【構成】 ガスセンサは、妨害ガスを除去するフィルタと、フィルタで処理済みのガス中の検出対象のガス成分を検出するセンサ本体とを備えている。フィルタは、ゼオライトと活性アルミナの質量比で9:1〜1:4の混合物である。
【効果】 このフィルタは、シリコーンガスの除去能力が高く、炭化水素等を吸着しない。 （もっと読む）

【課題】有機シリコーンガスに対する耐被毒性能が高く、ガスセンサの検出感度の回復時間をより短縮化させ、さらに被覆層におけるひび割れや剥離が生じ難いガス検知素子を提供すること。
【解決手段】検出電極２と、金属酸化物半導体を含むガス感応部４と、ガス感応部４を加熱する加熱部３とを備えるガス検知素子であって、ガス感応部４の外周面に、無定形の酸化アルミニウムを含む被覆層５を設けてあるガス検知素子。 （もっと読む）

【課題】多成分系のガスから特定化学物質を高選択的および高感度に検出でき、さらに装置の小型化および測定時間の短縮化を達成できる化学物質センシング素子を提供する。
【解決手段】導電性基体の表面を化学式（１）または（２）で示される化学構造を含む化合物で表面修飾してなるセンシング部を備え、特定化学物質を検出するための化学物質センシング素子に関する（Ｒ¹とＲ⁴とはＨ、ＣおよびＮのうちいずれかを含む化学構造であり、Ｒ²とＲ⁵とはＨおよびＮのうちいずれかを含む化学構造であり、Ｒ³とＲ⁶とはＨおよびＮａのうちいずれかを含む化学構造である）。
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【課題】バインダとしてシリカゾルを含有するガス選択燃焼層が覆う多孔質のガス感応層（ＳｎＯ_２層）でも、細孔や間隙中のシリカゾル（シリカコロイド）の浸透を低減して、ガス選択燃焼層の機械的強度の向上やガス感応層の検出性能の向上をともに実現する薄膜ガスセンサ、および、このような薄膜ガスセンサの製造方法を提供する。
【解決手段】ガス感応膜５３の複数の間隙５３２および複数の細孔５３３に高沸点液体６０を充填してからガス感応膜５３を覆うようにガス選択燃焼膜５４を形成し、これらガス感応膜５３およびガス選択燃焼膜５４を焼成して間隙５３２および細孔５３３の高沸点液体６０を蒸発させてガス感応膜５３に間隙５３２および細孔５３３を形成するとともにガス感応層５３およびガス選択燃焼層５４を形成するような薄膜ガスセンサおよびその製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で、ガス中のフタル酸ジアルキルを検出できるガスセンサ及びガス検出方法を提供する。
【解決手段】ＳｎＯ_２を主成分としてなる金属酸化物１の表面に、所定の細孔２ａを持ったシリカマスク２が形成されたセンサ素子３と、センサ素子３の電気抵抗値を測定する検出器４とを備えたガスセンサを用い、センサ素子３に被検出ガスを供給し、センサ素子３の電気抵抗値を測定して、該ガス中のフタル酸ジアルキルを検出する。 （もっと読む）

【課題】フィルタ層の剥離やクラックの発生を防止した長寿命の薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】
ヒータ層に通電する２本のヒータリードと、所定のガスを感知する感知層電極とを接続する２本の感知層リードを備えたダイヤフラム構造の薄膜センサにおいて、各ヒータリードおよび各感知層リードは、ダイヤフラムを構成する貫通孔の軸心に対して放射状に、かつ、この軸心を支点として各リード間の成す角を所定の角度以上、好ましくは３０度以上広げて位置付けた。 （もっと読む）

【課題】水分が多く、時には高温にさらされる環境下であっても、内側に配した部位を保護し、使用可能にするとともに、目詰まりやガス透過率の低下を防止して検出精度の維持及び信頼性の確保を図る。
【解決手段】５０〜８０〔％〕のガス透過率を有する多孔質カバー１であって、多孔質セラミックスＣにより所定の厚さＤｃに形成した多孔質カバー本体２の少なくとも表面２fに、耐熱性の撥水性材料による０．３〜１．０〔μｍ〕の膜厚Ｄｓを有する撥水膜３を形成する。撥水性材料は平均粒径が０．０５〜０．５〔μｍ〕のシリカ又はメチルフェニルシリコーンレジンを含有する。 （もっと読む）

保護コーティングは、水素の電気化学的解離を促進する触媒層を含む固体水素センサーの長期性能を維持する。触媒は、一酸化炭素、硫化水素、塩素、水、及び酸素を含む少なくとも１つの汚染物質の存在下で、劣化しやすい。コーティングは、水素を触媒層に拡散させ且つ汚染物質の触媒層への拡散を抑制する厚みを有する少なくとも一層の二酸化ケイ素を含む。好ましいコーティングは、保護コーティングを通して水が触媒層に拡散することを抑制するために、少なくとも一層の疎水性組成物、好ましくはポリテトラフルオロエチレンをさらに含む。好ましい保護コーティングは、保護コーティングを通して酸素が触媒層に拡散することを抑制するために、少なくとも一層のアルミナをさらに含む。保護的コーティングセンサーの製造において、二酸化ケイ素層は好ましくはアニール処理される。
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【課題】酸性ガスを確実に除去するとともに十分な反応速度を確保し、長期間にわたり高い応答性を実現した可燃性ガス検出装置を提供する。
【解決手段】検出空間２１２を有するケース体２０と、検出対象ガスのうち酸性ガスを吸着する無機化合物を主体とする無機化合物フィルタ６０と、無機化合物フィルタ６０を通過した検出対象ガスのうち雑ガスおよび酸性ガスを吸着する活性炭を主体とする活性炭フィルタ３０と、所定の時間間隔でパルス通電を行ってオンとオフを繰り返す間欠駆動がなされて、検出対象ガスのうち可燃性ガスに感応して検出信号を出力する薄膜ガスセンサ１０と、を備える可燃性ガス検出装置１とした。 （もっと読む）

【課題】素子形状等による感度及びガス検知の応答性への影響を抑制するセンサ装置を提供する。
【解決手段】素子３００をケース２００内に収容して備え特定ガスを検出する装置１００であって、ケース２００は素子３００を収容している凹形状をなす収容部２１１を有するケース本体部２１０と、天板２２１を有すると共に本体部２１０に装着されて収容部を閉塞している内蓋部２２０と、内蓋部２２０を覆って内蓋部の天板の外表面との間に対象ガスを導く間隙を形成している外蓋部２３０とを備え、内蓋部２２０の天板２２１は、収容部２２１内に収容された素子３００に向かって突出して形成されると共に素子３００に近い側の端部に測定対象ガスを導くガス流通口を形成してなる筒状部２２２を備え、その端部に、ガス流通口を閉塞する形態でフィルタ２２４が配置されている。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘ってガス選択性を有する半導体式ガス検知素子を提供する。
【解決手段】ガス感応部２と、ガス感応部２を被覆する触媒層３とを備える半導体式ガス検知素子Ｒｓであって、触媒層３は、酸化スズ、酸化インジウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化鉄、酸化セリウムからなる群から選択される少なくとも１種の金属酸化物を含む金属酸化物半導体に、セリウム、スズ、アルミニウム、ランタン、ニオブ、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、ルテニウム、ネオジム、ガドリニウム、バナジウム、シリコン、マグネシウムからなる群から選択される少なくとも１種の金属元素を固溶させた金属複合酸化物を含有する。 （もっと読む）

【課題】被測定ガスである酸化性ガスのＮＯ_２を吸着することなく、有機シリコーンガスを選択的に吸着させることができるようにして、センサの感度や応答特性の低下を防止し、センサ性能の長期安定を図る。
【解決手段】 ケース２０の内部に、酸化性ガスに感応するガスセンサ素子５０を収容し、ケース２０には同ガスが同センサ素子５０に接触可能のガス導入口２３がある。同ガスを同センサ素子５０に接触させてその濃度を検出する構成のガスセンサ１で、被測定ガスが、ガス吸着フィルタ７１を通過して同センサ素子５０に接触する構成のガスセンサで、ガス吸着フィルタ７１に、挟雑ガス吸着剤として、ＴｉＯ_２粉末を含ませてなるものを用いた。ＴｉＯ_２粉末を含ませてなるガス吸着フィルタ７１は、ＮＯ_２を吸着することなく、有機シリコーンガスを選択的に吸着、除去するから、酸化性ガスの検知感度がよくなる。 （もっと読む）

【課題】ガス感応層（ＳｎＯ_２層）の導入孔を大きくし、ガス感応層（ＳｎＯ_２層）内部におけるガスの浸透能力を向上させた薄膜ガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】一対の感知電極層５１，５１を渡すように電気絶縁層４上に設けられるガス感応層５２は、電気絶縁層４の表面に対して傾斜する多数の傾斜柱状晶５２１を成長させることで導入孔５２２が多数形成されるような層とした。大きくなった導入孔５２２を通じてガスがガス感応層５２の内部へ浸透し、検出能力を高める。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成を追加することでセンサ特性に与える影響を最小限に抑えつつガス感応層とガス選択燃焼層との接合強度を増大させ、パルス駆動時の昇温・降温による歪みに影響されにくくした薄膜ガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】電気絶縁層４・一対の感知電極層５１，５１・ガス感応層５２を覆う島状あるいは網目状の接合層５３と、この接合層５３を介して一対の感知電極層５１，５１の一部・ガス感応層５２の全部・これらの周囲の電気絶縁層４の一部を覆うように設けられるガス選択燃焼層５４と、を備えるような薄膜ガスセンサ１とした。そこで、接合層５３を薄くして島状あるいは網目状に形成する製造方法を採用した。 （もっと読む）

【課題】煙草分子のような極小の分子が多く浮遊している雰囲気であれ、高い信頼性をもってその相対湿度を検出することのできる湿度センサを提供する。
【解決手段】湿度センサ１０は、例えば酸化チタン（ＴｉＯ２）からなる光触媒が多孔質フィルタに吹き付けられてコーティングされている光触媒フィルタ４０を、ケース開口部１１ａに、該ケース開口部１１ａを覆う状態で備えている。また、湿度検出素子２０を内部に収容するケース１１は、ケース開口部１１ａの周縁に凹部１２が形成されており、光触媒フィルタ４０は、ケース１１の凹部１２に対応した凸部４２を有する枠部材４１を有している。光触媒フィルタ４０は、枠部材４１の凸部４２がケース１１の凹部１２に圧入嵌合されることで、ケース１１に固定されている。 （もっと読む）

【課題】 筒部と先端面部を有するカップ状の多孔質カバーを、劣悪環境や外乱（風等）にさらされる場所に設置する場合であっても横風等の影響を防止して検出精度の維持或いは信頼性の確保の実現に貢献する。
【解決手段】 所定のガス透過率を有し、かつ多孔質セラミックスＣによりカップ状に形成した多孔質カバーであり、少なくとも一部領域２を正規のガス透過率に形成し、かつ残部領域３を正規のガス透過率よりも小さいガス透過率に形成する。一部領域２のガス透過率は、５０〜８０〔％〕の範囲に選定するとともに、残部領域３のガス透過率は、１０〔％〕以下に選定する。 （もっと読む）

【課題】 内側に配した部位を保護し、水分の多い環境でも使用可能にするとともに、目詰まりやガス透過率の低下を防止して検出精度の維持及び信頼性の確保を図る。
【解決手段】 所定のガス透過率を有する多孔質カバー１であって、多孔質セラミックスＣにより所定の厚さＤｃに形成した多孔質カバー本体２の少なくとも表面２ｆに、撥水性材料による所定の膜厚Ｄｓを有する撥水膜３を形成するとともに、ガス透過率を所定の範囲に選定する。撥水膜３の膜厚Ｄｓは、０．３〜１．０〔μｍ〕の範囲に選定するとともに、ガス透過率は、５０〜８０〔％〕の範囲に選定する。 （もっと読む）

【課題】マグネシウム・パラジウム合金薄膜を用いた水素センサ材料、水素センサ部材及び水素の検知方法を提供する。
【解決手段】基材の上にマグネシウム・パラジウム合金薄膜を有する水素センサ材料であって、マグネシウム・パラジウム合金薄膜の厚さが１０〜２００ｎｍであること、マグネシウム・パラジウム合金の組成が、ＭｇＰｄｘ（０．０５≦ｘ≦０．３）であること、基材の上、又は上記合金薄膜の上に触媒層が形成されていること、室温付近（０−６０℃付近）で水素と反応して電気抵抗及び光学的性質が変化する特性を有すること、を特徴とする水素センサ材料、該材料をセンサ素子として含む水素センサ部材、及び該水素センサ部材を用いた水素の検知方法。
【効果】室温で作動し、安価に製造できる新規Ｍｇ−Ｐｄ合金系薄膜材料を用いた高感度、高耐久性、高リカバリー性で、高性能の新規水素センサ部材及び水素の検知方法を提供できる。 （もっと読む）

【課題】
消費電力の増加を極力抑え、ガス感知層が温度により影響される事態を排するとともに目的ガスに感応するようにして、周囲環境による影響を受けないようにした薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】
ガス感知層が目的ガス検知温度となるように所定期間にわたりヒーター層を駆動して温度が安定してからガス感知層の感知層抵抗の値を算出して目的ガス濃度を算出し、また、ガス感知層が一酸化炭素ガス検知温度となるように所定期間にわたりヒーター層を駆動して温度が安定してからガス感知層の感知層抵抗の値を算出して一酸化炭素ガス濃度を算出し、温度による影響を排した薄膜ガスセンサとした。 （もっと読む）

【課題】 ガスセンサのセンサ用フィルタにおける所要のガス透過率及び所要の機械的強度（曲げ強さ）の双方を十分に確保する。
【解決手段】 セラミックス粉末原料と一又は二以上の添加剤を調合し、所定の粒度を有する造粒体材料Ｐｏを造粒する第一材料製造工程Ｓａと、この第一材料製造工程Ｓａで得た造粒体材料Ｐｏを所定の一次加圧力Ｆｆにより一次成形した後、所定の一次加熱温度Ｔｆにより一次焼成することにより粒子ｋ…の大きさが０．１〜１．０〔ｍｍ〕の範囲となる圧粉体材料Ｐｐを得る第二材料製造工程Ｓｂと、この第二材料製造工程Ｓｂで得た圧粉体材料Ｐｐを所定の二次加圧力Ｆｓにより二次成形した後、所定の二次加熱温度Ｔｓにより二次焼成して多孔質セラミックスＣを得る主成形工程Ｓｃを備える。 （もっと読む）