高圧の流体供給源から低圧の処理ツールへのガスの搬送を制御する弁アセンブリであって、移動して弁座部材に係合可能な弁ポペットと、弁ポペットと弁座部材との間に位置する流体透過性挿入物とを備え、該挿入物は、弁ポペットが閉鎖位置にありそれによって弁アセンブリを通る流体流を阻止する場合、流れている流体に対して露出されず、弁ポペットが開放位置にある場合、流れている全ての流体の移送のための拡散経路を提供する。透過性挿入物は、弁座部材または弁ポペットのいずれかの密閉可能かつ係合可能な面に挿入されることが可能である。
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【課題】 安価に腐食を防止することができる開閉弁を提供すること。
【解決手段】 弁体駆動手段の駆動力によって弁体１８を弁座１５に当接又は離間させ、サージタンク８の非腐食性圧縮流体を断続的に集塵装置１９に供給する開閉弁１１Ａにおいて、通常の耐腐食性を有する材料からなり、一次側ポート１２と連通する開口部２４が弁体１８を中央部に係合されたダイアフラム２５に塞がれて弁室１４を形成し、ダイアフラム２５の対向面に貫通孔２９が弁体１８と同軸上に形成された第１ブロック２１と、耐腐食性の高い材料からなり、二次側ポート１３に連通する弁座１５を端部に設けられ、弁座１５をダイアフラム２５の中央付近に配設するように貫通孔２９に挿入されて第１ブロック２１に連結される第２ブロック２２とによりブロック１６を構成する。 （もっと読む）

本装置によれば、ダイヤフラム３４によって作動させられる弁体３６と、この弁体の移動方向の両側に設けられ、弁体３６によって選択的に開閉される２つの弁座３７・３８と、弁体３６を一方の弁座３７へ向けて付勢する付勢手段とを備え、この付勢手段が、弾性係数の異なる一対のスプリング３９ａ・３９ｂを直列に連結して構成されている。これにより、急減速時におけるアフターバーンや急加速時における排気音の漏れを防止しつつ、その他の運転領域において排気ガス浄化作用を確実に確保することの可能なダイヤフラム式エアバルブおよび内燃機関の２次エア制御装置を提供することを目的とする。
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【課題】弁基部内を流通する排気ガスの外部への漏出を確実に阻止する。
【解決手段】排気ガス再循環バルブは、排気ガスが流通する弁室が形成される弁基部１４と、前記弁基部１４の上部に圧力流体の圧力によって弁体１８を変位させる駆動部１６が配設され、前記弁基部１４と駆動部１６との間にはガスケット８２が設けられている。また、弁基部１４の内部には、弁体１８を軸線方向に沿って変位自在に保持するガイド部材４０が設けられ、カーボン焼結体等の焼結材料から形成されるガイド部材４０のガイド孔４４に臨むように弾性材料からなるシール部材５２が装着されている。そして、シール部材５２の内周面に形成された内側環状部５４及び第１スカート部５６が弁体１８の弁軸部３６に当接すると共に、前記シール部材５２の第２スカート部６２が駆動部１６の下面に当接するように設けられている。 （もっと読む）

本開示は、半導体処理装置においてガス分配に特に有用なスペース節約の一体化流体配送システムに関する。又、本発明は、流体フローチャンネルを含む積層基板に加えて、種々の流体取り扱い及び監視コンポーネントを含むことのできる一体化流体フローネットワークアーキテクチャーにも関する。積層基板は拡散ボンディングされ、種々の流体取り扱い及び監視コンポーネントは、設計及び材料要求に基づいて、基板へ部分的に一体化されてもよいし完全に一体化されてもよい。
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【課題】 半導体製造装置内等への設置、配管及び配線接続が容易であり、流体に腐食性流体を使用しても腐食が生じない流体制御装置を提供する。
【解決手段】超音波を流体中に発信する第一超音波振動子（１２）と、第一超音波振動子（１２）から発信した超音波を受信し、信号を流量計アンプ部（５８）に出力する第二超音波振動子（１３）とを有する流量計センサ部（４）と、操作圧により流体の流量を調節する調節弁（５）とを具備し、少なくとも流量計センサ部（４）と調節弁（５）とを、流体流入口（３）と流体流出口（６）を有する１つのケーシング（２）内に接続して設置する。 （もっと読む）

【課題】調圧バルブの連結ロッドをシートに形成した流通穴に挿通してダイアフラムに連結するレギュレータにおいて、前記シートの連通穴径を小さくしてシール性を高め、かつ、連結ロッドの必要径を確保して連結ロッドの強度を確保する。
【解決手段】背圧室１３と流体を減圧する減圧室９を区画するダイアフラム１１と、該ダイアフラム１１を挟持する背圧側ホルダ１５及び流体側ホルダ１４と、該流体側ホルダ１４に連結ロッド６ｃを介して連結されてダイアフラム１１とともに昇降する調圧バルブ６と、前記連結ロッド６ｃが貫通するとともに調圧バルブ６の弁部６ｂに対向して配置したシート７を有して、調圧バルブ６の昇降によるシート７に対する弁部６ｂの接離により流体を調圧する。前記調圧バルブ６に突設した連結ロッド６ｃの先部に、該連結ロッド６と別体に形成されたストッパ部材２８を一体的に連結する。該ストッパ部材２８を流体側ホルダ１４に連結する。 （もっと読む）

【課題】 水素圧力を調整する調圧弁の内部に水分が進入することに伴う弊害を防止する。
【解決手段】 調圧弁４０は、可撓性のダイヤフラム４１を備えており、このダイヤフラム４１によって内部が背圧室４２と調圧室４３とに区分されている。背圧室４２には、上流側分岐流路３３を介して電磁弁５０により水素が供給され、この水素は、オリフィス８０を介して、下流側水素流路３２に還元される。このような構成によれば、背圧室４２内に空気が取り込まれないため、空気中に含まれる水分による凍結や錆の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

バルブとともに使用するために、ダイアフラム（２０６）とダイアフラム板（２０８）を有する実質的に非多孔質で非鉄製のアクチュエータケーシング（１００）を製造する方法および装置が開示される。アクチュエータケーシングは、それぞれ、第一部分と第二部分の周りに第一フランジ（１０６）と第二フランジ（１０８）を備えた鍛造アルミニウム製の第一部分（１０２）と第二部分（１０４）を有している。各フランジは、少なくとも一つの開口を有している。また、開口を介して第一フランジと第二フランジを連結する少なくとも一つの締結具（１１０）を有している。
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【課題】複雑な配管を要することなく、低コストでガス漏洩を検知し且つ必要なガスも供給することができる圧力調整器を提供する。
【解決手段】下流側の圧力変動に応じてダイヤフラム１０４が変位すると、これに連動して弁棒１１１も変位する。弁棒１１１には、小弁部材１１０及び、スプリング１０７、ガイド部材１３０で構成される連結部材を介して大弁部材１２０が接続されており、下流側の圧力がガス微少漏洩開始と判定される第１圧力より低下したときの弁棒１１１の変位に応じて小流量開閉部１２３、１１０が開放される。一方、下流側の圧力が通常使用開始と判定される第２圧力より低下したときの弁棒１１１の変位に応じて大流量開閉部１０６、１２０が開放される。ガス微少漏洩が発生したときには、このような第１圧力〜第２圧力の範囲に対応する弁棒１１１の変位が継続的に検出されるので、これを利用してガス漏洩の判定が可能になる。 （もっと読む）

【課題】弁体が弁座部に着座した際、流体通路と弁体との間における塗料の液だまり及び液漏れを防止する。
【解決手段】メインボディ１２の内部にパイロットエアによって変位するピストン６２が設けられ、前記ピストン６２に連結されたシャフト６４の端部には樹脂製材料からなる弁体６６が連結されている。そして、メインボディ１２の一端部には、塗料が供給される供給ポート１６を備えるサブボディ１８が連結され、該サブボディ１８に形成される弁座部５２に弁体６６が着座することにより、前記塗料の流体通路３０への流通が遮断される。この弁体６６は、弁座部５２に着座する着座部９８が略球面状に形成されると共に、前記弁座部９８の表面は前記着座部９８に対応して略球面状に窪んで形成されている。 （もっと読む）

レギュレータ弁用の圧力負荷式パイロット弁システムおよび方法が提供されている。このシステムは、流入口側配管を流出側配管へ接続しているレギュレータ弁と、サーボ制御弁組立体と、パイロット弁組立体とを備えている。供給配管が、サーボ制御弁組立体に接続されており、パイロット負荷圧力配管が、サーボ制御弁組立体をパイロット弁組立体へ接続している。排出配管によりサーボ制御弁組立体を流出側配管へ接続することにより、過剰なパイロット圧力を大気中へ開放する際に伴う排気、汚染などが回避されている。 （もっと読む）

【要訳】
本明細書に記載のゴム組成物が、優れた圧縮率、低温可撓性、耐炭化水素性、耐摩耗性及び機械的強度を維持しながら、対向するフランジの間で圧縮された、例えばボルトで固定された位置を維持するスプリングバイアスアクチュエーターダイヤフラム材料として優れた寿命を有することが見出された。前記組成物は、共重合体ゴム成分、共重合体ゴム用可塑剤、共重合体ゴム用加硫化剤、シリカ充填剤：及びカップリング剤、例えばシリカ充填剤を共重合体ゴムに結合することができるシランカップリング剤を含む。種々の範囲は、本明細書では、特定の値に関する“約”又は“おおよそ”から及び／又は別の特定の値に関する“約”又は“おおよそ”までのように表し得る。このような範囲が表される場合には、別の実施形態は、一方の特定の値から及び／又は他方の特定の値までを含む。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】 コンテナ（１２）内の流体の圧力を制御する多段比例バルブ（１０）が、排出開口（２４）を有する流体流出通路（２２）と、取り入れ開口（４６）を有するアクチュエート可能な流体流入通路（３８）と、前記排出開口（２４）を選択的に閉じるためのアクチュエート可能な排出カバー（３０）と、を具える。流体流出通路（２２）と、アクチュエート可能な流体流入通路（３８）と、アクチュエート可能な排出カバー（３０）は相互連結されており、第１のあらかじめ決められたスレッシュホールドに届く始動力に応じて、前記バルブ（１０）が前記排出カバー（３０）を変位させて、コンテナ（１２）内の流体を前記流体流出通路（２２）を通って排出するように構成されている。第２のあらかじめ決められたスレッシュホールドに届く始動力に応じて、前記バルブ（１０）が前記流体流入通路（３８）を変位させて、加圧流体を前記コンテナ（１２）内を通って、そこへ流す。 （もっと読む）

流体制御バルブ用のヨーク部材が提供される。ヨーク部材は、アクチュエータに関連した制御機器からの空気供給ラインを該アクチュエータに接続する複数の通路と、ヨーク部材に制御機器を直接取り付けるための複数の孔とを備えている。ヨーク部材は、機器がヨーク部材の一側に取り付けられるように、対称的に配置された通路を備えることが可能である。アダプタ・ブロックは、新NAMUR標準の取付パッドにヨーク部材を接続するために使用されることが可能である。 （もっと読む）