図（Ｂ）は圧電素子２０１の外観を示す。圧電素子２０１の外周面には、前述したように、４つに分割された電極２０３が形成されており、Ａ相の交番電圧が印加されるＡ（＋）電極、Ａ（−）電極、およびＢ相の交番電圧が印加されるＢ（＋）電極、Ｂ（−）電極からなる。
【００４７】
Ａ（＋）電極が形成された圧電素子の領域とＡ（−）電極が形成された圧電素子の領域とでは、互いに径方向逆向きの分極処理が施されている。また、Ｂ（＋）電極が形成された圧電素子の領域とＢ（−）電極が形成された圧電素子の領域とでは、互いに径方向逆向きの分極処理が施されている。
【００４８】
Ａ相の交番電圧とＢ相の交番電圧の周波数を一致させ、かつ互いの位相を約９０度ずらして、それぞれに対応する電極に交番電圧を印加する。これにより、振動体は、時間的に位相をずらした状態で同時に２つの１次の曲げ振動を発生させる。この結果、金属弾性体２０２の端面には、１次の進行波が生じる。
【００４９】
図１０は電極２０３に交番電圧を印加するためのフレキシブルプリント基板２０６の構成を示す図である。フレキシブルプリント基板２０６には、Ａ（＋）電極およびＡ（−）電極に同一の交番電圧を印加するためのＡ相用電極パターン２２１、２２２が形成されている。また、Ｂ（＋）電極およびＢ（−）電極に同一の交番電圧を印加するためのＢ相用電極パターン２２６、２２８が形成されている。また、フレキシブルプリント基板２０６には、グランド用電極パターン２２３が形成されており、金属弾性体２０２に接合される。
【００５０】
従って、薄膜圧電層２０１は、Ａ相用電極パターン２２１、２２２とグランド用電極パターン２２３の間、Ｂ相用電極パターン２２６、２２８とグランド用電極パターンの間に配置されることになる。
【００５１】
第２の実施形態では、円筒形状の振動子を製造する場合にも、ＡＤ法を用いることで、前記第１の実施形態と同様、金属弾性体２０２と圧電材料からなる薄膜圧電層２０１とを直接接合することができ、圧電素子の厚さを極めて薄くすることができる。
【００５２】
なお、各電極が形成された薄膜圧電層の分極方向、および各電極に印加される交番電圧の位相の組み合わせは、本実施形態に限定されるものでないことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】第１の実施形態における超音波モータの構造を示す断面図である。
【図２】振動子の構造を示す断面図である。
【図３】圧電素子１０１の構造を拡大して示す図である。
【図４】他の薄膜圧電層１５１の構造を拡大して示す図である。
【図５】他の振動子の構造を示す断面図である。
【図６】他の振動子の構造を示す断面図である。
【図７】第２の実施形態における超音波モータの構造を示す断面図である。
【図８】振動子の構成を示す断面図である。
【図９】圧電素子の構成を示す図である。
【図１０】電極２０３に交番電圧を印加するためのフレキシブルプリント基板２０６の構成を示す図である。
【図１１】従来の振動子の構造を示す断面図である。
【図１２】圧電素子の構造を拡大して示す図である。
【符号の説明】
【００５４】
１０１、１５１、２０１ 圧電素子（薄膜圧電層）
１０２、２０２ 金属弾性体
１０３、２０３ 電極
１０４ 粉体
１０５ 絶縁体
１０７ 移動体
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動体の製造に用いられる振動体の製造方法、この製造方法により製造された振動体および振動型駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、圧電材料からなる電気機械エネルギ変換素子は、種々の用途、例えば、物体の回転速度を検出するジャイロや、超音波モータや圧電アクチュエータ等の振動型駆動装置に用いられている。
【０００３】
例えば、超音波モータは、上ケースおよび下ケースを有し、それぞれのケースに設けられたベアリングによって出力軸を回転自在に支持する。出力軸の周りには、振動子を構成する金属弾性体が設けられている。金属弾性体の下面には、振動子の構成要素として、電気機械エネルギ変換素子である圧電素子の上面が接着している。また、圧電素子の下面には、フレキシブルプリント基板が接着している。フレキシブルプリント基板は、電源から供給された交番電圧を、圧電素子の表面に形成された電極に供給する。一方、金属弾性体の上面には、移動体が接触し、金属弾性体の表面に生じた進行波によって回転する。出力軸は皿バネに加圧されて移動体に固定されており、移動体とともに回転する。
【０００４】
図１１は従来の振動子の構造を示す断面図である。圧電素子３０１は、前述したように、金属弾性体３０２とフレキシブルプリント基板３０６の間に介在しており、その上面、下面にはそれぞれ電極３０３、３０５が形成されている。圧電素子３０１の上面は、接着剤３２０によって金属弾性体３０２の下面に接着して固定される。また、圧電素子３０１の下面は、前述したように、フレキシブルプリント基板３０６に固定されている。
【０００５】
また、従来の電気機械エネルギ変換素子である圧電素子の製造方法は、非特許文献１に記載されている。即ち、圧電素子を製造する場合、一般的な工程順序は次のとおりである。例えば、３〜５μｍの微粉体を有機溶剤等のバインダと混ぜ、圧延やプレス等で成形する。その後、１３００℃〜１４００℃近傍で２日以上焼成を行う。この結果、バインダの蒸発した箇所には、５０〜１００μｍの空洞が生じる。この後、銀電極焼付け、蒸着、スパッタ成膜等により電極パターンを形成し、２ｋｖ〜４ｋｖ／ｍｍの電圧を印加して分極処理を施す。
【０００６】
圧電素子が製造されると、金属弾性体にエポキシ系接着剤を塗布した後、その位置を合わせて圧電素子を加圧する。そして、その状態で加温接着することで、圧電素子は金属弾性体に接合される。こうして振動子は製造される。
【非特許文献１】見城尚志、指田年正著 「超音波モータ入門」 総合電子出版社、１９９１年２月２０日発行
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記従来の振動体の製造方法では、以下に掲げる問題があった。即ち、圧電素子３０１と金属弾性体３０２の間には、接着剤３２０が介在しているので、圧電素子３０１で発生した振動は、接着剤３２０で減衰した状態で金属弾性体３０２に伝達される。その結果、振動エネルギの効率が低下してしまっていた。
【０００８】
この問題に対し、接着剤３２０による振動の減衰を低下させるために、加温してから加圧接着を行うことで接着剤３２０の層を薄くすることも検討されている。ここで、超音波モータでは、圧電素子の厚さを薄くすることで、圧電素子に印加する駆動電圧を下げることができる。
【０００９】
図１２は圧電素子の構造を拡大して示す図である。従来の製造方法では、圧電素子の粒子３０４のサイズが大きく、圧電素子３０１の内部には、５０〜１００μｍの空洞が生じてしまう。１００μｍ以下の膜を作成する場合、焼成前の材料の圧延時や振動体との接着時、この空洞から亀裂が発生するおそれがあった。
【００１０】
さらに、電極を成膜する場合、厚さ方向に空洞が繋がっていると、表面の電圧が印加される電極とゼロ電位（ＧＮＤ）用の電極とが繋がってしまい、電界がかからなくなった。このため、リークを起こして圧電性能が上がらなくなる。従って、従来の製造方法では、圧電素子の厚さを１００μｍ以上にする必要があった。
【００１１】
また、焼成後の圧電素子は非常に割れ易いので、接着により金属弾性体に接合するためには、金属弾性体の接合面と圧電素子の接合面を略同等の平面度で高精度に造らなければならなかった。
【００１２】
また、圧電素子では、従来から電界強度と力が比例する関係にあることが知られている。圧電素子が厚くなると、電界強度を上げるために駆動電圧を上げる必要があった。この結果、低電圧化が阻害されていた。
【００１３】
また、圧電素子の絶縁耐電圧は、隣接する電極間の距離で決まる。一方、圧電素子にかかる電界は、厚さ方向における、設置電位ゼロと印加電圧とで決まるので、設置電位ゼロと交番電流の電圧差とで決定されることになる。振動波モータの場合、ゼロ電位を中心に、交番電流がプラス側、マイナス側と交互に位相を異にして隣り合う電極間に供給される。印加電圧が絶縁耐電圧を越えないためには、隣圧電極間の距離を圧電素子の厚さの１．５倍程度に確保する必要があった。
【００１４】
駆動電圧が高いほど、放電しないように隣り合う電極間の距離を長く設ける必要があるので、電極が形成されない領域、即ち、超音波モータを駆動するための振動の発生に寄与しない領域が増加してしまっていた。
【００１５】
そこで、本発明は、接着層を介さずに弾性体と電気機械エネルギ変換素子とを直接接合することができ、電気機械エネルギ変換素子の厚さを極めて薄くすることができる振動体の製造方法、振動体および振動型駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するために、本発明の振動体の製造方法は、弾性体および電気機械エネルギ変換素子から構成され、前記電気機械エネルギ変換素子の表面に形成された電極に交番電圧を供給することによって前記弾性体の表面に進行波を生じさせる振動体の製造に用いられる振動体の製造方法であって、前記弾性体の表面に薄膜として前記電気機械エネルギ変換素子を形成する工程を有することを特徴とする。
【００１７】
本発明の振動体は、弾性体および電気機械エネルギ変換素子から構成され、前記電気機械エネルギ変換素子の表面に形成された電極に交番電圧を供給することによって前記弾性体の表面に進行波を生じさせる振動体であって、前記弾性体の表面に薄膜として前記電気機械エネルギ変換素子が形成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１に係る振動体の製造方法によれば、弾性体の表面に薄膜として電気機械エネルギ変換素子を形成するので、接着層を介さずに弾性体と電気機械エネルギ変換素子とを直接接合することができ、電気機械エネルギ変換素子の厚さを極めて薄くすることができる。従って、電気機械エネルギ変換素子を駆動する電圧の低電圧化を図ることができる。また、弾性体および電気機械エネルギ変換素子間の接合面の平面度を高精度にしないで済む。さらに、電気機械エネルギ変換素子の表面において、電極が形成されていない領域を減らすことができる。
【００１９】
請求項２、３に係る振動体の製造方法によれば、弾性体に堆積する粉体の密度が高くなり、電気機械エネルギ変換素子の内部の空間が少なくなる。この結果、リークが発生しにくい構造とすることができる。
【００２０】
請求項４に係る振動体の製造方法によれば、耐絶縁電圧を上げることが可能になり、高い駆動電圧を印加できるようになる。
【００２１】
請求項５に係る振動体の製造方法によれば、電気機械エネルギ変換素子を平面状に形成することができる。請求項６に係る振動体の製造方法によれば、電気機械エネルギ変換素子を円筒状に形成することができる。
【００２２】
請求項７に係る振動体の製造方法によれば、複数層積み上げることで、振動型モータの所望するトルクに適した厚さに形成することができる。
【００２３】
請求項８に係る振動体の製造方法によれば、弾性体および電気機械エネルギ変換素子間の導電性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の振動体の製造方法、振動体および振動型駆動装置における実施の形態について図面を参照しながら説明する。本実施形態の振動体の製造方法は、超音波モータに搭載される振動体の製造に用いられる。
【００２５】
［第１の実施形態］
図１は第１の実施形態における超音波モータの構造を示す断面図である。超音波モータは、上ケース１１２および下ケース１１３を有し、それぞれのケースに設けられたベアリング１１０、１２０を介して回転自在に支持された出力軸１０９を有する。出力軸１０９の周りには、振動子を構成する金属弾性体１０２が設けられている。金属弾性体１０２の下面には、振動子の構成要素として、電気機械エネルギ変換素子である圧電素子１０１の上面が接着している。また、圧電素子１０１の下面には、フレキシブルプリント基板１０６が接着している。フレキシブルプリント基板１０６は、電源（図示せず）から供給された交番電圧を、圧電素子１０１の表面に形成された電極に供給する。一方、金属弾性体１０２の上面には、移動体１０７が接触し、金属弾性体１０２の表面に生じた進行波によって回転する。出力軸１０９は、皿バネ１１１に加圧されて移動体１０７に固定されており、移動体１０７とともに回転する。
【００２６】
図２は振動子の構造を示す断面図である。振動子は、金属弾性体１０２、圧電素子１０１および電極１０３からなる構造を有する。図３は圧電素子１０１の構造を拡大して示す図である。金属弾性体１０２の表面には、薄膜圧電層からなる圧電素子１０１が直接形成されており、この圧電素子（薄膜圧電層）１０１は、後述する製造方法によって粉砕された圧電材料の粉体１０４から構成される。
【００２７】
上記構造を有する振動子の製造方法を示す。本実施形態では、エアロゾルデポジッション法（以下、ＡＤ法ともいう）が用いられる。圧電材料としては、ＰＺＴ等の周知の圧電性セラミック材料などが用いられる。ＡＤ法では、金属弾性体の表面に直接的に圧電素子からなる層を形成することで、金属弾性体と圧電素子との間に接着層が介在しなくなる。
【００２８】
本実施形態のＡＤ法は、１００μｍ以下の大きさの微粒子を高速で基板に衝突させて薄膜を形成する方法である。また、本実施形態では、１００μｍ以下の大きさの粉体とした圧電材料を不活性ガス（Ｈｅガス）を充填した攪拌槽でエアロゾル化し、高速で金属弾性体の成膜したい個所に吹き付ける。このとき、圧電材料の粉体を吹き付けるノズルに対し、金属弾性体が搭載されたステージを移動させることで、成膜したい個所に高速で均一に圧電材料からなる粉体を吹き付けることができる。
【００２９】
また、圧電材料の吹き付け温度を５００℃から圧電材料の焼成温度７００℃まで徐々に上げていき、１時間以上焼成を行う。
【００３０】
このように、ＡＤ法により圧電材料を高速で吹き付けることによって、１０μｍ程度にまで粉砕されたナノ粒子の粉体１０４は、金属弾性体１０２の表面に堆積される。圧電材料からなるナノ粒子の粉体１０４が金属弾性体１０２に堆積することで、その密度が高くなり、薄膜圧電層１０１の内部の空間が少なくなる。この結果、リークが発生しにくい構造とすることができる。
【００３１】
こうして接着剤を用いることなく、金属弾性体１０２の表面には、圧電素子である薄膜圧電層１０１が直接形成される。つまり、ＡＤ法によって製造された振動体（図２参照）では、金属弾性体１０２の表面に１００μｍ以下となる薄膜圧電層１０１が直接形成されている。
【００３２】
また、電極１０３は、薄膜圧電層１０１の表面に形成された導電性の薄膜からなる。この導電性の薄膜の形成は、蒸着、スパッタ、スクリーン印刷、電子ビームコ−ティング等の方法で行われる。また、導電材料として、白金、金、銀、銀パラ、銅、ニッケル等が用いられる。電極が形成されると、通常の分極処理が行われる。
【００３３】
電極１０３には、給電基板であるフレキシブルプリント基板１０６が取り付けられており、超音波モータの外部から電極１０３に電流が供給される。なお、フレキシブルプリント基板１０６の取り付けには、圧接、半田、ワイヤーボンディング等の手段が用いられる。
【００３４】
第１の実施形態における振動体の製造方法によれば、接着層を介さずに、金属弾性体１０２と圧電材料からなる薄膜圧電層１０１とを直接接合することができ、圧電素子の厚さを極めて薄くすることができる。従って、圧電素子を駆動する電圧の低電圧化を図ることができる。
【００３５】
ここで、従来の方法で製造した振動体および本実施形態の方法で製造した振動体に対し、供給電圧を同等にした場合の出力を比較した。具体的に、従来の方法で厚さ２００μｍの圧電層が形成された振動体と、ＡＤ法で厚さ１５μｍの圧電層が形成された振動体に対し、略同一の交番電圧をそれぞれの振動子の電極に印加した状態で、その出力を測定した。この結果、ＡＤ法で圧電層が形成された振動体は、従来の方法によるものと比べ、２．８倍の出力が得られることを確認することができた。
【００３６】
また、前述したように、印加電圧が絶縁耐電圧を越えないようにするためには、隣接する電極間の距離を圧電素子の厚さの１.５倍程度に確保する必要がある。つまり、薄膜圧電層の厚さが薄くなるほど、隣接する電極間の距離を短くできるので、電極が形成されない領域を減らすことができる。
【００３７】
なお、上記実施形態に限らず、種々の態様の振動子を製造することが可能である。図４は他の薄膜圧電層１５１の構造を拡大して示す図である。薄膜圧電層１５１は、粉砕された圧電材料の粉体１０４間に生じる空孔が絶縁体１０５によって充填された構造を有する。ナノサイズの空孔を絶縁体１０５で充填する構造とすることで、さらに耐絶縁電圧を上げることが可能になり、高い電圧を印加できるようになる。また、電界強度と有効面積を増すことができ、圧電材料の力を増すことが可能となる。従って、出力の高い超音波モータを提供することが可能となる。
【００３８】
図５は他の振動子の構造を示す断面図である。この振動子は、金属弾性体１０２、複数層の薄膜圧電層１０１ａ〜１０１ｄおよび電極１０３からなる構造を有する。ＡＤ法によって形成された薄膜圧電層を複数層積み上げることによって、所望する超音波モータのトルクに合わせて任意の厚さの薄膜圧電層１０１を形成することができる。
【００３９】
図６は他の振動子の構造を示す断面図である。この振動子は、金属弾性体１０２の底面の一部に予め電極１１３を形成しておき、その上から薄膜圧電層１０１ｅ〜１０１ｈが積層された構造を有する。金属弾性体１０２の底面に電極１１３を形成しておくことによって、金属弾性体１０２および薄膜圧電層１０１間の導電性を高めることができる。
【００４０】
また、ＡＤ法では、金属弾性体に直に成膜するので、自由な曲面等に対しても、成膜が可能である。従って、振動波モータの小型化が可能である。
【００４１】
［第２の実施形態］
前記第１の実施形態では、弾性体の平坦な表面に形成された圧電素子を示したが、第２の実施形態では、円筒形状を有する弾性体の曲面に形成された圧電素子を示す。
【００４２】
図７は第２の実施形態における超音波モータの構造を示す断面図である。この超音波モータは、ケース２１２を挿通し、金属弾性体２０２の内側に設けられたベアリング２１０を介して回転自在に支持された出力軸２０９を有する。金属弾性体２０２は、ケース２１２に固定されており、中央部が小径である筒状に形成されている。出力軸２０９には、圧入、接着、溶接、ローレット接合等により移動体２０７が固定されている。移動体２０７は、進行波を生じさせる金属弾性体２０２の端面に、接触バネ２０８を介して接触している。金属弾性体２０２に生じた進行波による回転力を移動体２０７に伝達することで、移動体２０７は出力軸２０９とともに回転する。ここで、移動体２０７の金属弾性体２０２に対する加圧力を上げると、移動体２０７のトルクは大きくなり、一方、弱くすると、トルクは小さくなる。従って、任意のトルクが得られるように、加圧力を発生させるためのバネ（図示せず）を設けることで、種々の用途に適したトルクを発生する超音波モータを得ることが可能となる。
【００４３】
また、金属弾性体２０２が固定されたケース２１２は、移動体２０７および金属弾性体２０２を含む振動体全体を覆っており、樹脂や金属等で成形される。ケース２１２の出力軸２０９が挿通される箇所（隙間部分）は、回転に支障の出ない範囲（３０μm以下の隙間）で出力軸２０９と密接した構造になっている。このような構造は、外部からのゴミ、埃、水分、湿気、油等の侵入を防ぐとともに、内部の摺動部で発生する摩耗粉等を外部環境に放出することも防ぐ。なお、この隙間部分に、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイト）やＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）を主成分とする、摩耗に対して強い材料を用いることで、更に隙間を少なくする、あるいは接触(ゼロ隙間)させることも可能である。
【００４４】
図８は振動子の構成を示す断面図である。振動子は、金属弾性体２０２、圧電素子２０１および電極２０３から構成される。金属弾性体２０２は、前述したように、中央部２０２ａの径が両端部２０２ｂ、２０２ｃの径よりも小さい円筒形状に形成されている。圧電素子２０１は、前記第１の実施形態と同様、ＡＤ法によって、金属弾性体２０２の中央部２０２ａの外周面に、薄膜圧電層として円筒形状に形成されている。
【００４５】
電極２０３は、後述するように、４つの領域に分割されており、薄膜圧電層２０１を伸縮させるために、薄膜圧電層２０１に電界を与えるものである。電極２０３は、前記第１の実施形態と同様、導電性の薄膜から構成され、蒸着、スパッタ、スクリーン印刷、電子ビームコ−ティング等の方法で形成される。導電材料としては、白金、金、銀、銀パラ、銅、ニッケル等が用いられる。電極２０３には、給電基板であるフレキシブルプリント基板２０６が取り付けられており、超音波モータの外部から電極２０３に電流が供給される。フレキシブルプリント基板２０６の取り付けは、圧接、半田、ワイヤーボンディング等で行われる。
【００４６】
図９は圧電素子の構成を示す図である。同図（Ａ）は円筒形状を有する圧電素子２０１の上面を示す。同図（Ｂ）は圧電素子２０１の外観を示す。圧電素子２０１の外周面には、前述したように、４つに分割された電極２０３が形成されており、Ａ相の交番電圧が印加されるＡ（＋）電極、Ａ（−）電極、およびＢ相の交番電圧が印加されるＢ（＋）電極、Ｂ（−）電極からなる。
【００４７】
Ａ（＋）電極が形成された圧電素子の領域とＡ（−）電極が形成された圧電素子の領域とでは、互いに径方向逆向きの分極処理が施されている。また、Ｂ（＋）電極が形成された圧電素子の領域とＢ（−）電極が形成された圧電素子の領域とでは、互いに径方向逆向きの分極処理が施されている。
【００４８】
Ａ相の交番電圧とＢ相の交番電圧の周波数を一致させ、かつ互いの位相を約９０度ずらして、それぞれに対応する電極に交番電圧を印加する。これにより、振動体は、時間的に位相をずらした状態で同時に２つの１次の曲げ振動を発生させる。この結果、金属弾性体２０２の端面には、１次の進行波が生じる。
【００４９】
図１０は電極２０３に交番電圧を印加するためのフレキシブルプリント基板２０６の構成を示す図である。フレキシブルプリント基板２０６には、Ａ（＋）電極およびＡ（−）電極に同一の交番電圧を印加するためのＡ相用電極パターン２２１、２２２が形成されている。また、Ｂ（＋）電極およびＢ（−）電極に同一の交番電圧を印加するためのＢ相用電極パターン２２６、２２８が形成されている。また、フレキシブルプリント基板２０６には、グランド用電極パターン２２３が形成されており、金属弾性体２０２に接合される。
【００５０】
従って、薄膜圧電層２０１は、Ａ相用電極パターン２２１、２２２とグランド用電極パターン２２３の間、Ｂ相用電極パターン２２６、２２８とグランド用電極パターンの間に配置されることになる。
【００５１】
第２の実施形態では、円筒形状の振動子を製造する場合にも、ＡＤ法を用いることで、前記第１の実施形態と同様、金属弾性体２０２と圧電材料からなる薄膜圧電層２０１とを直接接合することができ、圧電素子の厚さを極めて薄くすることができる。
【００５２】
なお、各電極が形成された薄膜圧電層の分極方向、および各電極に印加される交番電圧の位相の組み合わせは、本実施形態に限定されるものでないことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】第１の実施形態における超音波モータの構造を示す断面図である。
【図２】振動子の構造を示す断面図である。
【図３】圧電素子１０１の構造を拡大して示す図である。
【図４】他の薄膜圧電層１５１の構造を拡大して示す図である。
【図５】他の振動子の構造を示す断面図である。
【図６】他の振動子の構造を示す断面図である。
【図７】第２の実施形態における超音波モータの構造を示す断面図である。
【図８】振動子の構成を示す断面図である。
【図９】圧電素子の構成を示す図である。
【図１０】電極２０３に交番電圧を印加するためのフレキシブルプリント基板２０６の構成を示す図である。
【図１１】従来の振動子の構造を示す断面図である。
【図１２】圧電素子の構造を拡大して示す図である。
【符号の説明】
【００５４】
１０１、１５１、２０１ 圧電素子（薄膜圧電層）
１０２、２０２ 金属弾性体
１０３、２０３ 電極
１０４ 粉体
１０５ 絶縁体
１０７ 移動体
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性体および電気機械エネルギ変換素子から構成され、前記電気機械エネルギ変換素子の表面に形成された電極に交番電圧を供給することによって前記弾性体の表面に進行波を生じさせる振動体の製造に用いられる振動体の製造方法であって、
前記弾性体の表面に薄膜として前記電気機械エネルギ変換素子を形成する工程を有することを特徴とする振動体の製造方法。
【請求項２】
前記工程では、エアロゾルデポジッション法によって、前記弾性体の表面に前記電気機械エネルギ変換素子を直接形成することを特徴とする請求項１記載の振動体の製造方法。
【請求項３】
前記工程では、１００μｍ以下の粉体とした圧電材料をエアロゾル化し、前記弾性体に吹き付けることで、１０μｍ程度にまで粉砕された粉体を前記弾性体の表面に堆積させることを特徴とする請求項２記載の振動体の製造方法。
【請求項４】
前記工程では、前記堆積する粉体間に生じる空孔を絶縁体で充填したことを特徴とする請求項３記載の振動体の製造方法。
【請求項５】
前記工程では、前記弾性体の平面に前記電気機械エネルギ変換素子を形成することを特徴とする請求項２記載の振動体の製造方法。
【請求項６】
前記工程では、前記弾性体の曲面に前記電気機械エネルギ変換素子を形成することを特徴とする請求項２記載の振動体の製造方法。
【請求項７】
前記工程では、前記堆積する粉体からなる前記電気機械エネルギ変換素子を複数層形成することを特徴とする請求項３記載の振動体の製造方法。
【請求項８】
前記工程では、一部に電極層が形成された前記弾性体の表面に前記粉体を堆積させることを特徴とする請求項３記載の振動体の製造方法。
【請求項９】
弾性体および電気機械エネルギ変換素子から構成され、前記電気機械エネルギ変換素子の表面に形成された電極に交番電圧を供給することによって前記弾性体の表面に進行波を生じさせる振動体であって、
前記弾性体の表面に薄膜として前記電気機械エネルギ変換素子が形成されたことを特徴とする振動体。
【請求項１０】
請求項９に記載の振動体と、前記弾性体に接触し、当該弾性体の表面に生じた進行波によって駆動される移動体とを備えた振動型駆動装置。
【請求項１】
弾性体および電気機械エネルギ変換素子から構成され、前記電気機械エネルギ変換素子の表面に形成された電極に交番電圧を供給することによって前記弾性体の表面に進行波を生じさせる振動体の製造に用いられる振動体の製造方法であって、
前記弾性体の表面に薄膜として前記電気機械エネルギ変換素子を形成する工程を有することを特徴とする振動体の製造方法。
【請求項２】
前記工程では、エアロゾルデポジッション法によって、前記弾性体の表面に前記電気機械エネルギ変換素子を直接形成することを特徴とする請求項１記載の振動体の製造方法。
【請求項３】
前記工程では、１００μｍ以下の粉体とした圧電材料をエアロゾル化し、前記弾性体に吹き付けることで、１０μｍ程度にまで粉砕された粉体を前記弾性体の表面に堆積させることを特徴とする請求項２記載の振動体の製造方法。
【請求項４】
前記工程では、前記堆積する粉体間に生じる空孔を絶縁体で充填したことを特徴とする請求項３記載の振動体の製造方法。
【請求項５】
前記工程では、前記弾性体の平面に前記電気機械エネルギ変換素子を形成することを特徴とする請求項２記載の振動体の製造方法。
【請求項６】
前記工程では、前記弾性体の曲面に前記電気機械エネルギ変換素子を形成することを特徴とする請求項２記載の振動体の製造方法。
【請求項７】
前記工程では、前記堆積する粉体からなる前記電気機械エネルギ変換素子を複数層形成することを特徴とする請求項３記載の振動体の製造方法。
【請求項８】
前記工程では、一部に電極層が形成された前記弾性体の表面に前記粉体を堆積させることを特徴とする請求項３記載の振動体の製造方法。
【請求項９】
弾性体および電気機械エネルギ変換素子から構成され、前記電気機械エネルギ変換素子の表面に形成された電極に交番電圧を供給することによって前記弾性体の表面に進行波を生じさせる振動体であって、
前記弾性体の表面に薄膜として前記電気機械エネルギ変換素子が形成されたことを特徴とする振動体。
【請求項１０】
請求項９に記載の振動体と、前記弾性体に接触し、当該弾性体の表面に生じた進行波によって駆動される移動体とを備えた振動型駆動装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２００８−１３０７６７（Ｐ２００８−１３０７６７Ａ）
【公開日】平成２０年６月５日（２００８．６．５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−３１３３６７（Ｐ２００６−３１３３６７）
【出願日】平成１８年１１月２０日（２００６．１１．２０）
【出願人】（０００００１００７）キヤノン株式会社 (59,756)
【出願人】（０００１０４６３０）キヤノンプレシジョン株式会社 (79)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年６月５日（２００８．６．５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年１１月２０日（２００６．１１．２０）
【出願人】（０００００１００７）キヤノン株式会社 (59,756)
【出願人】（０００１０４６３０）キヤノンプレシジョン株式会社 (79)
【Ｆターム（参考）】
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