【課題】抵抗の温度依存性が低く高純度な炭化ケイ素焼結体シート及びその製造方法を提供する。
【解決手段】炭化ケイ素粉末及び非金属系焼結助剤を含むスラリー状混合粉体を得る工程と、テープキャスティング法を用いて前記炭化ケイ素スラリーからシート状仮成形品を形成する工程と、シート状仮成形品を炭素製スペーサーに挟んだ状態でホットプレス焼結して炭化ケイ素焼結体シートを得る工程と、を含む炭化ケイ素焼結体シートの製造方法。 （もっと読む）

【課題】高い熱伝導率を有し、しかもチッピング幅の分布が小さい窒化アルミニウム焼結体を提供する。
【解決手段】下記条件（１）および（２）を充足する窒化アルミニウム粒子からなることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。 （１）Ｄ₉₀−Ｄ₁₀＝３．０〜６．０μｍ〔Ｄ₉₀は、窒化アルミニウム粒子の粒度分布における累積個数％が９０％のときの粒子径であり、Ｄ₁₀は、窒化アルミニウム粒子の粒度分布における累積個数％が１０％のときの粒子径である。〕 （２）平均粒子径（Ｄ_av）＝３．０〜７．０μｍ （もっと読む）

【課題】体積抵抗率が低い窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】マイエナイト（mayenite）相を含有し、かつカルシウムを５００〜２００００ｐｐｍ含有することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体、ならびに１００質量部の窒化アルミニウム、およびカルシウム原子に換算して０．０１〜５．０質量部のカルシウム含有焼結助剤を含有する混合物を、中性雰囲気下、１５００〜１７００℃で、５０時間以上焼成することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】傾斜機能材料及びその製造方法を提供する。
【解決手段】所定の形状の成形空間を有する型内で金属及び／又はセラミックスの被焼結材料を直接通電により加圧焼結して傾斜機能材料を製造する方法であって、型内の成形空間に被焼結材料を配置して、被焼結材料の焼結特性に応じて、被焼結材料を任意の焼結温度分布により焼結することからなる傾斜機能材料の製造方法、Ｔｉ_３ＳｉＣ_２とＴｉＣの２相組織の焼結体からなる傾斜機能材料であって、炭化チタンが、段階的又は傾斜的である組成を有し、炭化チタンの組成が異なる材料が全体の緻密性を確保しながら一体成形されている、チタンシリコンカーバイド−炭化チタン系傾斜機能材料、及びその製造方法。
【効果】被焼結材料の全体の緻密性を確保しながら焼結温度の異なる材料を一体成形した傾斜機能材料を提供できる。 （もっと読む）

【課題】均熱性が良好で純度の高い炭化ケイ素焼結体ヒータ及びそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】かさ密度３．０ｇ／ｃｍ³以上、熱伝導率２００ｗ／ｍ・ｋ以上の炭化ケイ素焼結体からなる加熱体と、加熱体に通電して前記加熱体を昇温させる、かさ密度２．２ｇ／ｃｍ³以下、熱伝導率１００ｗ／ｍ・ｋ以下の炭化ケイ素焼結体からなる１対の電極と、を備え、加熱体と電極は、接合材を加熱焼結して得られる炭化ケイ素焼結体を介して一体に接合されている炭化ケイ素焼結体ヒータ。 （もっと読む）

【課題】かさ密度３．１６ｋｇ／ｃｍ^３以上の耐プラズマ性炭化ケイ素焼結体及びその安定した生産方法を提供する。
【解決手段】炭化ケイ素粉末及び炭素源を含むスラリー溶液を調製する工程と、スプレードライヤー法を用いてスラリー溶液から乾燥率８９％以上の炭化ケイ素造粒粉を得る工程と、炭化ケイ素造粒粉の中から顆粒粒径分布が１５０〜５０μｍの炭化ケイ素顆粒粉を取り出す工程と、炭化ケイ素顆粒粉をホットプレス法を用いて焼結する工程と、を含む耐プラズマ性炭化ケイ素焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 電圧が印加された場合に放電が生じる等の不都合が生じず、かつ高い熱伝導率を維持しつつ、低い体積抵抗率を有する窒化アルミニウム焼結体およびそれを用いた静電チャックを提供すること。
【解決手段】 ランタノイド元素を酸化物換算の含有量で、０．５質量％以上、７質量％以下含有させて、窒化アルミニウム結晶の粒界にランタノイド元素とアルミニウムとの複合酸化物が形成され、常温での体積抵抗率が１×１０^９〜１×１０^１４Ω・ｃｍである窒化アルミニウム焼結体を得る。この窒化アルミニウム焼結体を被吸着体を吸着する誘電体層２として用い、その下に設けられた電極３に電圧を印加することにより被吸着体１０を吸着する。 （もっと読む）

【課題】耐食性を損なわせることなくその端部劣化を軽減した高寿命のボートを提供する。
【解決手段】二硼化チタンと、窒化硼素と、ストロンチウム化合物と、アルミニウム化合物とを含むものにおいて、更に０．１〜８．５質量％の炭窒化チタンを含有してなるセラミックス焼結体。硼化チタンが４０〜６０質量％、窒化硼素が３５〜５５質量％、炭酸ストロンチウムが０．３〜２．５質量％、並びにアルミニウム、アルミナ及び窒化アルミニウムから選ばれた少なくとも１種がＡｌ換算で０．３〜２．０質量％を含む原料粉末を成型し、それを非酸化性雰囲気中、温度８００〜１０００℃で1〜３時間保持した後、更に温度を高めて焼成するに際し、少なくとも、温度が１８００〜２２００℃の間でホットプレスをすることを特徴とするセラミックス焼結体の製造方法。本発明のセラミックス焼結体で構成された金属蒸発用発熱体。 （もっと読む）

【課題】 高密度ＬＳＩ検査用のプローブガイドに適用可能な、薄肉で深い穴やスリットを精度よく形成できる快削性を持ち、かつ画像処理装置を使用して加工形状の検査や位置合わせが反射光で妨害されないように、均一に黒色化された、熱膨張係数の低いセラミックスを提供する。
【解決手段】 窒化珪素25〜60質量％および窒化硼素40〜75質量％を骨材とし、焼結助剤を添加した原料粉末に、ジルコニアを骨材の 0.1〜20質量％の量で添加し、還元性雰囲気で焼成する。焼成中のジルコニアの還元によりセラミックスが黒色化する。この黒色化は他のセラミックスの黒色化にも応用できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、緻密かつ高剛性の炭化ケイ素焼結体とその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】アルミニウム、ケイ素、希土類元素を含む酸窒化物を２〜２０質量％含む炭化ケイ素セラミックスであって、前記酸窒化物中のアルミニウムと希土類元素の比率が質量比で９５：５〜３０：７０の範囲であり、かつ、前記炭化ケイ素セラミックスの密度３．０ｇ／ｃｍ^３以上、ヤング率３８０ＧＰａ以上、好ましくは、前記の炭化ケイ素セラミックスの密度が３．２０ｇ／ｃｍ^３以上、ヤング率４２０ＧＰａ以上であることを特徴とする高緻密質炭化ケイ素セラミックス。 （もっと読む）

【課題】高硬度鋼の高速切削加工で優れた仕上げ面精度を長期にわたって発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具を提供する。
【解決手段】分散相を形成する立方晶窒化ほう素相と連続相を形成する窒化チタン相との界面に超高圧焼結反応生成物が介在した組織を有する切削チップ本体の表面に硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具において、（ａ）硬質被覆層は、１．５〜３μｍの平均層厚を有する下部層と０．３〜３μｍの平均層厚を有する上部層とからなり、（ｂ）下部層は、特定の組成式を満足するＴｉとＡｌとＳｉの複合窒化物層からなり、（ｃ）上部層は、一層平均層厚がそれぞれ０．０５〜０．３μｍの薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、薄層Ａは、特定の組成式を満足するＴｉとＡｌとＳｉの複合窒化物層、薄層Ｂは、Ｔｉ窒化物（ＴｉＮ）層からなる。 （もっと読む）

【課題】ＳｉＯ_２膜に替わる特性を備えた高誘電体ゲート絶縁膜として使用することが可能であるＺｒＯ_２・ＳｉＯ_２又はＨｆＯ_２・ＳｉＯ_２膜の形成に好適な、耐脆化性に富むシリサイドターゲット及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ＭＳｉ_{０．８−１．２}（Ｍ：Ｚｒ、Ｈｆ）からなり、遊離Ｓｉが存在せず、相対密度が９９％以上であり、かつ平均結晶粒径が３０μｍ以下であることを特徴とする耐脆化性に優れたゲート酸化膜形成用シリサイドターゲット。 （もっと読む）

【課題】 ＳｉＯ_２膜に替わる特性を備えた高誘電体ゲート絶縁膜として使用することが可能であるＺｒＯ_２・ＳｉＯ_２又はＨｆＯ_２・ＳｉＯ_２膜の形成に好適な、耐脆化性に富むシリサイドターゲットの製造方法を提供する。
【解決手段】 水素化金属（Ｍ）粉とＳｉ粉を１：０．８〜１：１．２のモル比に調製・混合した後、焼成し、焼成の際の加熱により、脱水素とシリサイド化を一度に行い、得られたシリサイド粉を粉砕し、これを焼結して、遊離Ｓｉが存在せず、相対密度が９９％以上であるＭＳｉ_{０．８−１．２}（Ｍ：Ｚｒ、Ｈｆ）からなる焼結体を製造する。耐脆化性に優れたゲート酸化膜形成用シリサイドターゲットが得られる。 （もっと読む）

【課題】有用な透明酸化物薄膜を安定且つ高速に製造するためのスパッタリングターゲット用焼結体、透明酸化物薄膜、及びガスバリア性透明樹脂基板を提供すること。
【解決手段】焼結体は、導電性酸化物と炭化シリコンで構成されている。焼結体中のシリコン含有量が、焼結体中の全金属元素含有量に対して０．５〜９９．５原子％の割合であることを特徴とする。透明酸化物薄膜は、前記焼結体を原料として用いて、スパッタリング法で製造され、シリコンを含むことを特徴とする。ガスバリア性透明樹脂基板は、樹脂フィルム基材の少なくとも一方の面側に前記透明酸化物薄膜を形成することにより得られる。 （もっと読む）

【課題】ＴｉＢ_２、ＴｉＣの持つ特性すなわち、高硬度、軽量、高導電性、高熱伝導性という特性を十分に活用し、さらに靭性、難焼結性を著しく改善すると共に、その他の特性も同時に向上させることのできるＴｉＢ_２基Ｔｉ−Ｓｉ−Ｃ系複合セラミックス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ＴｉＢ_２、ＴｉＣ及びＴｉ_３ＳｉＣ_２からなる相を備え、高ヤング率、高硬度、高破壊靭性の特性を有することを特徴とするＴｉＢ_２基Ｔｉ−Ｓｉ−Ｃ系複合セラミックス。 （もっと読む）

【課題】ＴｉＣの持つ特性すなわち、高硬度、軽量、高導電性、高熱伝導性という特性を十分に活用し、さらに靭性、難焼結性を著しく改善すると共に、その他の特性も同時に向上させることのできるＴｉＣ基Ｔｉ−Ｓｉ−Ｃ系複合セラミックス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】Ｔｉ_３ＳｉＣ_２、ＳｉＣ及びＴｉＣからなる相を備え、高密度、高ヤング率、高硬度、高破壊靭性の特性を有することを特徴とするＴｉＣ基Ｔｉ−Ｓｉ−Ｃ系複合セラミックス。 （もっと読む）

【課題】耐食性と耐熱衝撃性が更に向上したセラミックス焼結体と、このセラミックス焼結体の容易な製造方法と、このセラミックス焼結体で構成された長寿命のボートを提供する。
【解決手段】
二硼化チタン、窒化硼素及びストロンチウム化合物を含有してなり、窒化硼素のＣ軸格子定数が６．６６６Å以下であり、３点曲げ強さが６０〜１３０ＭＰａ、弾性率が４０〜６０ＧＰａであることを特徴とするセラミックス焼結体。このセラミックス焼結体で構成された金属蒸発用発熱体。特定二種の窒化硼素粉末と二硼化チタン粉末とストロンチウム化合物粉末とを含有してなる原料粉末を焼結することを特徴とするセラミックス焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】加熱時のガス放出量を低減させたセラミックスとその製造方法、及びこのセラミックスで構成された長寿命のボートを提供する。
【解決手段】０．２〜７．５質量％の酸化ストロンチウムと０．８質量％以下（０は含まない）の酸化硼素とを含み、二硼化チタン及び窒化硼素を主成分とする相対密度が９０％以上のセラミックス。二硼化チタンを４０〜６０質量％、窒化硼素を３０〜６０質量％、平均粒径が１０μｍ以下の酸化ストロンチウムを０．５〜８．５質量％を含む混合原料粉末を成形した後、非酸化性雰囲気下、温度１７００〜２２００℃、圧力１０ＭＰａ以上で焼結することを特徴とするセラミックスの製造方法。上記セラミックスで構成されてなる金属蒸発用容器。 （もっと読む）

【課題】研磨による平坦性に優れた窒化アルミニウム焼結体を提供する。
【解決手段】粒界強度を向上させると共に、且つ、焼結処理中に窒化アルミニウムと固溶することにより粒界相として存在しなくなるＳｉＯ_２又はＭｇＯを窒化アルミニウム粉末に微量添加し、１６００［℃］以上１７５０［℃］以下の低温で窒化アルミニウム粉末を焼結することにより、研磨による平坦性に優れた窒化アルミニウム焼結体を製造できることを知見した。 （もっと読む）

【課題】高温雰囲気下において静電チャックの基体材料に利用して好適な体積抵抗率を示し、且つ、体積抵抗率の温度依存性が小さい窒化アルミニウム焼結体を提供する。
【解決手段】窒化アルミニウム（ＡｌＮ）粒子１の粒界に体積抵抗率の温度依存性が低い（Ｓｍ，Ｃｅ）Ａｌ_１１Ｏ_１８粉末を連続的に形成して導電経路２を形成することによって、粒界相の体積抵抗率の温度依存性を小さくすると共に、ＡｌＮ粒子１内にＣとＭｇの少なくとも一方を固溶させ、導電経路２がＡｌＮ粒子１内に移行しないようにすることによって、高温雰囲気下においてもＡｌＮ粒子１内の体積抵抗率を高い値に維持させる。 （もっと読む）