【課題】粘着テープからチップを吸引コレットで真空吸着して剥離する場合において、割れや欠けの少ないピックアップ・プロセスを提供する。
【解決手段】コレット１０５がチップ１のデバイス面に向けて真空引きしながら降下し、着地する。ここで、吸着駒１０２の主要部である突き上げブロック１１０が上昇すると、チップ１はコレット１０５と突き上げブロック１１０に挟まれたまま上昇する。この時、チップ周辺は下側に応力を受け、湾曲することになる。そうするとコレット下面との間に隙間ができ、空気がコレット１０５の真空吸引系１０７に流入する結果、真空吸引系１０７に設けられたガス流量センサ２１の吸引量出力が増加する。ここで、ピックアップ部制御系１４４の指令により、突き上げブロック１１０の上昇を停止し待機状態を維持すると、ダイシングテープ４の剥離が進行して、チップ１の湾曲状態が緩和して許容範囲に戻る。 （もっと読む）

【課題】従来の基板処理装置の基板処理性能を維持しながら、製造コストを抑え、さらに基板の処理時間時間を短縮する。
【解決手段】基板保持装置３に可動部材６を設ける。可動部材６は、プランジャー６０を備え、その上端部には、ガスケット６１およびＯリング６２が固設されている。可動部材６の上側は、基板保持装置３の基板載置ステージ３０の下側から、基板載置ステージ３０に設けられた孔３７に向けて挿管される。このような構成とすれば、従来のような長い配管が不要となり、製造コストを抑えられる。また、基板９０の下面と孔３７とガスケット６１およびＯリング６２の上面とで、閉空間６６１，６６２が形成される。この状態で、可動部材６のプランジャー６０を上下駆動（進退駆動）すれば、閉空間６６１，６６２の容積を変更でき、基板９０を迅速に吸着あるいは剥離でき、基板の処理時間を短縮できる。 （もっと読む）

【課題】浮上回転によりパーティクルフリーを実現し、その構造や制御の簡略化を図ることができる処理装置を提供すること。
【解決手段】浮上用電磁石アッセンブリＦの磁気吸引力により、被処理体Ｗを支持する回転浮上体３０を浮上し、回転浮上体３０の水平方向位置を位置用電磁石アッセンブリＨの磁気吸引力により制御しつつ、回転浮上体３０を回転電磁石アッセンブリＲの磁気吸引力により回転している。浮上用電磁石アッセンブリＦは、磁気吸引力を垂直方向下方に向けて作用して、処理容器２の内壁に非接触で吊持するように、回転浮上体３０を浮上する。 （もっと読む）

【課題】搬送装置固有の占有面積を削減し、基板サイズの大型化／多様化の影響を受けないで、安定した高速搬送が実現できる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくともステージ１０と、ワイヤー供給ヘッド２０と、ワイヤー架張ヘッド３０と、ワイヤーを架張するためにワイヤー架張ヘッド３０を搬送方向と直角に移動するための第１駆動軸４０と、ワイヤー供給ヘッド２０とワイヤー架張ヘッド３０とを搬送方向に移動するための第２駆動軸５０ａ、５０ｂとから構成されてなる基板搬送装置である。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の形状に応じてユニット化された搬送シャフトを組み合わせた、芯出しの調整が不要で、取り付けが簡単な基板搬送ローラ、及びそれを用いた基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】第１の搬送シャフト１００と、第２の搬送シャフト１１０と、第３の搬送シャフト１２０とを具備し、１つ以上の第１の搬送シャフト１００が同軸上にマグネットカップリングされ、該マグネットカップリングされた１つ以上の第１の搬送シャフト１００の片側に第２の搬送シャフト１１０がマグネットカップリングされ、その反対側に第３の搬送シャフト１２０がマグネットカップリングされて成る。 （もっと読む）

【課題】複数の半導体ウエハどうしの間の間隔を大きく離すことなく効率よく安全に収納することができると同時に、半導体ウエハの出し入れを良好に行うことができる半導体ウエハ収納容器を提供すること。
【解決手段】ウエハ保持ユニット２０には、半導体ウエハＷの外周の下端エッジ縁部分のみに当接するウエハ載置枠２１と、ウエハ載置枠２１に対し上下方向に相対的に可動に配置され、半導体ウエハＷの外周の上端エッジ縁部分のみに当接するウエハ固定枠２２と、ウエハ固定枠２２がウエハ載置枠２１に対し上方に退避した状態の時に上方に移動することにより、半導体ウエハＷをウエハ載置枠２１から上方に離脱した位置に押し上げてその状態を保持するウエハリフト部材２３とを備えた単一ウエハ保持部（２１〜２３）が、複数上下に重ね合わせられた状態に配置されている。 （もっと読む）

【課題】フレーム上部からの押し下げを不要にしてチャックテーブルよりも低い位置でフレームを保持することができ、切削水の流れの滞りを防止できるとともに、フレーム離脱を自動的かつ確実に行えるようにする。
【解決手段】ウエーハＷを保持したフレームＦをフレーム支持手段４１によって下部から磁力で支持することで、フレームＦを上部から把持することなく一定量の押し下げ支持を可能とし、切削加工に際して切削水がウエーハＷ上面に滞留する等の不具合を生ずることなく切削加工を行うことができ、また、切削加工後のフレーム離脱時にはフレーム押し上げ手段４２でフレームＦをフレーム支持手段４１から磁力に抗して強制的に押し上げることで、フレーム離脱を自動的かつ確実に行えるようにした。 （もっと読む）

【課題】液晶パネル用のガラス基板等の薄板状の搬送物をエアにより浮上させた状態でその面方向に搬送する装置において、搬送ユニット間の非浮上領域で搬送物の前端部が自重により撓んで干渉しないようにする。
【解決手段】搬送ユニット１１の前後両端部にエアノズルを集中的に配置して、搬送物１を下側へ凸となる凹形状状態で浮上させることにより、その前端部１ａが上側へ変位するようにして自重による下方への変位を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、板状基体に対する気体の噴出によって、板状基体を浮上した状態にし、この状態で板状基体を移動、停止、静止および方向転換させる場合、重い板状基体でも、移動および方向転換を高速で行うことができ、かつ、確実に板状基体を停止させることができる浮上搬送装置および浮上搬送システムを提供する。
【解決手段】 搬送面に設けられた複数の噴出孔１１Ｂを具備し、噴出孔１１Ｂから噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動させる移送部１と、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動、停止、静止および方向転換の少なくとも１つを行う制御ユニットとを組み合わせた浮上搬送システムにおいて、浮上している板状基体を押して移動させる移動手段（移動装置１３）を移送部１に設けた。 （もっと読む）

【課題】基板変形を利用したコンタクトリソグラフィ装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るコンタクトリソグラフィ装置は、基板１０２を変化可能に保持する基板ホルダ１１０が、複数の保持ゾーン１１２を有し、前記複数の保持ゾーン１１２のそれぞれのものは、ゾーン固有の保持力を前記基板１０２に対して付与する、基板ホルダ１１０と、前記基板１０２の受領表面に隣接した状態でパターン１２２を具備するパターニングツール１２０とを有し、前記複数の保持ゾーン１１２によって付与された前記ゾーン固有の保持力は、前記パターニングツール１２０に向かう前記基板１０２の変形３２０を誘発し、前記変形３２０は、前記基板１０２に対して前記パターン１２２を転写３００する際に、前記パターニングツール１２０と前記基板１０２の間に、初期接触点１４０と伝播３３０する接触前線の両方を形成する。 （もっと読む）

【課題】基板の大口径化や超大口径化に伴う基板搬送時の基板中央部の自重による撓みを抑制ないし防止する。
【解決手段】大口径の基板ｗの上方又は下方に移動される支持部１７と、該支持部１７に設けられ基板ｗの周縁部を掴んで支持する掴み機構２８とを有する基板搬送装置において、上記支持部１７に、基板の上面中央部又は下面中央部を撓まないように空気層を介して非接触で吸引保持する非接触吸引保持部３０を１つ又は複数設け、該非接触吸引保持部３０は、上記基板の上面又は下面に対向する平面円形の本体３１と、該本体に形成され中央に向って深くなるように傾斜した傾斜面３２ａを有する凹部３２と、該凹部３２の中央に設けられ上記傾斜面に沿って流れるように気体を放射状に噴出することにより負圧を発生させるための複数の気体噴出ノズル３３と、上記凹部３２の周縁部に適宜間隔で形成された気体逃げ溝３４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】基板の上面に供給されるガスにより基板を回転部材上に突設された支持部材に押圧して基板を回転部材に保持しながら回転させる基板処理装置および基板処理方法において、回転中の基板が所望の支持位置から大幅に移動してしまうのを防止する。
【解決手段】基板表面に供給される窒素ガスによって基板Ｗが所定の支持位置で各支持ピンＦＦ１〜ＦＦ６，ＳＳ１〜ＳＳ６に押圧されてスピンベース１３に保持される。そして、スピンベース１３に基板Ｗが保持されながらスピンベース１３とともに基板Ｗが回転する。複数個のガイド部材２５が支持ピンＦＦ１〜ＦＦ６，ＳＳ１〜ＳＳ６に対しスピンベース１３の周縁側で回転中心Ａ０を中心として放射状にスピンベース１３に設けられている。このため、回転駆動される基板Ｗが支持位置から径方向にずれた場合であっても、ガイド部材２５が基板端面に当接して基板Ｗの径方向の移動を規制する。 （もっと読む）

【課題】この発明は粘着シートから半導体チップを損傷させることなく確実にピックアップすることができるようにしたピックアップ装置を提供することにある。
【解決手段】上面が粘着シート３の下面を吸着保持するバックアップ体１と、バックアップ体内に上下方向に駆動可能に設けられ粘着シートの下面を押圧して半導体チップ４を押し上げるとともに、押し上げるにつれて半導体チップを押圧する押し上げ面積が漸減する押し上げ体と、半導体チップの上面を吸着保持する吸着ノズル１７を有し、押し上げ体によって押し上げられた半導体チップを吸着して粘着シートからピックアップするピックアップ手段１１と、半導体チップをピックアップするときに吸着ノズルを駆動して半導体チップが粘着シートの張力によって下方へ湾曲変形するのを阻止する押圧力を付与するリニアアクチュエータ１８を具備する。 （もっと読む）

【課題】ローラ体と同期モータの連結や分離を、作業性良く、容易に行えるコンベヤ装置を提供する。
【解決手段】ローラ体３３を、ローラ軸３４を介して一対のコンベヤフレーム３６間に回転自在に配設するとともに、搬送方向Ｂにおいて複数本を並列して配設した。各ローラ軸３４にそれぞれ同期モータ３８を設け、そのモータ軸３９を、ローラ軸３４の端部に嵌入される差し込み係合式のカップリング体４１を介して、ローラ軸３４に連動連結した。ローラ軸に同期モータを設けるに、ローラ軸の端部内にカップリング体を差し込みにより嵌入させ、そしてカップリング体内にモータ軸を差し込みにより嵌入させることで行える。ローラ軸とモータ軸との分離は、カップリング体に対してモータ軸を引き抜いたのち、ローラ軸に対してカップリング体を引き抜くなどの操作によって行える。ローラ体と同期モータの連結や分離を、差し込み嵌入や引き抜きにより作業性良く、容易に行える。 （もっと読む）

【課題】 搬送テーブルの真直性を確保し、ヨーの発生を防止する。
【解決手段】 ベース５１上にテーブル移動方向に延びるスライドバー５２を設ける。ベース５１上に、スライドバー５２を跨ぐよう配置した搬送テーブル５３を、スライド自在に載置する。搬送テーブル５３に、上記スライドバー５２に接触させる駆動ローラ５４と押付ローラ５５ａ，５５ｂを、ピエゾアクチュエータ５７，５８，５９によりテーブル移動方向と直角の方向に変位可能に設ける。駆動ローラ５４に駆動モータ６０の出力軸をたわみ継手６１を介して連結する。スライドバー５２に撓み等が生じている場合には、駆動ローラ５４と押付ローラ５５ａ，５５ｂの搬送テーブル５３に対する相対位置を変位させることで、搬送テーブル５３の位置と向きを、本来のテーブル進行方向位置及び向きに一致するよう補正させる。 （もっと読む）

【課題】この発明は突き上げピンをキャップに形成された突出孔に対して精密に位置決めすることができるようにした半導体チップの突き上げ装置を提供することにある。
【解決手段】先端に突き上げピン３１が設けられた可動軸２１と、可動軸を移動可能に挿通支持する通孔１５を有する基部１６及び基部の上端部に取り付けられるとともに先端に突き上げピンが突出する突出孔３４が形成されたキャップ３３を有する装置本体１４を具備し、
キャップの下端部には周方向に所定間隔で複数のねじ孔４１が形成され、これらのねじ孔には先端が円錐状に形成された止めねじ４２が螺合されるとともに、基部の上端部の外周面には止めねじの先端部が係合する円錐状の係合孔３９が形成されている。 （もっと読む）

【課題】摩耗に起因するガイド精度の低下を招くことなく、基盤移動の再現性を確保することができる基板支持装置を提供する。
【解決手段】ウエハＷを支持して上下方向に昇降させるリフト機構７０は、ウエハＷを保持して昇降可能な複数のリフトピン７７と、リフトピン７７が立設されるベース７１と、ベース７１の下方に設けられたガイド装置（弾性ヒンジ装置）７２と、ガイド装置７２及びベース７１を介してリフトピン７７を上下方向に駆動するボイスコイルモータ７３とを有している。ガイド装置７２は、上下方向に連なるように重ねて配置された一対の板ばね７２ａ、７２ｂから構成されており、これら板ばね７２ａ、７２ｂはリフトピン７７が没入位置と突出位置との間を移動するストローク量が弾性変形可能な材料、厚さで形成されている。 （もっと読む）

【課題】２方向に移動可能なステージ機構の構成を簡潔にする。
【解決手段】ステージ基台２０は可動部２１、固定部２２、および支持部２３を有する。可動部２１、固定部２２、および支持部２３を一体的に形成する。ステージ基台２０全体を弾性部材によって形成する。可動部２１を板状の４辺形に形成する。固定部２２を可動部の周囲を囲む枠状に形成する。支持部２３を可動部２１と固定部２２とに連結する。支持部２３を４本の腕部と４つの屈曲部により形成する。第１の屈曲部と可動部２１とを連結する。第１の屈曲部に相対する屈曲部を固定部２２に連結する。可動部２１と固定部２２とに第１、第２の圧電素子１４ａ、１４ｂを挟持する。 （もっと読む）

【課題】 容器にローディングされた複数の基板を選択的にアンローディングできる基板移送装置及び方法を提供する。
【解決手段】容器内から複数の基板を引き出して移送する基板移送装置は、移送の時に複数の基板が各々載置される複數のブレードと、各々のブレード４２０ａの一端に設置され、容器から基板を引き出す時、ブレード４２０ａの上部に突出される引出部材５００ａと、各々のブレード４２０ａから各々の引出部材５００ａを選択的に突出させる駆動ユニット６００とを含む。引出部材５００ａは、中空形であり、ブレード４２０ａの一端に形成された締結孔４２４ａで上下移動するように設置される。引出部材５００ａは、上部が閉塞された形状を有する。 （もっと読む）

【課題】歯車のような機械的シンクロ機構を用いることなく、駆動力の切り離しと結合を行う。
【解決手段】チャンバ３１内の基板搬送装置は、固定ステージ３１０と可動ステージ３２０とからなる。可動ステージ３２０には、第１、第２、第３の従動マグネット３３１,３３２,３３３が軸受け部３２２で保持され、これら従動マグネットは、それぞれマグネットカップリングされていると共に、第３の従動マグネット３３３とローラマグネット３２３もマグネットカップリングされている。さらに、第１の従動マグネット３３１は、駆動マグネット３３０とマグネットカップリングされ、駆動マグネット３３０からの駆動力を切り離したり結合したりする。 （もっと読む）