【課題】液体を含む測定流体の圧力を測定する圧力センサにおいて、体格を小型化しつつ、急激な圧力変動に対してもボンディングワイヤを保護できること。
【解決手段】第１ハウジング２０の凹部底面２４ａ上に圧力検出用のセンサチップ３０が配置され、センサチップ３０が、第１ハウジング２０に保持されたターミナル４０と、ボンディングワイヤ５０を介して接続されている。センサチップ３０、ターミナル４０の端部４１、ボンディングワイヤ５０は、保護部材６０により保護されている。保護部材６０は、液状のゴムが硬化された弾性部材６１と、弾性部材６１よりヤング率の高い材料からなり、弾性部材６１に少なくとも一部が埋設されて保持された高硬度部材６２を有する。弾性部材６１により、センサチップ３０の少なくとも一部、ターミナル４０の端部４１、ボンディングワイヤ５０が被覆され、高硬度部材６２はダイアフラム３１の上方に配置されている。 （もっと読む）

【課題】簡易な設備でセンサチップの入出力端子に接続されるボンディングワイヤを保護し得るセンサ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】第２工程にて凹部２３内に組み付けられたセンサチップ４０の各パッド４２ａ〜４２ｆおよび回路チップ５０の各パッド５１ａ〜５１ｈやボンディングパッド２１ａ〜２１ｄを、第３工程にてボンディングワイヤ６１〜６９によりそれぞれ電気的に接続する。そして、第４工程にて、有機溶媒に帯電粒子を分散させたコロイド溶液８０を、ボンディングワイヤ６１〜６９等が浸漬するように凹部２３内に注入し、第５工程にて、各ターミナル２１に所定の電圧を印加することでコロイド溶液８０内に電位勾配を発生させて、帯電粒子を電気泳動によりボンディングワイヤ６１〜６９の表面に付着させて、保護膜７１〜７９を成膜する。 （もっと読む）

【課題】差圧／圧力伝送器のダイアフラムが反応する過大圧の設定値を任意に設定する。
【解決手段】高圧側受圧部及び低圧側受圧部を有する本体１と、本体１に設置された圧力センサ２と、高圧側受圧部に設けられた高圧側センターダイアフラム１９と、凸形状の面を有する高圧側固定金具７と、低圧側受圧部に設けられた低圧側センターダイアフラム２０と、凸形状の面を有する低圧側固定金具８とを含む差圧／圧力伝送器において、高圧側固定金具７の凸形状の面を高圧側センターダイアフラム１９に押し当てて螺合機構により押し当て量を変化させることを可能とし、低圧側固定金具８の凸形状の面を低圧側センターダイアフラム２０に押し当てて螺合機構により押し当て量を変化させることを可能とした構成とする。 （もっと読む）

【課題】信号ラインとフレームグランド間の寄生容量とそのバラツキを抑えてノイズの減衰を図る共に、高圧・高耐圧特性を備えるセンサユニットを実現する。
【解決手段】所定の厚さをもって対向する第１面および第２面を有するセラミック部材と、
前記第１面側に実装されたセンサ部と、
前記第２面側に固定配置された複数の金属ピンと、
前記セラミック部材を貫通して前記センサ部と前記金属ピンとを接続する複数の内部配線と、
前記第２面側の周端部に形成され、溶接により筐体と結合する金属部材と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】センサ上での、接続部およびワイヤボンドパッド等のメタライゼーション層の腐食を防止するためのデバイスおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】デバイスは、メタライゼーション層３００の上に配置される絶縁層４００と、絶縁層４００の上に配置される接着層２００を備え、接着層２００の上に金から構成される耐食性層１００を配置する。これにより、耐食性層１００として金を使用することに対応しながら、従来のシリコン−ガラス接着技術を使用することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】耐圧が向上された差圧・圧力測定装置を実現する。
【解決手段】半導体圧力センサ本体の一方の面に一方の面が接合されこの半導体圧力センサ本体の他の面を隙間を有して覆いモールド材よりなるモールドパッケージとを具備する半導体圧力測定装置において、凹部を有する２個の耐圧性の耐圧カバー部材と、この耐圧カバー部材の前記凹部の開口部が対向配置されこの凹部内に隙間を有して前記モールドパッケージが配置され前記凹部の前記開口部が互いに溶接接合されて形成される耐圧カバーと、前記耐圧カバーに設けられ前記隙間に連通する信号取出し孔と、この信号取出し孔に集中して配置された８個の信号端子と、前記信号取出し孔を介して前記隙間に充填され前記モールドパッケージの前記モールド材よりヤング率の大きな接着材よりなる充填体と、を具備したことを特徴とする差圧・圧力測定装置である。 （もっと読む）

【課題】回路部の一部をキャップ基板のデッドスペースに形成することで、体格が低減された半導体センサ、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】センサ基板１０とキャップ基板５０が絶縁膜５１を介して接合された半導体センサであって、キャップ基板５０の裏面５０ｂから絶縁膜５１までが除去されて、外部に露出したキャップ基板５０の壁面に絶縁膜６０が形成され、絶縁膜６０を側壁、外部に露出した絶縁膜５１を底部とする凹部５６ａが、センサ基板１０の内部配線１３ｂにおける裏面５０ｂ側への射影位置に形成され、凹部５６ａ上の外部配線５３ａ及び内部配線１３ｂによってコンデンサＣ１、キャップ基板５０に形成された貫通電極５２ａと凹部５６ａとの間の外部配線５３ａによって抵抗Ｒ１が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 耐食性を有しながらも圧力の検出の性能を従来より向上することができる圧力検出装置を提供する。
【解決手段】 圧力検出装置１０は、気体が接触する接ガス面２０ａが形成されて気体の圧力を検出する静電容量型の圧力センサモジュール２０を備えており、圧力センサモジュール２０は、接ガス面２０ａに施されたアモルファス金属の保護膜２５と、保護膜２５に覆われて気体の圧力に応じて変位するシリコンダイヤフラム２２ａとを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ケース同士を単に突き合わせるだけで、ケース相互間のシール性を高めつつ結合できるようにする。
【解決手段】センサモジュール７を収容固定するベース１とカバー３とを嵌合してハウジング５を構成する。ベース１には外周縁部に沿って嵌合凸部１５を設ける一方、カバー３には、嵌合凸部１５が嵌合する嵌合溝２３を形成する。嵌合凸部１５の先端面には、断面三角形状の突起２１をあらかじめ形成しておき、ベース１とカバー３とを互いに嵌合して結合するときに、嵌合凸部１５の先端面の突起２１が嵌合溝２３の底部に当接して塑性変形し、潰れることでシール部Ｓとなる。 （もっと読む）

【課題】高精度な圧力検出を可能としつつ、圧電振動素子の面方向に対して手垂直な方向の衝撃に対する耐性が高い圧力センサーを提供する。
【解決手段】受圧方向へ変位する中央部３０と、中央部３０の外周に位置して変位することを抑えられた周縁部３４とを有するダイアフラム２８と、前記中央部の変位方向に沿って検出軸を定めた感圧部としての振動腕４０と振動腕４０を挟持する一対の基部（第１の基部４２と第２の基部４４）とを有し、第１の基部４２を中央部３０における一方の面に固定される感圧素子３８と、ダイアフラム２８の外周側に配置され、感圧素子３８配置側に位置する主面に段差部２７を備えるリング部２２と、感圧素子３８における第２の基部４４をダイアフラム２８における周縁部３４、または段差部２７に接続する支持板本体５０と、支持板本体５０と平行に配置され、感圧素子３８の傾倒を防止するストッパー６０，６４とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧力センサをパッケージする際に、封止樹脂が拡がることを防止するため、基材上にパッケージカバーを接合した後に樹脂を滴下していたが、パッケージカバーの天井部に設けられた圧力導入口が樹脂により塞がれる問題が発生した。
【解決手段】樹脂で覆われた表面に外部の圧力を測定可能な圧力受感部を有する圧力センサと、圧力センサに電気的に接続された基材と、圧力センサを内部に収容する基材に接合されたパッケージカバーとを備え、パッケージカバーには外部の圧力を圧力センサに反映させる圧力導入口があり、パッケージカバーの内面に圧力導入口を囲むよう突出部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】許容過負荷を超えるオーバー圧がかかっても精度低下を生じることがなく、かつ、測定する流体の滞留を少なくできる圧力検出装置を提供すること。
【解決手段】一面に受圧面１Ｃが形成されるケース１の内部に取付孔１Ａが形成され、このケース１の取付孔１Ａに基板２０が固定され、この基板２０にダイアフラム２１が対向配置され、このダイアフラム２１と基板２０とにダイアフラム２１の変位を検出する変位検出部２２が設けられ、ダイアフラム２１の基板２０と対向する面とは反対側の面に密接して隔膜２３が設けられるとともに、この隔膜２３の外周部２３Ａがケース１の凹部１Ｄに固定される。隔膜２３はケース１の受圧面１Ｃと面一になるよう配置され、かつ、外周部２３Ａとダイアフラム２１に接する中央部２３Ｂとの間に応力を吸収する応力吸収部２３Ｃが設けられる。 （もっと読む）

【課題】簡便にセンサの耐圧性能を向上させた振動式圧力センサを実現することにある。
【解決手段】 ダイアフラムに振動子が設けられた検出素子を備えた振動式圧力センサにおいて、
前記検出素子の上面に設けられた圧力保護部材と、
前記検出素子の下面に設けられた支持部材と
を具備し、
前記圧力保護部材は、前記ダイアフラムと所定の間隔を保つように形成され、
前記ダイアフラムは過大圧力が印加されることにより変位して前記圧力保護部材に押圧されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ダイアフラムの熱変形を抑制することができるとともに、燃焼室で発生する煤によって圧力検出精度が低下することをも抑制できる圧力センサを提供する。
【解決手段】 圧力センサ１０は、内燃機関の燃焼室に臨む位置に配設される。圧力センサ１０は、ハウジング２０と、ハウジング２０に固定されているとともに、ハウジング２０の内側と外側とを区画しているダイアフラム３０と、ダイアフラム３０の変形に応じて出力値が変化するセンサ部５０と、ダイアフラム３０の外側の表面上で発泡してその外側の表面の全体を覆っている耐火性の断熱部材４０とを備えている。 （もっと読む）

メンブレン（２）はキャリア基板（３）上に配置され、キャリア基板（３）内の開口（３２）上に延在する。圧力センサ（１）は、媒体との直接的な接触からメンブレン（２）を保護するために保護層（４）を有する。保護層（４）は開口（３２）内側の第１領域（２８）および開口（３２）外側の第２領域（２９）におけるメンブレン（２）を被覆する。さらに、保護層（４）がエッチング処理のためのエッチストップを形成する、圧力センサ（１）の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】パージガス消費量を抑制し、かつ、導管の閉塞を防止できる流動層設備用圧力計導管を提供する。
【解決手段】流動層設備１に設置される圧力計ＧのパージガスＰ導入用の導管６１，６２であって、流動層設備１の内部に接続する導管６１，６２の先端開口部にオリフィス６３が形成された流動層設備用圧力計導管である。流動層設備１内の粉体がオリフィス６３によって導管６１，６２内に侵入し難くなる。仮に、侵入したとしてもパージガスＰの流入により流動層設備１側に戻せるため導管６１，６２の閉塞を防止できる。また、オリフィス６３によってパージガス消費量を抑制することができ経済的となる。 （もっと読む）

【課題】本発明では、部材数を抑えながらノイズの低減を図ることができ、且つ外部のコ
ネクタとの接続作業時における信頼性を向上させることができること。
【解決手段】圧力センサ１は、流体の圧力を検出する圧力センサチップ２（チップ２）と
パッケージ４とハウジング５とコネクタ部６とノイズ低減用のチップコンデンサ９とを備
える。パッケージ４はチップ２を収納し圧力導入孔１０が貫設される。ハウジング５はパ
ッケージ４を収納して内底面５ａに圧力導入孔１０と連通する貫通孔１５が貫設される。
コネクタ部６はパッケージ４から延出のコネクタ端子１８、及びハウジング５と一体に形
成される嵌合部１９から構成される。チップコンデンサ９は両端部に端子９ａ，９ｂが配
設される。コネクタ端子１８は内底面５ａに沿ってかしめ固定される。端子９ａは複数の
中の何れか１つのコネクタ端子１８に表面実装され端子９ｂは他のコネクタ端子１８に表
面実装される。 （もっと読む）

【課題】 外部の圧力を精度良く検出することができる圧力検出装置用基体および圧力検出装置を提供することにある。
【解決手段】 内部空間１ａを有する焼結体から成る絶縁基体１と、内部空間１ａの上面および下面に設けられた上側電極３および下側電極４とを備え、上面および下面の少なくとも一方に可撓領域１ｅを有し、可撓領域１ｅの外表面に、平面視で上側電極３または下側電極４を覆うように形成されたシールド層５と、内部空間１ａならびに上側電極３および下側電極４を囲むように配置され、シールド層５とは電気的に独立し、電極用導体層２の少なくとも１つに電気的に接続されたシールド導体６と、絶縁基体１の表面に形成されたシールド層５と電極用導体層２とを電気的に接続するための接続部７とを備えている圧力検出装置用基体。シールド層の表面へめっき層が被着されず、ノイズを遮蔽することが可能な圧力検出精度の高い圧力検出装置となる。 （もっと読む）

【課題】構成要素（１４）の内部における静圧を測定するための装置（１２）を提供する。
【解決手段】本装置（１２）は、構成要素（１４）に結合されたハウジング（２０）を含み、ハウジング（２０）は、その中に配置された可動構成要素（２６）を含み、可動構成要素（２６）は、構成要素（１４）の内部における静圧に応答して、作動可能に該構成要素（１４）内に伸長可能でありまた該構成要素（１４）から後退可能であり、また本装置（１２）はさらに、ハウジング（２０）内に配置されかつ構成要素（１４）の内部の流体から熱的に保護されたセンサ（５０）を含み、センサ（５０）は、構成要素（１４）の内部における静圧の測定を可能にするように構成される。 （もっと読む）