【課題】吸着状態の誤判断を防ぐことができる吸着装置、当該吸着装置を備えた気相成長装置、および吸着方法を提供すること。
【解決手段】本発明では、吸着部１６を構成する各吸着パッド（図示せず）には、流量センサ６６が接続されており、個々の流量センサ６６は、各吸着パッドとポンプ８２との間の空気の流量を測定する。また、全体用流量センサ６２は、吸着部１６とポンプ８２との間の空気の流量を測定する。制御部５４では、個々の流量センサ６６および全体用流量センサ６２の測定値に応じて、流量センサ６６の測定値の閾値を変更する。変更した閾値に基づいて、吸着部１６の吸着状態の判定を再度行うことによって、実際には基板トレイ３２を吸着しているにも拘らず、基板トレイ３２を吸着していないと誤判断されてしまうのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】支持姿勢や搬送動作にかかわらず板状部材の撓みを抑制できる支持装置および支持方法ならびに搬送装置および搬送方法を提供すること。
【解決手段】接着シートＭＳが貼付された板状部材Ｗの搬送装置１は、接着シートＭＳを介して板状部材Ｗを保持する保持手段２と、保持手段２で保持された板状部材Ｗを付勢して板状部材Ｗの面位置を所定位置に維持する面位置維持手段６と、保持手段２を移動させる移動手段３とを備え、面位置維持手段６は、板状部材Ｗを一方側に付勢するかまたは他方側に付勢することで、板状部材Ｗの支持姿勢や搬送動作にかかわらず板状部材Ｗの面位置を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハのデバイスが形成された面または形成される面に吸着痕や損傷を生じさせることなくウェハを搬送することができるウェハ搬送装置およびウェハ搬送方法を提供すること。
【解決手段】搬送ハンド３０の内部には、段差部２４に設けられた吸着孔３２と、複数の通気用の孔３１，３３とが設けられている。段差部２４は、リブウェハ１０のデバイス面２と重ならない位置に設けられている。第１通気用の孔３１は、吸着孔３２に接続されている。各第１通気用の孔３１同士は互いに独立している。各第１通気用の孔３１には、異なる第２通気用の孔３３が接続されている。各第２通気用の孔３３は、それぞれ異なる配管２５を介して真空発生源２６に連結されている。つまり、複数の吸着孔３２に対する真空系統が互いに独立して設けられている。リブウェハ１０の吸着状態は、搬送ハンド３０の内部に流れる空気の流速に基づいて判定される。 （もっと読む）

【課題】流体圧式のアクチュエータの牽引で回動する回動部材に対して、複数種の回動パターンを可能にすると共に、回動力の増大を図る。
【解決手段】回動装置１は、回動部材６を回動可能に連結したベース部材２に第一アクチュエータ１０及び第二アクチュエータ２０を配置し、両アクチュエータ１０、２０の牽引による回動部材６の回動方向を同方向にしている。流体の供給は、第一アクチュエータ１０へ供給してから第二アクチュエータ２０へ供給する方式、両アクチュエータ１０、２０へ同時的に供給する方式、又は第二アクチュエータ２０へ供給してから第一アクチュエータ１０へ供給する方式の切替が可能であり、それにより、回動部材６の複数種の回動パターンを得ると共に、両アクチュエータ１０、２０を作動させた状態では回動力を増大できる。 （もっと読む）

【課題】小さな倣い力で高精度な倣いを実現できる倣い機構を提供する。
【解決手段】摺動保持部２と可動部３との間に、摺動保持部２と摺動部３１の磁力による吸着力と、可動部３の自重及び加圧エアによる静圧とを均衡させることにより静圧空気軸受けを形成する倣い機構１において、可動部３の倣い部３２を、摺動部３１より密度の大きな物質によって構成することにより、可動部３の回転中心Ｃと可動部３の重心Ｇを近づける構成とする。 （もっと読む）

【課題】物体がその載置箇所から安定に持ち上げられるようにハンドの動作を制御することができるシステム等を提供する。
【解決手段】ハンド１が有する第１種の指機構１１〜１３の動きにより物体がつままれた上で、この物体の一部を載置箇所に当接させたままで他の部分が持ち上げられる。さらに、手の平部１０の位置および姿勢が制御されることにより、手の平部１０と物体との当接箇所が広げられる。そして、複数の指機構１１〜１５の動きが制御されることにより当該複数の指機構１１〜１５により物体が握られる。 （もっと読む）

【課題】配管等の配置の自由度を高めながら、指機構の動作を安定に制御することができるシステム等を提供する。
【解決手段】ハンド１によれば、配管３３に流体の圧力に応じた断面積変化が許容される程度の柔軟性を持たせ、これによって配管３３およびこれを介して連結されているマスタシリンダ３１の配置自由度を高めることができる。また、配管３３中の流体圧力に応じて生じる配管３３の断面積変化が考慮されるので、スレーブピストン位置Pxが高精度で測定されうる。 （もっと読む）

【課題】物体がより安定に把持されるようにハンドの動作を制御することができるシステム等を提供する。
【解決手段】物体がハンド１により把持されることによって複数の指機構１１〜１５および手の平部１０のそれぞれに当接している状態において、複数の指機構１１〜１５のそれぞれから当該物体にかけられる荷重が調節されうる。これにより、手の平部１０における荷重中心ｐ０の位置が目標手の平領域ＰＡに含まれるように変位されうる。また、手の平部１０にかかる荷重ｆ０が目標荷重範囲ＦＡに収まるように調節されうる。 （もっと読む）

【課題】物品を非接触で保持する物品保持装置において、物品の保持及び解除を迅速に行えるようにする。
【解決手段】物品保持装置２０は、ガラス基板を非接触で保持する装置であり、装置本体２１と、ファン制御部３０と、を備えている。装置本体２１は、ケース２２と、ファン２４と、吸い込み口２６と、吹き出し口２８と、を有している。ケース２２は、ガラス基板に対向可能な物品対向部４２及び内部に設けられた空間４０ａを有している。ファン２４は、ケース２２の空間４０ａに配置され、気体を吸い込んで吹き出す。吸い込み口２６は、ファン２４の吸い込み側と連通する。吹き出し口２８は、吸い込み口２６と異なる位置で物品対向部４２に配置され、ファン２４の吹き出し側と連通する。ファン制御部３０は、ガラス基板を保持可能にファン２４の回転速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】弾性体アクチュエータで駆動されるロボットアーム等の可動機構を事前に想定した環境以外でも、位置又は力を精度良く制御できる、弾性体アクチュエータの制御装置及び制御方法、並びに、制御プログラムを提供する。
【解決手段】出力の目標値から出力値を減じた値にゲインを乗じた値を積分した適応オフセット値と、出力の目標値から初期値を減じた値に、出力の目標値から出力値を減じた値を乗じた値にゲインを乗じた値を積分した適応ゲイン値を算出し、適応ゲイン値に出力の目標値を乗じた値と、適応オフセット値とを加算した値を内部状態の目標補正値として適応目標内部状態補正手段で決定する。 （もっと読む）

【課題】温度センサを自己加熱によりヒータとしても動作させる超小型で高速応答の安価なヒータ兼温度センサ素子を提供する、この素子を用いた高速で高感度の気流センサを提供する、この気流センサを真空パッドに適用して高速応答にする。さらに、これらを用いた気流検知装置を提供する。
【解決手段】基板から熱分離したカンチレバ状の薄膜にヒータ兼温度センサを形成し２端子とする。そのチップ寸法を１ｍｍ角程度の超小型化する。気流センサとして気流の流入口近傍の微小空間にヒータ兼温度センサ素子を取り付ける。これを真空パッドに適用し、素子を吸着パッド付近に取り付ける。内側と外側に導電膜を形成した導電膜付チューブを提供して電源回路などを有する本体と気流センサとの間の煩雑なワイヤ線を不要にする。更にこの気流センサを用いて、少なくとも増幅回路、演算回路、制御回路を有するコンパクトな気流検知装置とする。 （もっと読む）

【課題】エンドエフェクタ部分の清浄度を回復する。
【解決手段】マニピュレータ１は、エンドエフェクタ１０２と、エンドエフェクタを支持するための支持部１０１と、支持部に設けられた固定部材１０４を有する。固定部材と支持部との間の空間に流体が供給され、固定部材と支持部との間隙が広がり、エンドエフェクタを覆うための可撓性カバー１０３を支持部に固定する。また、流体を供給するための流体供給手段を有する。 （もっと読む）

【課題】移動可能なアームの位置を位置合わせする方法が提供される。
【解決手段】この方法は、装置の上方でｚ方向に突出し、ｘ軸およびｙ軸によって形成された平面内に広がる表面を備えた、装置の表面に設けられた位置合わせ要素を提供し、自由端に設けられた器具を有する移動可能なアームを提供し、位置合わせ要素の表面が器具に面するように対象物を位置させ、器具を位置合わせ要素の表面に向かう向きに動かし、器具が予め決められた点に到達したときを感知し、器具を表面からｚ方向に離して配置し、位置合わせ要素の表面を感知しながら器具をｘ方向に動かし、位置合わせ要素のエッジが感知されるまで器具をｘ方向に動かし、ｘ方向での中心を求め、器具をｚ方向にある距離だけ離して配置し、位置合わせ要素の表面を感知しながら器具をｙ方向に動かし、位置合わせ要素のエッジが感知されるまで器具をｙ方向に動かし、ｙ方向での中心を求めることを具備する。 （もっと読む）

【課題】孔径の異なる複数種類の吸着ノズルを対象として、吸着ノズルの有無検出を安定して適正に行うことができる電子部品実装装置および電子部品吸着用の吸着ノズルを提供することを目的とする。
【解決手段】電子部品を真空吸着によりピックアップして基板に実装する電子部品実装装置のノズル装着部に交換自在に装着される電子部品吸着用の吸着ノズルにおいて、流量センサによって計測された真空吸引回路の流量値を判定用のしきい値と比較することによりノズル装着部における吸着ノズル１１２の有無を検出するノズル有無検出に際し、ノズル装着部に吸着ノズルが装着されていない状態における流量値と当該吸着ノズルが装着された状態における流量値とをしきい値によって切り分けが可能となるように、吸着ノズル１１２の内部流路孔１１２ｆに当該内部流路孔の孔径よりも小さい絞り径の絞り部１１２ｇを設ける。 （もっと読む）

【課題】触覚検出装置と該装置を使用した可動装置の提供。
【解決手段】本発明は一種の触覚検出装置に関わるものである。主に検出層、圧力調節ユニット、圧力センサーユニット及び制御ユニットを備える。該感知層は複数の弾性体より構成する。該圧力調節ユニットはパイプにより該感知層に連結され、該弾性体内部の圧力を制御する。該一つ以上の検出ユニットは該弾性体の圧力変化を検出できる。該制御ユニットは該圧力センサーユニット及び一つ以上の検出ユニットに連結し、該制御ユニットは該圧力センサーユニットより発生した検出信号を受信する。該触覚検出装置を可動装置の表面に覆い、弾性体内部に備える空気袋の圧力変化を検出することにより、外部物体の大きさと位置を検出するほか、気体の供給により弾性体内部に備える空気袋の圧力変化を改変し、柔軟度変化できる。 （もっと読む）

【課題】表面に情報表示および相互作用機能を備える可動装置を提供する。
【解決手段】表皮ユニット１１が可動本体１０表面に貼設されることによってケーシングに情報を表示することができ、ソフトウェアの制御によって外皮の色、図案または文字情報を随時変化させることができる。可撓性ディスプレイ１１０には更にタッチセンサユニット１１２を設置することができ、入力される相互作用信号を感知できる。可動本体１０には環境センサまたは情報識別装置を整合でき、有線または無線の技術によって環境情報、文字情報または画像音声情報の判断を入力信号とし、複数の入力信号と出力表現信号とを整合して可動本体１０の相互作用性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】負圧領域を備えたことにより物体表面に密着し且つ物体表面に沿って移動可能な装置において、該負圧領域が装置を包囲する流体とは異なる気体で満たされている装置を提供する。
【解決手段】液体中に在る物体表面に密着しながら物体表面に沿って移動可能な装置において、少なくとも外側のケーシングと外側シール部材と内側シール部材とが物体表面と協働して第１領域１１を規定し、また、少なくとも該内側のケーシングと該内側シール部材とが物体表面と協働して規定した第２領域１２を具備したことを特徴とし、該第１領域１１に在る流体の圧力が装置を包囲する流体の圧力より低い圧力に維持されており、また、該第２領域１２に在る流体の圧力が該第１領域に在る流体の圧力より高い圧力に維持されている。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドが半導体チップの上面に接触する高さ位置を、簡単な構成で高精度に求めることができるハンドラのティーチング方法及びハンドラを提供する。
【解決手段】吸着パッドを検査用ソケットに配置されたＩＣチップに向かって下動させるとき、吸着パッドからエアーを噴射させながら下動させる。そして、検査用ソケットにＩＣチップの上面に接触するとき、吸着パッドから噴射しているエアーが、ＩＣチップにて塞がれるようにした。従って、エアーの噴射が塞がれることにより、吸引管内のエアーの圧力の上昇を圧力検出センサが検出することによって、吸着パッドが検査用ソケット内のＩＣチップに接触する高さを求めることができる。 （もっと読む）

【解決手段】関節機構１０は、第１リンク１２と第２リンク１４とを含み、第１リンクに設けた第１関節部１８の凹曲面２０に第２リンクに設けた第２関節部の凸曲面２８が直接接触するように、第１リンクおよび第２リンクを配置する。第１関節部と第２関節部とで作る関節を挟んで外側で拮抗して牽引するように、リンクに固着した２つの取付アングル３０を用いて２本の空気圧アクチュエータ４２Ａおよび４２Ｂを取り付ける。空気圧アクチュエータ４２Ａおよび４２Ｂに所定の圧力の気体を注入することによって、第１リンクの軸心と第２リンクの軸心とが同一平面内でなす角度（関節角）と、その関節の剛性とを制御する。
【効果】第１関節部と第２関節部との間に動特性を同定しにくい粘弾性体などを介在させないため、関節角の再現性がよく、空気圧アクチュエータの圧力制御だけで、関節角と剛性を調整することができる。したがって、ロボットに容易に組み込める。 （もっと読む）

【課題】電気的なセンサとは異なる構造によってアクチュエータの動作を検出できる動作検出センサを提供する。
【解決手段】変形動作するバルーンアクチュエータ１２に検出用流路２が設けられている。検出用流路２は、動作するバルーンアクチュエータ１２の動作に応じて変形することで、通過させる流体の流路抵抗が変化する。そして、流路抵抗の変化による前記検出用流路２を通る流体の流量の変化を測定手段３が測定する。 （もっと読む）