【課題】漏水の問題を解決し得てしかも操作軸を駆動する駆動部として力の弱い小型のモータ等を使用することが可能な給水制御バルブを提供する。
【解決手段】給水制御バルブ２４において、操作軸５６をバルブボデー３０から２次側の流出水路３４を通って主弁３６側に延出させて、流出水路３４の側で主弁３６を操作軸５６によりパイロット弁４５を介し操作するようにする。操作軸５６とバルブボデー３０との間はＯリング８６にてシールし、そしてＯリング８６を通過して漏れた漏水を導水路にて導き、漏水センサにて漏水検知し、主弁３６を自動閉弁させるようにする。 （もっと読む）

【課題】長期にわたって優れたシール性能を発揮することができるダイヤフラムバルブを提供する。ダイヤフラムバルブの閉状態において、処理流体配管を確実に閉塞することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】フッ素樹脂（ＰＴＦＥまたはＰＦＡ）製の弁座３０の先端部（ダイヤフラム２５に対向する端部）には環状のシール部材２０が配置されている。弁座３０の上面には、弁座３０の内面に連続する環状の段部４５が形成されており、その段部４５にシール部材２０が収容されている。シール部材２０は、フッ化ビニリデン系樹脂（ＦＫＭ）によって形成されており、比較的高い弾性および耐薬性を有している。流路の閉鎖状態で、ダイヤフラム２５と弁座３０との間にシール部材２０が密着状態で介装される。 （もっと読む）

【課題】流路へ流体を流入させる流入通路は流路の側面に開口しており、流入通路から流路内に流入した流体は流出口を迂回して左右２方向に分流し、流入通路の開口に対して流出口を挟んで反対の位置で両方の流れが衝突し、ダイヤフラムを他の位置より強く押し上げる。そのため、ダイヤフラムは傾いて開弁する。
【解決手段】流入通路から流路内に流入し流出口を迂回して左右方向に分流する流体の流れ方向に沿って、流入通路の開口位置から左回りの迂回距離と右回りの迂回距離とが相違する位置に、流路の底面から隆起した隆起部を設けるとともに、隆起部の側面であって、迂回距離の長い方から流れてくる流体が衝突する面の傾斜角度を、迂回距離の短い方から流れてくる流体が衝突する面の傾斜角度より緩やかにした。 （もっと読む）

流体注入口（４）と、流体排出口（５）と、流体が前記注入口（４）から前記排出口（５）へ選択的に流通できる開口を形成する主バルブシート（３２）と、流体が前記注入口（４）から前記排出口（５）へ流れることができる前記バルブの開位置と流体流れが妨げられる前記バルブの閉位置との間で前記主バルブシート（３２）に対して移動できるバルブアセンブリ（３１）と、その壁の少なくとも一部が前記バルブアセンブリ（３１）によって形成され、それにより、前記バルブアセンブリ（３１）の位置に応じて容積を変えることができる制御チャンバ（１２）と、前記流体注入口（４）と前記制御チャンバ（１２）との間を流体的に連通させる流体通路（７）とを含むバルブ装置（１）。 （もっと読む）

【課題】先端部にパイロット弁が構成された駆動軸の軸部が傾動することで、シールへの悪影響が及ぶ問題を解決することのできるパイロット式の弁装置を提供する。
【解決手段】主弁２０と、背圧室２６と、導入小孔２８と、パイロット水路３０と、パイロット弁３４と、を備え、パイロット弁３４の進退移動により主弁２０を同方向に追従して進退移動させるパイロット式の弁装置において、駆動軸６０の、先端部にパイロット弁３４が構成された下部の軸部６２-１と、雄ねじ７０の形成された上部の突出部６２-２とを別体に構成する。そしてそれら下部の軸部６２-１と上部の突出部６２-２とをボールジョイント１９８にて相対回転可能に結合しておく。 （もっと読む）

【課題】給湯システムに適用した場合に、浴槽への注湯時に十分に温められた湯を供給できる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流量制御装置では、パイロット弁３４の開閉駆動により主弁３２を開閉させる。その主弁３２が開閉する際には、絞り弁３６がオリフィスを形成して背圧室９４へ給排する湯量の変化を緩やかにする。また、主弁３２の弁部を構成するスリット８９の形状が開弁するにつれて大きくなるように構成されているため、主弁３２の開閉時にはその開度が徐々に変化する。 （もっと読む）

【課題】弁装置において、流量調節ハンドルとパイロット弁との間に位置する各種部品にばらつきがあったり、それらの組付けのばらつきがあったりすることで開弁初期の流量が大きく左右されてしまう問題を解決する。
【解決手段】弁装置を、主弁２０と、背圧室２６と、導入小孔２８と、パイロット水路３０と、流調機構及びパイロット弁３４を止水位置と吐水位置との間で進退移動させて吐止水の切換えを行う吐止水切換機構を備えて構成する。また主弁２０の主弁本体２２には円板状の主弁ガイド１７２を形成し、そして流量調節ハンドルを最小流量位置に操作した状態で、その主弁ガイド１７２を、上端部に主弁座２５を有する円筒部１７１に嵌入状態として主弁ガイド１７２と円筒部１７１との間に環状隙間を形成するようになす。 （もっと読む）

【課題】弁装置におけるスラストロック機構の回転子を小さな摺動抵抗で円滑に回転運動できるようにすることを目的とする。
【解決手段】弁装置における吐止水切換機構を、吐止水操作部が押込操作されるごとに進退移動して主弁を開閉駆動するための駆動軸と、係合歯を備えた回転子１７０を駆動軸のフランジ部の上面を回転摺動させ、吐止水操作部が押込操作されるごとに吐止水操作部を下降位置と上昇位置とに保持するスラストロック機構とを備えて構成する。その回転子１７０の下面には周方向に沿って横断面形状が下向きの凸曲面をなすリブ１９６を設けておき、リブ１９６を駆動軸のフランジ部の上面に接触させるようにする。 （もっと読む）

【課題】上昇位置にある吐止水操作部を下向きに押し込んだとき、また下降位置にある吐止水操作部に押込力を加えてこれを上昇させたときに、不快な音が発生するのを抑制することのできる弁装置を提供する。
【解決手段】スラストロック機構により上昇位置と下降位置とに位置保持される吐止水操作部２２８、及び吐止水切換えを行う吐止水切換機構を備えた弁装置における吐止水操作部２２８に外向きのフランジ部を設ける。そのフランジ部には周方向に弾性片２８８を備えておき、その弾性片２８８の先端部に下向きの突起２９０と上向きの突起２９０とを設ける。そして吐止水操作部２２８を下向きに押し込んだときにその押込端を規定する外リング部材２３４に対して下向きの突起２９０を当て、また吐止水操作部２２８に押込力を加えてこれを上昇させたときに、上向きの突起２９０を、その上昇端を規定する部材としての流量調節ハンドル２２４に当てるようにする。 （もっと読む）

【課題】流調機構と吐止水切換機構及び回転操作にて流量調節を行い、押込操作にて吐止水切換えを行う操作部を備えた弁装置において、非意図的な外力によって操作部が押込操作されてしまって、意図せず吐水が行われてしまうといった不具合の発生を防止する。
【解決手段】弁装置における操作部を、吐止水操作部２２８が上昇位置にあって吐水状態の下では、流量調節ハンドル２２４が最大流量位置から最小流量位置に到った後において、更に最小流量位置を越えてロック位置までの回転操作が阻止されるようになす一方、吐止水操作部２２８が押込位置にある状態では、流量調節ハンドル２２４が最小流量位置を越えてロック位置まで回転可能で、流量調節ハンドル２２４のロック位置への回転により、吐止水操作部２２８がロック状態となるようになしてある。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、しかも減圧特性が良好でヒステリシスを有効に抑制でき、且つ構造も簡単な減圧弁装置を提供する。
【解決手段】減圧弁装置１０において、減圧弁体２０の背後の背圧室２８と、導入小孔３０と、パイロット通路３２と、パイロット弁座３４に向けて進退移動可能なパイロット弁体３６とを設ける。そしてパイロット弁体３６をダイヤフラム４４に一体移動状態に連結し、２次液圧力Ｐ_２の増大減少変化に伴うダイヤフラム４４の感圧動作によりパイロット弁体３６を進退移動させることで、減圧弁体２０を追従して進退移動させ、減圧弁体２０の開度調節を行って減圧動作を行わせる。 （もっと読む）

【課題】主弁４４とパイロット弁４９とで構成される湯沸器用の止水弁４を電動モータ７により開閉するようにした電動式止水弁装置であって、電動モータにより回転されるカム８２とカムに連動するレバー８３とを備え、レバーの一端のカムフォロア８３２がカムの大リフト部８２２の外周面に当接するようにカムを回転させることでパイロット弁が開弁され、カムフォロアがカムの小リフト部８２１の外周面に当接するようにカムを回転させることでパイロット弁が閉弁されるようにしたものにおいて、パイロット弁をその弁棒のこじりを生じても確実に閉弁できるようにする。
【解決手段】カム８２と一体に回転する押圧カム部８２３が設けられる。カム８２を開弁回転位置から閉弁回転位置に回転させる際に、押圧カム部８２３によりカムフォロア８３２をカム８２の外周面に当接する方向に押圧する。 （もっと読む）

【課題】圧力損失が少なく、給水圧の低い低圧地域においても支障無く使用することのできる定流量弁装置を提供する。
【解決手段】主弁２４を有する電磁弁２２と、一方の面が主弁２４に対する１次側流路３２の１次側圧力を受ける１次側受圧面８０とされ、反対側の他方の面が主弁２４に対する２次側流路３４の２次側圧力を受ける２次側受圧面８２とされた弁体６８及び弁体６８の２次側受圧面８２に対して、２次側圧力の作用方向に付勢力を作用させるコイルばね８４を有し、弁体６８の移動により流路に対する絞りを変えることで１次側圧力Ｐ_１と２次側圧力Ｐ_２との差圧ΔＰを一定に保ち、主弁２４を通過する水の流量を主弁２４の開度に応じて定流量化する定差圧弁６６とを備えて定流量弁装置１６を構成する。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化に対しても歪みが生じる虞がなく、したがって、圧力−流量特性等の諸特性が変化する虞のないノーマリクローズド型のマイクロバルブを実現することができるマイクロバルブ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロバルブは、ＳＯＩ基板１１のダイアフラム１２の下面側に弁１３及び固定部１４が設けられ上面側かつ弁１３に相対する位置に絶縁膜１５が設けられた第１の基板１と、ガラス基板２１に溝部２２及び開孔部２３が形成された第２の基板２と、ガラス基板３１に流体の流入口及び流出口３２が形成された第３の基板３とを重ね合わせて接合一体化した構成である。 （もっと読む）

【課題】高温流体制御時でも安定したシールを行う流体制御弁を提供すること。
【解決手段】入力ポート１１と出力ポート１２とに連通する開口部１４を備える樹脂製弁本体２と、前記開口部１４の内壁に設けられた弁座１５と、前記樹脂製弁本体２の上面に連結される樹脂製弁上体３と、前記樹脂製弁本体２と前記樹脂製弁上体３との間に狭持される樹脂製のダイアフラム弁体４とを備える流体制御弁１において、前記樹脂製弁本体２は、前記開口部１４の外側に環状溝１６が形成されており、前記ダイアフラム弁体４は、外縁に沿って肉厚に設けられた周縁部４ｃを含み、前記ダイアフラム弁体４より硬い材料を環状に形成したリング体３５が、前記周縁部４ｃに装着されている。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤフラムを用いた弁体の耐久性を良好に維持して逆流防止機能と装置全体の耐久性とを良好に維持し得る逆流防止装置を提供する。
【解決手段】 ダイヤフラム９１の弁部９１３の内周側下面からリップ部９１４を突出させ、開口端面である弁座７６の内周側部位７６ａに密着させて閉弁させる。この際、バネ受け部材１１のドーナッツ円環部１１１が弁部９１３と、弁座７６の外周側部位である当止部７６ｂに挟み付けられ、スペーサとしての役割を果たすようにすることにより、ダイヤフラム９１のそれ以上の下降を阻止し、リップ部９１４のそれ以上の圧縮変形を防止する。 （もっと読む）

【課題】 排水口を通しての排水機能及び吸気機能を確実に発揮し得るようにして、逆流防止機能を確実に発揮し得る逆流防止装置を提供する。
【解決手段】 ダイヤフラム９１の弁部９１３の上側にダイヤフラムプレート９２の底壁９２１を重ねる。底壁９２１の周囲に周壁９２２を、周壁の上面に環状の補強リブ９２５と放射状の補強リブ９２６，９２６，…を一体に形成し、ダイヤフラムプレートの曲げ剛性を増強させる。弁体９が弁座７６に押し付けられても、ダイヤフラムプレート９２が弁部９１３を平坦な状態に維持し、弁部９１３に対する弁座７６の食い込み量を一定量に制限することができる。 （もっと読む）

【課題】金属ダイアフラムのリフト量のバラツキを減少させた流体制御弁の提供。
【解決手段】円形金属薄板を複数枚重ね、円形金属薄板を、弁座部１５と当接離間させて弁の開閉を行う金属ダイアフラム１８として用いる流体制御弁１０において、円形金属薄板である第１金属薄板１８ａと第２金属薄板１８ｂとが反りＷを揃えて重ねられ、金属ダイアフラム１８として用いることで、円形金属板の有する圧延異方性による反りＷの影響による金属ダイアフラム１８のリフト量のバラツキを減少させる。 （もっと読む）

【課題】圧力調整器のダイヤフラム等の振動を抑制して異音の発生を抑え、かつ耐久性を向上させる。
【解決手段】減圧弁５ａ、５ｂを開閉駆動するダイヤフラム１３に連結された切替軸を軸方向に摺動自在に支持する支持部材２０の筒孔内面に対向する切替軸の外周にリングパッキン２５を装着して、リングパッキン２５と支持部材２０の筒孔との摺動抵抗によりダイヤフラム１３の振動を抑制して、異音の発生を抑えるにあたり、リングパッキンの断面を長円形に形成し、支持部材２０の筒孔の内面に対向する面に周方向に沿って凹溝２５ａを形成し、グリースを塗布して摺動抵抗を管理する。 （もっと読む）

【課題】瞬間的に止水・吐水を切り替えることができ、比較的簡単な構成で吐水流量を調節することができる水栓装置を提供することを目的とする。
【解決手段】押ボタン２２を押圧操作するたびに押ボタン２２が前進位置で停止するのと後退位置で停止するのを繰り返す弁操作部２１と、押ボタン２２が前進位置または後退位置の何れか一方で停止したときに弁閉の止水状態となるとともに何れか他方で停止したときに弁開の吐水状態となる弁作動部４１とが筐体２に組み付けられており、更に弁開の吐水状態における流量調節機構６１が設けられている。流量調節機構６１は、押ボタン２２の周りに回転自在に設けられた外蓋４と、外蓋４の回転に従動回転する内筒６２と、筐体２に設けた出力ポート４４と重なり合うよう内筒６２に設けられた連通孔６４とを有し、外蓋４の回転操作に伴う連通孔６４および出力ポート４４の重なり度合いに応じて流量を調節する。 （もっと読む）