【課題】位置指令と位置検出の差演算に基づいて位置制御すると、任意の回転方向を指定しての位置制御ができず、また検出器の分解能によっては安定に位置制御ができない。
【解決手段】位置指令と１サンプリング分遅延させた信号との偏差信号を求め、この偏差信号と回転方向を設定する信号を入力して回転方向に対応して補正された信号を出力する回転方向指定指令補正部を設ける。回転方向指定指令補正
部により補正された信号と位置検出との偏差信号を求めて位置制御信号とする。
また、位置検出器の出力側に位置座標系変換部を設けることで、任意の座標系で位置制御を可能とする。さらに、分解能補正処理部を設けることにより安定性を向上することを可能としたものである。 （もっと読む）

【課題】 サーボ制御の制御応答性を高め、制御装置の各軸の特性に応じて、制御演算部をサーボアンプ又はサーボコントローラに分配可能なサーボドライブシステムを提供する。
【解決手段】 本発明のサーボドライブシステムは、軸毎にサーボモータを制御するサーボ制御部が、サーボモータの指令を生成するプロファイル生成部と、サーボモータの位置を制御する位置制御部と、サーボモータの速度を制御する速度制御部と、サーボモータのモータ電流を制御する電流制御部と、を有し、プロファイル生成部、位置制御部、速度制御部及び電流制御部は、軸毎にサーボアンプ又はサーボコントローラにそれぞれ分配されている。 （もっと読む）

【課題】精密測定装置に振動等が発生した場合に位置決め制御装置の制御ゲインを調整する際、その調整時間の短縮化、及び、ゲイン調整に掛かる労力の軽減化を図ること。
【解決手段】位置決め制御装置１００は、位置補償部１０、速度補償部２０、電流補償部３０、設定テーブル４０及びゲイン選択手段５０を有する。位置補償部１０は目標位置及び検出位置の位置偏差を得て、これに基づき目標速度を制御する。速度補償部２０は、目標速度及び検出速度の速度偏差を得て、これに比例ゲインＫｐを掛けた値及び速度偏差の積分に積分ゲインＫｉを掛けた値の加算値をモータの目標電流として出力する。電流補償部３０は、目標電流及びモータの検出電流の電流偏差を得て、これに基づいて駆動電流を制御する。ゲインＫｐ、Ｋｉの設定値の組合せが複数通り設定テーブル４０に記憶されており、選択手段５０で選択された組合せに各ゲインが書き換えられるようになっている。 （もっと読む）

【課題】高速且つ高精度に、駆動対象を目標停止位置に停止可能とする。
【解決手段】モータ制御ユニットは、モータに入力可能な電流上限値を推定し、この上限値に対応する駆動電流でモータを駆動する第一制御処理を、駆動初期において実行する。一方、駆動対象の現動作状態に基づき、第二制御処理に対応するパターンで駆動対象を減速・停止させるのに必要な搬送量である停止必要量Ｐｎ＝Ｐｃ＋Ｐｄを算出する。そして、目標停止位置までの残り搬送量Ｐｓが停止必要量Ｐｎ以下となった時点で、第一制御処理に代えて第二制御処理を実行する。この動作により、第一制御処理を長めに実行して駆動対象を高速に搬送し、第二制御処理では、上記パターンに対応する目標軌跡に追従するように駆動対象の位置Ｐ及び速度Ｖを制御して、駆動対象を精度よく目標停止位置で停止させる。目標軌跡は、減速時の加速度ピークが、モータで実現可能な限界値−Ａｐに設定されてなる。 （もっと読む）

【課題】サンプリング周期を細かくすることなく、モータの速度変動等に精度よく対応することが可能な制御システム及びこの制御システムに用いる位置推定方法を提供する。
【解決手段】第２モータ４３と、第２モータ４３の回転角度に基づくウェハのノッチの位置データを所定の周期で検出する第２エンコーダ４４と、第２モータ４３をサーボ制御するサーボ制御器３２と、サーボ制御器３２に対して動作指令を発する位置制御部２と、を有する制御システム１において、位置制御部２は、サーボ制御器３２の動作指令を生成するとともに、所定周期で第２エンコーダ４４から取得した位置データを取得時刻と共に記憶し、時刻ｔにおける被制御体の位置ｆ（ｔ）を位置データに基づいてｎ次の多項式で表し、ｎ次の多項式補間により任意の時刻におけるウェハ（ノッチ）の位置を推定する。 （もっと読む）

【課題】制御対象などの停止位置精度を向上させる。
【解決手段】駆動装置（１Ａ）は、回転駆動する駆動部(１０)と、駆動部(１０)の駆動出力軸の回転角度位置を検出し第１の位置情報を生成する第１の位置検出器（３０）と、駆動部(１０)の駆動出力軸に接続された減速機(２０)と、減速機(２０)の減速出力軸の回転角度位置を検出し第２の位置情報を生成する第２の位置検出器（４０）と、駆動部（１０）を制御する制御部(５００Ａ)と、を含んで構成される駆動装置（１Ａ）であって、第１の位置検出器（３０）と第２の位置検出器（４０）と制御部(５００Ａ)との間において第１の位置情報と前記第２の位置情報とを伝達する伝送路(２００Ａ)を備え、制御部(５００Ａ)は、位置要求信号に対して互いに同期して検出させた第１の位置情報と記第２の位置情報とのうち少なくとも一方を用いて駆動部(１０)を制御する。 （もっと読む）

【課題】従来の位置決め制御装置に比べて位置決めステージの位置と制御装置の位置が遠く離れておりノイズが発生しやすい劣悪な環境下においてもノイズの影響を受けない安定な位置決めが可能な位置決め装置を提供する。
【解決手段】デジタル出力の位置センサが検出した位置決めステージが位置する現在値と１回前の制御サイクルにおいてデジタル出力の位置センサが検出した位置決めステージが位置した前回値との差が設定値以内の場合は位置決め演算に現在値を採用し、設定値より大きい場合は位置決め演算に前回値を採用する。 （もっと読む）

【課題】減速機構軸の減速後軸の回転角度を検出する必要がある場合、角度検出器の選定は減速機構の構造、被回転体により左右される。その結果角度検出器の大型化、重量化により位置決め装置全体が高額となる。
【解決手段】減速機構２の減速前軸４の角度より減速後軸３の角度を推定計算するようにすることで、減速機構２、被回転体の構造に左右されずに角度検出器７を選定できるようになり、位置決め装置全体の軽量化、低価格化を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、セットテーブルの位置決めを精度良く且つ容易に行うことができるＸＹテーブルの制御方法を提供することを課題としている。
【解決手段】仮想マトリクスにおける各点を目標座標点として移動させて、セットテーブル２の各実移動座標点を有する実座標データを取得する実座標取得工程と、取得した実座標データに基づいて、Ｘ軸移動機構３およびＹ軸移動機構５に対する移動指令における目標座標点を補正する座標補正工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】包装機械などに好適なサーボシステムを提供する。
【解決手段】上位コントローラ１０とサーボ制御装置４０とサーボモータ３０とから形成され、サーボ制御装置４０には外部から入力されるパルス列信号を積算演算するためのパルス入力部４０ｃおよびパルス積算処理部４０ｄ、この積算演算されたパルス積算値を外部からのラッチ(保持)信号が入力される毎にラッチするラッチ処理部４０ｅなどを備え、包装機械の加工物のライン速度を制御する基準軸の速度を適宜調整することにより、基準位置での包装／切断を行わせている。サーボ制御装置４０は、パルス入力部４０ｃおよびパルス積算処理部４０ｄは、従来のサーボ制御装置でのシリアルデータの処理機能を転用することにより、ラッチ処理部４０ｅと切換スイッチ部４０ｆとを追加するだけで形成しているので、僅かな価格上昇でこの包装機械に好適なサーボシステムを製作することができる。 （もっと読む）

【課題】出力軸を支持する転がり軸受けに起因する回転伝達誤差を補正できるアクチュエータの回転伝達誤差補正方法を提案すること。
【解決手段】アクチュエータ２の出力軸６を支持するベアリング７の転動体７ｃの１つにマグネット１０を組み込み、ホールセンサ１２によってマグネット入りの回転位置検出用転動体１１が１回転することを検出し、１回転の間において、モータ軸４を一定角度回転させる毎に出力軸６の実回転位置を検出する。検出結果に基づきモータ軸４の各回転位置における、出力軸６の実回転位置のその目標回転位置からのずれ量を算出して記憶部１ａに記憶する。駆動制御装置１は、アクチュエータ２の駆動制御時には、記憶部１ａに記憶されているずれ量に基づき出力軸６の回転位置を補正し、ベアリング７に起因する回転伝達誤差を除去する。 （もっと読む）

【課題】電源投入時に現在座標を許容誤差範囲の精度で検出し、所定位置への復帰動作をすることなく電源投入時の位置から動作を開始できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】固定部１２に対する可動部８の相対位置を検出するためのインクリメンタルエンコーダ２３とアブソリュートエンコーダ２１とを備え、制御装置１９は、インクリメンタルエンコーダ２３及びアブソリュートエンコーダ２１の信号データの対応データを記憶した記憶手段と、電源投入時に読み取られた前記アブソリュートエンコーダ２１の信号データから可動部８の初期座標を求める初期座標読取手段２５と、電源投入時以後に読み取られたインクリメンタルエンコーダ２３の信号データを基に可動部８の現在座標を求める現在座標読取手段２５と、対応データによりインクリメンタルエンコーダ２３の信号データに変換する信号変換手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】数値制御機械等において、制御部へ正確なデータを伝送する位置測定装置を提供する。
【解決手段】位置測定装置は、位置測定ユニット１０、速度測定ユニット２０、算術ユニット３０、及びインターフェースユニット４０を持つ。位置測定ユニット１０で２つの測定値（Ｐ；Ｐｎ；Ｐｎ−１）が測定され、速度測定ユニット２０で物体の移動値ｖが算出される。算術ユニット３０は測定値（Ｐ；Ｐｎ；Ｐｎ−１）及び移動値ｖが供給されて、シーケンス電子部１００における実際の測定値（Ｐ；Ｐｎ；Ｐｎ−１）の測定間の時間間隔を特定し、移動値ｖの訂正値Ｋを算出する。そのために、訂正値Ｋのデータワード幅が、移動値ｖのデータワード幅より実質的に小さい。 （もっと読む）

【課題】 駆動方向を容易に変更できる液圧線形アクチュエータ・システムを提供する。
【解決手段】 本発明の液圧線形アクチュエータ・システムは、ほぼ一定の速度で一方向に回転するよう構成されたポンプを有する。その方向とシステムを通る流体の速度は、ポンプのロータとステータとの間の位置関係を調節することによる制御される。この位置関係は、順方向流状態と、非流通状態と、逆方向流状態の間で調節可能である。液圧線形アクチュエータは、システムを通る流体の流れに反応して、ポンプの順方向流状態による第１方向とポンプの逆方向流状態による第２方向に移動する。 （もっと読む）

【課題】所望の時刻での位置を高精度に推定することが可能なロボットシスシステム及びロボット制御装置を提供する。
【解決手段】 モータによって所定部位が動作するロボット２と、モータをサーボ制御するサーボ制御器と、個々のサーボ制御器２１等に対して動作指令を送信するロボット制御装置１と、を有するロボットシステムにおいて、ロボット２には、モータの回転角度に基づく位置データを検出するセンサと、が設けられ、ロボット制御装置１には、サーボ制御器２１等への動作指令を生成するとともに、位置データを受信するホスト制御器１０と、現在又は将来の位置データを推定する推定器１３と、が設けられ、推定器１３は、動作指令とサーボ制御器２１等のサーボ制御パラメータを使用したシミュレータ出力を、既に知られた過去の位置データで補正することによって、現在又は将来の位置データを推定する。 （もっと読む）

ジンバルサーボシステムへの使用に適した支承組立体が提供される。支承組立体は、ハウジングと、第１のシャフトと、第１のシャフトがハウジングに対して軸線回りに回転するように第１のシャフトをハウジングに回転可能に結合する軸受と、ペイロードに結合されるようになった第１の端部を有する第２のシャフトと、フレックスピボット要素とを有し、このフレックスピボット要素は、第２のシャフトがフレックスピボット要素を介して第１のシャフトに対して回転するよう第１のシャフトの端部を第２のシャフトの第２の端部に回動可能に結合する。第２のシャフトの回転に応答して、フレックスピボット要素は、第１のシャフトの軸線回りに所与の角度回動するようになっている。回動角度は、第１のシャフトに対する第２のシャフトの変位を反映し、軸受の摩擦外乱に対応する。
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【課題】波動歯車減速機の角度伝達誤差に起因するアクチュエータ出力軸の低回転速度領域での回転変動を効果的に抑制すること。
【解決手段】アクチュエータ出力軸７のフィードバック制御に用いる速度指令ωｒには、波動歯車減速機５の角度伝達誤差による位置成分が加えられている。また、その速度フィードバック値ωｆには、モータ回転軸４の検出位置から演算された速度に、波動歯車減速機の角度伝達誤差による速度成分が加えられている。これらの速度指令ωｒおよび速度フィードバック値ωｆを用いてアクチュエータ出力軸７の回転をフィードバック制御することにより、波動歯車減速機５の角度伝達誤差に起因するアクチュエータ出力軸７の回転位置変動、特に、モータ回転軸４が１００ｒｐｍ程度以下の低速回転領域におけるアクチュエータ出力軸７の回転位置変動を確実に抑制できる。 （もっと読む）

【課題】画像形成装置において、温度変化が大きい環境でも、制御誤差の増加を抑えて、各色画像の重ね合わせの精度を高める。
【解決手段】ベルト１のマーク５を、２つのマーク検出手段Ａ、Ｂで検出した２値化信号の位相差を求める。マーク検出手段の固定部材６の周囲温度を測定し、温度変化を計測する。温度変化と固定部材６の線膨張係数とマーク検出手段の間隔と目標速度から、固定部材６の熱膨張による位相差の計測誤差量を計算する。位相差初期値と計測位相差に基づいて、パルス周期の計測結果を補正する。位相差の計測誤差量を用いて、補正されたパルス周期の計測結果をさらに補正する。補正されたパルス周期の計測結果に基づく制御信号を用いて、速度制御や位置制御を行う。 （もっと読む）

【課題】位置指令の共振周波数成分を消去する帯域消去フィルタを用いて振動を抑制する際、ロボットを構成する各軸で共振周波数が違う場合に、帯域消去フィルタの位相差により、動作軌跡に誤差が生じることを防止する。
【解決手段】位置指令を微分する微分器３０と、微分器の出力を入力とし関節軸の共振周波数を中心周波数とする成分を消去するノッチフィルタ３１と、ノッチフィルタの出力を積分する積分器３２と、ノッチフィルタの出力を増幅する増幅器３３と、積分器の出力と増幅器の出力とを加算して位置制御ブロックに出力する第２の位置指令を生成する加算器５０とを備えた。帯域消去フィルタとして、速度成分フィードフォワード補償機能を付加したノッチフィルタを用いることにより、軸毎で帯域消去周波数が異なっても、ノッチフィルタの軸間位相差に起因する軌跡動作の誤差を最小限に抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】温度変化に起因するセトリング応答におけるオーバーシュートの増大を抑制することによって、位置決め精度に優れる移動体の位置決め制御装置及びレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】角度指令データ８の絶対値ｓが予め定める角度範囲（Ｈ≧ｓ≧ｈ）である場合、離散的時刻が開始された後、電流指令が出力されると、ループゲイン修正器１２により今回測定されたオーバーシュート量Ｏｖと予め定めるオーバーシュート量の許容値ＮＯｖとの差に基づいて次回の位置決めに使用するループゲインαを定める補正量Ｍを演算し、その結果に基づいてループゲインαを修正する。この場合、オーバーシュートに引き続いて発生するアンダーシュートの大きさを考慮するようにすることができる。 （もっと読む）