【課題】溶融金属に対する耐食性が大きいセラミックス焼結体と、このセラミックス焼結体で構成された長寿命のボートを提供する。
【解決手段】二硼化チタン及び／又は二硼化ジルコニウムを３０〜８０質量％、窒化硼素を２０〜７０質量％含有し、しかも表面層、中間層及び裏面層を有するセラミックス焼結体であって、セラミックス焼結体の厚みに対する中間層の比率が１０〜８０％、表面層と裏面層の比率がそれぞれ少なくとも１０％であることを特徴とするセラミックス焼結体。本発明のセラミックス焼結体の表面層を溶融金属の蒸発面としてなることを特徴とする金属蒸着発熱体。 （もっと読む）

【課題】ナトリウム金属等を含むフラックスを使用して単結晶を育成するのに際して、高温で単結晶を育成した場合であっても、反応容器内のフラックスによる反応容器の膨潤や浸潤を防止できるようにすることである。
【解決手段】アルカリ金属とアルカリ土類金属との少なくとも一方を含むフラックスを使用して単結晶を育成するのに使用する反応容器２５であって、窒化チタンと窒化ジルコニウムとの一方または双方を主成分として含むセラミックスからなる反応容器２５を提供する。 （もっと読む）

【課題】 導電体や抵抗体として有用な導電性窒化アルミニウム焼結体を提供する。
【解決手段】 窒化アルミニウム−希土類化合物、窒化アルミニウム−アルカリ土類化合物、又は窒化アルミニウム−希土類化合物−アルカリ土類化合物系にカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を外掛けで０．３〜１２重量％含む混合物を成形し、焼結してなる導電性窒化アルミニウム焼結体であり、相対密度９５％以上の窒化アルミニウム焼結体の粒界部にカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を含む窒化アルミニウム燒結体である。
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【課題】曲げ強度を容易に向上させることができるｈＢＮ質焼結体の製造方法を提供すること。
【解決手段】比表面積が３０ｍ^２／ｇ以上で、粒度分布の最大値が１０μｍ以上４０μｍ以下の領域にある窒化硼素粉末単身又はそれを含む原料粉末を成形した後、常圧焼結又はホットプレス焼結することを窒化硼素質焼結体の製造方法。本発明においては、成形体を窒化硼素製容器又は窒化硼素で内張りされた容器に入れ、窒素体積分率が８０％以上の非酸化性ガス雰囲気中、温度１８００℃以上で焼結することが好ましい。また、原料粉末が、本発明に係る窒化硼素粉末を２０重量％以上含むものであることが好ましい。 （もっと読む）

【目的】炭化ケイ素セラミックス中に分散溶液を用い気相法炭素繊維を高分散させることにより、従来と比して製造工程を簡略化し、破壊靭性、強度に優れさらに導電性を付与させたセラミックス複合材料を提供する。
【構成】本発明では、上記目的を達成するため、混合機もしくは粉砕機を使用し、特定の分散溶媒中で、セラミックス、炭素繊維、及び焼結助剤を混合し、炭素繊維をセラミックス中に均一に分散させ、脱有機処理を行った後焼結させることにより破壊靭性及び強度に優れた導電性セラミックス複合材料を製造する。 （もっと読む）

【課題】 高密度高性能のＳｉＣ焼結体を提供しようとする。
【解決手段】 積層無秩序構造を持つ平均粒径が０よりも大きく１００ｎｍ以下のＳｉＣ粒子と不可避不純物とから成る被焼結粉末を焼結して成り、相対密度９９．４０〜９９．９９％、平均径１０〜５００ｎｍで断面数密度が１〜７０個／μｍ^２の残留ポアを有し、α−ＳｉＣ構造、β−ＳｉＣ構造、α−ＳｉＣとβ−ＳｉＣとの混在構造から選択される構造を有する焼結体である。
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【課題】 高硬度と高靭性とを両立できる複合焼結体を提供する。
【解決手段】Ａｌ_２Ｏ_３と、ＴｉＣ、ＴｉＮまたはＴｉＣＮの群から選ばれる少なくとも１種の化合物とで構成された長尺状の芯材４の外周を、Ｍｇを含有したＳｉ_３Ｎ_４質焼結体からなる表皮材８にて被覆した繊維状構造からなる複合焼結体１である。
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セラミック体（２０）、ならびにセラミック体（２０）を作るためのホットプレス法または完全密度までの焼結法。ホットプレスされたセラミック体（２０）は約１５から約３５体積パーセントの間の炭化ホウ素相、および少なくとも約５０体積パーセントのアルミナを含有する。完全密度まで焼結されたセラミック体（２０）は約１５から約５０体積パーセントの間の炭化ホウ素相および少なくとも５０体積パーセントのアルミナを含有する。基体（２１）はさらに次の成分（ａ）〜（ｂ）の少なくとも１つを含み；ここで成分（ａ）および（ｂ）の合計量は完全稠密化を達成するために有効な量であり、ここで成分（ａ）および（ｂ）は、（ａ）アルミニウム、マグネシウムおよび亜鉛のうちの１以上を含む金属成分；および（ｂ）炭素を含有する還元成分を含む。
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【課題】溶融金属による浸食を軽減することにより長寿命化を達成することができるセラミックス焼結体及びこのセラミックス焼結体で構成された金属蒸着発熱体（ボート）を提供する。また、溶融金属のスプラッシュを低減させることができるセラミックス焼結体及びこのセラミックス焼結体で構成された金属蒸着発熱体（ボート）を提供する。
【解決手段】二硼化チタン（ＴｉＢ_２）及び／又は二硼化ジルコニウム（ＺｒＢ_２）と、窒化硼素（ＢＮ）と、必要に応じて窒化アルミニウム（ＡｌＮ）とを含有してなるセラミックス焼結体であって、これらの成分から選ばれた少なくとも一種の成分の濃度が、厚み方向において、有位に異なっている部分があることを特徴とするセラミックス焼結体。このセラミックス焼結体からなる金属蒸着発熱体（ボート）。 （もっと読む）

【課題】 低い温度で十分に原材料からの転換率が得られ、粒子サイズが小さく、不純物が少ない粉末状の炭化ケイ素の製造方法を提供する。
【解決手段】 （Ａ）Ｓｉ元素および一種以上の遷移金属元素を含む合金、金属ケイ素粉末および遷移金属粉末を含む混合物、金属ケイ素粉末および遷移金属化合物を含む混合物のいずれかと、（Ｂ）鎖状飽和炭化水素、鎖状不飽和炭化水素、環状飽和炭化水素、アルコールおよび芳香族炭化水素からなる群から選択される一種類以上の置換または未置換の炭化水素とを、３７０〜８００℃の温度範囲にて反応させる工程を含む炭化ケイ素の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 マイルドな高圧高温条件下においてもｃＢＮ粒子の焼結が促進され、高純度でかつ十分強固に焼結したｃＢＮ焼結体（多結晶体）を提供すること。
【解決手段】 立方晶窒化硼素多結晶体の製造方法において、原料の立方晶窒化硼素粉末の表面を、水素中におけるプラズマ処理により高純度化、安定化させることを特徴とする立方晶窒化硼素多結晶体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】二硼化チタンと窒化ホウ素を必須成分とするセラミックス焼結体を生産性を高めて製造する。
【解決手段】頻度粒度分布において０．５〜５μｍの領域と５〜５０μｍの領域とに極大値を有する窒化ホウ素粉末と、二硼化チタン粉末とを含有してなる原料粉末を成形した後、非酸化性雰囲気下、焼結することを特徴とするセラミックス焼結体の製造方法。この場合において、原料粉末が、更に窒化アルミニウム粉末、又は窒化アルミニウム粉末と酸化カルシウム粉末及び／又は酸化ストロンチウム粉末からなる焼結助剤とを含むこと、などが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 比抵抗が小さく、抗折強度が大きい導電性セラミック焼結体及びその製造方法並びにこれを用いたセラミックヒータ及びセラミックグロープラグを提供する。
【解決手段】 本発明のセラミックヒータは、窒化珪素と炭化タングステとを含有し、比抵抗が３９０〜１３００μΩ・ｃｍであり、且つ抗折強度が８００ＭＰａ以上である発熱抵抗体を有する。また、本発明のセラミックヒータの製造方法は、発熱抵抗体が、含有する酸素量が０．９質量％以下であり、焼成後、窒化珪素となる窒化珪素粉末と、焼成後、炭化タングステンとなる炭化タングステン粉末とを、該窒化珪素粉末と該炭化タングステン粉末との合計を１００質量％とした場合に、炭化タングステン粉末が５８〜７３質量％含有するように混合し、その後、焼成する。 （もっと読む）

【課題】高温アンモニアガスに対する耐性と耐磨耗性があり、しかもＢ_２Ｏ_３放出の少ない３−５族化合物製造装置用部材を提供する。
【解決手段】窒化硼素と窒化珪素とを含む複合焼結体からなり、エタノール可溶の酸化硼素含有量が０．１質量％以下（０％を含む）で、相対密度が８０％以上であることを特徴とする３−５族化合物製造装置用部材。平均粒径が５〜２５μｍ、エタノール可溶の酸化硼素含有量が１質量％以下（０％を含む）である窒化硼素粉末を１０質量%以上と、窒化珪素粉末を９０質量％以下とを含み、両粉末の合計が９０質量％以上（１００％を含む）である混合粉末を、非酸化性雰囲気下又は真空中、焼結することを特徴とする上記３−５族化合物半導体用部材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】溶融金属に対する濡れ性を改善し、長寿命化を達成することができる金属蒸発ボートを提供する。
【解決手段】二硼化チタン（ＴｉＢ_２）及び／又は二硼化ジルコニウム（ＺｒＢ_２ ）と窒化硼素（ＢＮ）を含有してなるセラミックス焼結体の上面に、通電方向と平行でない方向に、溝の深さに有位差をつけて複数の溝を設けてなることを特徴とする金属蒸発発熱体。この場合において、（１）一つの溝において、又は溝と溝同士間において、溝の深さの有意差があること、（２）溝の深さの有意差が、溝の最深部の深さに対して１０％以上、特に３０％以上であること、（３）複数の溝のうち、最深部を有する溝を、セラミックス焼結体の長手方向に対して中心部又はその近傍に設けること、（４）複数の溝のうち、最浅部を有する溝を、セラミックス焼結体の長手方向に対して一端又は両端に設けること、（５）溝の数が１０以上であること、などが好ましい。 （もっと読む）

各々が、第一材料を含有する硬質粒子とレニウムもしくはＮｉベース超合金を含む第二の異なる材料を含有する結合剤マトリックスとを含有する超硬金属組成物。２ステップ焼結法を利用して、比較的低い焼結温度にして固体相で上記超硬合金を製造し、実質的に完全に緻密化した超硬合金を生産することができる。 （もっと読む）

【課題】 温度変化に伴う体積抵抗率の変化が小さい窒化アルミニウム焼結体、およびそれを用いた静電チャックを提供する。
【解決手段】 サマリウムとランタンの少なくとも１種を酸化物換算で０．５質量％以上７．０質量％以下含有し、かつ、鉄およびニッケルの含有量が１８０ｐｐｍ以下であり、残部が実質的に窒化アルミニウムからなり、２３℃の体積抵抗率が５×１０⁸〜１×１０¹⁴Ω・ｃｍであり、かつ、２００℃の体積抵抗率が５×１０⁸Ω・ｃｍ以上であって、２３℃の体積抵抗率と２００℃の体積抵抗率のそれぞれの常用対数を取ったときのその差が２以下である窒化アルミニウム焼結体を得る。この窒化アルミニウム焼結体を被吸着体を吸着する誘電体層２として用い、その下に設けられた電極３に電圧を印加することにより被吸着体１０を吸着する。 （もっと読む）

【課題】窒化アルミニウム質焼結体の耐蝕性、特にハロゲン系腐食性ガスのプラズマに対する耐蝕性を、一層向上させる。
【解決手段】窒化アルミニウム質焼結体は、窒化アルミニウムを主成分とし、窒化アルミニウム結晶の多結晶構造を有しており、マグネシウムを含有している。本焼結体は、好ましくは、マグネシウムを酸化物換算で０．１重量％以上、２０重量％以下含有しており、７００℃における体積抵抗率が１×１０^７Ω・ｃｍ以上であり、熱伝導率が８０Ｗ／ｍ・Ｋ以下であり、マグネシウムの少なくとも一部が窒化アルミニウム結晶に固溶しており、Ｘ線線回折により、実質的に構成相が窒化アルミニウム単相と見なされており、マグネシウムを除く金属不純物量が６００ｐｐｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】 窒化アルミニウム焼結体中の気孔を極力減少させることにより、均熱性に優れたサセプタを提供する。
【解決手段】 本発明の窒化アルミニウム焼結体は、含有するビスマスと塩素の量を一定値以下に制御する。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする窒化アルミニウム焼結体において、窒化アルミニウム焼結体中のビスマスの含有量が３０ｐｐｍ以下であり、かつ塩素の含有量が１００ｐｐｍ以下であることを特徴とする。前記窒化アルミニウム焼結体に、抵抗発熱体が形成されていることが好ましく、半導体加熱用部品として使用されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】電気抵抗の低温側極大現象を抑制したセラミックス焼結体を提供する。熱衝撃性と耐食性に優れた長寿命のボートを提供する。
【解決手段】ＴｉＢ_２を４０〜６０質量％、ＢＮを４０〜６０質量％、並びに金属及び／又は金属化合物を金属分として０．２〜３質量％を含み、当該金属及び／又は金属化合物の金属がＦｅ、Ｖ、Ｍｎ、Ｃｕ及びＳｉから選ばれた少なくとも一種であり、相対密度が９０％以上であるセラミックス焼結体。ストロンチウム及び／又はストロンチウム化合物をＳｒ分として０．２〜７．５質量％を更に含有させてなる上記セラミックス焼結体。これらのセラミックス焼結体で構成された金属蒸発用発熱体（ボート）。 （もっと読む）