【課題】水道圧を利用して空気を圧縮できる空気圧縮機を提供する。
【解決手段】第１及び第２流体室（C1,C2）が区画されたシリンダ部材（11）と、各流体室（C1,C2）を水道水が流入する受水室（W1,W2）と空気が流入する空気室（A1,A2）とに区画し、水道水の圧力を受けて変位して空気室（A1,A2）を縮小させるピストン部材（13）と、水道水が流入する水流入路（21）及び水道水が流出する水流出路（22）と、ピストン部材（13）の変位により縮小した空気室（A1,A2）の圧力が作用することによって、水流入路（21）を縮小した受水室（W1,W2）と連通させ且つ水流出路（22）を拡大した受水室（W1,W2）と連通させるように変位する弁体（26）を有する流路切換部（20）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】液圧回転機として少なくとも２つ以上の油圧ポンプ又は油圧モータを用いる場合における液圧回転機の故障あるいは摩耗を少ない部品点数で確実に検出することができる液圧回転機の摩耗検出装置を提供する。
【解決手段】作動油を昇圧させる少なくとも２つ以上の液圧回転機を有する液圧回転機の摩耗検出装置であって、前記複数の液圧回転機の各流出ポートからの昇圧された作動油を合流する合流回路と、前記複数の液圧回転機の各流入ポートに前記作動油をそれぞれ分流供給する分流回路と、前記複数の液圧回転機の同等箇所に設けたそれぞれの温度検出部と、前記各温度検出部の温度をそれぞれ測定する温度計測手段と、前記各温度計測手段が測定した前記各温度検出部からの温度信号を取込み、比較演算して、前記複数の液圧回転機の摩耗を検出する演算手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】製造コストの低廉化と低騒音とを実現できる変速機付き圧縮機を提供する。
【解決手段】クラッチ６０は、リングローラ３３の固定方向への移動によりリングローラ３３を固定する摩擦層３５と、ハウジング１０に形成された第１制御室１３６と、第１制御室１３６内に収納されて固定方向に進出可能とされた第１制御ピストン１３７と、第１制御ピストン１３７とリングローラ３３との間に設けられた第１スラストベアリング１３９と、第１制御室１３６と対向しつつハウジング１０に形成された第２制御室２３６と、第２制御室２３６内に収納されて解除方向に進出可能とされた第２制御ピストン２３７と、第２制御ピストン２３７とリングローラ３３との間に設けられた第２スラストベアリング２３９と、第１制御室１３６内に供給される第１制御圧力と第２制御室２３６内に供給される第２制御圧力とを制御する圧力制御手段６１〜６３とを有する。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプシステムの複数の圧縮機間でより均等に負荷を分担する。
【解決手段】クライオポンプシステム１０００は、複数のクライオポンプ１０と、複数のクライオポンプ１０に作動気体を供給するために、各々が制御出力に従って並列に運転される複数の圧縮機ユニット１０２、１０４と、複数の圧縮機ユニット１０２、１０４の各々に対する制御出力を決定するクライオポンプコントローラ１００と、を備え、クライオポンプコントローラ１００は、少なくとも１つの圧縮機ユニット１０２、１０４について制御出力を決定するために使用される設定値を、各圧縮機ユニット１０２、１０４の運転状態を平準化するよう調整する。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプのメンテナンス時期と、真空ポンプまたは真空経路の異常との両方を検出してユーザに認識させることが可能な電子部品移載装置の真空異常判定方法を提供する。
【解決手段】この部品実装装置１００（電子部品移載装置）の真空異常判定方法は、真空ポンプ６３により真空圧を発生させるステップと、真空圧センサ６５により、真空ポンプ６３と吸着ノズル６ａとの間の真空経路６４内の真空圧を検知するステップと、真空圧センサ６５により検知された真空圧がメンテナンス閾値以下の場合に、真空ポンプ６３のメンテナンス時期であると判断するとともに、真空圧センサ６５により検知された真空圧が真空異常閾値以下の場合に、真空ポンプ６３または真空経路６４に異常があると判断するステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】 クランク室６の圧力を制御することにより、ピストンのストロークを変化させる斜板式の可変容量圧縮機において、冷媒ガスに含まれる潤滑オイルが圧縮機外へ循環するのを極力回避する。
【解決手段】 吐出室２２内の吐出冷媒ガスの一部を連通路２５（２５ａ、２５ｂ）及び制御弁２７を介してクランク室６に導入する一方、クランク室６から第２連通路２６及びオリフィス２８を介して吸入室２１へ導出し、導入量と導出量とのバランスで、クランク室６の圧力を制御する。ここにおいて、第１連通路２５における制御弁２７の下流に拡張形成されて、オイルを分離すると共に分離されたオイルを貯留する貯油室３０を設ける。また、貯油室３０からクランク室６へ第１連通路２５ｂとは別に形成されて、貯油室に貯留されたオイルをクランク室６へ戻すオイル戻し通路３１を設ける。 （もっと読む）

【課題】真空シリンダピストンとピストンの駆動装置との連結構造の簡素化による真空シリンダの省スペース化である。
【解決手段】空力で可動し上端に面壁を備える中空円筒体７の下端に真空シリンダ１のピストン４を接合し、中空円筒体の中にロッド５で固定した円板６を設置して２つの空気室を形成し、中空円筒体上端の面壁とロッドの長手方向に空気通路５ａ，５ｂを備えて２つの空気室にそれぞれ導通し外部設置の空力源と連通させ、前記円板が仕切る円板の上面側と下面側の空気室に圧力空気の供給を交互に行えば、他方の空気室は排気をして中空円筒体と真空シリンダのピストンは往復動し真空シリンダ内に真空室４ａを形成する。かくして、該真空シリンダピストンの駆動装置を真空シリンダ外部に構成設置することなく、省スペースが可能になる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、気体の純度の低下や湿度の上昇を防止しつつ起動負荷を軽減させた圧縮機を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明における圧縮機は、一次圧縮がなされた圧縮流体を圧縮機本体に供給し昇圧する圧縮機において、前記圧縮機本体の起動時に前記一次圧縮がなされた圧縮流体を減圧して前記圧縮機本体に供給することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】被検出面に形状の自由度が高く、加工精度も必要としないピストンを用いることができ、かつ、外乱に強い容量推定を行うことができる可変容量型圧縮機の容量検出装置、およびそれを備えた可変容量型圧縮機を提供する。
【解決手段】ピストンの側方に配置され、ピストンの往復運動の際にピストンの被検出面変位信号を出力する位置検出センサと、最大容量運転時のピストン１ストローク分の前記変位信号の波形パターン（Ａ）を測定して記憶し、現在運転時のピストン１ストローク分の前記変位信号の波形パターン（Ｂ）を検出し、波形パターン（Ａ）と波形パターン（Ｂ）の比較から、現在運転時のピストンストロークに対応する現在運転時の容量を推定する推定手段と、を備えたことを特徴とする可変容量型圧縮機の容量検出装置。 （もっと読む）

【課題】ピストンの被検出部に欠肉部等は不要で、基本的に近接センサからの出力信号だけで圧縮機の吐出容量を推定でき、演算処理工程と記憶容量を低減でき、より低コストで吐出容量を適切に推定可能な可変容量型圧縮機の容量検出装置を提供する。
【解決手段】（１）ピストンの側方に配置されたセンサであって、該センサの前方側にピストンのセンサ被検出面がある／なしの２種の検知信号を出力可能な近接センサと、
（２）最大容量運転時のピストン１ストローク分の検知信号のパターン（Ａ）を測定して記憶し、現在運転時のピストン１ストローク分の検知信号のパターン（Ｂ）を検出し、両パターン（Ａ）、（Ｂ）の比較から、現在運転時の圧縮機の容量を推定する推定手段と、を備えたことを特徴とする可変容量型圧縮機の容量検出装置、およびそれを備えた可変容量型圧縮機。 （もっと読む）

【課題】低コストで、かつ、タクトタイムの短い真空処理装置を提供すること。
【解決手段】複数のロードロックチャンバ１１〜１４と、ロードロックチャンバに各々開閉部を介して連通する複数のプロセスチャンバ５１〜５４とから構成されてなる真空処理装置１であって、各ロードロックチャンバを選択して排気する１つの第一排気手段３１と、プロセスチャンバ毎に設けられ、各プロセスチャンバを個別に排気する複数の第二排気手段７１〜７４と、ロードロックチャンバに排気の必要性が生じた場合に、ロードロックチャンバの状態に応じた優先度を付加した排気要求を発行する制御手段と、複数の排気要求を優先度に従って順序調整することにより、複数のロードロックチャンバの中から第一排気手段が排気処理を実施する１つのロードロックチャンバを選択し、第一バルブの開閉動作を指示する順序調整手段と、を少なくとも備えた真空処理装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー消費の少ない真空排気技術を提供すること。
【解決手段】冷凍機を有する真空排気ポンプの複数台が共通の圧縮機に繋がれており、複数台の真空排気ポンプのうちの少なくとも一台は、冷凍機のバルブが動作することによってシリンダの内部が低圧状態から高圧状態に移行することにより、低圧状態のガスが断熱圧縮される工程と、断熱圧縮されたガス中をディスプレーサが通過する工程とを含む動作を繰り返す運転をしており、複数台の真空排気ポンプのうちの他の少なくとも一台は、冷凍機のバルブが動作することによってシリンダの内部が高圧状態から低圧状態に移行することにより、高圧状態のガスが断熱膨張する工程と、断熱膨張したガス中をディスプレーサが通過する工程とを含む動作を繰り返す運転をしている。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプが取り付けられる真空装置での真空処理に適合した運転状態のモニタリングを実現する。
【解決手段】クライオポンプは、真空処理を行う真空装置の真空チャンバからガスを排気する。クライオポンプは、冷凍機と、冷凍機により冷却されるクライオパネルと、クライオパネルを目標温度に制御するよう冷凍機の運転周波数を制御する制御部と、を備える。制御部は、冷凍機の運転周波数が第１判定基準に達した場合に運転周波数を第１判定時間監視し、運転周波数が第１判定基準よりも高負荷に相当する第２判定基準に達した場合にクライオパネルの温度を第１判定時間よりも短い第２判定時間監視する。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプが取り付けられる真空装置での真空処理に適合した運転状態のモニタリングを実現する。
【解決手段】制御部は、真空装置において設定されている２段クライオパネル上限温度より低温に設定された警戒温度以上に２段クライオパネルが昇温されたか否かを判定する第１判定と、警戒温度を上限として設定された温度範囲に設定時間以上継続して２段クライオパネルが昇温されているか否かを判定する第２判定と、を１段クライオパネルの目標温度への制御中に行う。制御部は、クライオポンプの稼動当初に測定された２段クライオパネルの最低到達温度から排気運転中の２段クライオパネル温度が乖離した状態が設定時間よりも長く設定された持続時間以上継続したか否かを判定する第３判定を、目標温度への制御中に行ってもよい。 （もっと読む）

【課題】液体収納容器より液体を吸引しての抜き取り作業を行なう場合、自動的に検知音を発生させて、作業者が効率よく作業を行なえる液体吸引機を得る。
【解決手段】液体を収納することができ、かつ内部を負圧にすることができる液体収納タンク４と、この液体収納タンク４内を吸引ポンプ５を用いて所定の負圧にする負圧装置９と、一端部が液体収納タンク４内の上部壁４ａ寄りの部位に開口され、他端部が液体収納タンク４外へ位置する開閉弁１０を介して液体収納容器内の液体を吸引することができる吸引ノズル１１を備えた吸引ホース１２と、この吸引ホース１２の一端部に脱落不能で、かつ液体収納タンク４の上部壁４ａに衝突できるように遊挿状態でスライド移動可能に覆う検知音発生キャップ１３と、液体収納タンク４内に収納された液体を外部へ排出する開閉弁１４を介装した排出ホース１５とで液体吸引機１を構成している。 （もっと読む）

【課題】熱尖端流を利用して従来のクヌーセンコンプレッサよりもエネルギー効率を改善したポンプ装置を提供する。
【解決手段】気体の流路４を横断する方向に間隔を空けて互いに平行に並べられた複数の低温物体としての平板５を有する低温平板群（低温部）Ｃと、流路４を横断する方向に間隔を空けて互いに平行に並べられた複数の高温物体としての平板６を有する高温平板群（高温部）Ｈと、これら平板群の間に温度差が生じるように少なくともいずれか一方の平板群の温度を操作する温度操作手段とをポンプ装置に設ける。平板５と平板６とは流路４の流れ方向にずらして配置され、かつ平板５と平板６との間には、平板５と平板６との近接部分においてそれらの平板５、６の先端部に生じる熱尖端流により平板５から平板６へと向かう気体の一方向流れが生じるように、気体による断熱層を介在させる。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプおよび冷凍機において、各冷却ステージの冷却温度を制御する。
【解決手段】クライオポンプにおいて、冷凍機は、直列に連結された第１シリンダ及び第２シリンダと、第１冷却ステージと、第２冷却ステージと、を含み、周期的に第１シリンダ及び第２シリンダの内部に作動気体を吸入して膨張させて外部に排気することにより第１冷却ステージを第１の冷却温度に冷却し、第２冷却ステージを第２の冷却温度に冷却する。制御部は、第１の冷却温度を目標温度に維持するように冷凍機への作動気体の吸排気周期を制御する。放射シールドは、ポンプ容器の内面に対向する外面を有するシールド基材と、吸排気周期を短くして第２の冷却温度を要求冷却温度よりも低温とするようにシールド基材よりも高い放射率を有する材料でシールド基材の外表面の少なくとも一部を被覆する放射吸収層と、を含む。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプ装置のモータ駆動用制御装置に使用されている半導体パワースイッチング素子や電解コンデンサ等の電子部品の寿命状態や交換時期を適切に予測できる機能を有する真空ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】真空ポンプ装置において、モータ駆動用制御装置４に使用している所定の電子部品の表面温度を常時或いは定期的に計測する温度センサ２３〜２６と、モータ駆動用制御装置４の運転時間を計測する積算時間計測手段と、温度センサ２３〜２６及び積算時間計測手段で計測した結果を記憶する記憶手段とを設け、温度計測対象となっている電子部品について、所定の温度レベル状態が維持されていた時間を各温度レベル毎に記憶手段に記録する機能を具備すると共に、該記憶手段に記録された各温度レベル毎の運転時間から当該電子部品の寿命度合い予測する機能を具備する。 （もっと読む）

【課題】電源装置内部の結露を防止することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】真空ポンプ本体２と一体的に設けられた電源装置３の内部に結露センサ７を設ける。結露センサ７が電源装置内部の結露を検出すると、ＣＰＵ８は、冷却水バルブ６を閉じる。そして、冷却水路５を通じて電源装置内部を流通している冷却水の流れを停止させる。 （もっと読む）

【課題】物理的な電源スイッチを採用しないエアコンプレッサにおいて、駆動中に電源が遮断され、その後に復旧した場合に、タンク部の圧力状態に応じて自動的にモータ部の駆動制御を行うこと。
【解決手段】本発明に係るエアコンプレッサの制御手段２０は、電源電圧検出手段２８により検出された電源電圧の値に基づいて電力の供給が遮断されると判断した場合に、モータ手段の駆動の有無を判断し、モータ手段が駆動中であると判断した場合には、圧力検出手段１２により検出された圧力状態に基づいてモータ手段の運転休止状態を判断して当該運転休止状態に関する情報を不揮発性記録手段３０に記録する。 （もっと読む）