【課題】細穴であっても、穴壁面の付着物を容易に除去することが可能な穴検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】先端に広角レンズ１５を備えた挿入シャフト１１を穴へ挿入させて、広角レンズ１５を通じた画像に基づいて穴壁面を検査する際、挿入シャフト１１の外周面に沿って穴の奥に向ってガス噴出機構１９によりガスを噴出させる。ガス噴出機構１９は、挿入シャフト１１の先端側の部分を囲繞し、その内周面と挿入シャフト１１の外周面との間に挿入シャフト１１の長手方向に延びるガス噴出路Ｒを形成するガイド１３と、ガイド１３の内部空間にガスを供給するガス供給部１４とから構成される。 （もっと読む）

【課題】位相欠陥と表面異物とを識別できるＥＵＶマスク検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るＥＵＶマスク検査装置は、ＥＵＶ光を出射するＥＵＶ光源１００ａと、ＥＵＶ光を伝播する第１多層膜楕円面鏡１０３ａ、第２多層膜楕円面鏡１０３ｂ、落とし込みＥＵＶミラー１０５を含む光学系と、ＥＵＶ光の光軸と同軸に導入され、光学系で伝播される紫外光を出射するＡｒＦエキシマレーザ１００ｄとを備える。紫外光は、ＥＵＶ光の光軸上に挿入された振り込みミラー１１３により反射され、ＥＵＶ光と同軸に導入される。 （もっと読む）

【課題】容器の外側表面に付着した異物と、容器に封入された固形物の商品に混入した異物と、を好適に識別できる異物検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】容器２を載置するとともに水平面内で回転自在に設けられる台座３ａと、台座３ａに載置された容器２を外側から周囲に沿って一周に亘って撮像した画像データを取得する撮像装置５２と、台座３ａに載置されて台座３ａとともに回転する容器２の外側表面をクリーニングする回転ブラシ５４と、画像データに基づいて作成する検査画像データから輝度が周囲と異なる特異部を抽出する制御装置５３と、を備える異物検査装置とする。そして、制御装置５３は、台座３ａを２回転以上させて回転回数と等しい数の１回転ごとの検査画像データを作成し、少なくとも２つの検査画像データで位置が同じ特異部を抽出したときに、容器２に異物が混入したと判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】管内面の状態や寸法によらずに管内面を検査することができる管内面検査装置およびその検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の実施形態は、管２内面の検査箇所にパターンを有するパターン光Ｐ１を管２内面の周方向にわたって投影する投影手段１１と、検査箇所に投影され反射されたパターン光を反射パターン光Ｐ２として投影する表示手段１２と、反射パターン光Ｐ２の形状を観測する観測手段１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学的手法を用いて被処理基板の構造をより高精度に評価することができるプロセスモニター装置を提供する。
【解決手段】プロセスモニター装置１１は、光を出射する光源部と、光の強度を検知可能な光検知部と、光源部から出射された光をウェハＷまで導き、ウェハＷから反射した反射波を光検知部まで導く第一光経路２１と、第一光経路２１と同等の光伝搬特性を有するように構成され、光源部から出射された光を、ウェハＷを経由することなく光検知部まで導く第二光経路と、第二光経路を通して光検知部により検知された光の強度情報に基づいて、第一光経路２１を通して光検知部により検知された光の強度情報を補正し、ウェハＷの構造を解析するコントローラ１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の表裏を一台のカメラで一度に検査できるようにすること。
【解決手段】外観検査装置１は、カメラ４と、光学系１５とを具備する。検査対象物２０の正面２０ａがカメラ４の視野４ｂに配置される。光学系１５は、検査対象物２０の正面２０ａ及び背面２０ｂをカメラ４が同時に撮影することが可能なように背面２０ｂからの光線１０２の向きを変更する。 （もっと読む）

【課題】検査時における照明光の光量を安定させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、照明部が、ランプハウス６１からの光のうち所定の波長領域の光を透過させるバンドパスフィルターが設けられた波長選択機構７０，７５を有し、当該バンドパスフィルターを透過して得られた所定の波長領域の光を照明光として被検基板１０の表面に照射するように構成されており、紫外光を遮断するＵＶカットフィルター６５がランプハウス６１と波長選択機構７０，７５との間の光路上に挿抜可能に設けられ、非検査時にＵＶカットフィルターが光路上に挿入され、また前記ＵＶカットフィルターの保持基板に「(1)熱線吸収膜(2)熱線反射膜及び熱線吸収膜の積層膜(3)熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜(4)熱線反射膜及び熱伝導性膜の積層膜(5)熱線反射膜、熱線吸収膜及び熱伝導性膜の積層膜の」うちのいずれかが設けられている。 （もっと読む）

【課題】
半導体デバイス等の製造工程中に発生する微小な異物やパターン欠陥を高解像検出するための深紫外光を光源とする装置において、短波長化による光学系へのダメージを検知して、ダメージ部分を退避する手段と、光学系配置の異常を製造時と比較検知して補正する手段とを備え、被検査対象基板上の欠陥を高速・高感度で安定検査できる装置および方法を提供すること。
【解決手段】
光学系の光路内に照明光の強度，収れん状態を検知する手段を設けて、光学系の異常を検知し、異常箇所が光軸と一致しないように退避する手段と、光学系を調整して製造時の光学条件となるように補正するように構成したことにより、検査装置内の光学系の長寿命化と微小欠陥の安定検出を図った。 （もっと読む）

【課題】偏光素子の劣化による欠陥検査の精度低下を的確に把握することができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】ウェハ１０を載置保持するホルダ２０と、ホルダ２０により載置保持されたウェハ１０の表面に照明光を照射する照明光学系３０と、照明光が照射されたウェハ１０の表面からの光を検出する撮像光学系４０と、撮像光学系４０で検出された光に基づいて、ウェハ１０の表面における欠陥の有無を検査する画像処理装置５０と、挿抜可能に設けられた第１の偏光板３２と、第２の偏光素子４２とを有する表面検査装置１において、偏光板３２，４２が前記光路から抜去された状態で前記偏光板３２，４２に検査光を照射する検査用光源部６１，６２と、偏光板３２，４２を透過した検査光の光量を検出する、検査用検出部６３，６４により検出された光量に基づいて偏光素子３２，４２の劣化の有無を判定する判定部６５とを有する。 （もっと読む）

【課題】ノズルのストロークを稼ぎつつ、ノズルの伸縮がスムーズに行われるようにする。
【解決手段】ノズル２から圧延ロール５０の表面に水を吐出し、ノズル２の先端部と圧延ロール５０との間に水柱１０１を形成して、その水柱１０１を介して圧延ロール５０の表面を撮像して観察するためのノズル装置１００において、水が供給されるボディ１と、ボディ１から二段階のテレスコープ式に伸縮するノズル２と、ノズル２を縮ませる方向に付勢力を付与するスプリング４、６とを備え、ボディ１内の水圧によりノズル２がスプリング４、６の付勢力に抗して伸びる構成にした。この場合に、内側ノズル２２の後端にドーナツ状の円板材２８を接着等により固定し、両ノズル２１、２２の前進開始が略同タイミングとなるように調整する。 （もっと読む）

【課題】透光性を有する被測定物でも、白色パウダーなどを使用することなく、ニジミが抑えられた鮮明な投影像を得て計測精度を高める。
【解決手段】被測定物に光線を投影する投光手段と、前記光線による投影像を撮像する撮像手段と、前記撮像された投影像における最大輝度及び最大輝度位置を検出する第１検出手段と、前記投影像における前記最大輝度位置から所定距離離間した離間位置を設定する設定手段と、前記離間位置の輝度を検出する第２検出手段と、前記最大輝度と前記離間位置の輝度との輝度差を最大にするための輝度差最大化処理を行う処理手段とを備えた計測装置にする。 （もっと読む）

【課題】車両等の投光器において、光源における付着物を、専用のセンサ等を設けることなく検出する。
【解決手段】付着物検出装置は、光を投光可能な投光手段（１１０）と、投光及び非投光を相前後して行うように投光手段を制御する投光制御手段（１２０）と、投光時及び非投光時の夫々に、投光手段により光が投光される範囲内にある被撮像物に係る画像を撮像する撮像手段（１３０）と、投光時に撮像された画像の輝度である投光時輝度と非投光時に撮像された画像の輝度である非投光時輝度とを相互比較することにより、投光手段に付着物が存在するか否かを判定する判定手段（１６０、１８０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】汚れ検出用のセンサの数を制限しながらも、光学窓に付着した微細物まで検出することができる光学窓汚れ検出装置を提供する。
【解決手段】光学窓１０２が設けられたケーシング１０１に、投光部３と、投光部３から出力された測定光を光学窓１０２を通して測定対象空間に偏向走査する走査機構４と、対象物からの反射光を光学窓１０２を通して検出する受光部５が収容されている走査式測距装置の光学窓汚れ検出装置であって、光学窓１０２の外側に光学窓１０２に沿って複数の反射式光電センサ１を設けるとともに、光学窓１０２を通過した反射式光電センサ１からの検出光を反射式光電センサ１に向けて反射する再帰性反射部材２を走査機構４に取付けている。 （もっと読む）

【課題】 光源や光学素子などの不具合成分に起因する擬似欠陥と基板自体の真の欠陥とを識別可能な外観検査装置及びこれを用いた外観検査方法を提供する。
【解決手段】 基板６表面６ａに照射した照明光の反射光を観察することにより基板６の検査を行う外観検査装置１の、光源２及び光源２から出射された光の方向を偏向する反射ミラー３、４や偏向された光を収束するフレネルレンズ５などの光学素子のうち、少なくとも１つを、周期的もしくはランダムに揺動又は湾曲させて光軸方向又は焦点位置を変位させることで、照明光学系の不具合成分に起因して基板６上に出現する擬似欠陥を揺れ動かし、擬似欠陥と基板６自体に生じた真の欠陥とを識別する。 （もっと読む）

糸（９）を光学走査するための装置（１）は、第１スペクトル領域で糸（９）を光学走査するための第１光学走査手段（２１、３）と、第１スペクトル領域とは異なる第２スペクトル領域で糸（９）を光学走査するための第２光学走査手段（２２、３）とを含む。第１光学走査手段（２１、３）および第２光学走査手段（２２、３）は、第１スペクトル領域で反射し、ただし第２スペクトル領域では反射しない背景（４）の前に配置される。したがって、本発明は、明色背景（４）を用いた測定と暗色背景（４）を用いた測定の利点を一本化する。したがって、糸の明色の異物も暗色の異物も確実に認識することができ、異なる異物は相互に区別することができる。 （もっと読む）

【課題】 道路沿い等に設置されている監視カメラ等のカメラハウジングの前方に設けてある透過部材、例えば、ガラス面が外気で汚れても、その汚れ状態や付着物の状態をプリズムを使って簡単に検出する汚れ検出装置及び監視カメラを提供する。
【解決手段】 汚れ検出装置は、外部を覗くための透明部材と面一状態或は略面一状態に一端面を配置し、該一端面が表面に汚れや付着物の付着を検出するための汚れ検出面であるプリズムと、前記プリズムの前記汚れ検出面の背面に向かって入射光を発光する発光手段と、前記汚れ検出面の背面で反射する反射光を受光する受光手段と、を備え、前記入射光の入射角度及びプリズムの形状を、前記入射光が前記プリズムの一方の境界面に入射する時及び前記反射光が前記プリズムの他方の境界面から出射する時に減衰が生じないように設定し、前記受光手段が前記反射光を受光して前記汚れ検出面に付着した汚れや付着物を検出することである。 （もっと読む）

【課題】 記録材に依存しない安定した画質を得ること。
【解決手段】 反射用LED３０１による測定を行い、次に透過用LED３０２による測定を行う。この二つの測定結果を映像比較演算し、この映像比較演算結果に基づき紙種を判定する。判定された紙種によって定着処理条件を変更し、記録材の搬送を開始する。記録材を搬送させながら映像読取センサ123によって撮影された映像を映像比較演算し、汚れ量を算出する。記録材が移動しているため記録材の表面性が平均化される。しかしながら汚れによる光量の低下は記録材の挙動には依存しないため、汚れによる光量低下のみ映像読取装置の出力信号の低下として現れる。この信号低下を上述の第２の演算手段である記録材表面の凹凸エッジ量検出方法で処理することにより、汚れの量を判別することができる。 （もっと読む）