【課題】 スパッタリングのターゲットとして用いられた場合に、スパッタリング装置内に水分等が含まれるのを抑制することにより、ＤＬＣ膜の諸特性を飛躍的に向上させることができる金属‐炭素複合材料を提供することを目的としている。
【解決手段】 炭素、バインダー、及び、金属又は金属化合物を混練、粉砕した後、粉砕物を成形して成形体を作製し、更に、この成形体を１３００℃以上で熱処理する工程を有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】低密度でありながら充分な剛性を有する炭素質音響振動板を提供する。
【解決手段】炭素質音響振動板の外表面に、縦方向および横方向の２方向において周期的な凹凸２０を設ける。 （もっと読む）

【課題】炭素を含む材料に、表面を平滑に保持しつつ、微細な凹凸構造を形成可能な表面加工方法等を提供する。
【解決手段】処理装置３０で、炭素を含む材料である被処理物３１の表面を、水素が体積含有比率で５０％以上含むガスまたはフルオロカーボンと酸素とからなりフルオロカーボンと酸素との体積含有比率が１：４〜１：１であるガスを処理ガスとし、この処理ガスから生成したプラズマを用いて反応性イオンエッチング等の乾式エッチングを行い加工することにより、突起状の凹凸または孔状の凹凸を含む微細構造を作製する表面処理方法等を製造する。 （もっと読む）

本発明は、内部に補助材が配された孔を有する炭素発泡体を含む炭素発泡体複合体、及び、その炭素発泡体複合体の製造方法を提供する。この炭素発泡体複合体は、耐久性及び防水性を必要とする様々な分野に用いることができる。 （もっと読む）

【課題】炭素材料の表面エネルギーを低減させるための簡便な方法を提供する。
【解決手段】炭素材料を、炭素数８〜３０のアルキル基またはフルオロアルキル基を含む原子団を外表面に有するフラーレン誘導体で被覆することにより炭素材料の表面処理を行う。フラーレン誘導体で炭素材料を被覆する簡便な方法としては、該フラーレン誘導体の溶液を炭素材料に接触させ、ついで乾燥させる方法が好ましい。このとき用いる溶媒としては、トルエン等の溶媒を用いる。 （もっと読む）

【課題】金属不純物でシリコンウエハの汚染を大幅に少なくすることが可能なガラス状炭素製プラズマエッチング用電極を提供する。
【解決手段】貫通孔内壁を含む全表面に付着した鉄付着量が、全表面積に対し、２μｇ／ｃｍ^２以下であるガラス状炭素製プラズマエッチング用電極。 （もっと読む）

【課題】気孔率、気孔径の大きな開気孔を有し、圧縮強度、透気率が良好なレベルにある多孔質ガラス状カーボン材の製造方法と多孔質ガラス状カーボン材を提供すること。
【解決手段】平均粒子径10〜900μmの球状熱揮散性樹脂粒子100重量部と、該球状熱揮散性樹脂粒子の粒子径の1/2以上の平均粒子径を有する熱硬化性樹脂粒子5〜30重量部を混合し、混合粉を金型に充填し、熱硬化性樹脂の軟化点より低い温度域において加圧下に加熱して熱硬化性樹脂を軟化させて成形した成形体を空気中で150〜250℃の温度に加熱して球状熱揮散性樹脂粒子を熱揮散させるとともに熱硬化性樹脂を硬化し、非酸化性雰囲気下に800〜2500℃の温度に加熱して焼成炭化する製造方法と気孔率が80〜95％、平均気孔径が5〜250μm、圧縮強度が0.6〜3MPa、透気率が0.005〜0.04m^３/Pa.secの特性を有する多孔質ガラス状カーボン材。 （もっと読む）

【課題】円筒と半円筒で成る接合体であっても寸法の狂いが生じることなくガラス状炭素製の炉心管を製造することができるガラス状炭素製炉心管の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】熱硬化性樹脂で形成された円筒体の外表面に、その円筒体と略同一長であって且つ小径の熱硬化性樹脂で形成された円筒を略二分割した形状の半円筒体の平行な両端縁を、前記円筒体と前記半円筒体の軸方向が平行になるように接合して接合体とする工程と、その接合体を炭素化処理する工程と、前記円筒体のうち前記半円筒体の両端縁で囲まれた除去部を除去加工する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】高圧を長時間加えなくても成形型の凹部に熱硬化性樹脂を充填可能で、その上、成形型からの脱型時における樹脂の変形や破損が抑えられたガラス状炭素の製造方法の提供。
【解決手段】粘度が２００Ｐ以下、成形収縮率が２．０〜８．０％である熱硬化性樹脂を成形型の凹部に流し込ませる樹脂充填工程と、成形型に流し込ませた熱硬化性樹脂を加熱により成形する成形工程と、成形した樹脂を脱型させる脱型工程と、脱型させた樹脂を炭化させる炭化工程と、を有するガラス状炭素の製造方法。 （もっと読む）

【課題】耐食性と強度に優れ、腐食環境下に晒される半導体製造装置チャンバーに好適なガラス状炭素製チャンバーを提供する。
【解決手段】熱硬化性樹脂を成形して得た円筒状成形体１を加熱しつつ組成変形させて異形管を得、これを不活性雰囲気中１０００℃に加熱して得られるガラス状炭素からなる半導体製造装置用ガラス状炭素製チャンバーであり、その軸心線方向と垂直な断面の形状がレーストラック形状をなしていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】焼結時における炭素系母材による被焼結体への浸炭現象や、被焼結体の炭素系母材との溶着などを抑制し得る焼結用セッター材を提供する。
【解決手段】炭素系母材表面に、ガラス状カーボン４０質量％以上を含む炭素質材料を用いて形成された厚さ１０〜１０００μｍの被覆層を形成し、かつ当該被覆層がその表面に露出したセラミックス粒子を保持する焼結用セッター材。 （もっと読む）

【課題】 ガラス状炭素成形体を製造するに際し、熱硬化性樹脂成形体の加熱を行う炭素化工程において生産性を考慮した工業的に実施可能な昇温速度を採用しても、従来の７ｍｍ程度が上限とは違って例えば１０ｍｍを超えるような肉厚の熱硬化性樹脂成形体から亀裂などのない健全なガラス状炭素成形体を得ること。
【解決手段】 熱硬化性樹脂成形体を不活性雰囲気中で加熱して炭素化する工程を含むガラス状炭素成形体の製造方法において、前記熱硬化性樹脂成形体が、表面に開口する一つ以上のガス抜き穴を有しており、該熱硬化性樹脂成形体内部の任意の点から外部表面又はガス抜き穴の表面までのいずれか近い方の距離をｒ（ｍｍ）とし、炭素化工程における４００℃から６００℃までの平均昇温速度をｘ（℃／ｈ）とするとき、ｒ＜（８．０−ｘ・ａ）／２の関係［ただし、ａ＝１（ｍｍ・ｈ／℃）］を満足していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス状カーボンをドライエッチング法にて加工した場合、ガラス状カーボン表面に存在する応力や不純物によって、局所的なエッチング速度の増加が生じ、エッチング斑や面粗度悪化が発生してしまう。
【解決手段】本ガラス状カーボン基材の微細加工方法は、ガラス状カーボン基材を用意し、ハロゲンガス雰囲気、２０００℃以上２５００℃以下の温度で１〜１０時間の熱処理を行う工程と、この工程後にドライエッチング加工を行う工程を有する。 （もっと読む）

【課題】 フラーレンを用いた加圧焼結法によって、従来のように異なる結晶からなるものや、ポリマー化したものとは異なり、単一構造を有し、力学的強度、及び電気伝導性の高い優れた特性を備えたガラス状炭素類似構造による緻密な組織を有する緻密硬質導電性カーボンを提供する。
【解決手段】 フラーレンウィスカーを炭素源とし、これを高温（８００〜1２００℃
）で加圧焼結（０．１ＭＰａ〜１０ＧＰａ）し、フラーレン構造をガラス状炭素類似構造に変化させる。 （もっと読む）

【課題】 簡易に製造することができて、量産性に優れたガラス状炭素製屈曲パイプ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 継ぎ目のない屈曲部を有することを特徴とするガラス状炭素製屈曲パイプである。また、継ぎ目のない屈曲部を有するガラス状炭素製屈曲パイプの製造方法であって、熱硬化性樹脂を成形して直管の熱硬化性樹脂製パイプを得る工程と、この直管の熱硬化性樹脂製パイプに、その屈曲すべき部分を加熱した状態で曲げ力を加えて塑性変形させることにより屈曲部を形成し、屈曲部を有する熱硬化性樹脂製屈曲パイプを得る工程と、得られた熱硬化性樹脂製屈曲パイプを炭素化する工程と、を含むことを特徴とするガラス状炭素製屈曲パイプの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 複数個の部材が接合された構造を有し、かつ接合構造体として十分に実用できる強度を有するガラス状炭素製部品及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 各々の肉厚が４ｍｍ以下の複数個の熱硬化性樹脂製部材を接合する工程と、得られた熱硬化性樹脂製部材接合体の接合部分に、接合された熱硬化性樹脂製部材同士それぞれに当接するように肉厚４ｍｍ以下の複数個の熱硬化性樹脂製補強リブ片を配置し、接着剤として液状熱硬化性樹脂を用いて前記熱硬化性樹脂製部材同士に前記熱硬化性樹脂製補強リブ片を接着する工程と、接着を行った接着剤を加熱により硬化させる工程と、硬化後、接着剤付着による厚肉部分を肉厚４ｍｍ以下に削る工程と、得られた補強リブ付き熱硬化性樹脂製部材接合体を炭素化する工程と、を含むことを特徴とするガラス状炭素製部品の製造方法。 （もっと読む）

本発明は、多孔質の炭素繊維マトリクス（１５）を有することを特徴とする多孔質構造に係る。該多孔質マトリクスは、密封層（１９，２３）によってその面（１７，２１）のうち１つで範囲を定められる。該密封層は、炭素繊維、炭素ナノチューブ、ガラス性炭素から選択された要素で作られ、炭素炭素結合によって多孔質マトリクスに対して固定される。本発明はまた、かかる多孔質構造を作る方法に係る。本発明は、燃料電池及び熱交換器に対して適用可能である。
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