【課題】洗浄設備を短時間で十分に洗浄することができる設備洗浄方法及び装置を提供する。
【解決手段】超純水ライン２から超純水を配管３、５，８、半導体洗浄機１０、配管１５、循環水槽１７に流した後、循環水槽１７内の水を循環ポンプ２０、配管２１を介して循環させ、薬液槽１１〜１３から薬液を添加する。主要な配管や、薬液槽１１〜１３、循環水槽１７、カラム３０，３３、フィルタ６等はケーシング５０内に設置されてユニット化されている。 （もっと読む）

【課題】洗浄能力の低下を抑制する。
【解決手段】ローラ洗浄装置１０は、シート状の被搬送物１に接触して回転可能な送りローラ１２と、該送りローラ１２の回転軸１２ａに平行な回転軸１４ａを有し、送りローラ１２に接触して回転可能な洗浄ローラ１４と、送りローラ１２と洗浄ローラ１４とを相対移動させるアーム駆動アクチュエータ１８と、洗浄ローラ１４と送りローラ１２との接触時間に係るパラメータの値を取得し、送りローラ１２と洗浄ローラ１４との接触圧をパラメータの値に応じて制御する制御装置２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】容器を確実に洗浄することが可能な洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄装置１００は、容器Ｃの洗浄に関連した第１の処理（本洗浄処理）を実行するために開閉自在に設けられた開口１２２、１２４を有する密閉可能な本洗浄室１２０と、本洗浄室１２０から隔離して配置され、容器Ｃの洗浄に関連した第２の処理（乾燥処理）を実行するために開閉自在に設けられた開口１３２を有する密閉可能な第乾燥室１３０（１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃ）と、各処理室の開口１３２を介して、本洗浄室１２０の内部に搬入された容器Ｃを乾燥室１３０の内部に移送するロボット１５０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 デバイスに薬剤が充填された高活性医薬品を安全且つ安定的に生産することのできる医薬品の製造装置を提供する。
【解決手段】 アイソレータ１１４内に充填装置１８等が備えられると共に、スリーブスーツ１２０で先端部を除いて気密に覆われたロボット７８等でデバイス７６が移送される。そのため、薬剤充填などに人が関与しないので、高活性医薬品が取り扱われる場合にも安全に医薬品を製造することができる。また、ロボット７８等によるデバイス７６の移送はピックアンドプレイスで行われるため、デバイス７６の転倒や破損が生じない。しかも、ロボット７８等は、関節を含む基台４０側はスリーブスーツ１２０によって気密に覆われているので、その関節等からの発塵によるアイソレータ１１４内の汚染が抑制されると共に、薬剤やこれを洗い流すための洗浄液がロボット７８等に付着してこれを腐食させることが抑制される。 （もっと読む）

遠位側を圧力シンクに連結された管と、ノズルと、前記ノズルを前記管の近位側に連結する弾性要素と、前記管の前記近位側と前記ノズルとの間の隙間に架橋する変形可能な筐体とを備えた吸込みノズル組立体。任意選択的に、前記ノズルおよび前記筐体の一方または両方に形成され、かつ前記隙間と前記ノズル組立体の外側との間の流体連通をもたらす、少なくとも１つの均圧孔を含む。 （もっと読む）

【課題】クリーンルーム内にて使用される除塵装置とその配管に内在する異物のセットアップ後のブローイングにて除去する時間を短縮すること。
【解決手段】クリーナヘッド１のケーシング１Ａの加圧エアー流入口42に、ＨＥＰＡフィルター３を内有したフィルターボックス４を、取着してユニット化する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成によって花粉を除去できる花粉除去システムＳを提供する。
【解決手段】屋外１４で付着した花粉を除去する花粉除去システムＳである。
そして、身体又は衣服に付着した花粉を吸引する第一吸引口２と、空気中に浮遊する花粉を吸引する第二吸引口３と、第一吸引口２及び第二吸引口３が接続される吸排気手段４と、を備え、吸排気手段４の排気口４１は屋外又は床下に繋がっている。 （もっと読む）

【課題】人体に付着した花粉をより確実に除去することを可能にする花粉除去方法を提供する。
【解決手段】人体に付着した花粉３を除去する方法であって、接地した導電体を備える静電気除去装置に人Ｍが触れることによって人体に帯電した静電気を導電体を介して除電する。これとともに、送風装置２の吹出口２ａから人体に風４を吹き付けることによって人体に付着した花粉３を吹き飛ばして除去するようにした。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象物に付着した付着物を、水又は溶剤を使わずに固体洗浄媒体を用いて除
去する装置はすでに提案されているが、はんだ付け工程で発生するフラックスの固着、画
像形成装置で用いられるＯＰＣドラムの感光体層、又は定着ローラの離型層のような樹脂
製の膜を除去するのに適した洗浄装置は未だ実用化されていない。
【解決手段】洗浄対象物の樹脂製の膜よりも鉛筆硬度が大きい薄片状の洗浄媒体Ｍを用い
、これを高速気流で飛翔させて洗浄対象物に衝突させることで、膜状の付着物の方が凹み
易く、かつ接触力が洗浄媒体Ｍの端部に集中するため、質量が小さいにもかかわらず膜状
の付着物に洗浄媒体Ｍが食い込む。その結果、複雑な形状の部品の洗浄、膜状の付着物の
除去、又は洗浄媒体の清浄度を高め洗浄品質を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】除塵装置の従動側に伝達される駆動力の向上を図ると共に、該駆動力の安定化を図ること。
【解決手段】ワークの表面に付着した塵埃を除去する除塵装置１は、粘着ロール５と、粘着ロール５を回転駆動する駆動モータ３６と、駆動モータ３６の動力を粘着ロール５へ伝達する伝達機構３７とを備え、伝達機構３７は、駆動モータ３６に連結される駆動側磁気部材４１と、駆動側磁気部材４１と一対をなすと共に、該駆動側磁気部材４１と所定の間隔をあけて対向配置される従動側磁気部材４２とから構成され、駆動側磁気部材４１は、円環状に形成される駆動側着磁部４１ａを備え、従動側磁気部材４２は、円環状に形成される従動側着磁部４２ａを備え、駆動側磁気部材４１と従動側磁気部材４２とは、駆動側磁気部材４１と従動側磁気部材４２とを対向方向から見たとき、駆動側着磁部４１ａと従動側着磁部４２ａとが同心円上で重なり合うように配置されている。 （もっと読む）

【課題】塗装ガンに対する霧状の洗浄廃液の吹き上がりを防止可能な洗浄液回収容器を提供する。
【解決手段】本発明の洗浄液回収容器１０は、複数のホッパー１２を併設してなるホッパーユニット１１と蓋体３０とからなり、蓋体３０に備えた導入口４３からガス及び霧状の洗浄廃液をホッパー１２内に導入する。そして、蓋体３０には、ホッパー１２の短辺側壁１３の内面から上方に延長した延長仮想面Ｓ１を横切ってガス排出口４９の内外に連続した排出ガイド壁３２が備えられ、その排出ガイド壁３２が、ホッパー１２の短辺側壁１３の内面に沿って上昇したガスをガス排出口４９の外側に案内する。これより、ホッパー１２内に流れ込んだガスが効率よくガス排出口４９から排出され、導入口４３から洗浄廃液が吹き上がることを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】農薬が付着した農薬散布機などをより効果的に洗浄できるようにする。
【解決手段】アルカリ性の水を用いて農薬散布機などの被洗浄物を洗浄した後、酸性の水を用いて被洗浄物を洗浄する。前記アルカリ性の水はｐＨ１０以上が好ましい。また、消石灰を水に溶解又は懸濁させたものが好ましい。前記アルカリ性の水に前記被洗浄物を３０〜１２０分間接触させるのが好ましい。前記酸性の水はｐＨ６以下が好ましい。前記農薬としては除草剤が好適である。 （もっと読む）

【課題】実質的に粘着力を有さないクリーニング層を備えるクリーニング機能付搬送部材であって、搬送性能に優れ、エッジ付近を含むチャックテーブル全面にわたって均一に異物除去性能に優れ、さらに、ウェハのハンドリング部であるウェハエッジ部分付近への異物付着や汚れ付着が効果的に防止でき、機械式固定方式におけるウェハ接触部への異物付着や汚れ付着が効果的に防止できる、クリーニング機能付搬送部材を提供する。また、そのようなクリーニング機能付搬送部材の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のクリーニング機能付搬送部材は、クリーニング層を有するクリーニング機能付搬送部材であって、該クリーニング層は実質的に粘着力を有さず、該クリーニング層は、搬送部材の一方の面の全面と、搬送部材のエッジ部分と、搬送部材のもう一方の面の一部とを連続的に覆うように形成されている。 （もっと読む）

【課題】立ち上げ期間の短縮の可能な温超純水製造装置のユースポイント配管の立上洗浄方法を提供する。
【解決手段】温超純水製造装置のユースポイント配管の立上洗浄方法は、サブシシテム３に供給された一次純水Ｗ１をサブシステム３の超純水加熱装置７で加熱する。このとき、通常は、運転時の温超純水Ｗ２と同じ温度の洗浄水により、立上洗浄を行うが、本実施形態においては、超純水加熱装置７では運転時にラインＬ３に供給される温超純水Ｗ２の温度よりも高い温度、温超純水Ｗ２の温度よりも５℃以上高い温度の洗浄水を供給する。 （もっと読む）

【課題】パージ・システムを有する化学物質デリバリー・システムを提供する。
【解決手段】中レベル真空源、ハード真空源および／または液体フラッシュ・システム（５０６）の種々の組合せを用いるパージ技術を用いた化学物質デリバリー・システム（５００）。また、化学物質デリバリー・システムを加熱するヒータ・システムを備え得る化学物質デリバリー・システムも開示される。 （もっと読む）

【課題】フィルターに付着した粉塵を簡便且つ確実に取除くことができ、しかも、集塵機を稼動させたままの状態においてもフィルターに付着した粉塵を取除くことができる集塵機を提供する。
【解決手段】空気を吸込む吸気ファンと、周方向に蛇腹状で内部の中空部分に蛇腹の内側が露呈する円筒状のフィルター材３６を有し、前記吸気ファンの上流側に設けられ、吸気ファンに吸込まれる空気中の塵埃をろ過するフィルター３２と、該フィルター３２の軸線部分に挿通され、回転駆動される回転軸３３と、該回転軸３３の径方向に突設され、回転軸３３の回転に伴って前記フィルター材３６の内方に露呈する蛇腹（内側の蛇腹部分３６ａ）を叩き弾く突片３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】保持ローラから異物が移って基板が汚染されることを抑制または防止することができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板処理装置１は、ほぼ円形の基板Ｗの周端面にその外周面を当接させることにより当該基板Ｗを挟持して保持する複数の保持ローラ２と、複数の保持ローラ２を回転させることによって、当該保持ローラ２に保持された基板Ｗを回転させる基板回転機構１５と、保持ローラ２を洗浄するためのローラ洗浄ブラシ４９と、複数の保持ローラ６に保持された基板Ｗの周縁部に複数の保持ローラ６とは異なる位置で当接し、当該基板Ｗの周縁部を洗浄するための周縁洗浄ブラシ３９とを含む。 （もっと読む）

【課題】プラスチックフィルムの表面に付着した数μｍという非常に微細な埃、フィルム片、汚れまでも連続的に除去することができるフィルムの洗浄システムを提供する。
【解決手段】走行するフィルム１２に、洗浄液を用いて洗浄を行う洗浄部３６と、洗浄した前記走行するフィルムの乾燥を行う乾燥部３８と、を備え、洗浄部３６は、フィルム１２を走行させながら該フィルム表裏面の少なくとも一方の面側に洗浄液を供給することにより、少なくとも一方の面に沿った水流で洗浄する構造であるようにする。 （もっと読む）

【課題】基板搬送装置、基板搬送方法及びクリーニング方法において、ガラス基板の破損を防ぎながら、ガラス基板を確実に吸着保持する。
【解決手段】ガラス基板１０を浮上させる浮上ステージ２と、ガラス基板１０を吸着保持する吸着保持部３ａと、ガラス基板１０を吸着保持部３ａに対し押付ける吸着補助部４と、を備える基板搬送装置１において、吸着補助部４、吸着保持部３ａ、及び、ガラス基板１０、のうち少なくとも１つのクリーニングを行うクリーニング機構５を更に備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】液体容器の容器本体内部を短時間で効率よく確実に洗浄できる容器洗浄装置を提供すること。
【解決手段】保護用函体１内にプラスチック製の液体取出口２ｏ付き容器本体２を収納してなる液体容器３の容器本体２内部を洗浄する容器洗浄装置であって、 作業床部６と左右側壁部７，８と後側壁部９と天井部１０と前面側出入口１１とからなるクリーンブース４を設け、作業床部６には、床部６上面から垂直上向きに所要高さ突出して先端ノズルヘッド１５ａからイオンを含む清浄なエアを噴射させる静電ブローノズル１５を設けると共に、このノズル１５を囲繞して床部６上面に近い位置でノズル１５周囲に環状の吸引排出口１６ａを形成する洗浄済みエア吸引排出管１６を設け、クリーンブース４内の上部側にはイオン放出口１２ａ及び清浄エア放出口１３ａを設ける。 （もっと読む）