【課題】離型性能の点で有利なインプリント装置を提供する。
【解決手段】このインプリント装置は、基板１０上の未硬化樹脂をテンプレート７中の型７ａにより成形して硬化させ、硬化した樹脂１２からテンプレート７の撓みを伴う離型を行い、基板１０上に樹脂１２のパターンを形成する。この場合、インプリント装置は、型７ａの外縁７ｂの領域を引きつけてテンプレート７を保持するテンプレート保持部と、テンプレート保持部に対向し、基板１０を保持する基板保持部と、押型または離型を選択的に行うようにテンプレート保持部と基板保持部とを相対的に移動させる駆動機構とを有し、樹脂１２のパターンにおける離型の完了する領域が撓みによりパターンの中央の領域からずれるように、テンプレート保持部でテンプレート７を引きつけて離型を行う。 （もっと読む）

【課題】ガラス・金属との密着性が高い硬化膜が求められている。また、たとえば、半導体集積回路に形成された硬化膜であって、加熱されても、基板界面での膨れや剥離を防ぐことができる硬化膜が求められている。たとえば、半導体集積回路の製造における保護膜の形成にかかる手間や時間を短縮し、消耗品も削減することが求められている。
【解決手段】リン酸エステルを有する化合物（Ａ）と、シランカップリング剤（Ｂ）と、ヒドロキシ基を有するラジカル重合性モノマー（Ｃ）と、光重合開始剤（Ｄ）と、ヒドロキシ基を有するラジカル重合性モノマー（Ｃ）以外のラジカル重合性モノマー（Ｅ）と、界面活性剤(Ｆ)を含む光ナノインプリント用硬化性組成物により上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】テンプレートに付けたパターンを印写可能媒体に印写することによってパターンを基板に転写する印写リソグラフィで、この印写可能媒体として熱可塑性または熱硬化性樹脂を使うとき、それだけを必要な温度に迅速に加熱する装置・方法を提供する。
【解決手段】テンプレート３０の転写すべきパターンの上に薄い金属層３５が設けてあり、このテンプレート３０を印写可能媒体３４に接触させ、それとそれを保持するホルダ３１を通してレーザ３６のビーム３７で照射する。このビーム３７を金属層３５が効率的に吸収し、この金属層からの熱を印写可能媒体３４へ効率的に伝達するので、印写可能媒体３４の加熱が迅速であり、熱が基板３２に入って基板を歪めることがない。 （もっと読む）

【課題】 ショット領域間の相対位置の計測を容易に行いうるインプリント装置を提供する。
【解決手段】 インプリント装置は、基準マークが形成されたモールドを保持する支持体と、各ショット領域に第１マーク及び第２マークが形成された基板を保持する基板ステージと、前記各ショット領域に形成された前記第１マーク及び前記第２マークと前記モールドに形成された前記基準マークとを検出することによって前記各ショット領域間の相対位置を計測する検出器とを備える。前記検出器は、隣接しあう２つのショット領域のそれぞれに形成された隣接しあう前記第１マーク及び前記第２マークそれぞれの前記基準マークに対する位置を検出することによって、隣接しあう前記２つのショット領域間の相対位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】入射光の反射率及び回折光を低減できる微細構造体を提供すること。
【解決手段】本発明の微細構造体１は、基材１１と、基材１１主面から上方に突出する複数の凸部１３を含み基材１１上に設けられた微細構造層１２とを具備し、複数の凸部１３が基材１１主面内のＹ軸方向においてピッチＰ１で配列されて凸部列１３−１〜１３−Ｎを構成し、凸部列１３−１〜１３−ＮがＹ軸方向と直交するＸ軸方向にピッチＰ２で並設されており、隣接する第１凸部列１３−１及び第２凸部列１３−２間のＹ軸方向におけるシフト量α１と、第２凸部列１３−２及び第２凸部列１３−２に隣接する第３凸部列１３−２間のＹ軸方向におけるシフト量α２とが互いに異なることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 金属表面に形成された凹状又は凸状のパターンを有する印刷版面を短時間で、かつ、高精度に再現できるパターン形成体を提供する。
【解決手段】 第一の金属原版の凹状又は凸状パターンを転写するためのパターン形成体において、金属板上に形成される光硬化性のパターン形成材料と光硬化性のパターン形成材料中に埋没させるパターン形成材料を補強し、光硬化効率を高めるための光透過性の補強板と、光硬化性パターン形成材料の中に光透過性の補強板が第一の金属原版に接触しないように配置された支持体から成るパターン形成体及び複製方法である。 （もっと読む）

【課題】生産性の点で有利なインプリント装置を提供する。
【解決手段】基板５上の未硬化樹脂を型により成形して硬化させ、前記基板５上に硬化した樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、前記基板５に対して前記未硬化樹脂と溶媒との混合液を吐出する吐出手段７と、前記基板５上に吐出された前記混合液から前記溶媒を蒸発させる蒸発手段９と、を備え、前記吐出手段７は、前記基板５上で液滴と液滴とが接触するように前記混合液を吐出する。 （もっと読む）

【課題】インプリント装置により基板に形成されたパターンの残膜厚を計測する精度の点で有利な技術を提供する。
【解決手段】インプリント装置により透過膜を有する基板に形成されたレジストの凹凸パターンの凹部の厚さを計測する計測装置の計測感度の目標値を設定し、当該目標値を満たす透過膜の厚さを前記基板に形成すべき透過膜の厚さとして決定する決定ステップを有し、前記計測感度は、前記凹凸パターンの形状の変化に対する前記凹凸パターンからの反射光の強度の変化又は位相の変化で定義され、前記決定ステップでは、複数の厚さの透過膜のそれぞれについて、前記凹凸パターンの形状の変化に対する前記凹凸パターンからの反射光の強度の変化又は位相の変化に基づいて前記計測感度を示す情報を取得し、当該情報から前記目標値を満たす透過膜の厚さを特定することを特徴とする決定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ゾルゲル材料により、１次元格子に代表される微細構造を有する光学素子を高歩留まりで製造する。
【解決手段】チタン系のゾルゲル材料を基板１に塗布し、真空乾燥を施して乾燥ゾルゲル皮膜であるチタニアゾル層２を形成し、その上に、型３を用いた型押し成形によりラインアンドスペース構造を転写後離型して、微細構造を有するチタニアゾル層４を形成する。次いで、加熱によりゾルゲル材料の脱水縮合反応を促進して硬化させることで、ラインアンドスペース構造を有する酸化チタン構造部５を形成する。 （もっと読む）

【課題】 インプリント装置に備えられた各種装置とパターン面Ｐとの距離が離れているため、基板ステージ１４が移動する距離が長くなり、装置のスループットに影響を与える。
【解決手段】 本発明のインプリント装置は、パターンと、該パターンの外側の領域にある孔部及び切り欠き部の少なくとも一方とを有する型により、基板上のインプリント材を成形して前記基板上にパターンを形成するインプリント装置であって、保持された型の前記孔部及び切り欠き部の少なくとも一方を介して前記インプリント材を前記基板上に供給する供給機構を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パターン形成不良を防止しつつ基板上に多くのショットパターンを形成する。
【解決手段】実施形態によれば、パターン形成方法が提供される。前記パターン形成方法では、インプリントによって基板に回路パターンを形成する前の処理として、前記基板上でインプリントショットとなる領域の周囲を所定の高さで前記インプリントショット毎に囲うことによってインプリントショット間を遮断する壁パターンを形成する。そして、前記壁パターンで囲まれたインプリントショット内に、インプリント材を滴下する。そして、前記インプリント材にテンプレートを押し当てることにより、前記壁パターンで囲まれたインプリントショット内に、前記回路パターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】高精細なインプリント転写が安定して行えるインプリント方法とインプリント装置とを提供する。
【解決手段】供給工程にて、モールド１の凹凸構造領域１Ａを有する面１ａと、充填用基材１１との少なくとも一方に樹脂材料５を供給し、充填工程にて、モールド１の面１ａと充填用基材１１との間に樹脂材料５を充填し、離間工程にて、モールド１側に樹脂材料５が残るように充填用基材１１とモールド１とを引き離し、押し当て工程にて、インプリント用の基板７を樹脂材料５に接触させ、離型工程にて、樹脂材料５からモールド１を引き離すように構成し、モールド１に対する樹脂材料５の接触角θｍと、充填用基材１１に対する樹脂材料５の接触角θｊと、インプリント用の基板７に対する樹脂材料５の接触角θｋとの間に、θｋ＜θｍ＜θｊの関係が成立するようにした。 （もっと読む）

【課題】気泡の除去を容易にするとともに変形を抑えた転写印刷用スタンプの製造方法および電子デバイスを提供する。
【解決手段】転写印刷用スタンプ５は、通気性シート３に樹脂を含浸させて通気性シート３を第１樹脂層１００中に含まれるように構成させている。これにより、第１樹脂層１００中に含まれる気泡を通気性シート３の隙間を通して容易に脱気させることができる。そのため、気泡によるパターン欠損などの問題を解消することができる。また、通気性シート３は、第１樹脂層１００中で骨格として機能するので、転写印刷用スタンプ５の強度を高めることができ、変形を抑えることができる。そのため、転写の寸法精度を高めることができ、大面積化させることができる。 （もっと読む）

【課題】インプリントレジスト特徴寸法の拡大を可能にするパターン化磁気記録ディスクの製作方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、インプリントレジストがＮＩＬによりパターン化された後インプリントレジスト特徴部の寸法を拡大する。インプリントレジスト材料の層は、ブランクディスク上に堆積される。インプリントレジスト層はＮＩＬによりパターン化され、上部から基部まで傾斜した側壁を有する複数の離間されたレジスト柱を生じる。被覆層が、傾斜したレジスト柱側壁の上を含むパターン化されたレジスト層の上に堆積される。被覆層は次に、レジスト柱間の空間部内にブランクディスクを露出する一方で傾斜したレジスト柱側壁上に被覆層を残すためにエッチングされる。レジスト柱は次に、ブランクディスクをエッチングするためのマスクとして使用され、ブランクディスク上に複数の個別のアイランドを残す。 （もっと読む）

【課題】離型時のテンプレートおよびレジストパターンへの衝撃を可及的に低減すること。
【解決手段】第１の硬化性樹脂材料を被処理基板に塗布して、前記第１の硬化性樹脂材料が塗布された被処理基板にテンプレートに作成された半導体集積回路のパターンを転写するインプリント方法であって、１回の転写によりパターンが形成される領域のうちの外周部のうちの少なくとも一部に前記第１の硬化性樹脂材料よりも離型性が高い第２の硬化性樹脂材料を塗布するステップを備える、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】樹脂シートの表面に転写型を精度よく転写することができ、しかも形状ロールにおけるトラレ現象の発生を防止することができる表面形状転写樹脂シートの製造方法を提供すること。
【解決手段】所定の組成を有する樹脂を加熱溶融状態でダイ５９から連続的に押し出すことにより、表面７６および裏面７５を有する樹脂シート５３を、表面７６の樹脂組成が、熱可塑性樹脂１００質量部および滑剤０．１〜２．０質量部を含むように形成する。次に、当該樹脂シート５３を上ロール６３と中間ロール６４とで挟み込み、次いで、樹脂シート５３を中間ロール６４に密着させたまま搬送し、搬送された樹脂シート５３を中間ロール６４と下ロール６５とで挟み込む。中間ロール６４と下ロール６５とで挟み込む際に、下ロール６５に形成された凹版転写型６９を樹脂シート５３の表面７６に転写する。 （もっと読む）

【課題】 効率良く欠けショット領域にパターンを形成し、スループットの向上及び精度良くパターンを形成可能なパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 基板上に形成された被加工膜上の第１の領域に第１の膜を形成してパターニングすることにより第１のパターンを形成する。その後、前記第１のパターンを形成した後、前記第１のパターンの寸法が変動しないように前記被加工膜上に密着膜を形成する。次に、前記第１の領域とは異なる前記被加工膜上の第２の領域の前記密着層上に、インプリント法を用いて第２のパターンを形成する。次いで、前記第１のパターン及び第２のパターンをマスクとして前記被加工膜をエッチングする。 （もっと読む）

【課題】モールドの離型中における計測器による計測の正確さの点で有利なインプリント装置を提供する。
【解決手段】型を保持する保持部と、基板または前記型の位置決めに係る物体の位置を計測する計測器と、前記保持部を支持する第１支持体と、前記計測器を支持する第２支持体と、前記第１支持体および前記第２支持体を支持する第３支持体と、前記第３支持体の鉛直方向上方、かつ、前記第１支持体と前記第２支持体との間に設けられ、鉛直方向の剛性がそれ以外の方向の剛性より高い継手機構と、を有し、前記第３支持体は、前記第１支持体および前記第２支持体の一方および前記継手機構を介して前記第１支持体および前記第２支持体の他方を支持する。 （もっと読む）

【課題】微細凹凸構造が表面に形成された物品の製造を終了する際にモールドの表面に発生する表面欠陥が、物品の製造を再開した際に物品の表面に転写されることを抑制することができる、微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法を提供する。
【解決手段】第１の硬化性樹脂組成物３９を、微細凹凸構造を表面に有するロール状モールド２０とフィルム４２との間に挟み、硬化させて、微細凹凸構造が転写された硬化樹脂層４４をフィルム４２の表面に形成し、物品４０を得る工程（Ｉ）、内部離型剤を含む第２の硬化性樹脂組成物３８をロール状モールド２０とフィルム４２との間に挟み、硬化させて、硬化樹脂層４４をフィルム４２の表面に形成する工程（II）、第１の硬化性樹脂組成物３９または第３の硬化性樹脂組成物をロール状モールド２０とフィルム４２との間に挟み、硬化させて、物品４０を得る工程（III）を有する製造方法。 （もっと読む）

【課題】新規な形状のスタンパ及びそのスタンパの新規な配列形態を有する両面インプリント装置を提供する。
【解決手段】昇降機構に支持された上面側スタンパ装置５と、ガイドレール上に乗せられた移動テーブルに固設された下面側スタンパ装置３と被転写体剥離装置とからなり、移動テーブルは移動駆動機構により前記ガイドレール上を往復動することができ、これにより、上面側スタンパ装置の位置を中心として、下面側スタンパ装置と被転写体剥離装置とが、上面側スタンパ装置に対峙する位置に交互に移動することができる両面インプリント装置において、下面側スタンパ装置に配設される下側スタンパ２９が長方形の形状を有し、かつ、上面側スタンパ装置に配設される上側スタンパ３５が長方形の形状を有し、下側スタンパと上側スタンパとが十字形の対峙形態となるように下面側スタンパ装置及び上面側スタンパ装置にそれぞれ配設されている。 （もっと読む）