【課題】バイポーラ接合トランジスタ（ＢＪＴ）を提供すること。
【解決手段】各ＢＪＴのコレクタ領域は、半導体基板表面内に配置され、第１のシャロー・トレンチ・アイソレーション（ＳＴＩ）領域に隣接している。第２のＳＴＩ領域が形成され、この第２のＳＴＩ領域は、第１のＳＴＩ領域とコレクタ領域との間に延在し、約９０°以下のアンダーカット角度で活性ベース領域の一部をアンダーカットする。例えば、第２のＳＴＩ領域は、約９０°未満のアンダーカット角度のほぼ三角形の断面を有していても、約９０°のアンダーカット角度のほぼ長方形の断面を有していてもよい。このような第２のＳＴＩ領域は、コレクタ領域の上側表面内に形成される多孔質表面部を使用して製作することができる。 （もっと読む）

【課題】熱暴走対策としてエミッタバラスト方式を採用するＲＦ信号増幅用のパワーバイポーラトランジスタ（ＨＢＴ）を採用したＲＦ電力増幅器全体の電力利得と電力効率とを改善すること。
【解決手段】ひとつのパワー素子を構成する複数のユニット・トランジスタには、ぞれぞれエミッタバラスト抵抗が接続されている。その結果、複数のユニット・トランジスタの複数のベースには、１個の結合容量ＣによりＲＦ入力信号を共通に供給できる。ＲＦ入力信号が供給される１個の結合容量Ｃの一方の電極プレート１００の配線幅Ｗを、複数のベースへの信号注入配線領域２０４＿１、２０４＿２…２０４＿Ｎの配線幅ｗより大きくする。複数のコレクタ増幅出力信号の間での位相差が小さくなる。 （もっと読む）

【課題】増幅利得の向上（高出力動作）と熱暴走抑制効果の向上（安定動作）とを両立させた、半導体電力増幅器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】各ＨＢＴ４０のエミッタは、並列接続された第１のエミッタバラスト抵抗体４１及び第２のエミッタバラスト抵抗体４２を介して、エミッタ（接地）端子３にそれぞれ接続される。第１のエミッタバラスト抵抗体４１と第２のエミッタバラスト抵抗体４２とは、温度変化に伴う抵抗値の変化傾向が相反する温度特性を有した材料で形成される。これにより、第１のエミッタバラスト抵抗体４１が有する温度上昇に従って抵抗値が減少（又は増加）する欠点を、第２のエミッタバラスト抵抗体４２が有する温度上昇に従って抵抗値が増加（又は減少）する欠点で緩和させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 電力増幅モジュールやそれに用いる集積受動部品または半導体チップの低コスト化および高性能化を図る。
【解決手段】 集積受動部品５において、シード膜５１、銅膜５３およびニッケル膜５４の積層膜からなる配線５５により、ＲＦパワーモジュールのローパスフィルタ回路を構成するインダクタ素子が形成される。ニッケル膜５４は、銅膜５３の全面上に形成され、表面保護膜としての絶縁膜６１の開口部６２から露出するニッケル膜５４上に、金膜６３およびバンプ電極６４が形成されている。ニッケル膜５４は、無電解Ｎｉ−Ｐめっき膜であり、リンを１０重量％以上含有し、非磁性状態とされている。 （もっと読む）

【課題】 ヘテロ接合バイポーラトランジスタ及びフォトダイオードが電気信号の劣化を伴うことなく接続され、全面再成長の特徴である高集積度を損ねることなく、動作速度及び受光感度に優れた光電子集積回路を提供する。
【解決手段】 光電子集積回路は、光素子２のアノード電極９又はカソード電極８からの配線１９が［０１１］方向に形成されて素子に接続されることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 ＨＢＴセル内での発熱均一性を保ち、かつ、高周波帯域の利得特性を向上させたバイポーラトランジスタを提供する。
【解決手段】 ベースメサフィンガー（エミッタレッジ層１５、ベース層１６及びコレクタ層１７）を２本のコレクタフィンガー（コレクタ電極１３）で挟み、ベースメサフィンガー上に１本のベースフィンガー（ベース電極１２）及びその両側の２本のエミッタフィンガー（エミッタ層１４及びエミッタ電極１１）を形成した構造である。２本のエミッタフィンガーは、ベースフィンガーを基準に対称の位置に形成される。 （もっと読む）

【課題】 互いに並列に接続されたベースバラスト抵抗及び容量を付加したＨＢＴ等のヘテロ接合型半導体素子を有する半導体装置において、その素子面積を縮小し、かつ作製工程の簡略化も可能にすること。
【解決手段】
少なくともコレクタ層３とベース層５と第１のエミッタ層７Ａとからなる積層体によって構成されたＨＢＴ１５ａ及び１５ｂを有し、これらのＨＢＴと同一構成材料からなる積層体１６において、各ＨＢＴのベースに接続されたベース構成材料層５と、ベース信号入力端子電極に相当するエミッタ構成材料層上のエミッタ電極９との間に、ベース構成材料によるベースバラスト抵抗１３と、エミッタ及びベース構成材料からなる逆方向ダイオードによる容量１４とが並列に接続されることによって、並列の複数のＨＢＴの熱暴走を防止する構造を素子面積の縮小の下で容易に作製することができる。 （もっと読む）

【課題】 ＨＢＴセル内での発熱均一性を保ち、かつ、高周波帯域の利得特性を向上させたバイポーラトランジスタを提供する。
【解決手段】 ベースメサフィンガー（エミッタレッジ層１５、ベース層１６及びコレクタ層１７）を２本のコレクタフィンガー（コレクタ電極１３）で挟み、ベースメサフィンガー上に１本のベースフィンガー（ベース電極１２）及びその両側の２本のエミッタフィンガー（エミッタ層１４及びエミッタ電極１１）を形成した構造である。２本のエミッタフィンガーは、ベースフィンガーを基準に対称の位置に形成される。 （もっと読む）

【課題】 ヘテロ接合半導体素子と別の半導体素子とが同一基板上に集積され、かつ、この別の半導体素子の電極取り出し構造が改良された半導体装置及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 前記別の半導体素子の一例である抵抗素子２０を構成する抵抗層１１を、イオン注入法または不純物拡散法によって半絶縁性基板１内に形成する。次に、サブコレクタ層２、コレクタ層３、ベース層４、エミッタ層５、そしてエミッタキャップ層６の構成材料層を、基板１の全面にエピタキシャル成長法によって形成する。次に、これらの一部をメサ構造に加工して、ＨＢＴ１０を形成する。一方、抵抗素子２０の素子電極１４、１５を高い位置で取り出すための導電層１２、１３を、サブコレクタ層２の構成材料層４２のパターニングによって形成し、素子電極１４、１５をこの上に形成する。次に、ＢＣＢなどの平坦化膜３０を形成し、これを介して配線３１、３２を形成する。 （もっと読む）

【課題】 ヘテロ接合半導体素子とダイオード素子とが同一基板上に集積され、ヘテロ接合半導体素子単独の場合と同程度の簡易なエピタキシャル層の積層構造からなり、かつ、ダイオード素子の特性が、ヘテロ接合半導体素子の構成材料層の特性によって制約されることが少ない半導体装置及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 半絶縁性基板１の上にエピタキシャル成長法によって、サブコレクタ層２、コレクタ層３、ベース層４、エミッタ層５、エミッタキャップ層６の構成材料層を形成し、これらの一部をメサ構造に加工してＨＢＴ１０を形成する。また、別の領域をメサ形状に加工して、それぞれ、ＰＩＮダイオードのｎ型層１６ａと１６ｂ、ｉ型層１５ａと１５ｂおよびｐ型層１４とする。このうち、ｉ型層１５ａと１５ｂは、エミッタ構成材料層１５に不活性化イオンを注入して高抵抗化して形成する。 （もっと読む）

【課題】近接する２つの素子間に高濃度不純物領域を配置し、フローティング電位またはＧＮＤ電位を印加することにより２つの素子間のアイソレーションを向上させる手法は、漏れた高周波信号のパワーが大きい場合に高濃度不純物領域の電位が変動してしまう。このため、結果として２つの素子間のアイソレーションが十分確保できなくなる問題があった。
【解決手段】近接する２つの素子間に伝導領域または金属層による分離素子を配置する。分離素子は高抵抗素子を接続し、直流端子パッドに接続する。また直流端子パッドから分離素子に至る接続経路は電位が高周波振動しない経路とする。これにより、少なくとも一方に高周波信号が伝搬する２つの素子の間に高周波ＧＮＤ電位を配置したこととなり、２つの素子間の高周波信号の漏れを防止できる。 （もっと読む）

【課題】増幅特性の劣化なしにインダクタで発生する逆起電力による破壊を防止することが可能な電力増幅器及び電力増幅器用バイアス回路を実現することができる半導体装置を提供する。
【解決手段】バイポーラトランジスタ２のコレクタ端子と電源端子６とを接続しているバイアス線路５に、アノードがコレクタ端子側になるように並列にダイオード９ａを接続することにより、あるセルで暴走が始まったときは、ダイオード９ａによりその逆起電圧をクリップして下げるため、バイポーラトランジスタ２に大きな電圧がかかるのを抑制するとともに、暴走の起こっていない段階では、ベース端子に供給される経路で抵抗成分等によるロスを無くし、結果的に従来のような高出力時の出力電力の低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】高周波増幅回路に悪影響を与えること無く、バイポーラトランジスタの熱暴走を防止することが可能なバイポーラトランジスタおよび高周波増幅回路の提供を目的とする。
【解決手段】直流バイアスが供給される直流バイアス（ＤＣ）端子３と、ＤＣ端子３に接続されたＤＣ用ベース電極６と、高周波信号が供給される高周波電力（ＲＦ）端子４と、ＲＦ端子４に接続されたＲＦ用ベース電極７と、ＤＣ用ベース電極６とＲＦ用ベース電極７とに接続されているベース層８とを有する。 （もっと読む）

【課題】 ＨＢＴのベースが直接制御端子に接続するスイッチ回路装置では、制御端子から、ＨＢＴの駆動に必要なベース電流を供給する必要がある。しかし、この回路構造ではＨＢＴの電流増幅率ｈ_ＦＥが限られているため、必要なベース電流を制御端子から十分に得られない問題があった。
【解決手段】スイッチング素子を構成するＨＢＴのベースにソースが接続する駆動ＦＥＴを設け、駆動ＦＥＴのドレインを電源端子に接続し、ゲートを制御端子に接続する。制御信号により駆動ＦＥＴが導通し、電源端子から供給される電流によってＨＢＴが動作する。従って一般的な制御用ＬＳＩからの制御信号を利用できる。またＨＢＴの各単位ＨＢＴに駆動ＦＥＴの各単位ＦＥＴを対応させることによりＨＢＴの２次降伏による破壊を防止できる。 （もっと読む）

【課題】 ＨＢＴは、ベース−エミッタ間電流が正の温度係数を持つため、コレクタ電流も正の温度係数を持つ。従って、ベース電流を増加させて電流密度の向上を図ると、複数並列接続されたＨＢＴの単位素子のうち、１つの単位素子に電流が集中して二次降伏を起し、破壊に至りやすくなる。
【解決手段】 ＨＢＴとＦＥＴを分離領域を介して隣接して配置し、ＨＢＴのベース電極にＭＥＳＦＥＴのソース電極を接続した単位素子を複数接続してスイッチ回路装置を構成する。単位素子を並列に複数接続したスイッチ回路装置において、単位素子毎に動作電流が不均一となっても、１つの単位素子に電流が集中することはなく二次降伏による破壊は発生しない （もっと読む）

【課題】 ＨＢＴとＦＥＴを１チップに集積化する際、ＨＢＴのエミッタキャップ層をＦＥＴのチャネル層としており、ＦＥＴのピンチオフ性が悪く相互インダクタンスｇｍが低い。また、複数回のイオン注入、アニール、ベースペデスタルの形成、さらには２回のエピタキシャル成長を行うなど製造工程が複雑であった。
【解決手段】 ＨＢＴのエミッタ層とＦＥＴのチャネル層を、同一のｎ型ＩｎＧａＰ層とする。また、ＨＢＴのベース層であるｐ＋型ＧａＡｓ層を、ＦＥＴのｐ型バッファ層として利用する。これにより、ＦＥＴのピンチオフ性が良好となり相互インダクタンスｇｍを高めることができる。またエピタキシャル成長が１回で、イオン注入、アニール工程も不要のため製造工程も簡素化でき、ウエハコストも低減できる。 （もっと読む）

【課題】 ＨＢＴは、ベース−エミッタ間電流が正の温度係数を持つため、コレクタ電流も正の温度係数を持つ。従って、ベース電流を増加させて電流密度の向上を図ると、複数並列接続されたＨＢＴの単位素子のうち、１つの単位素子に電流が集中して二次降伏を起し、破壊に至りやすくなる。
【解決手段】 ＨＢＴとＦＥＴを分離領域を介して隣接して配置し、ＨＢＴのベース電極にＭＥＳＦＥＴのソース電極を接続した単位素子を複数接続して能動素子を構成する。単位素子を並列に複数接続した能動素子において、単位素子毎に動作電流が不均一となっても、コレクタ電流が負の温度係数を持つため１つの単位素子に電流が集中することはなく二次降伏による破壊は発生しない （もっと読む）

【課題】 ＨＢＴは、ＨＥＭＴより低オン抵抗を得ることができる。しかし各単位素子において動作上の微小なアンバランスから二次降伏による破壊を起こすため、信頼性が低い問題があった。
【解決手段】 単位ＨＢＴのベース電極に、ベース層に連続した抵抗層により形成されたバラスト抵抗を接続する。そしてＨＢＴとバラスト抵抗が接続された単位素子を複数並列接続し、スイッチング素子を構成する。これにより各単位素子において単位ＨＢＴの発熱が直接バラスト抵抗に伝わる。抵抗は負の温度係数を持つため、単位ＨＢＴが発熱するとそれに接続するバラスト抵抗の抵抗値が大きくなりバラストとしての機能が増す。従って、ＨＢＴによるスイッチ回路装置において二次降伏による破壊を回避し、信頼性を大幅に向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】ＨＢＴにおける高い耐電圧特性と優れた高速特性を維持した状態で、バラクタダイオードにおける広い容量可変幅を確保する。
【解決手段】１つの共通の半絶縁性基板１上に、ＨＢＴ２０とバラクタダイオード２１とを形成したマイクロ波モノリシック集積回路において、ＨＢＴとバラクタダイオード２１とに共通するコレクタ層を、コレクタコンタクト層４側に位置する第１のコレクタ層２２ａ、２２ｂと、反コレクタコンタクト層側に位置する第２のコレクタ層２３ａ、２３ｂとで構成し、さらに、第１のコレクタ層のキャリア濃度を第２のコレクタ層のキャリア濃度より高く設定している。そして、バラクタダイオード２１においては、第２のコレクタ層２３ｂ上にショットキー電極２４を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高周波数帯で動作する半導体装置の特性の向上、ならびに信頼性の向上に関するものである。
【解決手段】半導体基板の表面側にキャリア走行層として積層された、サブコレクタ層、コレクタ層、ベース層、エミッタ層を用いて形成した単数もしくは複数のバイポーラトランジスタと、前記キャリア走行層の直下に設けられた絶縁層と、さらに前記絶縁層の直下に設けられた導電層と、前記導電層に到達するように形成された非貫通のバイアホールと、トランジスタの何れかの端子と電気的に接続された状態に半導体基板の表面に形成された金属配線層と、バイアホールの側壁及び底面に形成された金属配線層とを備えた構造とする。 （もっと読む）