【課題】エンコーダの検査を高精度且つ容易に行うことが可能なサーボモータを提供する。
【解決手段】エンコーダ１００は、シャフトＳＨに連結され、複数の反射スリット１１１からなるスリットアレイＳＡが円周方向に沿って形成された円板状のディスク１１０と、スリットアレイＳＡに光を照射する点光源１２１、及び、点光源１２１から照射されスリットアレイＳＡで反射された光を受光する受光アレイ１２２を備えた光学モジュール１２０と、光学モジュール１２０が設けられる基板１３０と、モータＭのハウジング１０に固定され、ディスク１１０を内部に収容しつつ、光学モジュール１２０がスリットアレイＳＡと対向するように基板１３０を支持する、円筒状の支持部材１４０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】調整の容易な干渉計測装置を提供する。
【解決手段】撮像素子が受光した全体領域から第１および第２部分領域を抽出し、抽出された第１および第２各部分領域で受光した干渉光の強度を複数の時刻で取得し、各時刻における前記強度のうちの一方および他方をそれぞれX座標値およびY座標値としたときのY座標値の最大値と最小値との差分を第１差分Aとして算出し、X座標値およびY座標値の組み合わせのデータを一次関数で近似した場合の傾きαを算出し、この傾きがゼロとなるようにXY座標系を回転し、回転後のXY座標系におけるY座標値の最大値と最小値との差分を第２差分B’として算出し、δ＝asin{(B’/cosα)/A}で表される角度δを算出し、当該角度δを干渉光の位相分布の均一性を示す指標として決定する。 （もっと読む）

【課題】光学長さ測定機構を提供する。
【解決手段】２つの物体の一方と接続され、測定方向に延びる反射測定区域を含む実量器と、他方の物体に接続された、測定区域を光学的に走査するための走査ユニットが、光学的実効点光源と、少なくとも１つの光学的実効検出器アレイとを含み、光学的実効光源から発散して放出された光束が、測定区域の方向に伝播し、測定区域で走査ユニットの方向に反射して戻され、少なくとも１つの光学的実効検出器アレイに当たり、変位に応じて変わるパターンが光学的実効検出器アレイに現れ、このパターンは、光学的実効検出器アレイによって、位置に応じた１つまたは複数の走査信号に変換可能である。走査ユニットは、測定方向で長手方向で案内され、結合点で連結棒と関節結合され、連結棒は他方の物体と接続される。結合点の位置は、結合点周りでの走査ユニットの前後傾が起こっても誤差のある走査信号が生じないように選択される。 （もっと読む）

【課題】回転体の駆動計測または計測に基づいた駆動制御を行い、かつ、ロータリエンコーダの取り付け偏心も検出または補正制御可能とするロータリエンコーダ装置を提供する。
【解決手段】先ず（１５０）では、ロータリエンコーダからのアナログ出力を（１５１）でＡ／Ｄ変換し、（１５２）でＰ₁、Ｐ₂、Ｐ₃・・・Ｐ₇₂等のパターンごとに出力される（１５３）回転パルス信号成分抽出と、（１５４）偏心信号成分抽出を行っており、具体的には、偏心による『当該ロータリエンコーダにおいて、回転角度に対するＨとＬレベルパルス幅の比率に応じて回転軸芯に対するロータリエンコーダの取り付け偏心量と、偏心位相を検出する偏心量位相検出手段』のロータリエンコーダ１周分（Ｐ₁、Ｐ₂、Ｐ₃・・・Ｐ₇₂）のパターンから得られるＨ／（Ｈ＋Ｌ）のＳｉｎ関数の周期変動の振幅と位相を求め、その変動成分を分離（フィルタリング）する事により求められる。 （もっと読む）

【課題】コード・ホイールの位置合わせ不良を補正する装置及び方法を提供する。
【解決手段】この装置及び方法は、少なくとも第１及び第２の運動検出用フォトディテクタの上方及び下方に配置された上部及び下部のコード・ホイール位置合わせ不良用フォトディテクタを使用する。別の実施形態によれば、光学エンコーダ内の出力回路の利得を自動的に設定する装置及び方法が提供される。光学エンコーダのさらに別の実施形態では、本発明のコード・ホイール位置合わせ不良用機能と自動利得制御機能が組み合わされる。 （もっと読む）

【課題】エンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムを提供する。
【解決手段】リニア・エンコーダ２３は、移動式往復台２５の側面に設置した一対の側面リニア・エンコーダ２３−１、２３−１’と、移動式往復台２５の一側部の下部に設置した一対の下面リニア・エンコーダ２３−２、２３−２’とで構成され、このように構成されたリニア・エンコーダ２３が、基準マーク、垂直位置誤差を補償するためのＬトラック、および水平位置［誤差］を補償するためのＴトラックを有するスケールに沿って移動することで、高い精度レベルで平面度、ピッチ、真直度、ヨー、およびロールに関連した誤差を補償するものであり、したがって、加工することが不可能である部分を最小限にし、加工コストを減少させ、精密なステージを実現する。 （もっと読む）

本発明は、光学式の回転角センサないし回転検出器のための改良されたコーディングディスク、改良されたコーディングディスクを備える光学式の回転角センサないし回転検出器、ならびに回転検出器の角度測定誤差を、特に、特にコーディングディスクの変位ないし偏心によって生じる角度測定誤差を、光学式に修正ないし補正する方法に関する。コーディングディスク（２０）は、少なくとも１つの目盛トラック（２２）と少なくとも１つの補正トラック（２４）とを含んでおり、目盛トラック（２２）はコーディングディスク（２０）の第１の半径方向領域に配置されており、補正トラック（２４）は目盛トラック（２２）に対してセンタリングされて、コーディングディスク（２０）の第２の半径方向領域に配置されており、それにより目盛トラック（２２）の中心は補正トラック（２４）の中心と一致している。補正トラック（２４）は、補正トラックの一領域に入射する光の少なくとも一部分が、補正トラック（２４）により、補正トラックと目盛トラック（２２，２４）の共通の中心を通る軸の方向へ半径方向に偏向されるように設計されるのが好ましい。補正トラックにより偏向される読取り光の方向は、補正トラックと目盛トラックの共通の中心を通る軸との交点を有しているのが好ましく、補正トラックと当該交点との間隔は、補正トラックと目盛トラックの間の光路の長さに相当している。読取り光は、コヒーレントまたはインコヒーレントであってよい。補正トラックの半径は、目盛トラックの半径よりも小さいか、またはこれより大きいか、またはこれと等しくてよい。補正トラック（２４）は回折構造を有しているのが好ましい。
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【課題】スケールと検出部との各々の相対位置における動的なミスアライメントを補正可能で、かつ、大きなミスアライメントにも対応できる光学式エンコーダを提供することである。
【解決手段】光学式エンコーダは、測長光源から出射される光を光学格子を有するスケール部に照射し、スケール部からの反射光をスケール部と相対移動可能に設けられた受光素子３１１にて検出して被測定物を測長する光学式エンコーダであって、受光素子３１１を移動及び回動させて受光素子３１１による検出位置及び検出方向を変更する圧電素子３１３ａ〜３１３ｌと、測長する際に、受光素子３１１とスケール部との相対位置に応じたミスアライメント情報に基づいて、圧電素子３１３ａ〜３１３ｌにより、ミスアライメントをキャンセルするように受光素子３１１の検出位置及び／又は検出方向を変更させる機能をＣＰＵに実行させる制御プログラムと、を備える。 （もっと読む）

本発明は、センサユニットを有する格子手段を備えた干渉式の距離測定装置及び／又は回転測定装置に関する。センサユニットは格子手段の直線及び／又は回転運動を検出するために、光導体ユニットから出射され格子手段へと配向される二つの部分ビームが受光ユニットによって検出可能であり、且つ格子手段の直線又は回転運動及び／又は格子手段の位置に依存する重畳信号を形成するように光導体ユニット並びに受光ユニットと協働する。光導体ユニットには二つの部分ビームにビームを分割する手段と、二つの部分ビームの内の一方に対して、部分ビームの光学的なコヒーレンス長よりも長い光学的な遅延区間を生じさせる第１の光学的な遅延手段とを有する変調干渉計ユニットが接続されている。変調干渉計ユニットは、二つの部分ビームが共通して供給される光導体を介してセンサユニットと接続されている。受光ユニットはセンサユニットに設けられている。
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【課題】回転ディスクに対して受光素子を正確に位置決めするには受光素子を固定する受光素子固定ハウジングに高い精度の位置決め調整用ジグを必要としたり、位置決め用ピンなどの別部品を用意する必要があり部品コスト、ジグコスト等のコストアップの問題を残していた。
【解決手段】受光素子に回転ディスクの最外周エッジに合わせて位置決め調整をするための複数の位置調整用マークを配置する。また、半径の異なる複数の前記回転ディスクに対して位置決め調整が可能なように前記回転ディスクの半径方向異なる位置に複数の凹凸形状のマークを同一パターン上に形成する。 （もっと読む）

【課題】第１格子と第２格子までの光学的距離と第２格子から第３格子までの光学的距離の設計値からのずれによる性能劣化を抑制することにより、安定した性能を有し、小型で量産に向いた光学式エンコーダを提供すること。
【解決手段】３重スリット方式の光学式エンコーダにおいて、発光部側の発散光の出射幅を限定する位置からスケールの格子までの光学的距離ｚ１と、受光部側のスケールの格子から光検出部の格子機能面までの光学的距離ｚ２と、の少なくとも一方の値を増減させることによって、検出信号の振幅レベルの劣化を低減させる信号劣化低減手段を備える （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高分解能なエンコーダーを実現する。
【解決手段】エンコーダー３００であって、回転円盤３１０と、前記回転円盤上において前記回転円盤の円周に沿って等間隔に設けられたｍ個（ｍは２以上の整数）のスリット又は反射板で構成される光学要素列３１１と、前記光学要素列に光を照射する発光部３２０と、前記光学要素列の個々の光学要素を透過する、または反射する光を受光して矩形状の受光信号を出力する受光部３７１〜３７４と、を備え、前記発光部と前記受光部は、ｎ組配置されており、個々の受光信号の１周期の位相差を２πと定義したとき、ｎ個の受光部で生成されるｎ個の受光信号の位相がπ／ｎずつ順次ずれるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】検出ヘッド内部の迷光等の影響を受けず、かつ信頼性を確保して小型化・薄型化を図ること。
【解決手段】光源４とスケール９との間の光路上に配置される第１の光透過部５０と、スケール９と光検出器６との間の光路上に配置される第２の光透過部７０と、第１の光透過部５０と第２の光透過部７０とを繋ぐ接続透過部２００とを有する光透過部材５を備え、第１の光透過部５０の表面と第２の光透過部７０の表面との間に介在し、エンコーダ信号の検出に寄与しない迷光を低減する迷光低減機能要素を備えた。 （もっと読む）

【課題】回転体の回転開始直後から該回転体の回転を検出することができる回転検出装置、及び該回転検出装置を備え磁気テープに精度良くサーボ信号を書き込むことができるサーボライタを得る。
【解決手段】ロータリエンコーダ１０は、回転軸線に対し同軸的な円周に沿ってランド２２Ｂと光の反射状態の異なるピット２２Ａが等間隔で配置されて光学パターン２２が形成された光学ディスク１４と、光学パターン２２からの反射光の強度に応じた回転検出信号を出力する回転検出部１６と、回転検出部１６からの回転検出信号ｄ４が検出されない場合に、該回転検出信号ｄ４が検出されるまで光ピックアップ２４を光学ディスク１４の径方向に所定範囲内で変位させる径方向粗動機構５６と、を備えている。 （もっと読む）

【解決手段】長さ測定装置は、ハウジング（２２）内部に配置された物差し（２０）と走査ユニット（１０）の物差し（２０）を走査するセンサーチップ（１３）とから成る。走査ユニット（１０）のセンサーチップ（１３）により発生された熱が適切にハウジング（２２）の方向に案内される。このために、センサーチップ（１３）には熱伝導要素（１９）が連結されていて、この熱伝導要素はハウジング（２２）に案内され、熱が僅かな隙間（Ｌ）を介してハウジング（２２）にまで伝送する。
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【課題】構造が簡単で、小型化が容易で、高精度な位置決めが可能な素子位置決め機構を提供する。
【解決手段】素子位置決め機構は、基部１と、素子搭載部１０と、基部１に対して素子搭載部１０を支持しＸＹ面内にて延在する４つの支持梁Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄとを備える。支持梁Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄのそれぞれは、素子搭載部１０をＸＹ面内でＸ方向及びＹ方向に関して移動させることが可能な可撓性を持っている。素子位置決め機構は、基部１に対して素子搭載部１０をＸ方向及びＹ方向に関して移動させて位置決めする位置決め作用部を備える。位置決め作用部は、基部１に形成されたＸ方向のねじ穴２６，２７及びＹ方向のねじ穴２８と、これらのねじ穴に適合し且つ素子搭載部１０の端縁に当接可能なＸ方向のねじ１３，１４及びＹ方向のねじ１５を含む。 （もっと読む）

【課題】組立て調整が容易であり、且つ分解能を向上することが可能な光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】本発明に係る光学式エンコーダ１の一実施形態は、回転軸２５に取り付けられた回転偏光板２０と、回転偏光板２０に対向して設けられた第１の固定偏光板３１と、第１の固定偏光板３１と同一平面上に回転偏光板２０に対向して設けられており、第１の固定偏光板３１の偏光面に対して４５度異なる偏光面を有する第２の固定偏光板３２と、回転偏光板２０に光を照射する光源１０と、回転偏光板２０と第１の固定偏光板３１とを通過した光源１０からの光に応じた第１の電気信号を生成する第１の受光素子４１と、回転偏光板２０と第２の固定偏光板３２とを通過した光源１０からの光に応じた第２の電気信号を生成する第２の受光素子４２と、第１の電気信号と第２の電気信号とを多分割する多分割回路５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】受光素子の信号間の位相差を電気的に調整可能とすること。
【解決手段】第１の受光素子１６１からの第１電気角の信号（ｅ１）と、第２の受光素子１６２からの第２電気角の信号（ｅ２）との出力間の第１の抵抗分割回路５１と、第２の受光素子１６２からの第２電気角の信号（ｅ２）と第３の受光素子１６３からの第３電気角の信号（ｅ３）との出力間の第２の抵抗分割回路５２と、を備え、上記両抵抗分割回路５１，５２でそれぞれ信号（ｅ１）と信号（ｅ２）との差信号（ｅ０１）と、信号（ｅ２）と信号（ｅ３）との差信号（ｅ０２）を得ると共に、両差信号（ｅ０１、ｅ０２）の位相差を上記抵抗分割回路５２内の可変抵抗ｒ３により調整可能とした。 （もっと読む）

【課題】スリット円板を支持して回転軸に固定されるハブとケースとの芯出し調整を容易かつ確実に行うことができるロータリエンコーダとその芯出し調整方法を提供する。
【解決手段】ロータリエンコーダは、ケース４内に回転自在に収容されたスリット円板５を支持して回転軸に固定されるハブ６と、ケース４に対して回転軸ＳＨと垂直な方向にスライド操作可能な調整用スライダ７とを備え、ハブ６は固定螺子９で回転軸に対して固定されるまでは軸方向に移動可能である。調整用スライダ７は、一対の平行な脚部７１がハブ６を軸方向に移動させてケース４の底部のテーパ面に押し当てることにより芯出し調整を行う芯出し調整位置と、脚部７１がハブ６から離れてハブ６を回転自在にするハブ解放位置とを有する。 （もっと読む）

【課題】測定誤差の低減を可能にする。
【解決手段】ディスク取付台２７は、その上部の平面の周縁を残して内側を削って、基準面２７aが形成されている。ディスク固定部材２８は、その下部の基準面２７aに平行な平面の周縁を残して内側を削って、基準面２７aに対向する押さえ付け面２８aが形成されている。こうして、互いに対向する基準面２７aと押さえ付け面２８aとでディスク１９を挟み込むことによって、ディスク取付台２７の全面とディスク固定部材２８の全面とでディスク１９を挟み込む場合よりも、基準面２７aと押さえ付け面２８aとの面精度のばらつきによる影響を抑制でき、電気特性の検査精度を向上できる。また、ディスク１９の「うねり」の影響を受け難くすることもできる。 （もっと読む）