【課題】ダイシングストリートにＧａＡｓが露出している場合、結果ダイシング時に素子のチッピング、電極や磁性体の剥離、溶解したＧａＡｓによる電極接合部の汚染が発生し、さらにＧａＡｓ基板裏面もエッチングされるためＧａＡｓの溶解による電極接合部の汚染の課題がある。
【解決手段】本発明は、ホール素子が設けられたＧａＡｓ基板と、ＧａＡｓ基板上に設けられた磁気増幅機能を有する磁性体とを備える磁気デバイスにおいて、上記ホール素子上に絶縁層と、上記絶縁層上にＴｉ系金属層と、上記Ｔｉ系金属層の上にＣｕ系金属層とを有し、ダイシングストリート上を少なくとも無機絶縁材料乃至有機絶縁材料もしくはその両方でカバーさせＧａＡｓを露出させず、またさらにＧａＡｓ基板裏面にも有機絶縁膜でカバーすることにより本課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】 特に、軟磁性体と磁気抵抗効果素子間でオフセットが生じても、外乱感度を小さくすることができる磁気センサを提供することを目的とする。
【解決手段】 軟磁性体３のＹ１側部側に位置し、感度軸方向Ｐ１がＹ２、Ｙ１からの水平磁界成分を受ける第１磁気抵抗効果素子Ｓ１と、軟磁性体のＹ２側部側に位置し、感度軸方向Ｐ２はＹ１、Ｙ２からの水平磁界成分を受ける第２の磁気抵抗効果素子Ｓ２と、軟磁性体のＹ２側部側に位置し、感度軸方向がＹ２、Ｙ２からの水平磁界成分を受ける第３磁気抵抗効果素子Ｓ３、軟磁性体のＹ１側部側に位置し、感度軸方向がＹ１、Ｙ１からの水平磁界成分を受ける第４磁気抵抗効果素子Ｓ４と備える。Ｓ１とＳ２とが直列接続されたＡ素子群と、Ｓ３とＳ４とが直列接続されたＢ素子群が構成される。Ａ素子群とＢ素子群とが直列接続されるとともに、Ａ素子群とＢ素子群の間に出力端子が設けられる。 （もっと読む）

【課題】磁化容易軸の揃った用磁石アレイ及び該磁石アレイを利用した磁気センサを製造する。
【解決手段】磁性体から成る素材ブロックから所定厚さの板状素材を切り出す工程と、切り出された板状素材から所定形状の磁石アレイ用磁石を切り出す工程と、切り出された全ての磁石アレイ用磁石で磁化容易軸の方向を認識できるように目印を加工する工程と、加工された目印に基づいて磁化容易軸が所定方向となるように磁石アレイ用磁石を配置して磁石アレイを組み立てる工程とによって磁石アレイを製造し、この磁石アレイを利用して磁気センサを製造する。 （もっと読む）

【課題】低保磁力をもつ軟磁性薄膜を備え、この軟磁性薄膜で磁気収束する半導体装置及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】半導体基板１に設けられたホール素子２と、ホール素子１上に設けられた軟磁性薄膜６が、少なくともホウ素を含有している。また、半導体基板１上で、かつホール素子２上に設けられた有機絶縁膜４と、有機絶縁膜４と軟磁性薄膜６との間に設けられた金属導電層５とを備え、軟磁性薄膜６が、金属導電層５上で少なくとも１個以上のホール素子２の感磁部を覆うように配置されている。形成された軟磁性薄膜６の総重量を１００重量％としたときの鉄含有量が１５〜３０重量％、ホウ素含有量が０．１５〜０．３５量％、電解めっき液を安定化するｐＨ緩衝剤に起因する炭素を０．４〜０．８重量％、残部がニッケルである。 （もっと読む）

【課題】 特に、従来よりも少ないチップ数で複数軸の外部磁界検知を可能とする磁気センサを提供することを目的とする。
【解決手段】 磁性層と非磁性層とが積層されて成る磁気抵抗効果を発揮する複数の磁気抵抗効果素子Ｓ１〜Ｓ３と、各磁気抵抗効果素子と絶縁層４を介して非接触の位置に設けられた軟磁性体３とを有し、平面視にて前記軟磁性体３のＸ１−Ｘ２の両側に夫々、固定磁性層の固定磁化方向Ｐ１が、Ｘ１−Ｘ２方向に向けられた磁気抵抗効果素子Ｓ１〜Ｓ３が配置されており、磁気抵抗効果素子Ｓ１，Ｓ３と磁気抵抗効果素子Ｓ２とで固定磁化方向Ｐ１が互いに逆方向にされている。 （もっと読む）

【課題】 同じ構造のＧＭＲ素子を使用し、反応する外部磁界の向きを異ならせることができる磁界検知装置を提供する。
【解決手段】 ＧＭＲ素子１０の長手方向ＬをＸ方向とＹ方向に対して４５度の向きで形成する。ＧＭＲ素子１０の固定磁性層の磁化の固定方向を、長手方向Ｌと直交する向きとし、バイアス用磁石２１，２２によって自由磁性層の磁化の向きを長手方向Ｌに揃える。第１の磁束案内層３１ａと第２の磁束案内層３２ａをＸ方向に細長くし、第１の磁束案内層３１ａと第２の磁束案内層３２ａをＧＭＲ素子１０を挟んでＹ方向に間隔を空けて配置する。Ｘ方向の磁界成分が、第１の磁束案内層３１ａと第２の磁束案内層３２ａの間で導かれてＧＭＲ素子１０にＹ方向の磁束として与えられる。 （もっと読む）

【課題】基板上にスピンバルブ素子を有する磁界検出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１を準備する工程と、基板上に、固着層、絶縁層、および自由層を含むスピンバルブ素子１１〜１４を形成する工程と、スピンバルブ素子の近傍に集磁領域２１，２２を形成する工程と、Ｈ方向の磁界を基板に印加することにより、スピンバルブ素子の自由層を磁化する磁化工程とを含み、磁化工程は、集磁領域により、Ｈ方向とは異なる所定方向の磁界をスピンバルブ素子に印加して、Ｈ方向とは異なる所定方向にスピンバルブ素子を磁化する。 （もっと読む）

【課題】磁気収束板の位置ずれなどの影響による磁気センサの感度特性のばらつきの問題を解決した高精度で安定的な磁気センサを提供すること。
【解決手段】Ｓｉ基板１５上に所定の間隔をおいて左右２個一対の正方形のホール素子１２Ｒ，１２Ｌが設けられている。保護膜１６上には磁気収束板１１が設けられ、磁気収束板１１は、感磁部１４Ｒ，１４Ｌの所定領域を覆うようにして配置されている円形の薄膜状磁性体板である。所定領域は、感磁部１４Ｒ，１４Ｌの中心Ｈ_0R，Ｈ_0Lが、磁気収束板１１の中心Ｍ₀を通る直線Ｌ上にあり、感磁部１４Ｒ，１４Ｌの直線Ｌ上における長さをＡ、感磁部１４Ｒ，１４Ｌが磁気収束板１１の領域からはみ出した部分の直線Ｌ上における長さをＢとするとき、０．１５Ａ＜Ｂ＜０．４Ａの関係を有している。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で、かつ、高い精度で燃料電池の局所電流を測定可能な局所電流測定装置、および簡素な構成で、かつ、高い精度で燃料電池の作動状態を診断可能な燃料電池診断装置を提供する。
【解決手段】セル２１の積層方向から見たときに、一部が燃料電池２０の外部に露出するとともに、残余の部位がセル２１の内部で燃料ガス側出口部近傍を含む領域（局所）を囲むように配置された水素側磁性材コア５１、並びに、残余の部位がセル２１の内部で酸化剤ガス側出口部近傍を含む領域（局所）を囲むように配置された空気側磁性材コア５２を配置する。さらに、水素側磁性材コア５１および空気側磁性材コア５２のうち燃料電池２０の外部に露出した部位で、各磁性材コア５１、５２に形成される磁界の強度を検出する磁気センサ５４ａ、５４ｂにより、各磁性材コア５１、５２に囲まれた領域を流れる局所電流を検出する。 （もっと読む）

【課題】 無磁場を安定して検出しうる磁気センサを提供することである。
【解決手段】 磁気センサは、磁気抵抗効果素子１１が、軟磁性材料からなる磁束吸収体１２により覆われているから、この磁束吸収体１２が、回路基板１に与えられる磁界の磁束を、その飽和磁束量まで吸収して、当該磁束が磁気抵抗効果素子１１に与えられないようにすることができる。状態検出部２は、回路基板の出力電圧Ｖｏｕｔに基づいて、回路基板１に与えられた磁界の磁束量が閾値以下である第１の状態と、当該磁界の磁束量が閾値より多い第２の状態とを検出する。ここで、磁束吸収体は、その飽和磁束量が当該閾値となるように定まった形状、または大きさを有する。したがって、磁束吸収体１２の形状、または大きさを調整することによって、磁気センサの適用される環境条件に応じ、無磁場である第１の状態と、磁場が存在する第２の状態とのバランスを保つように当該閾値を好適に設定することができる。 （もっと読む）

【課題】磁気センサ装置において媒体の移動方向と直交する媒体幅方向での検出範囲を広げることのできる磁気センサ装置を提供すること。
【解決手段】磁気センサ装置２０において、磁気センサ素子４０のセンサコア４１では、幅方向Ｗ４０に延在する胴部４２から媒体移動路１１の側に向けて突出した複数の集磁用突部４３（集磁用突部４３１、４３２）が幅方向Ｗ４０で互い離間しており、かかる複数の集磁用突部４３には検出コイル４９（検出コイル４９１、４９２）が巻回され、胴部４２には励磁コイル４８が巻回されている。磁気センサ素子４０は、幅方向Ｗ４０および集磁用突部４３の突出方向（高さ方向Ｖ４０）の双方に対して直交する厚さ方向Ｔ４０が媒体１の移動方向Ｘに向くように配置されており、集磁用突部４３はおよび検出コイル４９は、媒体１の移動方向Ｘに対して直交する媒体幅方向Ｙで離間する位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】ＧＭＲ膜−薄膜ヨーク間の電気的及び磁気的コンタクトが良好であり、感度が良好で、製造中又は使用中に高温に曝されてもヒステリシスの増大が少ない薄膜磁気センサ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】以下の構成を備えた薄膜磁気センサ及びその製造方法。（１）前記薄膜磁気センサは、ＧＭＲ膜１２と、ＧＭＲ膜１２の両端に接続された薄膜ヨーク１４ａ、１４ｂとを備えている。（２）薄膜ヨーク１４ａ、１４ｂは、外側ヨーク１６ａ、１６ｂと、内側ヨーク１８ａ、１８ｂとを備えている。（３）外側ヨーク１６ａ、１６ｂは、結晶系又は微結晶系の軟磁性材料からなり、成膜後かつＧＭＲ膜１２成膜前に加熱することにより得られる。（４）内側ヨーク１８ａ、１８ｂの長さＬ₂は、外側ヨーク１６ａ、１６ｂの厚さｔ₁以上薄膜ヨーク１４ａ、１４ｂの全長の５０％以下である。 （もっと読む）

【課題】 不正操作の磁石に対する検出感度を高感度にして弱い磁気も信頼性良く検出すること、不正磁気検出方向である磁気検出器の前方は高感度にし、後方はパチンコ台に設けられたモータやソレノイド等の磁気発生部品が発生する磁気を検出し難くするため前方より検出感度を低くすること、安価であることを実現する磁気検出器を提供する。
【解決手段】 後面側に磁気センサＳを実装したセンシングプリント基板３０がメインプリント基板１０の前側に垂直に取り付けられ、凸部Ｆ１を有する磁性体ＦＦがセンシングプリント基板３０の前面側に取り付けられている。凸部Ｆ１は、センシングプリント基板３０の挿通孔３１に挿入されて、磁気センサＳの実装側の感磁部に接触する。メインプリント基板１０に固着された磁性体ＢＦは、磁気センサＳの反対側の感磁部に接触する。磁性体ＦＦの前側の対向面の面積は、磁性体ＢＦの前側の対向面の面積よりも大きい。 （もっと読む）

３つのブリッジ回路（１０１、１１１、１２１）であって、各ブリッジ回路は、単一のピン止め材料堆積およびバルクウエハ設定手順を用いて設定される３つの直交方向（１１０、１２０、１３０）の磁場（１６０）を検知するためのホイートストンブリッジ（１００）として結合される磁気抵抗センサーを含む。３つのブリッジ回路の１つ（１２１）は、ピン止め層（１２６）に配置され、第１および第２の端部と第１および第２の面とを有する第１の検知素子（１２２）と、基板の第１の面に非平行に配置され、第１の端部に近接し、かつ第１の検知素子（１２２）の第１の面上の端部を有する第１の磁束ガイド（１３２）とを備える第１の磁気抵抗センサー（１４１）を含む。オプションの第２の磁束ガイド（１３６）は、基板の第１の面に非平行に配置されており、かつ第１の検知素子（１２２）の第２の端部および第２の面に近接する端部を有する。
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【課題】感磁面に対して平行な磁場を検出するホール素子において、磁気増幅効果を損なうことなく、小型化および薄型化を実現すること。
【解決手段】ホール素子１００は、感磁面が化合物半導体で構成されたホール素子部１１０と、ホール素子部１１０の感磁面１１１と平行に配置された磁気収束板１２０とを備える。感磁面１１１の幅をＷ、磁気収束板１２０の幅をＡ、長さをＢ、厚みをＤとする。感磁面１１１と磁気収束板１２０との間のギャップをＣとする。磁気増幅率は長さＢに比例しており、アスペクト比Ｂ／Ａが３以上となる形状では磁気増幅率が１．５倍を超え、更にＢを３００μｍとしたＢ／Ａ＝５の場合には磁気増幅率が３倍に達する。また、Ａ／Ｗ＜３を満足するよう磁気収束板１２０の幅Ａを狭めてゆくと、磁束の集中する磁気収束板１２０の側面部が感磁面１１１に近づくため、磁気増幅率の増加が著しい。 （もっと読む）

【課題】 従来に比べてギャップ依存性を小さくし、安定した検出精度を得ることが可能な磁気センサを提供することを目的とする。
【解決手段】 磁気センサ１２は、外部磁界を生じる磁石（磁界発生手段）１３と非接触に設けられ、前記外部磁界を検知する磁気検出素子を備えている。磁気センサ１２と磁石１３間にはギャップＧが設けられている。磁気センサ１２には、前記磁気検出素子と非接触の位置に、前記磁気検出素子に外部から作用する磁束密度を制御する軟磁性体１４が設けられている。これにより、従来に比べてギャップ依存性を小さくし、安定した検出精度を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】小型の磁電変換素子に対する磁束の収束効率を向上させることができる磁気検出装置、及びこれを用いた地磁気センサを提供する。
【解決手段】平板状の基板と、前記基板の一方面からその厚み方向に形成された凹部と、前記凹部内表面に形成された第１の磁性膜と、前記基板の一方面に対向する対向面に形成された第２の磁性膜と、前記第１及び第２の磁性膜の間に形成された磁電変換素子とを有する磁気検出装置であって、前記凹部は、その周壁が前記基板の一方面に対し垂直に形成され、前記凹部の底面部は、前記対向面と対向する平坦部と、前記平坦部から前記周壁部に向かうに従って大径となる傾斜部分とを有し、前記磁電変換素子の感度領域は、前記底面部と前記第２の磁性膜との間に形成した。 （もっと読む）

【課題】磁束誘導軟磁性素子の材料ヒステリシスを改善する。
【解決手段】センサー１は磁場源３と少なくとも１つの空隙４及び前記空隙４に位置し，前記磁場源３の磁場の変化を測定する少なくとも１つの磁場センサー５を有する少なくとも１つの磁束誘導軟磁性素子２とを含む。前記磁束誘導軟磁性素子２は，３５重量％≦Ｎｉ≦５０重量％，０重量％≦Ｃｏ≦２重量％，０重量％≦Ｍｎ≦１．０重量％，０重量％≦Ｓｉ≦０．５重量％，０．５重量％≦Ｃｒ≦８重量％及び／又は０．５重量％≦Ｍｏ≦８重量％（（Ｍｏ＋Ｃｒ）≦８），残部鉄及び不可避不純物からなる。 （もっと読む）

【課題】弱い磁力を検出でき、電気回路の増幅率を上げることなく、羅針盤内磁石は集磁器や周囲の磁性金属の影響を受けることなく方位の狂わない高信頼性の、しかも簡単安価に実現し得る方位検出器を提供する。
【解決手段】両側に集磁器２１ａｘ，２１ｂｘを配置した第１のホール素子Ｓ１ｘと、両側に集磁器２１ａy，２１ｂｙを配置した第２のホール素子Ｓ１ｙとを、互いに直交し、かつ四辺形の相隣る２辺となる位置に配置し、かつ前記四辺形の他の相隣る２辺に、前記第１と第２のホール素子の両側に設けた集磁器２１ａｘ，２１ｂｘ、及び２１ａy，２１ｂｙに磁気バランスさせた集磁器２２ａｘ、２２ｂｘおよび２２ａｙ，２２ｂｙを設け、前記第１のホール素子と第２のホール素子からの電気信号により方位を求める。 （もっと読む）

【課題】誤差を含まずに適切に磁束を検出可能な磁束検出装置を提供する。
【解決手段】磁束検出装置１００は、周方向の所定の位置にコアギャップ２１を含み、磁性材料を用いて環状に形成された環状コア２０と、基準端子と、電源端子と、出力端子と、を少なくとも有するリードフレームに実装され、コアギャップ２１に挿入されて環状コア２０に生じる磁束Φを検出する磁束検出部１０と、コアギャップ２１に挿入された磁束検出部１０と環状コア２０との間に生じる２つの隙間のうち少なくともいずれか一方の隙間に配設されると共に、出力端子に接続され、電源端子を含むリードフレームと、基準端子を含むリードフレームと、センサ回路と、を配線してなるループの内側に誘導される起電力とは逆位相となる起電力を発生可能に配設された導電性ループ４０と、を備える。 （もっと読む）