【課題】ダイヤフラム近傍に静電気が蓄積してこの静電気による火花放電によって当該ダイヤフラムに絶縁破壊が生じることを抑止することができるダイヤフラム弁およびこのダイヤフラム弁を備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】ダイヤフラム弁３０は、バルブ本体３０ａの弁室３６内に設けられたダイヤフラム４０を有している。このダイヤフラム弁３０には、一端が弁室３６内に位置するとともに他端がバルブ本体３０ａの外部まで延びるよう当該バルブ本体３０ａを貫通して導電性部材５０が設置されている。導電性部材５０には当該導電性部材５０に発生する静電気を取り除くためのアース線５１が接続されている。 （もっと読む）

弁アクチュエータ（２００）は、ハウジング（２０２）と、レバー（２１４）と、コレット（２５６）と、付勢デバイス（２１５）とを備えている。レバーは、ハウジング内に配設されており、弁シャフト（２１９）を回転させるよう作動可能に結合するように構成されている。コレットは、レバーにより支持され、このレバーを弁シャフトに結合するように構成されている。付勢デバイスは、コレットに作動可能に結合してレバーを任意の位置に付勢により位置づけするバネ（２１６）を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 湿式予作動式スプリンクラー設備においてスプリンクラーヘッドの誤作動時に、二次側配管内の水を排出する排水手段の起動に電気的手段を用いないで起動可能な排水手段を備えた予作動式スプリンクラー設備の排水装置を提供する。
【解決手段】 常時は弁体背面の制御室内の流体圧力により閉弁状態を維持しており、火災感知器の信号や二次側減圧信号によって火災と判断された場合に制御室内の流体を排出して開弁可能な予作動式流水検知装置３の二次側に設置され、排水装置５の弁体４４には弾発体４８により開放方向の力が付勢されており、常時において弁体４４は二次側配管７内の流体圧力により閉止されており、弁体４４の開閉軸上に空間４５が設けられ弁体４４に固定された弁棒４６が空間４５を貫き設置され、空間４５には弁体４４を弁座に着座可能な閉弁手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】パイロット式バルブの主弁を備えた弁箱にフランジを形成せず、弁箱を管フランジに挟み込んで配管する。
【解決手段】主弁２の作動に必要な動力をパイロット弁によって制御して主弁２を開閉するパイロット式バルブにおいて、主弁２を備えた弁箱６は、ボルトＢ、B1…及びナットＮ、N1…で締結される管フランジＦ、F1の間に挟持され、且つ、圧力流体の出入口７、８を夫々に有する管フランジＦ、F1との接続端部11、12をフランジレスとし、弁箱６から上方へ延設したカバーフランジネック18を、管フランジＦ、F1間に架設されると共に管フランジＦ、F1の円周上で隣接するボルトＢ、B1間に挿通可能と成す様に、該隣接するボルトＢ、B1の夫々に対応するカバーフランジネック18の側壁のみを括れる様に形成する。 （もっと読む）

【課題】冷凍サイクルの高温環境下における放熱器出口側の圧力の過度の上昇を防止する圧力制御弁を提供する。
【解決手段】圧力制御弁が、第１のダイアフラム１５と、第１のダイアフラム１５によって閉じられ、所定の密度の封入流体が充填され、放熱器２出口側の冷媒温度に応じて内圧が変化する密閉空間１６と、弁口１３を開閉する弁体２２と、冷媒からの圧力を受ける一方の面が弁体２２に連結され他方の面が第１のダイアフラム１５に接続された第２のダイアフラムとを具備し、封入流体から第１のダイアフラム１５が受ける圧力が弁口１３を閉じる方向の力として第２のダイアフラム１７を介して弁体２２に作用し、冷媒から第２のダイアフラム１７が受ける圧力が弁口１３を開放する方向の力として弁体２２に作用し、封入流体が、二酸化炭素と、二酸化炭素よりも臨界圧力が低く且つ臨界温度が高い物質とを主成分とする混合物である。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラムに過大な負荷を加えて破損させることなく耐久性を向上させて長寿命化を図る。
【解決手段】背圧弁制御装置１は、一次側の被制御ガスを所定圧力に制御するダイアフラム式背圧弁２を用いたもので、設定器３、加算器５、セレクタ６、電空変換器８を具備する。設定器３は、ユーザの入力操作により圧力を設定する。加算器５は、一次側のプロセス制御圧力と予め指定された固定圧力とを加算する。セレクタ６は、設定器３で設定された設定圧力と、加算器５で加算された加算圧力とを比較し、圧力の低い方を選択圧力とする。電空変換器８は、セレクタ６は、選択圧力に応じた空気圧をダイアフラム式背圧弁２のダイアフラムに印加する。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムの膜厚が薄くても受圧部材として必要な耐圧を得ることができる大気開放弁を提供する。
【解決手段】スプリング１５によってダイヤフラム１０と当接状態にされているピストン６にコルゲート部１３を受け止めるダイヤフラム受け部１４を設けた。これにより、給水管からの元圧（一次圧Ｐ１）を受けてピストン６の側に膨出しているコルゲート部１３が高圧によって伸びたとしても、ダイヤフラム受け部１４がコルゲート部１３を受け止めることで破裂が避けられ、ダイヤフラム１０の耐圧を向上させることができる。 （もっと読む）

弁アクチュエータ（２００）が、ハウジング（２０２）と、レバー（２１４）と、位置決めデバイス（２１６、２１８）とを備えている。 レバーは、ハウジング内に配設されており、弁シャフト（２１９）を回転させるため作用可能に結合するように構成されている。位置決めデバイスは、レバーを付勢することによってこのレバーを前もって決められた位置に移動させるべく、このレバーに作用可能に結合されている。 （もっと読む）

【課題】ループ式のヒートパイプを利用するものにおいて、過剰な熱量を回収しないための制御をより簡便な構成によって実現可能とする排熱回収装置を提供する。
【解決手段】内燃機関１０の排気の熱によって内部に封入された作動媒体を蒸発させる蒸発部１１０と、蒸発部１１０で蒸発した作動流体を、内燃機関１０の冷却水によって冷却する凝縮部１３０と、蒸発部１１０と凝縮部１３０とを連通させる連通部１６１とを備えるループ式のヒートパイプ１０１を有する排熱回収装置において、作動媒体の圧力、作動媒体の温度、または冷却水の温度のうち少なくとも一つに応じて作動する作動動力源１５３と、作動動力源１５３と一体的に形成され、作動動力源１５３に連動して連通部１６１を開閉する弁体１５５とを備える弁機構１５０を設け、弁機構１５０を凝縮部１３０の下流側、もしくは蒸発部１１０の上流側に配設する。 （もっと読む）

【課題】止水間際や給水開始時の小流量域における主弁の傾きによって、急激な流量変化が生ずる問題を解決することのできるダイヤフラム式流量調節弁を提供する。
【解決手段】ダイヤフラム弁から成る主弁２６と、環状の主弁座２４と、円筒部２２の内部に嵌入して主弁２６の移動時の案内をなす主弁ガイド７４とを備えたダイヤフラム式流量調節弁において、主弁ガイド７４の外周面に弾性Ｃリング８０を装着して、これを円筒部２２の内周面に弾性接触させ、環状隙間にて形成される流路を軸心方向に遮断する。 （もっと読む）

制御部材１１４との間にシールを形成すべく接合し制御デバイスの流路１０８を流れる流体の流れを制御するように構成された弁座１０４であって、この弁座１０４は、前記制御部材１１４との間にシールを形成すべく接合するように構成された着座面１７２と、前記流路内に配置され、該流路１０８を流れる流体のうちの少なくとも一部が前記制御部材１１４のうちの少なくとも一部に直接衝突することを防ぐような輪郭を有した少なくとも一つのオリフィス１７０とを備えてなる。 （もっと読む）

【課題】気体の流量、圧力等を調節するための気体駆動式自動調節弁において、流量、圧力等を調節されるべき気体の供給が正常に行われている限り連続制御が可能であり、かつ、メンテナンス面、コスト面でも優れた気体駆動式自動調節弁の駆動方法を提供する。
【解決手段】（１）気体の流量、圧力等を調節するための気体駆動式自動調節弁において、調節される気体自身を弁駆動用気体として用いることを特徴とする気体駆動式自動調節弁の駆動方法、
（２）前記弁駆動用気体を気体駆動式自動調節弁の上流配管から分岐して駆動装置に導くことを特徴とする（１）の気体駆動式自動調節弁の駆動方法、
（３）前記弁駆動用気体が不燃性であって、かつ毒劇性を有しない物質であり、実質的に乾燥、ダスト除去が行われた気体であることを特徴とする（１）、（２）の気体駆動式自動調節弁の駆動方法 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムを効率良く温度調節することができる調圧弁を提供する。
【解決手段】一次側流路１０１と二次側流路１０２とこれら流路１０１，１０２を隔て且つ開口部８４が形成された弁座８３とを有する弁ケース８０と、弁座８３に離着座することで開口部８４を開閉する弁体９４と、二次側流路１０２に面して配置され弁体９４を弁座８３に離着座させる第１のダイヤフラム９１と、第１のダイヤフラム９１の二次側流路１０２とは反対側に配置される第２のダイヤフラム９２とを有し、これらダイヤフラム９１，９２の間に温度調節用の液体Ｌを流通させる液体流路１０４を備える。 （もっと読む）

【課題】非稼動状態において塗料を循環させることができ、しかもエネルギーロスを少なくする省エネルギー化による高性能化を確実に図ることのできる液圧レギュレータおよび塗装装置を提供する。
【解決手段】塗装装置１は、塗料を循環させるための液体供給路２および液体戻し路３と、液体供給路２に接続され圧縮空気により操作される複数の液圧レギュレータ４と、液圧レギュレータ４に接続されるとともに液体戻し路３に接続された塗装ガン５と、液圧レギュレータ４に圧縮空気を供給するための空気供給路１１とを設ける。液圧レギュレータ４は、シリンダ室６１に圧縮空気が供給されていない待機状態においては、弁棒２８がピストン用付勢ばね７４の付勢力によってダイアフラム２３とは独立して移動して弁を４９を開状態に保持するように形成する。 （もっと読む）

バルブ連結管アセンブリは連結管胴部を有し、前記連結管胴部は第１の流路と、第１の流路の壁にある穴を通ってそれに流通するよう連結されている第２の流路とを形成する。頭部と頭部から延びるステムとを有するバルブが穴を通って配置されている。頭部は、ステムに隣接し且つステムの周りに延びるバルブシール面を有し、第１の流路に向いたシートシール面を有するバルブシートが穴の周りに延びている。バルブは閉塞位置と開放位置との間で選択的にシフト可能であり、閉塞位置においてはバルブシール面がシートシール面にシール係合することによって第２の流路と第１の流路との間の流体の流れを妨げ、開放位置においてはバルブシール面がシートシール面から離間することによって第２の流路と第１の流路との間に流体が流れるようにする。
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弁の開弁位置または閉弁位置の近位において大きなトルクを加えるための方法およびそのためのロータリ弁用のアクチュエータが開示されている。実施例に係るロータリ弁アクチュエータは、細長いアクチュエータ部材（１２２）と、弁に接続されるシャフト（１３７）を受け入れるように構成されたレバー（１３１）とを備えている。このレバーがアクチュエータ部材の一方の端部に回転可能に結合されているレバーアームを有しているため、レバーが弁のシャフトに結合されている場合、細長いアクチュエータ部材は、弁が完全な開弁位置または完全な閉弁位置に近づいたとき、シャフトに対して最大のトルクを加えることになる。 （もっと読む）

【課題】二個の整圧器を用いて下流側の異常昇圧を防止することができ、ガスの供給のための復帰が自動化できると共に、設置スペースと設備コストの低減が図れる整圧装置を提供する。
【解決手段】一本の管路ボディ５１に、下流側の圧力変動で開閉動作して下流側の圧力を所定範囲に保つ主整圧器５２と、下流側の圧力が設定圧力よりも上昇すると上流側と下流側の連通を遮断し、下流側圧力の低下に伴い流体の下流側への供給を再開する副整圧器５３の二台の整圧器を搭載し、前記両整圧器５２、５３を個々に独立して圧力設定できるようにする。 （もっと読む）

【課題】 部品点数の増加、構成の複雑化を招くことなく、閉位置付近においても開度の調整が可能な弁装置および整圧器を提供する。
【解決手段】 シリンダ２６が、軸線方向の端面３８を弁座体２５の弁座３２に当接させて設けられる。シリンダ２６には、弁座３２に当接される端面３８で開放する透孔３７が形成される。弁座体２５は、弁座３２を形成する環状の弁座片３１を有し、弁座片３１は、弾性材料から成る環状の弁座片本体５５に、剛性の芯材５６が、内部に全周にわたって挿通して構成される。 （もっと読む）

【課題】従来より低コスト化が可能な双方向定圧膨張弁を提供する。
【解決手段】本発明の双方向定圧膨張弁１０によれば、下流側の冷媒圧力を一定にすることができる。そして、従来の双方向定圧膨張弁で感圧部材として用いられていたベローズ４に代えてダイヤフラム３４を用いたので、従来より低コスト化が可能になる。また、各弁口１６Ａ，１６Ｂの弁開度を変更するためのダイヤフラム３４を各弁口１６Ａ，１６Ｂ毎に別々に備えたので、室内熱交換器９２Ａ側の弁口１６Ｂの冷媒圧力に対する弁開度の特性と、室外熱交換器９１Ａ側の弁口１６Ａの冷媒圧力に対する弁開度の特性とを、それぞれ別々に適した特性に設定することができる。 （もっと読む）

【課題】装置を特に大型化することなくダイヤフラム弁の傾きを良好に防止し得てダイヤフラム弁による吐止水の動作或いは流量調節動作を円滑に行わせることのできるダイヤフラムバルブを提供する。
【解決手段】弁座２４と、ダイヤフラム弁２６と、弁座２４の外周側に形成された、ダイヤフラム弁２６の１次側の流入室５０と、弁座２４の内周側に形成された、ダイヤフラム弁２６の２次側の流出路５２と、を備えて成るダイヤフラムバルブにおいて、ダイヤフラム弁２６の軸心方向に延びる複数の案内板６６，６８と、それら案内板６６，６８の間に形成された複数の整流路７０Ａ，７０Ｂとを有する整流部６４を流入室５０に設けておく。 （もっと読む）