【目的】 上層配線金属膜の被覆性がよく、埋込プラグのＥＭ耐性の良好な多層配線構造およびその形成方法を提供する。
【構成】 Ｓｉ基板１１上に下地絶縁膜１２が形成され、さらに下層配線金属膜１３が形成される。この下層配線金属膜１３は、Ｔｉを０．１５ｗｔ％の濃度に含み、Ｃｕを０．１ｗｔ％の濃度に含むＡｌ金属からなる。従って、下層配線金属膜１３の平均結晶粒径はヴィア孔１４ａの孔径の１／３以下に設定される。次に、下層配線金属膜１３上に層間絶縁膜１４が形成され、続いてヴィア孔１４ａが形成される。次に、ヴィア孔１４ａの底面に露出する下層配線金属膜１３の表面に金属膜が選択堆積され、埋込プラグ１５が形成される。次に、層間絶縁膜１４および埋込プラグ１５上に上層配線金属膜１６が形成される。 （もっと読む）

【目的】 歪取焼鈍後においても鉄損の劣化のない、低い鉄損の方向性電磁鋼板を、安定してしかも低コストで製造し得る方法について提案する。
【構成】 含けい素鋼素材を熱間圧延した後、１回または中間焼鈍を挟む２回以上の冷間圧延を施して最終製品板厚とし、しかる後脱炭焼鈍、次いで仕上げ焼鈍を施す一連の工程からなる方向性電磁鋼板の製造方法において、最終冷間圧延後の鋼板に、その圧延方向とほぼ直交する向きに延びる線状溝を、圧延方向に所定間隔で多数本形成するに当たり、該線状溝の少なくとも１つの外縁は、少なくとも２直線が相互に角度を成す配置で組合わされた要素を、圧延方向とほぼ直交する向きに、複数配列した構成とする。 （もっと読む）

【目的】 鋼矢板を圧入施工および圧入・引抜き施工する工法において、鋼矢板の頭部変形を生じることなく、簡単に鋼矢板をチャックし固定して圧入および圧入・引抜き施工することのできる鋼矢板の圧入および圧入・引抜き施工兼用補助具を提供することを目的とする。
【構成】 鋼矢板の変形防止兼用チャッキングプレート５と、鋼矢板頭部断面に接触するように設けられた耐圧プレート４と、該耐圧プレート上部に配設された押し込み用チャッキングプレート２とからなる鋼矢板の圧入施工用補助具、また、鋼矢板の変形防止材７と、鋼矢板頭部断面に接触するように設けられた耐圧プレート４と、圧入・引抜き用スライド機構を有した機械的チャッキング兼用の変形防止および荷重伝達部８とからなる鋼矢板の圧入・引抜き施工兼用補助具。 （もっと読む）

【目的】 熱処理生産性が高く、かつ過酷な使用条件下での繰り返し応力負荷によるミクロ組織変化が少ない軸受鋼を提供する。
【構成】 熱処理生産性を改善するためにSbを0.001 〜0.005 wt％未満含有させると同時に、繰り返し応力負荷によるミクロ組織変化遅延を促進するために、Ｂ₅₀高負荷転動疲労寿命改善成分として、とくにMn：2.0 超〜5.0 wt％, Al：0.005 〜0.07wt％およびSi：0.5 超〜2.5 wt％, Cr：2.5 超〜8.0 wt％,Ni：1.0 超〜3.0 wt％, Ｎ：0.012 超〜0.050 wt％,Ｖ：0.05〜1.0 wt％, Nb：0.05〜1.0 wt％,Ｗ：0.05〜1.0 wt％, Zr：0.02〜0.5 wt％,Ta：0.02〜0.5 wt％, Hf：0.02〜0.5 wt％,および Co ：0.05〜1.5 wt％のうちから選ばれるいずれか１種または２種以上を含む軸受鋼。 （もっと読む）

【目的】 過酷な使用条件下での繰り返し応力負荷によるミクロ組織変化が少なくかつ熱処理生産性の高い軸受鋼を提供する。
【構成】 熱処理生産性を改善するためにSbを0.001 〜0.015 wt％含有すると共に、繰り返し応力負荷によるミクロ組織変化遅延を促進するために、Ｂ₅₀高負荷転動疲労寿命改善成分として、とくにMo：0.5 超〜2.0 wt％およびSi：0.5 超〜2.5 wt％, Cr：2.5 超〜8.0 wt％,Ni：1.0 超〜3.0 wt％, Ｎ：0.012 超〜0.050 wt％,Ｖ：0.05〜1.0 wt％, Nb：0.05〜1.0 wt％,Ｗ：0.05〜1.0 wt％, Zr：0.02〜0.5 wt％,Ta：0.02〜0.5 wt％, Hf：0.02〜0.5 wt％およびCo：0.05〜1.5 wt％のうちから選ばれるいずれか１種または２種以上を含み、かつ酸化物系非金属介在物の最大粒径を８μm 以下に制御してなる軸受鋼。 （もっと読む）

【構成】 垂直曲げ型の連続鋳造機を用いてステンレス鋼の鋳造鋳片を製造するに当たり、ノズルの軸心と直交する向きを基準にしてそれよりも上方に５°、下方に35°の範囲に納まる角度を有する吐出孔を備えた浸漬ノズルを、連続鋳造用鋳型のモールドメニスカス面から150 〜300 mmの深さになるように浸漬し、この状態でステンレス鋼の溶湯を該鋳型内に供給するとともに、0.8 〜1.8m/minの鋳造速度で該鋳型よりステンレス鋼の鋳造鋳片を引き抜くようにする。
【効果】 ステンレス鋼の連続鋳造において鋳造速度を高めても品質の低下を招くことがなく、生産効率を著しく向上させることができる。 （もっと読む）

【目的】 微細なヴィア孔にＡｌを低抵抗で埋め込む方法を提供すること。
【構成】 Ａｌ配線６上に層間絶縁膜８を被覆し、ここにヴィア孔８ａを形成する。その次に、Ａｌ配線６の露出表面に形成されている自然酸化膜６ａ等を塩素を含むガス雰囲気中でプラズマエッチングすることによって除去する。その次に、Ａｌ配線６表面の塩化物６ｂや層間絶縁膜８表面の堆積物８ｂを不活性ガスを用いたプラズマ処理により除去する。その次に、ＣＶＤによりヴィア孔８ａ内にＡｌを選択的に堆積する。上記の方法では、プラズマエッチングの工程で自然酸化膜４ａを除去し、プラズマ処理の工程で塩化物６ｂや堆積物８ｂを除去することとしているので、ＣＶＤにあたってヴィア孔８ａ底部のみに選択性良くＡｌを堆積することができる。したがって、ヴィア孔８ａ内に埋め込まれたＡｌプラグとその後層間絶縁膜８上に形成するＡｌ配線との接続を極めて良好なものとすることができる。 （もっと読む）