【課題】構造を簡単にでき、検査作業を能率的に行える板状体検査設備を提供する。
【解決手段】板状体Ｇａ，Ｇｂの搬送経路１中で、搬送経路の側方に設けた目視検査部Ａ，Ｂに対向する部分に、昇降手段３１を介して昇降体３６を設けた。昇降体側に、搬送経路方向Ｃに沿った軸心３９ａの周りに揺動自在な揺動体４０を設け、揺動体と昇降体との間に揺動手段５０を設けた。昇降手段は昇降体を複数段階に昇降すべく構成した。揺動手段は、昇降手段により昇降体を下降している状態で、揺動体に設けた板状体支持部４１の支持面４１ａが搬送経路の搬送面１ａに対して下方に位置する水平状姿勢と、支持面が搬送面に対して上方に位置する傾斜状姿勢との間で、揺動体を複数段角度に揺動すべく構成した。搬送経路上で搬送してきた板状体を、揺動体の動作のみにより傾斜ならびに上昇できることで、構造を簡単にでき、検査作業を能率的に行える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、被被測定部材の厚さ、うねり、及びナノトポグラフィを測定する表面形状測定装置に関し、ガイドバーのガイド面に案内されて移動するスライダの横振れを小さくして、１つの装置で被測定部材の厚さ、うねり、ナノトポグラフィを精度良く測定することを課題とする。
【解決手段】 ワーク保持器９０が配設されたスライダ６１を複数の流体静圧パッド６２，６３によりガイドバー５１に対して移動可能に支持し、ワイヤ１１８を介して駆動モータ１０４の動力をスライダ６１に伝達させて、スライダ６１をＸ，Ｘ方向に移動させてワーク２９の面２９Ａ，２９Ｂの表面形状の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】平坦な物品を装置へまたは装置から搬送するための機器を提供する。
【解決手段】搬送ポッド１を、耐漏洩性の方式で処理装置９の物品通過開口部１１に結合することができ、シーリングが、間に配置されたインタフェース周辺ガスケット１６によって得られる。ポッドドア４を、インタフェースドア１２に選択的に固定することができ、これらドアを、１つのユニットとして、ドアアクチュエータ１４からの駆動の下で横断ストロークが後に続く軸方向ストロークに沿ってともに動かすことができる。搬送ポッド１は、保持手段１５によって保持される。２つのドアの周りの周辺容積２１を、ポンプ２２とダクト２３によってポンプ排気することができる。ポッドドア４を、ロック手段２０によって搬送ポッド１にロックすることができ、ロック手段２０は、搬送ポッド１が処理装置９から分離している間の良好なシーリングを保障する。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスが容易に行えるウエハローダ及び該ウエハローダによりウエハがロード・アンロードされる露光装置を提供する。
【解決手段】ウエハローダ１０は、そのチャンバ１２の床略全面に主ベース２５を敷設し、この主ベース２５上に、副ベース２６を固定及び移動可能に配置している。この副ベース２６上には、直線運動機構、プリアライメントステージ及びアンロードスライダなどが搭載される。主ベース２５には、その表面側に所定の深さの２本の案内溝２７，２８が形成される。副ベース２６をチャンバ１２の外部に引き出す際、主ベース２５上で副ベース２６を案内溝２７，２８に沿って移動させることにより、ロードロボットとアンロードロボットなどの副ベース２６の周辺位置に配置された主ベース２５上の周辺ユニットに接触することなく、円滑にチャンバ１２の外部に引き出すことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】走行台車の発進、走行及び停止時のマストの振動を抑制することにより、スタッカークレーンの搬送サイクルタイムを短縮し、安全に搬送効率を向上させること。
【解決手段】走行台車２の上にメインマスト３とサブマスト４とを所定間隔をおいて立設するとともに、メインマスト３とサブマスト４の間に、昇降台６を昇降可能に配設し、この昇降台６に移載機７を搭載したスタッカークレーンのメインマスト３とサブマスト４にガイド９を配設し、このガイド９に昇降台６のガイド受部６１を係合させるとともに、ガイド受け部６１と昇降台本体の間にダンパー８を介設する。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の搬送ロボットの回動により、搬送ロボット自身から発生する塵埃を低減して、かつ、ガラス板を含む稼働範囲を狭くすると共にガラス板の可搬送範囲を広くする。
【解決手段】駆動源による駆動アームの回動を、ガラス板を保持するエンドエフェクタを回動可能に支持する従動アームに伝達する回動伝達手段を駆動アームと従動アームとから独立して備えることで、駆動源の上方領域をエンドエフェクタが進退運動により通過できる搬送ロボット。 （もっと読む）

【課題】
半導体薄板の位置合わせ装置において、構造が簡単で再度の受け渡しをすることなく確実にウェハを保持でき、しかもウェハに損傷を与えることが殆どないようにしたい。
【解決手段】
保持したウェハＷをその主面と垂直方向の軸を中心として回転させ、周縁部をセンシングしてウェハの位置合わせを行う位置合わせ装置であり、放射状に配置したクランプバー１２を放射状配置の中心側で半径方向に移動自由に支持した保持本体２と、この保持本体２をウェハの主面と垂直方向には移動自由に支持し垂直方向の軸を中心として回転させる円筒体３と、円筒体を垂直方向の軸を中心として回転させる駆動体５と、保持本体を弾性材１０を介して垂直方向に移動させる駆動体９と、円筒体と各クランプバーに各端部を軸支連結したリンクバー１４を有し、各クランプバーは放射状配置の外側端部に各クランプバーの半径方向への移動でウェハの周縁部に接しあるいは離脱する保持爪１５を備えている。 （もっと読む）

【課題】ウェハキャリアの位置を水平方向および上下方向について効率的に調整できる搬送台車を提供する。
【解決手段】搬送台車１００は、水平移動機構および上下移動機構を備える。水平移動機構は、アーム支持部１０４を支持する２本のレール１０３を有し、操作レバー１０８に対してレール１０３の延在方向の外力が加わると、レール１０３上をアーム支持部１０４が操作レバー１０８とともに外力の方向に移動するように構成されている。上下移動機構は、水平移動機構を支持し、操作レバー１０８の回転盤１０９と連結する偏心カム１１０を備え、操作レバー１０８が回動すると、偏心カム１１０が操作レバー１０８の回転盤１０９に連動して回転し、水平移動機構が上下方向に移動するように構成されている。 （もっと読む）

重力補償装置は、基本質量（１０）によって回転軸線（１３）から第１の距離を置いたところで平衡装置（１２）に及ぼされた力を、回転軸線から第２の距離を置いたところで平衡装置に反力を及ぼす力発生装置、例えばばね（１４）によって、部分的に又は全体的に補償する。第１の距離、第２の距離又はこれら両方は、所望の重力補償具合を提供するよう選択可能である。角度可変半径を有する１つ又は２つ以上の滑車を使用するのがよい。重力補償装置は、基本質量にそれほど質量を追加することはなく、設計が単純である。
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本発明の一形態において、本発明の半導体製造システムは、不活性ガスが吸気及び排気できる真空ハウジングと、システム内に配置された多数の蒸着チャンバとを含む。本発明の装置は基板２２２、支え電極２２４、基板電源２３６、ガス吸入口２３２、質量流量計２３３、ガス供給源２８、真空ポンプシステム２３４、ポンピングポート２３６、磁石１０２、１０４、１０６、１０８、ターゲット１１０、１２０、電子制限区域１３０及び電源１４０を含む。

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少なくとも１つの基板（５）を真空プロセスにて処理するための少なくとも１つの処理チャンバ（１）を備えた、基板を処理するためのシステムであって、前記処理チャンバ（１）は、閉鎖ボディ（１５）にて閉鎖することができる基板アクセス（１３）を備え、このシステムは、少なくとも前記閉鎖ボディ（１５）を移動させるように構成された運搬デバイス（８）を備え、この運搬デバイス（８）は、前記基板（５）を前記真空プロセスの際に少なくとも部分的にカバーするためのマスク（４）を、少なくとも前記処理チャンバ（１）の外側のある位置と前記処理チャンバ（１）の内側のある位置との間で運搬するように構成される。少なくとも前記基板ホルダ（２）に、基板ホルダ（２）とマスク（４）とを互いに位置決めするための手段が提供された場合は、有利である。本発明は、更に、このようなシステムの使用に係る。
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