【課題】簡単な構造と段取り替え部品の装着、脱着だけで、サイズの異なるガラス基板を収納することができるガラス基板収納用トレイを提供することを目的とする。
【解決手段】枠部材１０ａと支持部材１０ｂとからなる枠部１０の支持部材１０ｂ上にガラス基板及びカラーフィルタ等が形成されたガラス基板等を収納するためのサポート部材２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ、２１ｅ、２１ｆが載置されており、サポート部材２１ａ、２１ｂ、２１ｅ、２１ｆの所定位置にガイドブロックを装着するための取り付け孔４１が形成されガラス基板収納用トレイのガイドブロックの取り付け孔４１に基板サイズ調整用のガイドブロック５０を装着し、サイズの異なるガラス基板を収納できるようにする。 （もっと読む）

基板処理装置は、その中に隔離雰囲気を保持することができ、基板を装置に搬入および搬出するための充電ステーションに伝達可能に接続された搬送室と、該基板を搬送するための、該搬送室内部の搬送システムと、該搬送室に沿って分散され、該基板がその間を移動できるように該搬送室に伝達可能に接続された処理室モジュールの配列と、を含む。
（もっと読む）

【課題】被吸着物の吸着面又は静電吸着装置載置面に傷がつくことを防止し、更にフッ素系の半導体クリーニングガスの耐食性に優れ、長寿命化することができる静電吸着装置を提供する。
【解決手段】半導体ウエハ、ガラス基板等の被吸着物を吸着するための静電吸着装置１において、支持基板２の一面に形成された静電吸着用電極３ａ、３ｂを覆って被吸着物を吸着する吸着面をなす絶縁層５が形成され、絶縁層５は、炭素を含み、かつ珪素、アルミニウム、イットリウム及びチタンから選ばれる１種又は２種以上の元素を含み、ビッカース硬さＨｖが５０〜１０００の熱分解窒化硼素からなる。 （もっと読む）

【課題】被処理基板に対して処理ユニットを一定の距離に保って、均一な処理を容易に行なうことができる処理装置を提供する。
【解決手段】処理装置は、被処理基板１を搬送するための搬送コロ８と、搬送コロ８を回転可能に支持するためのシャフト３とを備える。処理装置は、被処理基板１に対して処理を行なうための処理ユニット２と、地面から立設するように形成されたベース部材５とを備える。処理ユニット２は、搬送コロ８によって被処理基板１が搬送されるときに処理を行なうように配置されている。シャフト３および処理ユニット２は、共通のベース部材５に支持されている。 （もっと読む）

【課題】パッド部材と蛇腹部材との間の密着性を安定に維持でき、パッド部材の交換も可能な真空吸着パッドを提供する。
【解決手段】本発明に係る真空吸着パッド１１は、内部に排気通路１２が形成されたベース部材１３と、ベース部材１３と一体的に取り付けられ内部が排気通路１３と連通する蛇腹部材１４と、蛇腹部材１４の先端１４ｂに取り付けられ吸着孔１５ａを有するパッド部材１５とを備え、パッド部材１５は、蛇腹部材１４の先端１４ｂに嵌入され内部に吸着孔１５ａが形成された嵌入軸部１５ｂを有するとともに、蛇腹部材１４の先端１４ｂには、嵌入軸部１５ｂとの間の密着状態を保持する環状弾性部材１７が装着されている。 （もっと読む）

搬送チャンバと、搬送チャンバに沿う直線配列の基板保持モジュールと、前記チャ
ンバ内に位置する基板搬送部と、を有する基板処理装置。前記チャンバは、隔離雰
囲気を保持することが可能であり、搬送チャンバに沿って縦方向に延在する、１つ
以上の実質的に直線状の搬送経路を画定する。前記チャンバ内の搬送部は、直線状
の搬送経路に沿って、基板を搬送することが可能である。搬送部は、基板の保持お
よび移動が可能である搬送装置を有する。搬送装置は、直線経路の少なくとも１つ
に沿って移動するための、搬送チャンバの壁に接合する。搬送チャンバは、搬送チ
ャンバの向かい合う端部で、他の基板保持モジュールと嵌合するための接合部分を
有する。各接合部分は、２つ以上の直線搬送経路の少なくとも１つが通って延在す
る開口部を有し、搬送チャンバは、選択的に可変である縦方向の長さを接合部分間
に有する。
（もっと読む）

【課題】気相膜若しくは蒸着膜の製造又はドライエッチング等を行う真空処理装置に好適に用いられる基板の搬送方法であって、複数の基板を格納する基板格納装置間で基板を搬送する際に基板上に塵埃が付着することを防止し、基板上に膜を形成する際にパーティクルが混入しにくい基板搬送方法及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】３つ以上の基板格納装置間で複数の基板を搬送して格納する基板搬送方法であって、第一基板格納装置と第二基板格納装置との間での搬送は、第一基板格納装置から基板を搬出し、第二基板格納装置の棚状保持具を上昇させつつ上段から順に基板を搬入し、第二基板格納装置と第三基板格納装置との間での搬送は、第二基板格納装置の棚状保持具を下降させつつ下段から順に基板を搬出し、第三基板格納装置に基板を搬入する基板搬送方法である。 （もっと読む）

【課題】基板吸着テーブルの撓みや変形を防止することのできる位置決めテーブル装置を提供する。
【解決手段】基板吸着テーブル上に載置された基板の傾き及び高さ位置を調整する調整機構を回転テーブル１４１上に設置された三つのテーブル昇降機構１７から構成した位置決めテーブル装置において、基板吸着テーブル１２の下面部に当接するサポート部材をピストンロッドの先端部に有する５個のエアーシリンダ１８を回転テーブル１４１の周囲に配置した。 （もっと読む）

【課題】酸化物形成から完全に鋼層を保護することができるクラスタ処理装置を提供する。
【解決手段】筐体２００と、少なくとも１つの処理チャンバ２１０と、ロボット２２０と、少なくとも１つのバルブ２３０，２４０と、を備える。筐体２００は、筐体内にガスを含むとともに、筐体の開口部に蓋をするように構成された少なくとも１つの扉２０３を備える。ガスは、少なくとも１つの還元ガスを含む。ロボット２２０は、筐体２００内に設けられるとともに、扉２０３と処理チャンバ２１０との間で基板２７０を搬送するように構成されている。バルブ２３０，２４０は筐体２００へ接続される。 （もっと読む）

【課題】静電チャックの吸着面の良好な平面度を後加工することなく実現し、小さな印加電圧で大きな吸着力が得られる静電チャックを安価に提供する。
【解決手段】絶縁性基体と、当該絶縁性基体上に形成された電極、及び前記絶縁性基体及び前記電極上に形成された誘電体を有する静電チャックであって、前記絶縁性基体上に形成された電極の厚さが、前記絶縁性基体の平面度に対して１／１０以下である静電チャック。 （もっと読む）

【課題】 基板を基板ホルダ上の正確な位置に隙間なく密着させることができる基板ホルダを提供する。
【解決手段】 基板を載置する基板載置面１４と、前記基板の少なくとも一部を、前記基板載置面１４と平行な方向に移動可能にして、該基板の変形を補正する基板補正機構１５,１９とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
搬送される基板面に付着したゴミ等の異物を効果的に除去する簡単、小型且つ安価な基板搬送装置を提供する。
【解決手段】
基板４０の搬送方向に沿って所定間隔で配置された複数個の搬送コロ２２Ａ〜２２Ｄを含む搬送部２０と、この搬送部２０の搬送コロ２２Ａ〜２２Ｄのスリットノズル２４からエアー等の気体を吹き出し又は吸引する気体吹付／吸引部３０とを備えている。気体吹付／吸引部３０のブロアファン３１の吸気および排気を複数個の搬送コロ２２Ａ〜２２Ｄへ交互に供給する。 （もっと読む）

【課題】改善されたカセットつまりキャリヤおよび設備連結装置を提供する。
【解決手段】キャリア２００は筐体２１０と、キャビネット２３０と、少なくとも１つの基板保持体２７０と、を備える。キャビネット２３０はキャリヤ２００に接続される。キャビネット２３０は少なくとも１つのバルブ２４０、２５０、２６３を備え、少なくとも１つの還元流体２３５を包含する。基板保持体２７０は少なくとも１つの基板２８０を保持するように筐体２１０内に設けられる。 （もっと読む）

【課題】薄板収納容器を真空包装する際に袋が破損するのを防止する。
【解決手段】トップフランジ５と、トップフランジを覆う保護カバー４１とを備えた。トップフランジがほぼ四角形平板状のフランジ部２５を有し、保護カバーが、フランジ部全体を覆う四角形皿状に形成した。保護カバーには、フランジ部の対向する２つの辺に当接して一方向の位置決めをする一対の当接部４２と、各当接部と直交するフランジ部の２つの辺に当接して他方向の位置決めをすると共に当該２つの辺に係止する一対の係止爪４３とを備えた。保護カバーの周縁の端部から係止爪の両側の位置まで２つのスリット４５を設けて係止爪を撓みやすくした。２つのスリットで仕切られた保護カバーの周縁部と係止爪との間には係止爪を開閉させる取っ手部４４を設けた。 （もっと読む）

【課題】パネルを搬送する無端ベルトに滞留した異物を洗浄除去し、洗浄機外部へ排出する機構を備えたパネル洗浄機及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】無端ベルト６によりパネル２を定盤１２上に搬送し、洗浄ノズル１から洗浄液を噴出すると共に、洗浄ヘッド３によりパネル２の表面から異物を洗浄除去するパネル洗浄装置において、パネル表面から除去された異物のうち、無端ベルト６の内面に滞留した異物を洗浄除去するために、パネル２の搬送方向における定盤１２の後端部側に洗浄ノズル１３及び排水路１４を設置した。 （もっと読む）

【課題】プロキシミティ方式を用いたガラス基板の露光において、ガラス基板のロード／アンロード時に発生した塵埃がマスクとガラス基板との間に浮遊するのを防止する。
【解決手段】マスク２０の下の露光位置と、露光位置とは別に設けたロード／アンロード位置ａ，ｂとを有する。ステージは、チャック１０ａ，１０ｂをロード／アンロード位置ａ，ｂと露光位置との間で往復移動する。ハンドリングアーム３０ａ，３０ｂは、チャック１０ａ，１０ｂがロード／アンロード位置ａ，ｂにある時、チャック１０ａ，１０ｂに対してガラス基板１ａ，１ｂのロード／アンロードを行う。露光位置とは別に設けたロード／アンロード位置ａ，ｂでガラス基板１ａ，１ｂのロード／アンロードを行うので、ガラス基板１ａ，１ｂのロード／アンロード時に発生した塵埃がマスク２０とガラス基板１ａ，１ｂとの間に浮遊しない。 （もっと読む）

【課題】ガイドピンを用いた基板の１次整列方法を排除して基板の破れ現象を防止し、基板の整列時間を短縮させることができる基板整列方法を提供する。
【解決手段】基板受け台３１０上に第１整列表示３２１及び第２整列表示３２２が形成された基板３２０を定着させる段階と、前記基板３２０の上部に第１映像撮影装置及び第２映像撮影装置を位置させる段階と、前記第１映像撮影装置を用いて前記第１整列表示３２１の位置を検出して前記基板受け台３１０上に前記基板３２０を予備整列させる段階と、前記第２映像撮影装置を用いて前記第２整列表示３２２の位置を検出し、前記基板を再び整列させる段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】ワイヤーロープ、シーブ間等で発生するダストを周囲に飛散させることなくダスト発生位置で、簡易な方法で確実に回収できるようにしたワイヤーロープのダスト回収装置を提供すること。
【解決手段】ワイヤーロープＷを挿通して取り付けたダスト吸引ボックス１と、内部に吸引ファンを備え、かつダスト吸引ボックス１に近設して配設したダスト回収ボックス２とを、ダスト吸引ホース３にて接続する。 （もっと読む）

【課題】 クリーニング機能付搬送部材の作製の際に、クリーニングシートを搬送部材に貼り合わせる作業の回数を減らすことのできる積層クリーニングシートを提供する。
【解決手段】 本発明の積層クリーニングシートは、支持基材の片面に二層以上の粘着性を有するクリーニング層が一層ずつ剥離可能に積層され、支持基材の他方の面に感圧接着層が設けられていることを特徴とする。また、本発明は、前記積層クリーニングシートの感圧接着層表面を貼り合わせたことを特徴とするクリーニング機能付搬送部材を提供する。さらに、本発明は、前記クリーニング機能付搬送部材を基板処理装置内に搬送して基板処理装置をクリーニングすることを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】新規の基板キャリアおよび基板キャリアを使用する新規な方法により、非従来型基板にパターンを与える。
【解決手段】本発明の態様のうちの１つの態様によれば、基板キャリアと基板との間に生じた密閉空間内に確立されるバキュームを使用して、基板を所定位置に保持するように構成された基板キャリアが提供され、第２の態様によれば、基板を基板キャリアに着脱自在に固定する方法であって、基板と基板キャリアとの間に密閉空間を画定できるように、基板を基板キャリア上に位置決めし、基板と基板キャリアとの間の空間内にバキュームを確立させること、を含む方法が提供される。 （もっと読む）