【課題】浴槽の残り湯は排水しないで浴槽掃除機を水面上浮かべて洗剤を少し投入し、浴槽掃除機を駆動することにより、水面上て浴槽内壁全週の掃除が可能になり、排水口より排水することで水面が自然に下降し上面部より下面部まで浴槽内壁全週の掃除が可能になり、かつ軽量で簡単で高効率な浴槽掃除機を提供する。
【解決手段】回転ブラシ１は低速回転で、羽根車１１は高速回転で、同時に２速度回転を得られる二重軸駆動による浴槽掃除機であって、回転ブラシ１は芯軸２３に設けられており羽根車１１は外軸１０に設けられており、外軸１０は芯軸２３の外部に同芯二重軸構造で設けた。 （もっと読む）

【課題】電子製品用の基板に付着した異物を除去する異物除去装置において、エアー射出による異物への除去作用を維持しながらも異物の拡散による再汚染を防止し、充分な異物除去能力を得ることができる。
【解決手段】この発明の異物除去装置においては、異物除去処理を行う際に基板１上部に隙間を空けて対向して配置される異物飛散防止板３と、異物飛散防止板３の外周に設けられる囲い板４と、異物飛散防止板３に開口して設けられるエアー射出部５と、エアー射出部５と囲い板４の間に開口して設けられるメインエアー吸引部６およびサブエアー吸引部７とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】 配管路の対象部に詰まった夾雑物を除去することができるだけでなく、さまざまな配管路に対してフレキシブルに対応することができる配管路システム及び配管路の夾雑物除去方法を提供する。
【解決手段】 上流側から下流側に向けて流体を流通させる配管路１５を備え、配管路１５の対象部１５１に詰まった夾雑物を除去する配管路システムにおいて、対象部１５１の流体の流れを遮断可能な制御弁１５２と、制御弁１５２の開閉動作を実行させる制御手段２とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】薄くされたチップを積層して半導体装置を製造する際に、処理対象の上面に存在する異物によって積層させるチップが割れてしまうことを防ぐ異物検査装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、異物検査装置２０は、下地検査部２２１および下地検査部２２１を支持する支持部２２２を有する検知ヘッド２２と、下地データ格納部２３３、検査制御部２３２および異物存在判定部２３４を有する制御部２３と、を備える。下地データ格納部２３３は、配線基板８０または配線基板８０の最上層のチップの配置位置を示す下地配置領域を含む下地データを格納する。検査制御部２３２は、検知ヘッド２２を検査対象上の所定の位置に接触させながら所定の力で押圧するように制御する。異物存在判定部２３４は、下地検査部２２１から取得した検査データから、下地データを参照して下地配置領域のうち周囲よりも圧力が高まっている領域を異物存在領域として抽出する。 （もっと読む）

【課題】梱包袋の内面の洗浄を、悪影響を発生させることなく、確実に行う手段を提供すること。
【解決手段】開口部とする一辺を除いて他の周辺部を閉じて形成した樹脂フィルムからなる梱包袋を、下方以外から高清浄の空気を送出する高清浄空間内に開口部を下方に開放して設置し、梱包袋の内部空気を梱包袋外の高清浄空間内の空気と置換し、梱包袋内部の塵埃を除去する。梱包袋の開口部を通した吸引管により内部空気を吸引し、吸引管外の開口部を通して高清浄空間内の空気を自然流入することにより、梱包袋の内部空気を梱包袋外の高清浄空間内の空気で洗浄する。 （もっと読む）

【課題】ガラス壜をスターホイールによって円形軌道に沿って搬送している間にガラス壜を自転させ、この自転中にガラス壜の底部から底部のやや上方の壜胴下部までの検査エリアにエアを吹き付けることにより、ガラス壜の検査エリアに付着した水滴を確実に除去することができるガラス壜の水滴除去装置を提供する。
【解決手段】液体が充填された複数のガラス壜１を複数のポケット３ａで支持して円形軌道に沿って搬送するスターホイール３と、スターホイール３により支持されたガラス壜１に接触しながら走行してガラス壜を自転させるベルト１６と、スターホイール３により円形軌道に沿って搬送されるガラス壜１の側方に配置され、ガラス壜１に向けて空気を吹き付けるエアブローユニット２０とを備え、エアブローユニット２０の前面２０ｆは円形軌道に沿うように配置され、エアブローユニット２０の前面２０ｆには空気を噴出する複数のノズル２０ｎが設けられている。 （もっと読む）

【課題】洗浄能力の低下を抑制する。
【解決手段】ローラ洗浄装置１０は、シート状の被搬送物１に接触して回転可能な送りローラ１２と、該送りローラ１２の回転軸１２ａに平行な回転軸１４ａを有し、送りローラ１２に接触して回転可能な洗浄ローラ１４と、送りローラ１２と洗浄ローラ１４とを相対移動させるアーム駆動アクチュエータ１８と、洗浄ローラ１４と送りローラ１２との接触時間に係るパラメータの値を取得し、送りローラ１２と洗浄ローラ１４との接触圧をパラメータの値に応じて制御する制御装置２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理装置を構成する電極の交換時期を判定することができる交換時期判定装置、交換時期判定方法及びプラズマ処理システムを提供する。
【解決手段】電極に高周波電力を供給し、処理容器に導入したガスから発生させたプラズマにより、該処理容器内の基板上における薄膜をプラズマ処理するプラズマ処理装置を構成する前記電極の交換時期を判定する交換時期判定装置において、前記薄膜をプラズマ処理した処理条件に係る値を積算する積算手段と、プラズマ処理の処理条件に係る値に関して電極の交換時期と対応する積算値が記録された記録手段と、前記積算手段が積算した積算値及び前記記録手段に記録された積算値に基づいて、前記電極の交換時期を判定する判定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】使用者の誤使用や装置の誤動作に伴う非正常事象を回避することができるプラズマ発生装置及びこれを用いた洗浄浄化装置を提供する。
【解決手段】洗浄浄化装置４０は、プラズマ発生装置１の使用時に発生する非正常事象を検知し、その検知結果に基づいてプラズマ放電を制御する。 （もっと読む）

【課題】視聴者の映像コンテンツの視聴を妨げないようにすることが可能な投写型映像表示装置を提供する。
【解決手段】プロジェクタ１は、映像を表示するための光学部品を収納する筐体１０と、筐体１０の内部へ流入しようとする塵埃を捕捉するエアフィルタ３２と、エアフィルタ３２を掃除するフィルタ掃除機構４とを備えている。そして、プロジェクタ１は、フィルタ掃除機構４を制御する制御部５３を備え、制御部５３が、人の存在を検出する人感センサ６１により出力された検出結果に基づいて、フィルタ掃除機構４を制御する。 （もっと読む）

【課題】汚泥処理システムの稼働中において、余剰汚泥を移送する移送管の内部を確実に洗浄できる余剰汚泥移送管の洗浄装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、メタン発酵用の余剰汚泥を移送する余剰汚泥移送管を洗浄する洗浄装置であって、上記余剰汚泥移送管の内部に高温蒸気を噴出させる高温蒸気噴出部を備えることを特徴とする余剰汚泥移送管の洗浄装置である。本発明は、上記高温蒸気により加熱される加熱余剰汚泥と加熱前の余剰汚泥との熱交換を行う熱交換部をさらに備えるとよい。また、本発明は、上記熱交換部が上記加熱余剰汚泥を移送する余剰汚泥移送管と加熱前の余剰汚泥を移送する余剰汚泥移送管との二重管式であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ランニングコストや設備投資の増大、さらにはガラス基板の生産性低下を極力招くことなく、ガラス基板の有効面を効果的に清浄化することができる技術を提供する。
【解決手段】搬送されるガラス基板Ｇの有効面に対し、洗浄液２１を供給しつつ、洗浄ヘッド１５を回転させながら押し当てることにより、ガラス基板Ｇの有効面に付着した異物を取り除く洗浄工程において、洗浄ヘッド１５または洗浄ヘッド１５を保持する第１保持部材１３の少なくとも一方の膨張収縮を利用して、ガラス基板Ｇに対する洗浄ヘッド１５の接触圧を調整する。具体的には、洗浄ヘッド１５がある程度摩耗したときに、洗浄液２１の供給温度を上昇させて、洗浄ヘッド１５または第１保持部材１３の少なくとも一方を熱膨張させ、洗浄ヘッド１５の摩耗によって低下したガラス基板Ｇに対する洗浄ヘッド１５の接触圧を再度高める。 （もっと読む）

【課題】被処理物に形成された酸化膜に対して、酸化膜中に含まれる酸素原子を分離させるために必要な量以上の水素ラジカルを照射して酸化膜を高速に除去するとともに、前記水素ラジカルを含むプラズマの温度を調整して被処理物等へダメージフリーな酸化膜除去方法を提供することを目的とする。
【解決手段】被処理物の表面の原子が酸素原子、窒素原子または硫黄原子のうち少なくとも１種類と結合することにより形成された被膜に対して、プラズマ生成用ガスに電圧を印加することにより発生したプラズマを照射して前記被膜中の前記酸素原子、窒素原子または硫黄原子を除去する。 （もっと読む）

【課題】安定して操業することができる無排水化を図る脱硫排液からの脱水濾液の噴霧乾燥装置、脱水濾液の噴霧乾燥方法及び排ガス処理システムを提供する。
【解決手段】噴霧乾燥装置本体５１内に、脱硫排水からの脱水濾液３３を噴霧する噴霧ノズル５２と、噴霧乾燥装置本体５１に設けられ、噴霧液３３ａを乾燥する排ガス１８を導入する導入口５１ａと、噴霧乾燥装置本体５１内に設けられ、排ガス１８により脱水濾液３３を乾燥する乾燥領域５３と、乾燥に寄与した排ガス１８を排出する排出口５１ｂと、前記噴霧ノズル５２の付着物の付着状態を監視する付着物監視手段６０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】基板の処理に使用される処理液の消費量を低減すること。
【解決手段】基板処理装置は、処理液を吸収可能で弾性変形可能なスポンジ４１と、スポンジ４１に処理液を供給する貯留槽４０と、基板Ｗを保持する基板搬送ロボット２１とを含む。基板搬送ロボット２１は、スポンジ４１と基板Ｗとを相対移動させてスポンジ４１と基板Ｗの下面とを接触させることにより、スポンジ４１に吸収されている処理液を基板Ｗの下面に供給させる。 （もっと読む）

【課題】 光学部材の周辺温度や圧電素子の貼着状態によって、第１の曲げ振動と同じ時間位相で、次数が１つ異なる振動を励起したとしても、それぞれの振動を検出すると、時間位相がずれる。
【解決手段】 光学ローパスフィルタ４１０にｍ次の振動モードの曲げ振動を励起したときに検出される振動と、光学ローパスフィルタ４１０にｍ＋１次の振動モードの曲げ振動を励起したときに検出される振動とで、どのくらいの時間位相ずれが発生しているのかを検出する。そして、検出した時間位相ずれに基づいて、本駆動の際に利用する本駆動パラメータを算出する。 （もっと読む）

【課題】 第１の曲げ振動に対する第２の曲げ振動の時間位相を正確に９０°ずれていない振動を励起すると、光学部材を破損するおそれがある。
【解決手段】 第１の駆動電極に通電してから、第２の駆動電極に通電するまでの駆動位相ずれ量を設定する設定手段と、振動検出手段が第１の検出電極からの出力してから前記第２の検出電極からの出力するまでの検出位相ずれ量を測定する測定手段とを有し、設定手段が予め設定される第１の駆動位相ずれ量を設定したときに、測定手段によって測定される検出位相ずれ量に基づいて、設定手段は第２の駆動位相ずれ量を設定し、設定手段が第１の駆動位相ずれ量を設定するときに、駆動手段が第１の駆動電極および第２の駆動電極に通電する第１の電圧は、設定手段が第２の駆動位相ずれ量を設定するときに、駆動手段が第１の駆動電極および第２の駆動電極に通電する第２の電圧よりも低い。 （もっと読む）

【課題】汚れ付着時に自動的に清掃を行うことができ、メンテナンスが簡略化され、効率的な清掃を行うことが可能な太陽電池パネル用清掃装置を提供すること。
【解決手段】設置状態の太陽電池パネル１００の受光面１００ａに付着した汚れを除去する清掃装置１０であって、前記太陽電池パネル１００の受光面１００ａに接触した状態で移動するブレード部１８を有する清掃部１２と、一定周期毎に前記汚れ状態を認識する認識部１４と、降雨状態の検知を行うレインセンサ１６と、前記認識部１４が認識した情報により清掃が必要か否かを判定し、清掃が必要と判定した状況で且つレインセンサ１６の検知した降雨状態が清掃可能な降雨状態のときに前記清掃部１４を動作させる制御部と、を有することを特徴とする太陽電池パネル用清掃装置１０。 （もっと読む）

【課題】特に可搬性を有するハンディタイプの乾式クリーニング装置において、狭い空間内で高速に飛翔する洗浄媒体の摩擦帯電による洗浄能力低下問題を解消する。
【解決手段】乾式クリーニング筐体としての筐体４は、通気路としてのインレット２４内に洗浄液を噴霧する加湿手段としての噴霧手段５０を備えている。筐体の開口部１８が洗浄対象物２０で塞がれると吸引装置による吸引によって筐体４内が負圧化し、インレット２４から気流が流入して旋回空気流３０が形成され、洗浄媒体５が飛翔して洗浄対象物２０に衝突する。バルブ５６を開くと噴霧ノズル５２の洗浄液がインレット２４内にミスト状に噴霧される。噴霧されたミストは、旋回空気流３０と合流し、筐体内に拡散する。拡散したミストは、洗浄媒体５に付着し、洗浄媒体５の摩擦による帯電を抑制する。 （もっと読む）

【課題】逆噴射ノズルにより短時間の浄化作業で異物を効率的に除去し、かつ効率的な脱臭および殺菌効果により衛生状態を改善するオゾン式給水管浄化装置およびオゾン式給水管浄化方法を提供する。
【解決手段】浄化運転時に逆噴射ノズル１５から噴出するオゾン含有水Ｗｆが噴射流Ｓとして給水管６の内壁面１１を隈なく吹き当たるので、ぬめり、水垢などは勿論、管内スケールのうち給水管６の内壁面１１に強く付着した錆瘤などの異物Ｆｍまでも効率的に吹き落とすことができる。これに伴い、給水管６内の全体が効率的に脱臭および殺菌されて給水管６の衛生状態が改善し、給水管６の浄化作業が短時間で終了して作業性が向上する。 （もっと読む）