【課題】洗浄設備を短時間で十分に洗浄することができる設備洗浄方法及び装置を提供する。
【解決手段】超純水ライン２から超純水を配管３、５，８、半導体洗浄機１０、配管１５、循環水槽１７に流した後、循環水槽１７内の水を循環ポンプ２０、配管２１を介して循環させ、薬液槽１１〜１３から薬液を添加する。主要な配管や、薬液槽１１〜１３、循環水槽１７、カラム３０，３３、フィルタ６等はケーシング５０内に設置されてユニット化されている。 （もっと読む）

【課題】 洗浄対象物を分解せずに超音波洗浄を行う際に、洗浄時間を最適化することができる超音波洗浄装置及び方法を提供する。
【解決手段】実施形態の超音波洗浄装置は、内部に液体を保持している構造体３０に、所定の洗浄用周波数で洗浄用超音波を入射する洗浄用振動子１１ｂと、洗浄用周波数と異なる周波数である測定用超音波Ｐを入射する測定用送信振動子２１ｂと、反射波Ｐ１、Ｐ２を受信する測定用受信振動子２１ｂと、内面付着物３１の厚みを算出する制御部２３と、を備える。また、その洗浄方法は、洗浄用周波数帯で洗浄用超音波が前記構造体３０に入射される洗浄ステップ４１と、洗浄ステップ４１の最中に、測定用超音波が構造体３０に入射される測定用超音波入射ステップ４２と、測定用超音波の反射波が受信される反射波受信ステップ４３と、内面付着物３１の厚みが算出される算出ステップ４４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高い洗浄力を有しながら節水効果も有する気液混合体を噴射させる洗浄水噴射装置を提供する。
【解決手段】圧縮空気９を流動させるための第１の中空部３を備えた第１の筒体２と、この第１の筒体２を，第２の中空部５を備えて収容する第２の筒体４と、第１の筒体２の外側面２ａと第２の筒体４の内側面４ａとの間に形成される水密な空隙６と、第２の筒体４の側面を貫通して形成され空隙６に洗浄水１０を供給する洗浄水供給口４ｂと、第１の筒体２の側面を貫通して形成され空隙６に供給された洗浄水１０を第１の中空部３内に導入して圧縮空気９と混合させて気液混合体１１を生成させる複数の洗浄水導入口２ｂと、第１の筒体２の端部に形成される導出口２ｄとを有し、複数の洗浄水導入口２ｂは，第１の筒体２の内側面において互いに対向して配置されることがなく、かつ、第１の筒体２の中心軸の周囲に回転対称に配置される洗浄水噴射装置１による。 （もっと読む）

【課題】 煩雑なスポンジ洗浄を併用することなく、飲食店において十分実施を見込める程度に作業を軽減し得る飲料注出装置の洗浄剤及び洗浄方法の提供。
【解決手段】 パパイヤ又は椰子の実の細胞の中の枯草菌から抽出した蛋白質分解酵素、脂肪関連分解酵素、又は糖質関連分解酵素に、シダ類や藻類から採ったセルラーゼをコーティングしてなる植物性天然酵素を水で溶かしてなる飲料容器の洗浄剤。 （もっと読む）

【課題】操作性が高く、安価な車両用洗浄装置を提供すること。
【解決手段】車両用洗浄装置は、タンクＴに貯留された洗浄液を給送するための電動ポンプＰと、給送された洗浄液を車両後部に配置された車載カメラ１０のガラス窓１０ａに向けて噴射するためのカメラ・ウォッシャノズルＮ２とを備える。又、車両が後進状態であることを示す後進状態信号Ｘの入力に基づいてディスプレイＤＳＰに車載カメラ１０が撮像した画像を表示させるとともにカメラ洗浄用のタッチパネルスイッチＴＳＷを表示させ、該カメラ洗浄用のタッチパネルスイッチＴＳＷの操作に基づいてカメラ・ウォッシャノズルＮ２に洗浄液を給送すべく電動ポンプＰを駆動する制御部Ｓを備える。 （もっと読む）

【課題】機器や配管等の金属表面に付着したカルシウム塩のスケールを良好に洗浄する難溶解性付着物の洗浄技術を提供する。
【解決手段】難溶解性付着物の洗浄剤は少なくともギ酸を成分に有し、金属表面に付着したカルシウム塩のスケールを洗浄する。遠心薄膜乾燥機２０においてこの洗浄剤を供給する供給タンク３１が接続されている。例えば、乾燥処理の対象となる廃液が、ホウ酸カルシウムを主成分とする懸濁液である場合、洗浄剤のギ酸濃度が０．５〜１０ｗｔ％、好ましくは１〜５ｗｔ％の範囲に調整される。 （もっと読む）

【課題】フィルターエレメントのみならず集塵容器をも安全に洗浄することができる集塵装置とする。
【解決手段】フィルターエレメント２１と、このフィルターエレメント２１を収納する集塵容器１０とを有し、この集塵容器１０内がフィルターエレメント２１上流の集塵室Ｒ１と、フィルターエレメント２１下流のろ過室Ｒ２とに区分され、集塵室Ｒ１に臨むガス流入路Ｄ１と、ろ過室Ｒ２に臨むガス流出路Ｄ２とが集塵容器１０に備えられた集塵装置１であって、集塵室Ｒ１に臨む液供給路Ｄ７及び液排出路Ｄ４が集塵容器１０に備えられ、液排出路Ｄ４及びガス流入路Ｄ１に開閉弁Ｖ４，Ｖ１が備えられ、これらの開閉弁Ｖ４，Ｖ１を閉じて液供給路Ｄ７から洗浄液Ｗ１を供給すると、洗浄液Ｗ１によって集塵室Ｒ１が浸漬し、更にろ過室Ｒ２も浸漬する構成とされる。 （もっと読む）

【課題】太陽光パネルの洗浄及び冷却を一層向上させることができると共に、装置の簡素化及び小型化が図れる太陽光パネル洗浄冷却装置を提供する。
【解決手段】傾斜して設置された太陽光パネル３と、太陽光パネル３の上方に配設され、太陽光パネル３に水を噴射するノズル孔１１が形成されたノズル管１０と、ノズル管１０に水を供給する水供給管１２とを備えている。水供給管１２には、タイマー２３によって制御される電磁弁２１と、水の疑集の大きさを小さくする流体活性化装置２２とが設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】分散機運転中の処理効率の低下が抑制される媒体撹拌型分散機を提供する。
【解決手段】被処理液を導入する液入口１６と処理後の処理液を排出する液出口２０とを有する分散容器１０と、分散容器１０の内部に設けられた撹拌手段と、分散容器１０の内部に設けられ、液出口２０を覆うスクリーン１４と、分散処理中に、液出口２０側からスクリーン１４の内部に備えた回転ノズルよりスクリーン１４の内面へ向かって流体を噴射する逆洗手段と、を有する媒体撹拌型分散機である。 （もっと読む）

【課題】スケールの溶解率を高めることができるとともに、スケールの溶解時間を短縮することができ、スケールの除去効率を向上させることができるアルカリによるスケールの洗浄方法を提供する。
【解決手段】アルカリによるスケールの洗浄方法は、水タンク等の機器又は水配管等の配管の内壁面に付着したスケールに洗浄剤としてのアルカリを作用させてスケールの洗浄を行うにあたり、該洗浄を減圧状態で発泡源を添加するか、又は気泡を吹き込みながら行うものである。前記スケールは二酸化珪素を含むものである。また、前記気泡としては、その気泡径が１００ｎｍ〜１００μｍの微細気泡が用いられる。洗浄時における洗浄液のｐＨは９以上であることが好ましい。洗浄時の圧力は、０．００１〜０．０９ＭＰａに設定される。 （もっと読む）

【課題】スライムの洗浄速度が速く、スライムの洗浄時間を短縮することができ、スライムの除去効率を向上させることができるスライムの洗浄方法を提供する。
【解決手段】スライムの洗浄方法は、水タンク等の機器又は水配管等の内壁面に付着したスライムに洗浄剤としての過酸化物を作用させてスライムの洗浄を行うにあたり、該洗浄を減圧状態で行うものである。過酸化物としては、酸素と水に分解する過酸化水素が最も好ましい。その過酸化水素を過酸化水素水として用い、過酸化水素水中の過酸化水素の濃度は０．１〜１０質量％であることが好ましい。また、減圧状態の圧力は０．００１〜０．０９ＭＰａに設定され、スライムの洗浄は酸性条件下で行われる。 （もっと読む）

【課題】スケールの溶解率を高めることができるとともに、スケールの溶解時間を短縮することができ、スケールの除去効率を向上させることができる酸によるスケールの洗浄方法を提供する。
【解決手段】酸によるスケールの洗浄方法は、機器又は配管の内壁面に付着したスケールに洗浄剤としての酸を作用させて発泡させながらスケールの洗浄を行うにあたり、該洗浄を減圧状態で行うものである。前記洗浄剤の酸は無機酸又は有機酸であり、無機酸としては塩酸、スルファミン酸等が挙げられ、有機酸としてはクエン酸、グリコール酸等が挙げられる。減圧状態における圧力は０．００１〜０．０９ＭＰａであることが好ましい。また、洗浄時における洗浄液のｐＨは５以下であることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】硬質材料表面に付着するスケールを材料表面の腐食・劣化を発生させることなく、効率的に除去する方法を提供する。
【解決手段】難除去性無機系スケール付着硬質材料表面に対し、以下に示す三つの処理ステップを実施する。第１ステップ：スケールが付着している硬質材料表面に対する酸性洗浄剤による洗浄処理の実施。なお、酸性洗浄剤としてメタンスルホン酸とヒドロキシカルボン酸との混合液の使用が特に好ましい。第２ステップ：第１ステップ処理面に対する乾燥処理の実施。第３ステップ：第２ステップ処理面に対するアルカリ性洗浄剤による洗浄処理の実施。 （もっと読む）

【課題】フィルタの寿命を延ばすことができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、基板Ｗに供給される処理液をろ過するフィルタ１６を内部で保持するハウジング１７と、ハウジング１７に保持されている状態のフィルタ１６に液滴を衝突させるスプレーノズル２３とを含む。フィルタ１６に付着している異物は、液滴の衝突によって除去される。 （もっと読む）

【課題】中水をバブル化して表面電位特性及びラジカル密度を高めて洗浄効率が向上する。また、上記中水の流動性や拡散性が高めて被洗浄物の付着した異物を効率的に除去して洗浄効率を向上する。
【解決手段】被洗浄物に散水または噴射される中水をバブル発生装置（９）によりマイクロバブル化またはナノバブル化して洗浄用中水に生成する。 （もっと読む）

【課題】気化ユニット内部に堆積物が大量に蓄積する前に、気化ユニットを配管から取り外すこと無くその堆積物を外部へと排出させる。また、原料の分解によって発生した副生成物を除去してパ−ティクル（塵埃）の増加を防止し、配管やバルブ等のメンテナンス周期を延ばす。
【解決手段】気化ユニット内に堆積した生成物を除去して気化ユニットを洗浄する気化ユニットの洗浄方法において、生成物が堆積した気化ユニット内に第１の洗浄液を供給する第１の工程と、第１の洗浄液を気化ユニット内から排出しない状態で、気化ユニット内に第２の洗浄液を供給する第２の工程と、第１の洗浄液および第２の洗浄液を気化ユニットから排出する第３の工程と、を順に行う。 （もっと読む）

【課題】塗布動作を行う際に塗布液がミスト状に飛散する場合がある。ミスト状に飛散した塗布液が装置内部のうち基板以外の部分に付着すると、装置を汚してしまうという問題があるので、装置内の環境を清浄化する。
【解決手段】基板収容装置ＡＣＭは、基板Ｓを保持する基板保持部１０と、前記基板保持部１０に保持された状態の前記基板Ｓを囲うカップ部２０と、前記基板Ｓと前記カップ部２０との間に異物を回収する回収液を供給する回収液供給部３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 洗浄サイクルタイムを一定にでき、かつ洗浄効果を上げることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】 ノズルを回転させて洗浄液を噴射するタービン式の洗浄装置であって、洗浄液が流入するヘッドパイプ３入口と、洗浄液の圧力を駆動源としてノズル１９を回転させるタービン５との間に、タービン５の回転調整を行う専用のインレットコア４を設けるとともに、ノズルロータ１７とノズル１９との間に整流格子として二段式ずれ格子１８を装着したことを特徴とする。専用のインレットコアを装着することで、タービンの回転速度を一定とし、洗浄サイクルタイムを一定にできる。また、洗浄効果を上げるために、整流格子として働くスタビライザに二段式ずれ格子を装着することで整流を細分化し、直進棒流性能を向上させて洗浄効果を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】 エアシステムによりパイプから内容物を除去するための方法。
【解決手段】 この方法は、内容物がパイプ内で移動を開始するまで高圧且つ低速でエアシステムにより空気を供給するステップと、パイプから内容物の大部分が除去されるまで、低圧且つ高速でエアシステムにより空気を供給するステップと、実質的に残りの内容物全部がパイプから除去されるまで、低圧且つ高速で空気の供給を引き続き行うステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】配管の内壁に付着した凝集体等の付着物を、薬剤等の化学的作用や高圧ガスによる圧力を用いるのではなく、液体が衝突するときの衝撃により除去できる、低コストの洗浄方法を提供する
【解決手段】液状流体を移送するための配管の洗浄方法であって、内径Ｄの配管を、複数の洗浄液のドメインと複数の気体のドメインとを交互且つパルス状に連続して通過させる工程を備え、配管内を通過する、洗浄液の各ドメインが占める平均長さをＬ_W、気体の各ドメインが占める平均単位長さをＬ_Gとした場合、Ｌ_W／（Ｌ_W＋Ｌ_G）が０．１５〜０．８５であり、且つ、Ｌ_W＋Ｌ_G≦５０・Ｄである、を満たす。 （もっと読む）