【課題】二硼化チタンと窒化ホウ素を必須成分とするセラミックス焼結体を生産性を高めて製造する。
【解決手段】頻度粒度分布において０．５〜５μｍの領域と５〜５０μｍの領域とに極大値を有する窒化ホウ素粉末と、二硼化チタン粉末とを含有してなる原料粉末を成形した後、非酸化性雰囲気下、焼結することを特徴とするセラミックス焼結体の製造方法。この場合において、原料粉末が、更に窒化アルミニウム粉末、又は窒化アルミニウム粉末と酸化カルシウム粉末及び／又は酸化ストロンチウム粉末からなる焼結助剤とを含むこと、などが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 窒化アルミニウム焼結体製造工程の中間体で、これを焼結して得られる窒化アルミニウム焼結体が所定の熱伝導率あるいは所定の黒色度を満足するような、窒化アルミニウム焼結体の中間体を提供する。
【解決手段】 窒化アルミニウム焼結体の製造工程において、有機化合物を含有する窒化アルミニウム成形体を非酸化性雰囲気中にて脱脂して得られた脱脂中間体であって、ＪＩＳ Ｚ ８７２１に規定する明度がＮ６以下、好ましくはＮ４以下である。この窒化アルミニウム脱脂中間体を非酸化性雰囲気中で焼成することにより、不良品を発生させることなく、高熱伝導率あるいは黒色度の高い窒化アルミニウム焼結体を確実に製造することができる。 （もっと読む）

【課題】 窒化アルミニウム焼結体中の気孔を極力減少させることにより、均熱性に優れたサセプタを提供する。
【解決手段】 本発明の窒化アルミニウム焼結体は、含有するスズとイオウの量を一定値以下に制御する。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする窒化アルミニウム焼結体において、窒化アルミニウム焼結体中のスズの含有量が５０ｐｐｍ以下であり、かつイオウの含有量が１００ｐｐｍ以下であることを特徴とする。前記窒化アルミニウム焼結体に、抵抗発熱体が形成されていることが好ましく、半導体加熱用部品として使用されることが好ましい。 （もっと読む）

耐摩耗性の低下が抑制され、しかも優れた耐欠損性を有する立方晶窒化硼素質焼結体およびそれを用いた切削工具である。この焼結体は、立方晶窒化硼素粒子を結合相で結合したものであり、前記結合相は、周期律表第４，５および６族金属の群から選ばれる少なくとも１種の金属元素の炭化物と、周期律表第４，５および６族金属の群から選ばれる少なくとも１種の金属元素の窒化物とが共存しているので、前記粒子の脱落と結合相の摩耗、脱落とを同時に抑制でき、耐摩耗性が高く、かつ耐欠損性が特に優れた焼結体となる。
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ＣＢＮ成形体は、ＣＢＮ、及びマトリックス相で、ＴｉＣＮ、ＴｉＣ、ＴｉＮ、及びそれらの混合物及びそれらの固溶体から選択された第二硬質相、及び最大量の二硼化チタンを組込んだマトリックス相を含み、然も、（１０１）二硼化チタンピーク（バックグラウンド補正後）のＸＲＤピーク高さが、（１１１）ＣＢＮピークのピーク高さの１２％より小さい。 （もっと読む）

【課題】窒化アルミニウム焼結体を製造する際に、一度、反りが生じた窒化アルミニウム焼結不良品を廃棄するのではなく、再度、製品として使用可能とするために、該不良品を焼成し、反りを解消する焼結不良品の再生方法を提供する。
【解決手段】 焼結助剤を使用して得られる窒化アルミニウム焼結体のうち、反りが生じた窒化アルミニウム焼結不良品を選別し、該窒化アルミニウム焼結不良品を不活性ガスで置換した窒化アルミニウムまたは窒化ホウ素製の密閉容器内で、１７００℃以上の温度で５時間以上焼成することを特徴とする窒化アルミニウム焼結不良品の再生方法である。 （もっと読む）

【課題】 強度や破壊靭性等に優れた導電性窒化ケイ素焼結体を提供する。耐摩耗性部材として有用である。
【解決手段】 長軸径が０．１μｍ以下のチタン属元素の窒化物粒子を０．２〜５重量％、Ｓｉ−Ｒ−Ａｌ−Ｏ−Ｎ化合物（Ｒは希土類元素を表す。）を主として含む粒界相を２〜２０重量％、及び窒化ケイ素を残量、並びにＣＮＴを外掛けで０．３〜１２重量％含有して成る窒化ケイ素焼結体、及びこの窒化ケイ素焼結体からなる耐摩耗性部材である。
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【課題】本発明は、ＡｌＮ系セラミックスの色ムラを解消し、耐食性と機械的特性を改善させた、黒色を呈する高純度ＡｌＮ系セラミックスを提供するものである。
【解決手段】本発明の黒色ＡｌＮ系セラミックスは、１〜３０重量％の酸化アルミニウムと残部が実質的に窒化アルミニウムより成る混合粉体を成形・焼結し、焼結中に酸化アルミニウムと窒化アルミニウムとの反応により生じる格子欠陥を有するＡｌＯＮ相を含有し、実質ＡｌＮとＡｌＯＮの２相とから成り、密度が理論値の９０％以上で黒色を呈する。 （もっと読む）

【課題】 「色むら」や「しみ」の発生を抑制できる窒化アルミニウム基板の製造方法を提供する。
【解決手段】 成形体を所定の焼結温度ＴＳで焼結して焼結体を得る焼結工程と、焼結体を所定のアニーリング温度ＴＡでアニーリングするアニーリング工程と、を備える。アニーリング工程においては、焼結体を所定のアニーリング温度ＴＡとなるまで加熱し、続いて焼結体をアニーリング温度ＴＡで所定時間維持し、その後焼結体の温度をアニーリング温度ＴＡから冷却する。アニーリング温度ＴＡはＴＡ≦ＴＳを満たすように定められ、焼結体を１２００℃からアニーリング温度ＴＡまで加熱する際の昇温速度が２００℃／ｈ以下であり、焼結体をアニーリング温度ＴＡから１２００℃まで降温する際の降温速度が２００℃／ｈ以下である。 （もっと読む）

【課題】 耐フッ酸性に優れた窒化アルミニウム焼結体、およびそれを用いた静電チャックを提供する。
【解決手段】 窒化アルミニウム焼結体は、IIIａ族元素から選択される少なくとも１種の元素の酸化物を０．５〜５質量％含有し、表面粗さがＲａ０．２μｍ以下に調整された面を備えている。また、この面に４６質量％フッ酸溶液を接触させて１時間放置した後のその接触面の表面粗さはＲａ０．２μｍ以下に維持される。このような窒化アルミニウム焼結体を誘電体層２として用い、その下に設けられた電極３に電圧を印加することにより半導体ウエハ１０を吸着する。 （もっと読む）

【課題】 温度変化に伴う体積抵抗率の変化が小さい窒化アルミニウム焼結体、およびそれを用いた静電チャックを提供する。
【解決手段】 サマリウムとランタンの少なくとも１種を酸化物換算で０．５質量％以上７．０質量％以下含有し、かつ、鉄およびニッケルの含有量が１８０ｐｐｍ以下であり、残部が実質的に窒化アルミニウムからなり、２３℃の体積抵抗率が５×１０⁸〜１×１０¹⁴Ω・ｃｍであり、かつ、２００℃の体積抵抗率が５×１０⁸Ω・ｃｍ以上であって、２３℃の体積抵抗率と２００℃の体積抵抗率のそれぞれの常用対数を取ったときのその差が２以下である窒化アルミニウム焼結体を得る。この窒化アルミニウム焼結体を被吸着体を吸着する誘電体層２として用い、その下に設けられた電極３に電圧を印加することにより被吸着体１０を吸着する。 （もっと読む）

【課題】窒化アルミニウム質焼結体の耐蝕性、特にハロゲン系腐食性ガスのプラズマに対する耐蝕性を、一層向上させる。
【解決手段】窒化アルミニウム質焼結体は、窒化アルミニウムを主成分とし、窒化アルミニウム結晶の多結晶構造を有しており、マグネシウムを含有している。本焼結体は、好ましくは、マグネシウムを酸化物換算で０．１重量％以上、２０重量％以下含有しており、７００℃における体積抵抗率が１×１０^７Ω・ｃｍ以上であり、熱伝導率が８０Ｗ／ｍ・Ｋ以下であり、マグネシウムの少なくとも一部が窒化アルミニウム結晶に固溶しており、Ｘ線線回折により、実質的に構成相が窒化アルミニウム単相と見なされており、マグネシウムを除く金属不純物量が６００ｐｐｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】 窒化アルミニウム焼結体中の気孔を極力減少させることにより、均熱性に優れたサセプタを提供する。
【解決手段】 本発明の窒化アルミニウム焼結体は、含有するビスマスと塩素の量を一定値以下に制御する。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする窒化アルミニウム焼結体において、窒化アルミニウム焼結体中のビスマスの含有量が３０ｐｐｍ以下であり、かつ塩素の含有量が１００ｐｐｍ以下であることを特徴とする。前記窒化アルミニウム焼結体に、抵抗発熱体が形成されていることが好ましく、半導体加熱用部品として使用されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】従来の押出成形によるセラミックシートの製造方法は、顆粒化工程に続く寝かせ工程や、練土の低温下での放置を必要とするリードタイムの長い生産方式である。さらに、１軸成形機は混練不足を生じる場合があり、成形シート密度が低下したり、或いは不均一となり、焼成後のセラミック焼結体が変形して、回路パターンの印刷不良や金属回路板、放熱板との接合不良を生じる場合があった。
【解決手段】粒度調整した原料粉末を使用し、さらに強混練性能を有した2軸押出機と、成形安定性を有した1軸成形機を組み合わせた押出成形機を用いることで、従来と同等もしくはそれ以上の品質が得られ、しかも生産効率の良好なセラミックシートの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】複合セラミックスの工業規模での安定かつ効率的な製造方法を提供すること。
【解決手段】炭化ケイ素、仮焼後にその全部又は一部が炭素に転換し得る有機物、及び焼結助剤を湿式混合して得られた混合物を乾燥する工程（１）、及び工程（１）で得られた乾燥物を粉砕し、得られた粉砕物を仮焼する工程（２）を有する複合セラミックスの製造方法であって、工程（１）で得られた乾燥物の粉砕を、それにより得られる粉体粒子の粒径分布において、重量分布50%の粒子径が425〜1200μｍ、重量分布10％の粒子径が50〜250μｍ、かつ重量分布90％の粒子径が1000〜3000μｍとなるように行う、複合セラミックスの製造方法。 （もっと読む）

【課題】電気抵抗の低温側極大現象を抑制したセラミックス焼結体を提供する。熱衝撃性と耐食性に優れた長寿命のボートを提供する。
【解決手段】ＴｉＢ_２を４０〜６０質量％、ＢＮを４０〜６０質量％、並びに金属及び／又は金属化合物を金属分として０．２〜３質量％を含み、当該金属及び／又は金属化合物の金属がＦｅ、Ｖ、Ｍｎ、Ｃｕ及びＳｉから選ばれた少なくとも一種であり、相対密度が９０％以上であるセラミックス焼結体。ストロンチウム及び／又はストロンチウム化合物をＳｒ分として０．２〜７．５質量％を更に含有させてなる上記セラミックス焼結体。これらのセラミックス焼結体で構成された金属蒸発用発熱体（ボート）。 （もっと読む）

【課題】本発明は、プラズマ耐食部材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】窒化アルミニウムを主体とし、１Ｇ（１０^９）Ｈｚ以上において誘電損失（ｔａｎ δ）が５×１０^−３以下であることを特徴とするプラズマ耐食材料、及び窒化アルミニウムを主体とし、酸化イットリウムと酸化マグネシウム又は窒化マグネシウムとを微量添加して焼結することにより、マイクロ波焼結や高ガス圧力焼結といった特別な焼結装置を用いることなく、また焼結後の再加熱や広い温度範囲において毎分０．７℃といった極端に遅い冷却速度で長時間に渡り徐冷をすることなく、フッ化物系反応ガスを含む１ＧＨｚ以上の高周波プラズマに曝されるプラズマ耐食部材の誘電損失（ｔａｎ δ）が５×１０^−３以下の誘電損失特性の優れたプラズマ耐食部材を製造する。 （もっと読む）

【課題】窒化アルミニウムの特性を維持しつつ、その耐食性を向上させる。
【解決手段】窒化アルミニウム質セラミックス１０は、窒化アルミニウム粒子と粒界相とを備える。更に、窒化アルミニウム質セラミックス１０は、その表層に内部１１よりも粒界相を多く含む粒界相豊富層１２を備える。そして、その粒界相豊富層１２における粒界相は希土類元素又はアルカリ土類元素の少なくとも１つを含有する。 （もっと読む）

セラミック体（２０）、ならびにその製造法であって、該セラミック体は、酸窒化アルミニウムおよびウイスカー、（および必要に応じて）１以上の炭窒化チタン、および／またはアルミナ、および／またはジルコニア、および／または他の成分を含有する。
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【解決手段】 工具に使用するための立方晶窒化ホウ素（ｃｕｂｉｃ ｂｏｒｏｎ ｎｉｔｒｉｄｅ、略称ｃＢＮ）焼結体が、（ｉ）立方晶窒化ホウ素と、（ｉｉ）酸化アルミニウムと、（ｉｉｉ）１若しくはそれ以上の高融点金属化合物と、（ｉｖ）アルミニウムおよび／または１若しくはそれ以上の非酸化アルミニウム化合物との混合物を焼結することにより得られる。これらの焼結体は、固形、すなわち非炭化物で支持された形態の工具材料として使用する上で十分な強度および強靱性を有するので、鋳鉄の重機械加工に役立ちうる。 （もっと読む）