【課題】 構造自体を簡単化して小型化及び低コスト化を実現でき、しかも、動作の信頼性を高く維持することが可能なゲートバルブ装置を提供する。
【解決手段】 被処理体Ｗに対して所定の処理を施すための処理チャンバ４Ａ〜４Ｄの搬出入口３７に取り付けられて、真空状態の搬送室６側から前記被処理体を通過させると共に前記搬出入口を開閉するゲートバルブ装置１２Ａ〜１２Ｄにおいて、搬出入口を開閉するように着座可能になされた弁体５２と、弁体の両端部に、搬出入口に対する弁体の押圧方向に沿って設けられる弁体支持ロッド５４と、弁体支持ロッドに連結されて弁体支持ロッドに対して直交する方向への駆動力を弁体支持ロッドの弁体の押圧方向への推進力と弁体を回転する方向への回転力とに時系列的に変換するためのカム機構５６とにより構成する。 （もっと読む）

【課題】 異なるサイズのワークに対応してハンド幅を調整することができるとともに小型化で軽量化された搬送用ロボットのハンド及びそのハンドを有してワークを搬送する搬送用ロボットを提供する。
【解決手段】 ワークＰを載置する複数の載置部２ａ、２ｂを有する搬送用ロボット１００のハンド１１０（１）において、ハンド１１０（１）には、載置部２ａ、２ｂの間隔を調整する幅調整手段９，１０、１１と、幅調整手段９、１０、１１に、ハンド１００（１）とは独立の駆動源の駆動力を伝達、遮断するクラッチ手段１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】 支持体１が振り子状態に構成されているために、誤動作が生じるという点であり、又、支持体１とセンサ４は水中で使用することができないという点である。
【解決手段】 ケース６の上端が解放され、この解放されたケース内に上下支持体７がバネ８で支持され、ケース６の上端から突出した上下支持体７の上端にローラ９が装着され、上下支持体７の下端に反射体１０が装着され、反射体１０と対向したケースの下端に超音波振動子１１が装着され、この超音波振動子１１は信号検出装置１２と電線により電気的に接続され、又、信号検出装置１２には、超音波振動子１１に発振出力を印加する発振部１３が装着され、又、超音波振動子１１からの反射信号を受信するタイマ機能を持つ受信部１４が装着されている。 （もっと読む）

【課題】 設置される場所の省スペース化。
【解決手段】 搬送室２と、搬送室２に接続されて基板を傾斜させて支持して真空処理する複数の処理室３−１〜３−６と、搬送室２の内を移動する基板搬送装置６とを備えている。基板搬送装置は、複数の処理室３−１〜３−６のうちの１つの処理室から搬送室２に基板を傾斜させて支持して搬出し、複数の処理室３−１〜３−６のうちの他の処理室に搬送室２から基板を傾斜させて支持して搬入する。複数の処理室３−１〜３−６は、複数の右側処理室３−１〜３−３と、搬送室２を隔てて右側処理室３−１〜３−３の反対側にそれぞれ配置される複数の左側処理室３−４〜３−６とから形成される。このような真空処理装置１は、複数の処理室３−１〜３−６がクラスター型に配置されるときより、狭い場所に設置することができる。 （もっと読む）

【課題】
簡素な構成でありながら、被搬送物を精度良く２次元方向に搬送できる搬送装置を提供する。
【解決手段】
図１（ａ）に示すように、駆動部によりスライダＳ１、Ｓ２を近接する方向に駆動することによって、ツイーザＴをガイドレールＲから遠ざかる方向に移動させることができる。これとは逆に、駆動部によりスライダＳ１、Ｓ２を離隔する方向に駆動することによって、ツイーザＴをガイドレールＲに近接する方向に移動させることができる。更に、図１（ｂ）に示すように、駆動部によりスライダＳ１、Ｓ２を等速で同方向に駆動することによって、ツイーザＴをガイドレールＲに沿った方向に移動させることができる。即ち、スライダＳ１，Ｓ２の移動のみで、ツイーザＴが保持するウエハを２次元方向に任意の位置に搬送できることとなる。 （もっと読む）

【課題】 ウェハへの汚染が少なく加熱容器のシール性を向上する。
【解決手段】 円筒状の側壁１１０、上壁１２０、底壁１３０からなる気密構造の加熱容器１００と、加熱容器１００内に収納されるウェハＷを保持するサセプタ５００と、加熱容器１００の上壁１２０を透過して加熱容器１００内に収容されるウェハＷを加熱するランプユニット２００とを備える。また、加熱容器１００の外周に設けられ、加熱容器１００の鉛直軸を中心に回転する円筒状の外部ロータ３００と、加熱容器１００の内周に設けられ、サセプタ５００を外部ロータ３００と同心に回転させる円筒状の内部ロータ４００と、外部ロータ３００と内部ロータ４００とを加熱容器１００の側壁１１０を介して磁気的に結合して、外部ロータ３００の回転運動を内部ロータ４００に伝達してサセプタ５００を回転させる磁気結合手段６００とを備える。 （もっと読む）

【課題】発熱源からの輻射熱を有効に遮断するようにして、シートフイルムの熱膨張を効果的に抑制することができ、シートフイルムへの例えば光学的な処理（例えば画像の光学的な転写や露光等）を高精度に行う。
【解決手段】露光装置１０のワーク搬送装置１８は、シートフイルム３２が載置され、且つ、シートフイルム３２を位置決め保持するワーク載置面３４を有する露光ステージ３６と、該露光ステージ３６を上下方向に移動駆動する昇降機構３８と、定盤１４上に配設されたガイドレールに沿って移動駆動する移動ステージ４０と、該移動ステージ４０を移動駆動するための移動機構４２とを有する。そして、露光ステージ３６の下面（移動ステージ４０と対向する面）の一部に遮熱部材８０を取り付ける。本実施の形態では、露光ステージ３６の下面のうち、その周辺部分に遮熱部材８０を取り付けるようにしている。 （もっと読む）

【課題】 第１ビームおよび第２ビームの協働によって搬送される基板のずれや脱落が好適に防止されるウオーキングビーム式熱処理装置を提供する。
【解決手段】 ウオーキングビーム式熱処理装置１０によれば、共通の基板１６を協働して搬送するための固定ビーム（第１ビーム）２０および可動ビーム（第２ビーム）２２のうちの外側に位置する固定ビーム２０に、その固定ビーム２０により支持された基板１６の側縁に係合してその基板１６を案内する横方向案内突起７４が備えられているので、固定ビーム２０および可動ビーム２２の協働によって搬送される基板１６のずれや脱落が好適に防止される。 （もっと読む）

【課題】可及的に加熱立ち上がり時間を短くでき、或いは加熱処理時間を短縮できるウオーキングビーム式熱処理装置を提供する。
【解決手段】ウオーキングビーム式熱処理装置１０によれば、固定ビーム２０および可動ビーム２２は、透明な石英管から構成されたものであることから、その透明な石英管を通してハロゲンヒータ（加熱体）７８からの輻射エネルギが基板の裏面へ到達できるので、従来のウオーキングビーム式熱処理装置に比較して、均一に急速加熱することが容易となり、立ち上がり時間或いは加熱処理時間が短縮される。この結果、熱処理が基板の特性に影響を与えることが可及的に少なくされる。 （もっと読む）

【課題】 基板の撓みを防止すると共に、搬送装置との接触により搬送環境が汚染されるといった事態を回避できる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 基板搬送装置は、上表面２、下表面４、複数の柱体からなる側壁６、基板２２を進入させる後部開口１４、基板２２を送り出すための前部開口１２、側壁６と連結する複数の支持部材８、およびアクスル装置１８、を備えるハウジング１０を含む。該装置は、駆動ユニット１６と回転軸２８をさらに含み、これらが回転力を生じてアクスル装置１８に伝達すると、アクスル装置１８が回転力をさらに支持部材８に伝達し、これによって基板２２のハウジング１０への搬入出が可能となる。 （もっと読む）

【課題】アームの連動機構を工夫することにより、高清浄な作業空間への塵埃の落下を確実に防止することのできるロボットアームを提供する。
【解決手段】ハンドの姿勢を保持する姿勢保持機構220は、各一対の等長リンクからなる所定長さ比の第１及び第２リンクを各リンクの両端で他のリンクが逆回転するよう連結し、第１又は第２リンクの何れかを先端側アーム部分の一対の回動中心Ｋ，Ｌの間のハンド213で構成した一方の四節機構と、各一対の等長リンクからなる前記所定長さ比の第３及び第４リンクを各リンクの両端で他のリンクが逆回転するよう連結し、第３又は第４リンクの何れかを先端側アーム部分の一対の回動中心Ｋ，Ｌと同一直線上でハンドに一体に連結した他方の四節機構と、含み、該一方及び他方の四節機構の特定のリンク間挟角が互いに一致するよう両四節機構の特定のリンク同士を一体に連結している。 （もっと読む）

【課題】洗浄エリアにおける洗浄液、洗浄ガスが非洗浄エリアへ漏れ出すことを確実に防止可能としたワーク搬送装置を提供すること。
【解決手段】ワークの洗浄に際してワークを搬送するためのワーク搬送装置であって、隔壁３と蓋によって外部から隔離された処理槽内に配設される、それぞれにローラーを備えたローラー搬送軸５と、該ローラー搬送軸５の先端部に装着された被動側マグネット１１と、前記処理槽の外側において、前記隔壁３に形成した貫通孔１４を閉鎖した薄膜１３を介して、前記被動側マグネット１１に対向する配置で配設された駆動側マグネット１５と、該駆動側マグネット１５に連結した駆動軸２０と、ウォームギヤ２１を介して駆動軸２０に連結された伝達軸と、伝達軸が連結されたモーターと、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 断線対策費用等の増大を招くこと無く、トラブルの発生を未然に防止することができるワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】 各レール８１〜８３とワーク送り装置とでリードフレームを搬送するワーク搬送装置を構成する。各レール８１〜８３を支持する支持ブロック８４を昇降機構８７で昇降自在に支持し、昇降機構８７を、エアシリンダで水平駆動される板カム９１と、支持ブロック８４に設けられたカムフォロア９２で構成する。板カム９１を水平移動してカム面９３を転動するカムフォロア９２を上下動することで、カムフォロア９２が設けられた支持ブロック８４及び各レール８１〜８３を昇降して、各レール８１〜８３をワーク送り装置の各搬送爪に対して昇降できるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 大型化、重量化する大型フォトマスクを高清浄度で把持し、保管時および運搬時に、マスクが損傷したり、汚染したりすることを防止し、マスクの出し入れが容易なマスク用ケース、及びケース交換装置を提供する。
【解決手段】 大型フォトマスクを収納し搬送するためのトレーと上蓋からなる大型フォトマスク用ケースであって、少なくとも前記ケースの上蓋に金属のフレームと、前記フォトマスクを把持し固定するために前記金属フレームから前記ケース内部に突き出た爪と、前記金属フレームから前記ケースの外側に突き出たハンドルと、を有し、前記トレーと前記上蓋を分離した状態で、前記上蓋の内側に前記フォトマスクを前記爪で固定し、前記上蓋の外側の前記ハンドルを人間あるいは搬送装置が把持して搬送できることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
大気環境と、大気とは異なる環境とを隔てるハウジングの剛性に関わらず、高精度な移動を実現できる駆動装置を提供する。
【解決手段】
モータ９を真空チャンバＣの外側即ち大気環境側に取り付けることによって、真空チャンバＣの内部においてアウトガスが発生することを抑制でき、更に、真空チャンバＣを間に介在させることなく、フレーム１にモータ９を取り付けているので、大気圧との差圧に基づいて真空チャンバＣが変形した場合でも、その影響を回避して高精度の位置決めを実現できる。 （もっと読む）

【課題】複数の処理装置に被処理物を搬送する搬送台車に、搬送台車側位置検出手段を設けるとともに、前記搬送台車が前記複数の処理装置と前記被処理物の受け渡しを行うための停止位置のそれぞれに、停止位置側位置検出手段を設け、搬送台車側位置検出手段と停止位置側位置検出手段との相対位置を非接触センサを用いて検出することによって、前記搬送台車が前記停止位置のそれぞれに停止するように制御する搬送装置において、いずれかの停止位置の位置検出手段に物理的な力が印加された場合であっても、他の検出手段が変形して長時間の停止を必要とすることを防止する。
【解決手段】
停止位置側位置検出手段を、搬送台車側位置検出手段に衝突した時に容易に変形して、搬送台車側位置検出手段を変形させない構造とする。 （もっと読む）

【課題】スリム化及び軽量化され、動作が半永久的であり、把持される基板の損傷を最小化することができ、また、所定の工程前後の把持する際に起こる基板の汚染が低減することができる基板用グリッピング装置を提供する。
【解決手段】アクチュエータ２２にカムが連動するように装着されているカム駆動部２０と、カムが内蔵されている本体部４０と、本体部４０に放射状に装着され、カムと連動して直線運動をしながら基板を選択的に把持する多数個のグリッパを有するグリッパ部６０とが具備されている基板用グリッピング装置である。 （もっと読む）

【課題】
ベース上で少数の駆動源により正確に対象の位置調整をするとともに回転中心を自由に設定する。
【解決手段】
ベース１８１上に固定された第１，第２Ｘ方向案内部材１１１，１１３に、Ｘ方向移動可能となるように設けられた第１，第２Ｘ方向移動部材１１２，１１４と、第１，第２Ｘ方向移動部材１１２，１１４に固定された第１，第２Ｙ方向案内部材１２１，１２３に、Ｙ方向移動可能となるように設けられた第１，第２Ｙ方向移動部材１２２，１２４と、第１，第２Ｘ方向移動部材１１２１１４をＸ方向移動させる第１，第２Ｘ方向駆動装置１３１，１３２と、第１Ｙ方向移動部材１２２をＹ方向移動させるＹ方向駆動装置１３３とを備え、第１Ｙ方向移動部材１２２，第２Ｙ方向移動部材１２３には、テーブル１９１を軸支する第１，第２軸支部１４１，１４２が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】各チップの剥離を補助し得るようとりわけ大面積のかつ薄い半導体チップの剥離を補助し得るような駆動機構を提供すること。
【解決手段】接着テープ（６２）からチップ（６４）を取り外すための取外しツール（２２）を駆動するための駆動機構であって、チップの表面に垂直な第１軸線に沿って取外しツールを駆動する第１アクチュエータ（２８）と；第１軸線に垂直な第２軸線に沿って取外しツールをチップの幅方向に駆動させる第２アクチュエータ（３０）と；を具備し、第１アクチュエータが、取外しツールを第１軸線に沿ってプログラムされた態様で駆動させ、なおかつ、第２アクチュエータが、取外しツールを、チップの幅にわたって駆動させ、これにより、チップと接着テープとの間の剥離を伝搬させ得るものとされている。 （もっと読む）

【課題】 タクトタイムを短縮して、生産性を向上させるとともに、安価な真空処理装置を提供する。
【解決手段】 基板を真空処理する真空処理室と、基板を載置して搬送する基板キャリア１２、１４と、基板を大気側と真空側との間で搬入、搬出するためにＬ／ＵＬ室３０とを具備した真空処理装置１０において、真空処理装置１０の大気側の基板搬送を行う大気側基板キャリア１２と、真空処理装置１０の真空側の基板搬送を行う真空側基板キャリア１４と、大気側基板キャリア１２及び真空側基板キャリア１４相互間で、基板を受け渡しする基板受け渡し機構とを備えた構成とした。
また、タクトタイムを短縮するには、大気側基板キャリア１２をＬ／ＵＬ室３０の基板入れ替え口の前面に２以上配置可能な構成とすると一層効果的である。 （もっと読む）