【課題】ナノインプリント用のモールドにおいて、レジストの厚さムラを低減することを可能とし、かつモールドに高い耐久性を付与することを可能とする。
【解決手段】微細な凹凸パターン１２が形成されたパターン領域１３を一方の表面１１に有し、かつ、他方の表面１４における高低差分布に関する３σ値が１〜６ｎｍであるパターン付基板１０と、少なくともパターン領域１３に対応する部分が中抜きされた形状を有し、かつ、パターン付基板１０の厚さ以上の厚さを有する中抜き基板３０と、上記他方の表面１４と当該他方の表面１４に対向する中抜き基板３０の表面とを接合するように、パターン付基板１０および中抜き基板３０の間に形成された金属膜２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリントにおいて、モールドの耐久性を向上させる。
【解決手段】微細な凹凸パターン１３を表面に有するモールド本体１２と、この表面に形成された離型層１４とを備えたナノインプリント用のモールド１において、離型層１４が、主鎖を構成する原子数が２０未満である短鎖離型剤２０と、主鎖を構成する原子数が２０以上である長鎖離型剤２２とを含むものとする。 （もっと読む）

【課題】スタンパのコスト低減の要請に応得ることができ、ナノサイズの微細構造体やアスペクト比の高い微細構造体の製造に好適に使用することができる転写成形金型を提供する。
【解決手段】本発明に係る転写成形用金型は、微細構造を有するスタンパに溶融樹脂を押圧又は塗布し、冷却固化させてその微細構造が転写成形された微細構造体を成形する転写成形用金型であって、前記スタンパと、そのスタンパと周囲に所定のスキマをもって該スタンパを金型本体に保持固定するスタンパ固定部材と、前記スキマを詰める充填部材と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高温の樹脂の初期冷却を遅延化するに優れた効果を有し、大型で精密構造の樹脂部品、フィルムやプレートの製造が容易な樹脂精密成形用金型に好適に適用できる断熱材ならびにこれを断熱層に用いた樹脂成形用金型を提供する。
【解決手段】本発明の断熱材は樹脂成形用金型の基材上に直接溶射により形成される断熱材であって、過冷却液体温度領域（ΔＴｘ）が３０℃以上で、且つガラス遷移温度（Ｔｇ）が成形材料である樹脂の融点よりも３０℃以上高く、熱伝導率が１〜２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）であり、線膨張係数が７×１０^−６〜１５×１０^−６／℃である金属ガラスの溶射被膜からなる。該断熱材は、厚みが１００μｍ以上、２０００μｍ以下であり、金型基材と接する面積が１００ｍｍ^２以上であることができる。また、本発明にかかる樹脂成形用金型は、金型基材表面に直接溶射により形成された前記断熱材を断熱層として備える。 （もっと読む）

【課題】レンズ面が平滑なマイクロレンズアレイを製造するにあたって、その成形型の加工時間を短縮し、加工コストの低減、を達成できるパンチ工具を提供する。
【解決手段】押圧面の表面粗さＲａが０．１５μｍ未満であるパンチ工具１。このパンチ工具１は、載置台１２の上に固定された板状の型母材３０の表面にレンズ成形面を形成するために、押圧手段１３により上下動させて、その押圧面を転写させる成形型の製造装置１１に適用でき、成形面の平滑な成形型を短時間、かつ、低コストで製造できる。 （もっと読む）

【課題】パターン形状を良好に保ちつつ、モールドの表面に形成された凹凸パターンの凹部サイズよりもパターンサイズの小さい金属膜パターン付き基体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る金属膜パターン２１の製造方法は、金属膜２０、金属膜２０上に光反応性接着層３０、熱可塑性樹脂からなる疎水性高分子を主成分とするレジスト膜４０がこの順に成膜され、モールド５０の凹凸パターンをレジスト膜４０に転写することによりレジスト膜パターン４１を形成する。次いで、残渣処理後にレジスト膜パターン４１を用いて、露出した金属膜２０をウェットエッチングして金属膜パターンを形成する。そして、金属膜パターンのサイドエッチングを行うことによりモールド５０の凹部のサイズよりも縮小されたパターンサイズの金属膜パターン２１を得る。 （もっと読む）

【課題】 ブロック共重合体と電気めっき用ハードマスクを用いた、パターニングされた磁気記録ディスクのナノインプリント加工用マスタディスクの作製方法を提供する。
【解決手段】 パターニングされた媒体ディスクを作製するためのナノインプリント工程用のマスタディスクの作製方法は、導電基板と、ブロック共重合体の、ブロック共重合体成分の１つの、略半径方向の線および／または略同心円状の輪のパターンを形成する誘導自己組織化を利用する。基板上の、線および／または輪によって保護されていない領域内に金属を電気めっきする。ブロック共重合体成分を除去した後に、残っている金属のパターンをエッチングマスクとして使用して、最終的なマスタディスクまたは、後にマスタディスクの製造に使用される２つの別々のモールドのいずれかを製造する。 （もっと読む）

【課題】ドットパターンを有する領域と，ドットパターンを有しない領域と，を備えるモールドを高精度で作成可能とする。
【解決手段】実施形態のモールドの製造方法は，第１の高分子に親和な基板上に，第２の高分子に対して親和な第１の層を形成する工程と，第１の層に，第１，第２の開口を形成する工程と，第２の開口内にレジストを充填，硬化する工程と，ブロックコポリマーを含む第２の層を形成，自己組織化する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】成形品のパーティングラインの決定に要する工数を低減することができるパーティングライン決定装置、及びパーティングライン決定プログラム得る。
【解決手段】成形品の各面について、各手段により、キャビ型で成形させる面か、コア型で成形させる面か、スライド型で成形させる面か，分割面か、又は絶対アンダー面かが、決定され、この情報が、パーティングライン決定手段１６Ｕへ入力される。パーティングライン決定手段１６Ｕは、この情報に基づいて、各面に異なった色情報を付与し、各面の境界にパーティングラインを作成することでパーティングラインを決定する処理を終了する。このように、成形品のパーティングラインの決定に要する工数を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】レンズシートのレンズとなる金型の凸部を形成する際に、１種類のめっき液でも所望のレンズ形状を得ることを可能とする金型の製造方法及びレンズシートの製造方法を提供する。
【解決手段】板状基材１上にめっき導電膜２を形成し、めっき導電膜２上に所定の幅の溝状、円状又は多角形状の開口部４を有するレジスト５を形成し、ラウリル硫酸ナトリウム及びホルムアルデヒドの少なくともいずれかを含む第１添加剤と、芳香族スルフォン酸塩を含む第２添加剤と、芳香族イミドを含む第３添加剤Ｃとが各々添加されためっき液を用い、かつ、めっき導電膜２に所定電流を供給することで、レジスト５上の開口部４に対応する位置に、略半円柱状または略半球状のめっき構造物６を形成し、めっき構造物６が形成されているレジスト５上に金属めっきを行って、めっき構造物６の形状が反転転写された略半円柱形状又は略半球状の凹部８を有する金型９を形成する。 （もっと読む）