【課題】変形させることが可能であり、しかも感度の高い焦電型赤外線センサを提供する。
【解決手段】ポリイミドやポリエチレンテレフタラート等の高分子材料から成る可撓性のある基板４１Ｂとフッ化ビニリデン（VDF）オリゴマーから成る層４３Ｂを設け、VDFオリゴマー層４３Ｂの上下にAlの蒸着膜等から成る可撓性のある電極４４Ｂ及び４２Ｂを設ける。これら各構成要素の可撓性により、本発明の焦電型赤外線センサは全体として可撓性を有する。また、基板４１Ｂの周囲にアクチュエータ４６を複数配置する。これらアクチュエータ４６による押圧力を調整することにより、曲率の異なる所望の形状に変形させることが可能である。また、従来の焦電型赤外線センサで用いられているSi等の基板よりも、高分子材料から成る基板の方が熱容量及び熱伝導率が低いため、センサの感度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】受光素子の受光面に発光層からの直接光や対象物から斜めに入射した散乱光が入射することを抑制しつつ装置を薄型化する。
【解決手段】センシング装置は発光部２０と受光部３０を備え、発光部２０は受光部３０より対象物Ｆ側に位置する。発光部２０は、照射光ＩＬを発する発光層２６と、照射光ＩＬと反射光ＲＬを透過する第１電極２２と、照射光ＩＬと反射光ＲＬを遮光すると共に開口部が形成された第２電極２４とを備える。また、受光部３０は、反射光ＲＬを受光する受光素子Ｄを備える。対象物Ｆ側から平面視した場合に、受光素子Ｄの受光面は第２電極２４の開口部内に位置する。 （もっと読む）

【課題】気密性の向上を図ることができる検出装置を提供する。
【解決手段】検出素子２１を有する第１の基板２と、第１の基板２に接合された第２の基板３と、を備えた検出装置１であって、第１の基板２は、検出素子２１と電気的に接続された第１の電極２３と、対向面２０１に積層された第１のメタル層２６と、をさらに有し、第２の基板３は、第１の電極２３と接合された第２の電極３３と、第１のメタル層２６と接合された第２のメタル層３４と、を有し、第１の電極２３の表面２３１と第１のメタル層２６の表面２６１は、実質的に同一の平面Ｆ１上に位置すると共に、第２の電極３３の表面３３１と第２のメタル層３４の表面３４１も、実質的に同一の平面Ｆ２上に位置し、第２の基板３は、第２の電極３３と第２のメタル層３４の間に位置し、第２の電極３３と第２のメタル層３４を電気的に絶縁した環状突起３２をさらに有する。 （もっと読む）

【課題】赤外線領域の電磁波を高い感度で検知することができる赤外線センサを提供する。
【解決手段】検知対象の波長に対応した長さで、半導体基板１２上に形成された一対のアンテナパターン１４，１６を有する。下金属層３０、絶縁層３２及び上金属層３４の３層から成り、一対のアンテナパターン１４，１６の間に設けられ、アンテナパターン１４，１６により検出された電磁波を整流するＭＩＭダイオード１８を備える。ＭＩＭダイオード１８は、下金属層３０、絶縁層３２、及び上金属層３４が厚み向に積層して設けられ、下金属層３０及び上金属層３４が一対のアンテナパターン１４，１６の互いに対向する端部にそれぞれ接続している。アンテナパターン１４，１６及びＭＩＭダイオード１８は、半導体基板１２上に設けられた集光レンズ２０により覆われている。レンズ２０は、アンテナパターン１４，１６を被覆して半導体基板１２上に一体に設けられている。 （もっと読む）

【課題】高感度化が可能な赤外線撮像素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、赤外線検出基板１０１と、対向基板２０１と、を備えた赤外線撮像素子が提供される。赤外線検出基板は、検出素子基板１０５と、検出素子基板の第１主面１０１ａの側に設けられ検出素子基板と離間し赤外線を検出する複数の赤外線検出画素部１１０と、第１主面上において赤外線検出画素部どうしの間に設けられた第１突出部１２０と、を含む。対向基板は、第１主面に対向する第２主面２０１ａを有する。対向基板は、第２主面上に設けられ赤外線検出画素部と離間し赤外線検出画素部に対向する複数のレンズ部２１０と、第２主面上において複数のレンズ部どうしの間に設けられ、第１突出部と当接する第２突出部２２０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】応答速度の高速化を図れ、且つ、温度検知部の受光効率および感度の低下を抑制することができる赤外線センサを提供する。
【解決手段】ベース基板１と、赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する温度検知部３と、温度検知部３がベース基板１の一表面から離間して配置されるように温度検知部３を支持して温度検知部３とベース基板１とを熱絶縁する断熱部４と、温度検知部３におけるベース基板１側とは反対側に配置された受光レンズ２０とを備える。温度検知部３は、ベース基板１の厚み方向に直交する面内で２次元アレイ状に配列された複数のボロメータ形のセンシングエレメントからなる温度検知素子３ａを有し、全ての温度検知素子３ａを直列接続してある。受光レンズ２０は、各温度検知素子３ａに各別に赤外線を収束させるように２次元アレイ状に配列された複数のレンズ小体２１を有する。 （もっと読む）

【課題】小型化可能な光学センサー及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学センサーは、半導体基板１０上に形成された、フォトダイオード用の不純物領域３１、３２と、フォトダイオードの受光領域に対する入射光の入射角度を制限するための角度制限フィルター４１、４２と、を含む。角度制限フィルター４１、４２は、フォトダイオード用の不純物領域３１、３２の上に半導体プロセスによって形成された遮光物質（光吸収物質または光反射物質）によって形成される。 （もっと読む）

【課題】高感度が可能で、且つ、気密性を確保しつつ、製造時の赤外線用の光学フィルタ膜の剥れを抑制できる赤外線検出器を提供する。
【解決手段】赤外線検出素子１が実装されたパッケージ本体４と、パッケージ本体４に気密的に接合されたパッケージ蓋５と、赤外線を透過する第１の無機材料により形成されパッケージ蓋５の開口部５ａを塞ぐように配置されたキャップ材６と、赤外線を透過する第２の無機材料により形成されてキャップ材６よりも赤外線検出素子１から離れた位置でパッケージ蓋５の外側に配置されたレンズ７とを備える。レンズ７に、赤外線用の光学フィルタ膜が積層されており、キャップ材６が、パッケージ蓋５に気密的に接合され、レンズ７が、導電性ペーストによりパッケージ蓋５に接合されることでパッケージ蓋５と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】小型化及び低コスト化を図ることが可能な輻射センサを提供する。
【解決手段】電気的に絶縁性を有するフィルム２２と、フィルム２２の少なくとも一方の面側に配列された複数の温感素子２１とを備えたセンサデバイス１０において、フィルム２２は、樹脂を主成分とする材料で構成されるとともに、非平面形状の回路基板１１上に固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熱ノイズを低減し、高精度で信頼性の高い赤外線検出を行うことが可能な赤外線センサモジュールを提供する。
【解決手段】赤外線センサモジュールは、基板上に配置され、赤外線信号を受信する赤外線センサ素子と、前記赤外線センサ素子の出力を処理する信号処理回路素子と、前記赤外線センサ素子から所定の距離を隔てて設けられ、外部の赤外線信号を前記赤外線センサ素子に結像するための光学系を備えた入射窓を有し、前記赤外線センサ素子および前記信号処理回路素子を収容する金属製のケースと、前記赤外線センサ素子と、前記ケースおよび前記信号処理回路素子との間に、前記光学系を介して入射する前記赤外線信号を前記赤外線センサ素子に導く透光部を有するセンサカバーとを具備している。 （もっと読む）

【課題】 表面プラズモンを伝送するための開口における表面プラズモンの透過光量の低下を招くことなく、高速応答性の向上をはかる。
【解決手段】 入射光を表面プラズモンに変換するための結合周期構造２２が表面に設けられ、該結合周期構造２２中に表裏面を貫通する開口２３が設けられた導電性薄膜２１と、開口２３の結合周期構造２２が設けられた面と反対面の端部に配置された受光部とを有した受光素子であって、開口２３の形状は、２つのスリットを直交交差させた十字形であり、各々のスリットの長辺方向が前記表面プラズモン波長の１／２より長く、短辺方向が前記表面プラズモン波長の１／２より短い。 （もっと読む）

本発明は、光学的センサ、特に工業自動化システム用の光学的センサのための光発信器および光受信器に関し、光発信器の場合には、光を発生するために半導体系の光源（ＬＤ）を有し、半導体系の光源（ＬＤ）が多層プリント基板（ＬＰ）の両外側層（ＯＬ，ＵＬ）間の構造空間内に配置され、半導体系の光源（ＬＤ）の光出射方向がプリント基板（ＬＰ）の層（ＬＡＹ）にほぼ平行に向けられ、半導体系の光源（ＬＤ）から放射される光をプリント基板（ＬＰ）の層（ＬＡＹ）に対してほぼ垂直な方向に転向させるための転向ユニット（ＵＥ）が設けられている。光受信器の場合には光源の代わりに光センサが設けられている。このような光学センサは格別に平らで組立しやすい構成にすることができる。 （もっと読む）

【課題】検出器装置の感度を向上させることを目的として、落下光を検出器の受光領域上で焦点を結ばせるために、球状の素子を備えたレンズアレイの形態の光偏向素子を用いることが知られている。このようなレンズアレイの製造は、特に製造数が少ない場合、製造コストが高い。新規の光偏向素子を用いることによって、検出器装置の感度の向上を容易に、かつ費用対効果が高い状態で実現する。
【解決手段】本検出器装置は、落下光が検出器の受光領域３０４上で偏向して角度を変える光入射面３０５ｂを有する光偏向素子３０５を備える。光偏向素子の光入射面３０５ｂは互いに傾斜しており、平坦な面として形成されている。本検出器装置は、顕微鏡、特にレーザ走査型顕微鏡において、特に、試料から放出される光を検出するのに適している。 （もっと読む）

【課題】メンブレン部と梁部の下部のＳｉ（１００）基板そのものを除去してブリッジ構造を形成するためのＳｉ異方性ウェットエッチングの処理時間を短縮できる半導体装置技術を提供すること。
【解決手段】メンブレン部５１と梁部５２〜５５は、Ｓｉ（１００）基板の＜１００＞方向に形成され、梁部５２〜５５はメンブレン部５１の対向する二辺上でのみメンブレン部５１を支持し、梁部５２〜５５の最短部分の長さが幅よりも長い構成となっている。メンブレン部５１上には赤外線を検出するための感熱部９０（赤外線センサーの場合）と赤外線吸収膜９１が形成され、検出した赤外線によって発生される信号を、配線９２、９３が感熱部９０からメンブレン部５１、梁部５３、５５を通って外部へと導いている。メンブレン部５１は底面保護層９４、層間膜９５、上面保護層９６によってエッチング溶液から保護されている。 （もっと読む）

【課題】受光箇所によって撮像感度が異なるといった不具合を解消して安定した撮像を得ることができる赤外線撮像素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板３０上に光吸収層１０およびシリコン層２０を積層して得た撮像デバイスチップ４０の厚さ分布を測定し、所望の厚さを超えている箇所が認められたら、その箇所のシリコン層２０の表面を研磨して厚さを減じる。この後、シリコン層２０の表面に多数のレンズ５０を有するレンズユニット５１を積層して撮像素子１を得る。レンズ５０の表面から光吸収層１０までの距離が一定となり、安定した撮像が得られる。 （もっと読む）

【課題】光学素子の中心軸に対し傾いて入射する光を集光させることができる光学素子、及び、光学素子の中心軸に対し傾いて入射する光をより確実に検知できる赤外線センサを提供する。
【解決手段】赤外線センサ１は、光学素子としてのレンズアレイ２と感熱部としてのセンサアレイ３とを有し、センサ部４が複数、形成されている。レンズアレイ２は、レンズ本体５と、当該レンズ本体５に形成された光学素子群６とを有する。光学素子群６は、光学素子７が縦横に所定の間隔をあけてレンズ本体５の一面5aに配列されている。各光学素子７は、放物面８の光軸a1,a2,a3,a4の傾きがそれぞれ異なっており、光学素子群６全体として種々の角度から入射した光を集光し得るように構成されている。 （もっと読む）

少なくとも１つの波長選択光検出器１０、レンズ２０及び開口３０を有する光センサ１が、提案される。この波長選択光検出器は、前記光センサに当たる予め規定されている波長の範囲内の光の検出を可能にする。このレンズは、光をこの光検出器に投射し、前記開口は、前記光センサの視野を規定する。光検出器１０、レンズ２０及び開口３０は、テレセントリック配置において配される。有利には、このことは、前記開口に入射する光の方向にかかわらず、光が、予め規定されている角度の範囲内で前記波長選択光検出器に当たるのを可能にし、従って、前記波長選択光検出器の角度依存の応答を取り除く。
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【課題】集光部品を光検出素子と効率よく一体化し、簡便で位置合わせの精度が良好で、光検出素子性能を向上させる光学センサを提供する。
【解決手段】光検出素子２の前面にフォトニック結晶立体素子９を一体化して形成し、次いで、フォトニック結晶立体素子に部分的に紫外線を照射して、紫外線を照射した部分の屈折率を変化させることにより、光検出素子の前面にフォトニック結晶レンズ９０を形成する光学センサ。要約するに、光検出素子２の前面に一体化形成したフォトニック結晶レンズ９０を具える光学センサ。 （もっと読む）

【課題】プローブ光の位相バイアスを抑制せず、かつ回路が飽和することもなしに、ＴＨｚ電磁波によって変調されたプローブ光の変調量を検出可能な光電変換装置を提供する。
【解決手段】２つのフォトダイオード１，２と、フォトダイオード１、２に生じる光電流の差を出力信号に増幅する増幅器６と、各々のフォトダイオードに対応して設けられ、対応するフォトダイオードへの入射光を、その入射光が有する特定の物理量に応じた強度で、異なる特性に従って透過する２つのフィルタを備える。 （もっと読む）

【課題】桁違いに感度が優れ、応答速度の早いミリ波・遠赤外光検出器を提供する。
【解決手段】電磁波をサブミクロンサイズの微少空間領域に集中する電磁波結合手段と、この集中した電磁波を吸収してイオン化を起こす第１の量子ドットと、この第１の量子ドットに静電的に結合した第２の量子ドットを含む単一電子トランジスタとを備え、単一電子トランジスタは、２次元電子系を形成する単一へテロ構造と、この２次元電子系内にトンネル結合する量子ドットの静電ポテンシャルを制御するゲート電極と、量子ドットとトンネル結合するソース電極及びドレイン電極と、を有し、第１の量子ドットのイオン化に伴う第２の量子ドットの静電的状態の変化によって単一電子トランジスタの電気伝導度が変化することに基づいて電磁波を検出する。 （もっと読む）