基板研磨装置及び方法
【課題】研磨効率を向上し、且つ研磨過程で基板が破損されることを防止することのできる基板研磨装置及び方法を提供する。
【解決手段】基板研磨装置は研磨ユニットとパッド支持部材とを具備する。研磨ユニットは基板支持ユニットに安着された基板を研磨する研磨パッドと、研磨パッドを移動させるパッド駆動部材とを具備する。パッド支持部材は基板支持ユニットに安着された基板のエッジ研磨の時、基板と接触されない研磨パッドの研磨面の一部分を支持するように基板支持ユニットの一側に設置される。これによって、基板研磨装置は基板のエッジを研磨する過程で研磨パッドが基板の外側に傾くことが防止される。
【解決手段】基板研磨装置は研磨ユニットとパッド支持部材とを具備する。研磨ユニットは基板支持ユニットに安着された基板を研磨する研磨パッドと、研磨パッドを移動させるパッド駆動部材とを具備する。パッド支持部材は基板支持ユニットに安着された基板のエッジ研磨の時、基板と接触されない研磨パッドの研磨面の一部分を支持するように基板支持ユニットの一側に設置される。これによって、基板研磨装置は基板のエッジを研磨する過程で研磨パッドが基板の外側に傾くことが防止される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体基板を研磨する基板研磨装置及び方法に関する。
【背景技術】
【0002】
一般的に、半導体素子の製造工程は薄膜の形成及び積層のために蒸着工程、写真工程、エッチング工程などの多数の単位工程を繰り返して実行しなければならない。ウェーハ上に要求される所定の回路パターンが形成されるまでこれら工程は繰り返され、回路パターンが形成された後にウェーハの表面には多くの屈曲が生ずるようになる。最近、半導体素子の高集積化によってその構造が多層化され、ウェーハ表面の屈曲数とこれらの間の段差が増加している。ウェーハ表面の非平坦化は写真工程でデフォーカス(Defocus)などの問題を発生させるので、ウェーハの表面を平坦化するために周期的にウェーハ表面を研磨しなければならない。
【0003】
ウェーハの表面を平坦化するために多様な表面平坦化技術があるが、このうち、狭い領域だけではなく、広い領域の平坦化においても優れた平坦度を得ることができる化学的機械的研磨(Chemical Mechanical Polishing:CMP)装置が主に使われている。化学的機械的研磨装置はタングステンや酸化物などが塗布されたウェーハの表面を機械的摩擦によって研磨させると共に化学的研磨剤によって研磨させる装置として、とても微細な研磨を可能にする。
【0004】
ウェーハ研磨の時、研磨装置は研磨パッドの上面にウェーハを配置させた後、ウェーハを研磨パッドに加圧しながら回転させてウェーハを研磨する。このような研磨装置はウェーハのエッジが過研磨されることを防止するためにウェーハを取り囲むリテーナリングを具備する。しかし、高価のリテーナリングはウェーハ研磨工程の時、ウェーハと共に研磨されるので、交換周期が短く、且つ分解過程が煩わしい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開2009−302503号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明の目的は、研磨効率を向上することができる基板研磨装置を提供することにある。
【0007】
また、本発明の目的は、上述の基板研磨装置を利用して基板を研磨する方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上述の本発明の目的を実現するための一特徴による基板研磨装置は、基板支持ユニット、研磨ユニット、及び少なくとも1つのパッド支持部材からなる。
【0009】
基板支持ユニットには基板が安着される。研磨ユニットは前記基板支持ユニットの上部に配置され、前記基板支持ユニットに安着された基板を研磨する研磨パッドと、前記基板支持ユニットに対する前記研磨パッドの相対的な位置が変わるように前記研磨パッドを移動させるパッド駆動部材とを具備する。パッド支持部材は前記基板支持ユニットに安着された基板のエッジ研磨の時、前記基板と接触されない前記研磨パッドの研磨面の一部分を支持するように前記基板支持ユニットの一側に設置される。
【0010】
また、上述の本発明の目的を実現するための一特徴による基板研磨装置は、容器ユニット、基板支持ユニット、研磨ユニット、及び少なくとも1つのパッド支持部材からなる。
【0011】
容器ユニットは開放された上部を有する。基板支持ユニットは前記容器ユニット内に設置され、基板が安着され、回転可能である。研磨ユニットは研磨工程の時、前記基板支持ユニットの上部に配置され、前記基板支持ユニットに安着された基板を研磨する研磨パッドと、前記研磨パッドが前記基板支持ユニットに安着された基板の中心領域から前記基板のエッジ領域までまたは前記基板のエッジ領域を通る位置まで移動可能になるように前記研磨パッドを移動させるパッド駆動部材とを具備する。パッド支持部材は前記容器ユニット内に設置され、前記基板支持ユニットから離隔されて前記基板支持ユニットの一側に配置された支持パッドを有する。
【0012】
また、上述の本発明の目的を実現するための一特徴による基板研磨方法は次の通りである。
【0013】
先ず、基板支持ユニットに基板を安着させる。前記基板支持ユニットの上部に研磨パッドを配置させる。前記基板支持ユニット及び前記研磨パッドのうちの少なくともいずれか1つが回転する間、前記研磨パッドが前記基板を加圧しながら研磨する。前記基板を研磨する過程は、前記基板と接触されない研磨パッドの一部分がパッド支持部材により支持されながら前記基板のエッジを研磨する。
【発明の効果】
【0014】
本発明によると、基板のエッジ研磨の時、パッド支持部材が基板の外側に露出した研磨パッドの一部分を支持するので、パッド支持部材は基板のエッジを研磨する過程で研磨パッドが基板の外側に傾くことを防止することができる。これによって、基板研磨装置は研磨効率を向上し、研磨過程で基板が破損されることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】本発明の一実施形態に係る枚葉式研磨システムを概略的に示す図である。
【図2】図1に示した基板研磨装置を示す斜視図である。
【図3】図2に示した基板支持ユニット及び容器ユニットを具体的に示す部分切開斜視図である。
【図4】図2に示した研磨ユニットを示す斜視図である。
【図5】図4に示した研磨ユニットを示す部分切開側面図である。
【図6】図5に示した垂直アーム部と加圧部とを示す縦断面図である。
【図7】図3に示したパッド支持部材を示す斜視図である。
【図8】図7に示したパッド支持部材、基板支持ユニット、及び研磨ユニット間の配置関係を示す図である。
【図9】図2に示した基板研磨部がウェーハを研磨する過程を示すフローチャートである。
【図10】ウェーハのエッジ研磨の時、図8に示したパッド支持部材が研磨パッドを支持する過程を示す図である。
【図11】図8に示したパッド支持部材の他の一例を示す図である。
【図12】ウェーハエッジ研磨の時、図11に示したパッド支持部材が研磨パッドを支持する過程を示す図である。
【図13】図8に示したパッド支持部材のまた他の一例を示す図である。
【図14A】ウェーハ研磨の時、研磨パッドの位置による図13に示したパッド支持部材の上面の高さ変化を示す図である。
【図14B】ウェーハ研磨の時、研磨パッドの位置による図13に示したパッド支持部材の上面の高さ変化を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、添付の図面を参照して本発明の望ましい実施形態をより詳細に説明する。以下では、ウェーハを半導体基板の一例として説明するが、本発明の技術的思想と範囲はここに限定されない。
【0017】
図1は、本発明の一実施形態に係る枚葉式研磨システムを概略的に示す図である。
【0018】
図1を参照すると、本発明の基板研磨システム2000は、ローディング/アンローディング部10と、インデックスロボット(Index Robot)20と、バッファ部30と、メイン移送ロボット(Main Transfer Robot)50と、多数の基板研磨部1000と、制御部60とを含むことができる。
【0019】
前記ローディング/アンローディング部10は多数のロードポート11a、11b、11c、11dを含む。この実施形態において、前記ローディング/アンローディング部10は4つのロードポート11a、11b、11c、11dを具備するが、前記ロードポート11a、11b、11c、11dの個数は前記基板研磨システム2000の工程効率及びフットプリント(Foot print)条件によって増加するか、または減少することもできる。
【0020】
前記ロードポート11a、11b、11c、11dにはウェーハが収納されるFOUP(Front Open Unified Pods)12a、12b、12c、12dが安着される。各FOUP12a、12b、12c、12dには、ウェーハを地面に対して水平に配置した状態で収納するための多数のスロットが形成される。前記FOUP12a、12b、12c、12dには各基板研磨部1000で処理が完了したウェーハまたは前記各基板研磨部1000に投入するウェーハを収納する。以下、説明の便宜のために、前記各基板研磨部1000によって処理が完了したウェーハを加工ウェーハといい、処理されていないウェーハを原始ウェーハという。
【0021】
前記ローディング/アンローディング部10と前記バッファ部30との間には第1移送通路41が形成され、前記第1移送通路41には第1移送レール42が設置される。前記インデックスロボット20は前記第1移送レール42に設置され、前記第1移送レール42に沿って移動しながら前記ローディング/アンローディング部10と前記バッファ部30との間にウェーハを移送する。すなわち、前記インデックスロボット20は前記ローディング/アンローディング部10に安着されたFOUP12a、12b、12c、12dから少なくとも一枚の原始ウェーハを引き出して前記バッファ部30に積載する。また、前記インデックスロボット20は前記バッファ部30から少なくとも一枚の加工ウェーハを引き出して前記ローディング/アンローディング部10に安着されたFOUP12a、12b、12c、12dに積載する。
【0022】
一方、前記バッファ部30は前記第1移送通路41の一側に設置される。前記バッファ部30は前記インデックスロボット20によって移送された原始ウェーハを収納し、前記基板研磨部で処理された加工ウェーハを収納する。
【0023】
前記メイン移送ロボット50は第2移送通路43に設置される。前記第2移送通路43には第2移送レール44が具備され、前記第2移送レール44には前記メイン移送ロボット50が設置される。前記メイン移送ロボット50は前記第2移送レール44に沿って移動しながら、前記バッファ部30と前記基板研磨部1000との間にウェーハを移送する。すなわち、前記メイン移送ロボット50は前記バッファ部30から少なくとも一枚の原始ウェーハを引き出して前記基板研磨部1000に提供し、前記基板研磨部1000で処理されたウェーハ、すなわち加工ウェーハを前記バッファ部30に積載する。
【0024】
前記第2移送通路43の両側には前記基板研磨部1000が配置され、各基板研磨部1000は前記原始ウェーハを研磨及び洗浄して前記加工ウェーハを作る。前記基板研磨部1000は少なくとも2つ以上の基板研磨部1000が前記第2移送通路43を挟んで互いに向き合うように配置される。本発明の一例として、基板研磨部1000は平面上で見る時、前記第2移送通路43の両側に各々2つずつ前記第2移送通路43に沿って並列配置されるが、前記第2移送通路43の両側に各々配置される基板研磨部1000の個数は前記基板研磨システム2000の工程効率及びフットプリントによって増加するか、または減少することもできる。
【0025】
一方、各基板研磨部1000は前記制御部60と連結され、前記制御部60の制御によって原始ウェーハを研磨及び洗浄する。すなわち、前記制御部60は前記基板研磨部1000を制御し、各基板研磨部1000の研磨工程を制御する。
【0026】
以下、図面を参照して前記基板研磨部1000の構成に対して具体的に説明する。
【0027】
図2は、図1に示した基板研磨装置を示す斜視図であり、図3は、図2に示した基板支持ユニット及び容器ユニットを具体的に示す部分切開斜視図である。
【0028】
図1乃至図3を参照すると、前記基板研磨システム2000はウェーハ70の上面を研磨する研磨工程及び研磨工程の後、ウェーハ70の表面を洗浄する洗浄工程を1つの基板研磨部1000内で順に進行することができる。
【0029】
具体的に、前記基板研磨部1000は、基板支持ユニット100と、容器ユニット(bowlunit)200と、研磨ユニット300と、パッド支持部材401と、第1及び第2処理流体供給ユニット510、520と、ブラシユニット610と、エアロゾルユニット620と、パッドコンディショニングユニット700とを含むことができる。
【0030】
前記基板支持ユニット100には前記メイン移送ロボット50から移送されたウェーハ70が安着される。前記基板支持ユニット100は前記ウェーハ70の研磨工程と洗浄工程が行われる間、前記ウェーハ70を支持及び固定させる。前記基板支持ユニット100は前記ウェーハ70が安着されるスピンヘッド110と、前記スピンヘッド110を支持する支持部120と、回転力を提供する基板駆動部材(未図示)とを含むことができる。
【0031】
前記スピンヘッド110は平面上で見る時、略円形状を有し、上面から下面に行くほど幅が減少する。本発明の一例として、前記スピンヘッド110は前記ウェーハ70を支持する上面の面積が前記ウェーハ70の面積より小さい。したがって、側面で見る時、前記スピンヘッド110に安着されたウェーハ70は端部が前記スピンヘッド110上面の端部より外側に突き出される。
【0032】
前記スピンヘッド110の下には前記支持部120が設置され、前記支持部120は前記基板駆動部材と連結される。前記支持部120は略円筒形状を有し、前記スピンヘッド110と結合する。前記基板駆動部材は前記支持部120を回転させ、前記支持部120の回転力は前記スピンヘッド110に伝達されて前記スピンヘッド110が回転する。研磨工程及び洗浄工程が行われる間、前記スピンヘッド110は上面に前記ウェーハ70を固定させた状態で前記基板駆動部材から提供される回転力によって回転する。
【0033】
前記基板支持ユニット100は前記容器ユニット200の内部に収容される。前記容器ユニット200は、第1及び第2処理容器(process bowl)210、220と、第1及び第2回収箱(recovery vat)230、240と、第1及び第2回収管251、252と、昇降部材260とを含むことができる。
【0034】
具体的に、前記第1及び第2処理容器210、220は前記基板支持ユニット100を取り囲み、前記ウェーハ70の研磨工程及び洗浄工程が行われる工程空間を提供する。前記第1及び第2処理容器210、220は各々上部が開放されており、前記第1及び第2処理容器210、220の開放された上部を通じて前記スピンヘッド110が露出する。この実施形態において、前記第1及び第2処理容器210、220は円形のリング形状を有するが、前記第1及び第2処理容器210、220の形状はこれに限定されず、多様な形状を有することができる。
【0035】
具体的に、前記第1処理容器210は側壁211と、上板212と、ガイド部213とを含むことができる。前記側壁211は略円形のリング形状を有し、前記基板支持ユニット100を取り囲む。
【0036】
前記側壁211の上端部は前記上板212と連結される。前記上板212は前記側壁211から延長されて形成され、前記側壁211から遠くなるほど上向きに傾いた傾斜面からなる。前記上板212は略円形のリング形状を有し、平面上で見る時、前記スピンヘッド110から離隔されて前記スピンヘッド110を取り囲む。
【0037】
前記ガイド部213は第1及び第2ガイド壁213a、213bを含む。前記第1ガイド壁213aは前記側壁211の内壁から突き出されて前記上板212と向き合い、前記側壁から遠くなるほど下向き傾いた傾斜面からなり、円形のリング形状を有する。前記第2ガイド壁213bは前記第1ガイド壁213aから下に垂直に延長され、前記側壁211と向き合い、円形のリング形状を有する。前記ガイド部213は前記ウェーハ70の研磨工程中、前記第1処理容器210の側壁211と上板212の内面側に飛散された処理液が前記第1回収箱230側に流れるようにガイドする。
【0038】
前記第1処理容器210の外側には前記第2処理容器220が設置される。前記第2処理容器220は前記第1処理容器210を取り囲み、前記第1処理容器210より大きいサイズを有する。
【0039】
具体的に、前記第2処理容器220は側壁221及び上板222を含むことができる。前記側壁221は略円形のリング形状を有し、前記第1処理容器210の側壁211を取り囲む。前記側壁221は前記第1処理容器210の側壁211と離隔されて位置し、前記第1処理容器210と連結される。
【0040】
前記側壁221の上端部は前記上板222と連結される。前記上板222は前記側壁221から延長されて形成され、前記側壁221から遠くなるほど上向きに傾いた傾斜面からなる。前記上板222は略円形のリング形状を有し、平面上で見る時、前記スピンヘッド110から離隔されて前記スピンヘッド110を取り囲む。前記上板222は前記第1処理容器210の上板212の上部で前記第1処理容器210の上板212と向き合い、前記第1処理容器210の上板212と離隔されて位置する。
【0041】
前記第1及び第2処理容器210、220の下には研磨工程及び洗浄工程で使われた処理液を回収する前記第1及び第2回収箱230、240が設置される。前記第1及び第2回収箱230、240は略円形のリング形状を有し、上部が開放されている。この実施形態において、前記第1及び第2回収箱230、240は円形のリング形状を有するが、前記第1及び第2回収箱230、240の形状はこれに限定されず、多様に形成されることができる。
【0042】
前記第1回収箱230は前記第1処理容器210の下に設置され、研磨工程で使われた処理液を回収する。第2回収箱240は前記第2処理容器220の下に設置され、洗浄工程で使われた処理液を回収する。
【0043】
具体的に、前記第1回収箱230は底板231と、第1側壁232と、第2側壁233と、連結部234とを含むことができる。前記底板231は略円形のリング形状を有し、前記支持部120を取り囲む。本発明の一例として、前記底板231は前記第1回収箱230に回収された処理液の排出を容易にするために縦断面が‘V’形状を有する。これによって、前記底板231にはリング形状の回収流路231aが形成され、前記処理液の排出及び回収が容易である。
【0044】
前記第1側壁232は前記底板231から垂直に延長されて処理液を回収する第1回収空間RS1を形成する。前記第2側壁233は前記第1側壁232から離隔されて前記第1側壁232と向き合う。前記連結部234は前記第1側壁232の上端部及び前記第2側壁233の上端部と連結され、前記第1側壁232から前記第2側壁233に行くほど上向きに傾いた傾斜面からなる。前記連結部234は前記第1回収空間RS1の外に落ちた処理液が前記第1回収空間RS1に流入されるように前記第1回収空間RS1側にガイドする。
【0045】
前記第1回収箱230の外側には前記第2回収箱240が設置される。前記第2回収箱240は前記第1回収箱230を取り囲み、前記第1回収箱230から離隔されて位置する。具体的に、前記第2回収箱240は底板241と、第1側壁242と、第2側壁243とを含むことができる。前記底板241は略円形のリング形状を有し、前記第1回収箱230の底板231を取り囲む。本発明の一例として、前記底板241は前記第2回収箱240に回収された処理液の排出を容易にするために縦断面が‘V’形状を有する。これによって、前記底板241にはリング形状の回収流路241aが形成され、処理液の排出及び回収が容易である。
【0046】
前記第1及び第2側壁242、243は前記底板241から垂直に延長されて処理液を回収する第2回収空間RS2を形成し、円形のリング形状を有する。前記第1側壁242は前記第1回収箱230の第1側壁232と第2側壁233との間に位置し、前記第1回収箱230の第1側壁232を取り囲む。前記第2回収箱240の第2側壁243は前記底板241を挟んで前記第1側壁242と向き合い、前記第1側壁242を取り囲む。前記第2回収箱240の第2側壁243は前記第1回収箱230の第2側壁233を取り囲み、上端部が前記第2処理容器220の側壁221の外側に位置する。
【0047】
前記ウェーハ70の研磨及び洗浄工程の時、各工程によって前記スピンヘッド110と前記第1及び第2処理容器210、220と間の垂直位置が変更され、前記第1及び第2回収箱230、240は互いに異なる工程で使われた処理液を回収する。
【0048】
具体的に、前記研磨工程の時、前記スピンヘッド110は第1処理容器210内に配置され、前記第1処理容器210の内部で前記ウェーハ70の研磨工程が行われる。研磨工程が行われる間、前記スピンヘッド110の回転によって前記ウェーハ70が回転する。これによって、前記研磨工程の時、前記ウェーハ70に噴射された処理液が前記ウェーハ70の回転力によって前記第1処理容器210の側壁211の内面及び上板212の内面側に飛散される。前記第1処理容器210の側壁211と上板212の内面についた処理液は前記第1処理容器210の上板212及び側壁211に沿って重力方向に流れて前記ガイド部213に到逹し、前記ガイド部213の内面に沿って重力方向に流れて前記第1回収箱230に回収される。
【0049】
研磨工程の後、洗浄工程の時、前記スピンヘッド110は前記第1処理容器210の上部で前記第2処理容器220の上板222の下に配置され、洗浄工程が行われる間回転する。これによって、洗浄工程で前記ウェーハに提供された処理液が前記第2処理容器220の上板222の内面と側壁221の内面及び前記第1処理容器210の外面側に飛散される。前記第1処理容器210の側壁211は前記第2回収箱240の底板241の上部に位置し、前記第1処理容器210の外面についた処理液は前記第1処理容器210の外面に沿って重力方向に流れて前記第2回収箱240に回収される。また、前記第2処理容器220の内面についた処理液は前記第2処理容器220の内面に沿って重力方向に流れて前記第2回収箱に回収される。
【0050】
このように、前記第1回収箱230は研磨工程で使われた処理液を回収し、前記第2回収箱240は洗浄工程で使われた処理液を回収する。これによって、前記容器ユニット200は容器ユニット200内で行われる各工程段階別に処理液を分離回収することができるので、処理液の再利用が可能であり、処理液の回収が容易である。
【0051】
前記第1回収箱230は前記第1回収管251と連結され、前記第2回収箱240は前記第2回収管252が連結される。前記第1回収管251は前記第1回収箱230の底板231に結合され、前記第1回収箱230の底板231には前記第1回収管251と連通される第1回収ホール231bが形成される。前記第1回収箱230の第1回収空間RS1に回収された処理液は前記第1回収ホール231bを経由して前記第1回収管251を通じて外部に排出される。
【0052】
この実施形態において、前記容器ユニット200は2つの処理容器210、220と2つの回収箱230、240とを具備するが、前記処理容器210、220と前記回収箱230、240の個数は研磨工程及び洗浄工程で使われる処理液の種類数及び分離回収する処理液の種類数によって増加することもできる。
【0053】
前記第2回収管252は前記第2回収箱240の底板241に結合され、前記第2回収箱240の底板241には前記第2回収管252と連通される第2回収ホール241bが形成される。前記第2回収箱240の第2回収空間RS2に回収された処理液は前記第2回収ホール241bを経由して前記第2回収管252を通じて外部に排出される。
【0054】
この実施形態において、前記第1回収管251と前記第2回収管252は各々1つずつ具備されるが、前記第1及び第2回収管251、252の個数は前記第1及び第2回収箱230、240の大きさ及び回収効率によって増加することもできる。
【0055】
一方、前記第2処理容器220の外側には垂直移動が可能な前記昇降部材260が設置される。前記昇降部材260は前記第2処理容器220の側壁221に結合され、前記第1及び第2処理容器210、220の垂直位置を調節する。具体的に、前記昇降部材260はブラケット261と、移動軸262と、駆動器263とを含むことができる。ブラケット261は前記第2処理容器220の側壁221に固定設置され、前記移動軸262と結合する。前記移動軸262は前記駆動器263に連結され、前記駆動器263によって上下方向に移動される。
【0056】
前記昇降部材260はウェーハ70がスピンヘッド110に安着されるか、またはスピンヘッド110から持ち上げられる時、スピンヘッド110が前記第1及び第2処理容器210、220の上部に突き出されるように前記第1及び第2処理容器210、220を下降させる。下降の時、前記第1回収箱230の第1及び第2側壁232、233と連結部234は前記第1処理容器210の側壁211と第1及び第2ガイド壁213a、213bによって形成された空間内に引き入れる。
【0057】
また、昇降部材260はウェーハ70の研磨工程及び洗浄工程進行の時、前記研磨工程で使われた処理液と前記洗浄工程で使われた処理液とを分離回収するために前記第1及び第2処理容器210、220を昇降及び下降させて各処理容器210、220と前記スピンヘッド110との間の相対的な垂直位置を調節する。
【0058】
この実施形態において、前記基板研磨部1000は前記第1及び第2処理容器210、220を垂直移動させて第1及び第2処理容器210、220と前記スピンヘッド110との間の相対的な垂直位置を変更させるが、前記スピンヘッド110を垂直移動させて前記第1及び第2処理容器210、220と前記スピンヘッド110との間の相対的な垂直位置を変更させることもできる。
【0059】
一方、前記容器ユニット200の外側には前記研磨ユニット300と、第1及び第2処理流体供給ユニット510、520と、前記ブラシユニット610と、前記エアロゾルユニット620と、前記パッドコンディショニングユニット700とが設置される。
【0060】
前記研磨ユニット300は前記基板支持ユニット100に固定されたウェーハ70の表面を化学的機械的方法で研磨して前記ウェーハ70の表面を平坦化する。
【0061】
図4は、図2に示した研磨ユニットを示す斜視図であり、図5は、図4に示した研磨ユニットを示す部分切開側面図である。
【0062】
図3、図4、及び図5を参照すると、研磨ユニット300は、加圧部310と、垂直アーム部320と、スイングアーム部(swingarmpart)330と、駆動部340と、から成るパッド駆動部材を含むことができる。
【0063】
具体的に、前記加圧部310は研磨工程の時、前記スピンヘッド110に固定されたウェーハ70の上部に配置される。前記加圧部310は前記ウェーハ70に接触された状態で回転して前記ウェーハ70を研磨し、前記加圧部310が前記ウェーハ70を研磨する間、前記ウェーハ70の上面には前記ウェーハ70のための薬液、例えば、スラリーが提供される。
【0064】
前記加圧部310の上端部には前記垂直アーム部320が固定設置される。前記垂直アーム部320は前記スピンヘッド110の上面に対して垂直に延長されて配置され、前記駆動部340から提供された回転力によって長さ方向の中心軸を基準として回転する。前記加圧部310及び前記垂直アーム部320の構成に対する具体的な説明は図6で説明する。
【0065】
前記垂直アーム部320の上部には前記スイングアーム部330が設置される。前記スイングアーム部330は棒形状の回転ケース331及び前記駆動部340からの回転力を前記垂直アーム部320に伝達するベルトプーリアセンブリを含むことができる。前記回転ケース331は一側が前記垂直アーム部320に結合され、他側が前記駆動部340に結合される。
【0066】
前記駆動部340は前記スイングアーム部330を回転させる第1駆動モータ341と、前記垂直アーム部320を回転させる第2駆動モータ342と、前記加圧部310の垂直位置を調節する垂直移動部343とを含むことができる。
【0067】
前記第1駆動モータ341は前記回転ケース331に結合され、前記回転ケース331に回転力を提供する。前記第1駆動モータ341は時計方向への回転力と反時計方向への回転力とを交互に繰り返して提供することができる。これによって、前記スイングアーム部330は前記駆動部340に結合された部分を中心軸として前記駆動部340によってスイングする。研磨工程の時、前記加圧部310は前記スイングアーム部330のスイング動作によって前記ウェーハ70の上部で円弧形態で水平往復移動することができる。このとき、前記研磨パッド311は、前記基板支持ユニット100に安着された前記ウェーハ70の中心領域から前記ウェーハ70のエッジ領域までまたは前記ウェーハ70のエッジ領域を通る位置まで移動可能になるように、パッド駆動部により移動される。
【0068】
前記第1駆動モータ341の下には前記第2駆動モータ342が設置される。前記第2駆動モータ342は前記ベルトプーリアセンブリに回転力を提供し、前記ベルトプーリアセンブリは前記第2駆動モータ342の回転力を前記垂直アーム部320に提供する。前記ベルトプーリアセンブリは前記回転ケース331に内蔵され、駆動プーリ332と、従動プーリ333と、ベルト334とを含むことができる。前記駆動プーリ332は前記第1駆動モータ341の上部に設置され、前記第1駆動モータ341を貫通する垂直アーム344の一側に結合される。前記垂直アーム344の他側には前記第2駆動モータ342が結合される。
【0069】
前記従動プーリ333は前記駆動プーリ332と向き合うように配置され、前記垂直アーム部320の上部に設置されて前記垂直アーム部320に結合される。前記駆動プーリ332と前記従動プーリ333は前記ベルト334を通じて互いに連結され、前記ベルト334は前記駆動プーリ332及び前記従動プーリ333に巻かれる。
【0070】
前記第2駆動モータ342の回転力は前記垂直アーム344を通じて前記駆動プーリ332に伝達され、これによって、前記駆動プーリ332が回転する。前記駆動プーリ332の回転力は前記ベルト334を通じて前記従動プーリ333に伝達され、これによって、前記従動プーリ333が回転する。前記従動プーリ333の回転力は流体供給部も兼ねる前記垂直アーム320に伝達され、これによって、前記加圧部310及び前記垂直アーム部320が回転する。
【0071】
前記第1駆動モータ341及び前記第2駆動モータ342の背後には前記垂直移動部343が設置される。前記垂直移動部343はボールスクリュ343aと、ナット343bと、第3駆動モータ343cとを含むことができる。前記ボールスクリュ343aは棒形状を有し、地面に対して垂直に設置される。前記ナット343bは前記ボールスクリュ343aに嵌合され、前記第2駆動モータ342に固定される。前記ボールスクリュ343aの下には前記第3駆動モータ343cが設置される。前記第3駆動モータ343cは前記ボールスクリュ343aと結合し、時計方向の回転力及び反時計方向の回転力を前記ボールスクリュ343aに提供することができる。前記ボールスクリュ343aは前記第3駆動モータ343cによって時計方向または反時計方向に回転する。前記ナット343bは前記ボールスクリュ343aの回転によって前記ボールスクリュ343aに沿って上下移動し、これによって、前記ナット343bに結合された第2駆動モータ342が前記ナット343bと共に上下移動する。前記第2駆動モータ342の垂直移動によって前記第1駆動モータ341及び前記スイングアーム部330が上下移動し、これによって、前記垂直アーム部320及び加圧部310も上下移動する。
【0072】
この実施形態において、前記垂直移動部343はボールスクリュ343aと、ナット343bと、第3駆動モータ343cとを具備し、リニアモータ方式で垂直移動力を提供するが、シリンダを具備して垂直移動力を提供することもできる。
【0073】
一方、前記第1駆動モータ341、第2駆動モータ342、前記ボールスクリュ343a、前記ナット343b及び垂直アーム344は駆動ケース345に内蔵され、前記駆動ケース345は垂直方向に長い棒形状を有する。
【0074】
以下、図面を参照して前記加圧部310及び前記垂直アーム部320に対して具体的に説明する。
【0075】
図6は、図5に示した垂直アーム部と加圧部とを示す縦断面図である。
【0076】
図2、図5、及び図6を参照すると、前記垂直アーム部320は前記駆動部340から提供された回転力によって回転して前記加圧部310を回転させ、前記加圧部310が前記ウェーハ70を加圧する圧力を制御するための空気を前記加圧部310に提供する。
【0077】
具体的に、前記垂直アーム部320はハウジング321と、回転軸322と、ロータリジョイント323と、第1及び第2ベアリング324a、324bと、第1及び第2補助軸325a、325bとを含むことができる。
【0078】
前記ハウジング321は略円筒状の管形状を有し、上端部が前記スイングアーム部330の回転ケース331内に挿入されて前記回転ケース331に結合され、下端部が前記加圧部310に結合される。
【0079】
前記回転軸322は前記ハウジング321内に具備され、前記ハウジング321と離隔されて位置する。前記回転軸322は前記ハウジング321の長さ方向に延長され、中央部に前記回転軸322の長さ方向に延長された空気通路322aが形成される。前記回転軸322は前記従動プーリ333に連結され、前記従動プーリ333の回転力によって長さ方向の中心軸を基準として回転する。前記回転軸322の上端部は前記ロータリジョイント323に連結結合され、前記ロータリジョイント323は前記回転軸322の空気通路322aに空気を提供し、前記従動プーリ333に固定結合される。前記ロータリジョイント323は回転部と固定部からなり、前記回転部は前記従動プーリ333に固定結合され、前記従動プーリ333の回転力によって回転する。前記ロータリジョイント323の固定部は空気を提供するエアライン80に連結される。前記エアライン80から提供された空気は前記ロータリジョイント323を通じて前記空気通路322aに流入され、前記空気通路322aに沿って流れて前記加圧部310に流入される。
【0080】
前記ハウジング321と前記回転軸322との間には前記第1及び第2ベアリング324a、324bが設置される。前記第1及び第2ベアリング324a、324bは前記ハウジング321と前記回転軸322とを連結し、前記回転軸322が安定的に回転するように前記回転軸322を支持する。前記第1ベアリング324aは前記スイングアーム部330と隣接して位置し、前記第2ベアリング324bは前記加圧部310と隣接して位置する。前記第1及び第2ベアリング324a、324bの内輪は前記回転軸322に結合されて前記回転軸322と共に回転し、外輪は前記ハウジング321に結合されて前記回転軸322の回転の時、回転しない。したがって、前記回転軸322のみが回転し、前記ハウジング321は回転しない。
【0081】
また、前記回転軸322と前記ハウジング321との間には前記第1及び第2補助軸325a、325bがさらに設置されることができる。前記第1補助軸325aは前記ハウジング321の内壁を取り囲み、前記ハウジング321を保護する。前記第2補助軸325bは前記回転軸322の外壁を取り囲み、前記回転軸322を保護する。
【0082】
前記回転軸322の下端部には前記加圧部310が固定設置される。前記加圧部310は研磨パッド311と、研磨ケース312と、上部及び下部プレート313、314と、パッドホルダ315と、結合プレート316と、ベローズ317とを含むことができる。
【0083】
前記研磨パッド311はプレート形状を有し、略円形のリング形状を有する。前記研磨パッド311は研磨工程の時、下面をウェーハの上面に接触させた状態で回転してウェーハを研磨する。なお、ウェーハを研磨するためには、基板支持ユニット100と研磨パッドのうち少なくともいずれか1つが回転する構成であればよい。前記研磨パッド311は前記ウェーハの直径より小さい直径を有し、研磨工程の時、前記駆動部340によってスイングしながら前記ウェーハを研磨する。このように、前記研磨パッド311が前記ウェーハより小さいサイズを有するので、前記研磨ユニット300は前記ウェーハを局所的に研磨することができ、特定領域での過研磨を防止することができる。
【0084】
前記研磨パッド311の上部には前記研磨ケース312が具備される。前記研磨ケース312は略円形のリング形状を有し、内部には前記上部及び下部プレート313、314と前記ベローズ317が設置される。前記研磨ケース312の上面中央部には結合ホールが形成され、前記結合ホールには結合プレート316が具備される。前記結合プレート316は前記研磨ケース312と離隔されて位置し、前記垂直アーム部320の回転軸322に固定結合される。
【0085】
前記結合プレート316の下面には前記上部プレート313が固定設置され、前記上部プレート313の下には前記上部プレート313と離隔されて前記下部プレート314が設置される。前記下部プレート314の下面には前記パッドホルダ315が結合され、前記パッドホルダ315の下面には前記研磨パッド311が結合される。
【0086】
一方、前記上部プレート313と前記下部プレート314との間には前記ベローズ317が具備される。前記ベローズ317は金属材質からなり、前記回転軸322の空気通路322aから提供される空気が注入され、空気圧によって垂直方向に膨脹及び収縮する。研磨工程の進行の時、前記ベローズ317は空気圧によって研磨パッド311がウェーハに密着されるように伸長される。また、前記基板支持ユニット100(図2参照)の上部で待機の時、前記ベローズ317は前記空気通路322aから提供される真空圧によって収縮され、これによって、前記研磨パッド311が前記基板支持ユニット100に安着されたウェーハから離隔される。
【0087】
このように、前記加圧部310は空気圧によって伸長及び収縮される前記ベローズ317を利用するので、研磨工程の時、前記研磨パッド311は前記ウェーハの上面形状によって傾くことが可能である。
【0088】
再び、図1乃至図3を参照すると、前記基板支持ユニット100の一側には前記パッド支持部材401が設置され、前記パッド支持部材401は前記容器ユニット200内に設置される。前記パッド支持部材401は前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記研磨パッド311(図6参照)の一部分を支持して前記研磨パッド311が前記ウェーハ70の外側に傾くことを防止する。前記パッド支持部材401の構成に対する具体的な説明は後述の図7及び図8でする。
【0089】
前記容器ユニット200の外側に設けられた前記第1及び第2処理流体供給ユニット510、520は前記ウェーハ70の研磨工程及び洗浄工程に必要な処理流体を前記基板支持ユニット100に固定されたウェーハ70に噴射する。具体的に、前記第1処理流体供給ユニット510は前記第2処理容器220の側壁221に固定設置される。研磨工程または洗浄工程の時、前記第1処理流体供給ユニット510は前記スピンヘッド110に固定されたウェーハ70に処理流体を噴射して前記ウェーハ70を処理する。この実施形態において、前記第1処理流体供給ユニット510から噴射される処理流体はウェーハ70の洗浄または乾燥のための処理液であり得る。または乾燥のための乾燥ガスであり得る。
【0090】
本発明の一例として、前記第1処理流体供給ユニット510は4つの噴射ノズルを具備するが、前記噴射ノズルの個数はウェーハ70の洗浄に使われる前記処理流体の種類数によって増加するか、または減少することもできる。
【0091】
前記第2処理流体供給ユニット520はスイング可能に設置され、前記スピンヘッド110に固定されたウェーハ70の上面に処理流体を噴射する。前記第2処理流体供給ユニット520から提供される処理流体はスラリーであり得る。また、前記研磨工程の時、スラリーは前記第2処理流体供給ユニット520ではなく、別途の薬液噴射部材(図示しない)によって前記ウェーハ70に噴射されることもできる。
【0092】
一方、前記ブラシユニット610は研磨工程の後、ウェーハ70表面の異物を物理的に除去する。前記ブラシユニット610は前記ウェーハ70の表面に接触されて前記ウェーハ70表面の異物を物理的に拭き取るブラシパッドを具備し、スイング可能である。洗浄工程の時、前記ブラシユニット610はスイング動作を通じて前記ブラシパッドを前記スピンヘッド110の上部に配置させた状態で前記ブラシパッドを回転させて前記スピンヘッド110に固定されたウェーハ70を洗浄する。
【0093】
前記ブラシユニット610の一側には前記エアロゾルユニット620が配置される。前記エアロゾルユニット620は前記スピンヘッド110に固定されたウェーハ70に処理液を微細粒子形態で高圧噴霧して前記ウェーハ70表面の異物を除去する。本発明の一例として、前記エアロゾルユニット620は超音波を利用して前記処理液を小さい粒子形態として噴霧する。前記ブラシユニット610は比較的大きい粒子の異物を除去するのに使われ、前記エアロゾルユニット620は前記ブラシユニット610に比べて比較的小さい粒子の異物を除去するのに使われる。
【0094】
一方、前記パッドコンディショニングユニット700は前記研磨ユニット300がホームポート(home port)で待機中である時、前記研磨ユニット300を洗浄及び再生させる。すなわち、前記研磨パッド311(図6参照)には前記研磨工程の効率を向上させるために前記ウェーハ70と接触される面に所定の研磨パターンが形成される。このような研磨パターンは前記ウェーハ70を研磨する過程で前記ウェーハ70との摩擦によって益々摩耗され、研磨過程で使われる薬液が前記研磨パターン内で硬化されることもできる。前記パッドコンディショニングユニット700は研磨パッド311の表面を研磨して前記研磨パッド311を再生させる。
【0095】
以下、図面を参照して前記パッド支持部材401の構成に対して具体的に説明する。
【0096】
図7は、図3に示したパッド支持部材を示す斜視図であり、図8は、図7に示したパッド支持部材、基板支持ユニット、及び研磨ユニット間の配置関係を示す図である。
【0097】
図2、図7、及び図8を参照すると、前記パッド支持部材401は前記基板支持ユニット100の一側に前記基板支持ユニット100から離隔されて設置される。前記パッド支持部材401は前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記ウェーハ70と接触されない前記研磨パッド311の研磨面の一部分を支持して前記研磨パッド311が前記ウェーハ70の外側に傾くことを防止する。
【0098】
具体的に、前記パッド支持部材401は支持胴体410と、パッド部420とを含むことができる。前記支持胴体410は前記容器ユニット200の底板231に固定設置され、前記容器ユニット200の底板231から前記容器ユニット200の上面に向けて延長された柱形状を有する。
【0099】
前記パッド部420は前記支持胴体410の上端部に固定結合され、前記スピンヘッド110と隣接して位置する。前記パッド部420は前記スピンヘッド110から離隔されて位置し、前記ウェーハ70のエッジ研磨工程の時、前記研磨パッド311の一部分を支持する。
【0100】
前記パッド部420は前記支持胴体410に固定結合された結合胴体421と、前記結合胴体421の上端面に結合された支持プレート422と、前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記研磨パッド311の一部分を支持する支持パッド424とを含むことができる。前記結合胴体421は第1ネジ430によって前記支持胴体410に脱着可能に結合され、柱形状を有する。前記支持プレート422は第2ネジ423によって前記結合胴体421に脱着可能に結合され、上面及び側面が前記支持パッド424によってカバーされる。
【0101】
前記支持パッド424は合成樹脂材質からなり、前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記ウェーハ70と接触されずに前記ウェーハ70の外側に露出した前記研磨パッド311の一部分を支持する。本発明の一例として、前記支持パッド424の上面は円形状を有し、前記研磨パッド311の面積より小さい面積を有する。
【0102】
側面で見る時、前記支持パッド424の上面は前記ウェーハ70の上面と同一線上に位置する。すなわち、前記支持パッド424の上面は前記スピンヘッド110に固定されたウェーハ70の高さと同一の高さを有する。また、前記支持パッド424は前記研磨パッド311の移動軌跡またはその延長線上に配置される。すなわち、前記支持パッド424は前記研磨パッド311がスイング動作を通じて移動することができる移動経路線上に位置する。本発明の一例として、前記研磨パッド311の半径は前記支持パッド424と前記スピンヘッド110の離隔距離と前記支持パッド424の幅とを合わせたものと同一、またはこれより小さく設ける。これによって、前記支持パッド424が前記研磨パッド311を安定的に支持することができる。
【0103】
このように、前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記研磨パッド311は前記スピンヘッド110及び前記支持パッド424によって安定的に支持されるので、前記ウェーハ70の外側に傾かない。これによって、前記基板研磨部1000はウェーハ70のエッジを研磨する過程で前記研磨パッド311が傾いて発生する研磨不良及びウェーハ70のエッジ破損を防止することができるので、製品の収率を向上することができる。
【0104】
前記支持パッド424は前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記スピンヘッド110と共に前記研磨パッド311を支持するので、前記研磨パッド311によって上面が摩耗される。前記支持パッド424の摩耗程度がひどい場合、前記支持パッド424の上面の高さが前記ウェーハ70の上面の高さより顕著に低くなる。その結果、前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記支持パッド424が前記研磨パッド311の一部分を支持しても前記研磨パッド311が前記ウェーハ70の外側に傾くことができる。これを防止するため、前記支持パッド424を交換する。前記支持パッド424の交換の時、前記支持パッド424を前記支持プレート422から分離した後、新しい支持パッドに交換することもでき、前記支持プレート422と前記支持パッド424とを共に分離して交換することもできる。
【0105】
前記基板研磨部1000は前記支持パッド424の摩耗程度を感知するために前記支持パッド424の上面の高さを感知して前記支持パッド424の上面の垂直位置値を出力する第1位置感知部710をさらに含むことができる。前記第1位置感知部710は前記支持パッド424の上部に設置され、前記支持パッド424上面の垂直位置値を前記制御部60に提供する。前記制御部60は前記支持パッド424の垂直位置値が予め設定された垂直位置範囲を逸脱するか否かをチェックして前記支持パッド424を交換するか否かを判断する。
【0106】
以下、図面を参照してウェーハ70のエッジ研磨の時、前記パッド支持部材401が前記研磨パッド311を支持する過程に対して具体的に説明する。
【0107】
図9は、図2に示した基板研磨部がウェーハを研磨する過程を示すフローチャートであり、図10は、ウェーハのエッジ研磨の時、図8に示したパッド支持部材が研磨パッドを支持する過程を示す図である。
【0108】
図9及び図10を参照すると、先ず、前記スピンヘッド110の上面に前記ウェーハ70を安着させる(S110)。
【0109】
続いて、前記ウェーハ70の上面に前記研磨パッド311を配置させる(S120)。
【0110】
次に、前記スピンヘッド110が回転してウェーハ70を回転させ、これと共に、前記研磨パッド311が前記ウェーハ70を加圧しながら回転して前記ウェーハ70を研磨する(S130)。前記ウェーハ70の研磨の時、前記ウェーハ70の上面にはスラリー90が提供され、前記研磨パッド311は回転しながらスイングして前記ウェーハ70に対する相対的な水平位置を変更させながら前記ウェーハ70を研磨する。
【0111】
前記研磨工程の時、前記研磨パッド311が前記ウェーハ70のエッジを研磨するためにスイング動作を通じて前記ウェーハ70のエッジに移動する。この時、前記支持パッド424の上面は前記ウェーハ70と接触しない研磨パッド311の一部分、すなわち、前記ウェーハ70の外側に露出した研磨パッド311の一部分を支持する。これによって、パッド支持部材401は前記研磨パッド311が前記ウェーハ70の外側に傾くことを防止することができる。
【0112】
図11は、図8に示したパッド支持部材の他の一例を示す図であり、図12は、ウェーハエッジ研磨の時、図11に示したパッド支持部材が研磨パッドを支持する過程を示す図である。
【0113】
図11及び図12を参照すると、パッド支持部材402は支持胴体410と、パッド部420と、位置調節部440とを含むことができる。前記パッド支持部材402は前記位置調節部440を除いては図8に示したパッド支持部材401と同一の構成を有する。したがって、以下、図8に示したパッド支持部材401と同一の構成要素に対しては参照番号を併記し、その具体的な説明は省略する。
【0114】
前記位置調節部440は前記支持胴体410の下部に固定結合され、前記支持胴体410を垂直移動させて前記パッド部420の上面、すなわち、支持パッド424の上面の高さを調節する。この実施形態において、前記位置調節部440はシリンダからなるが、駆動モータからなることもできる。
【0115】
前記位置調節部440は前記制御部60と連結され、前記制御部60によって制御されることもできる。すなわち、前記制御部60は前記第1位置感知部710から出力された前記支持パッド424の上面の垂直位置値を受信し、受信された位置値によって前記位置調節部440を制御し、前記支持パッド424の上面の高さを予め設定された高さ、例えば、前記ウェーハ70の上面の高さと同一に調節する。前記位置調節部440は、前記支持胴体410または前記支持パッド424と結合され、前記支持胴体410または前記支持パッド424を垂直移動させて前記支持パッド424の垂直位置を調節するものであればよい。前記支持パッド部材401の上面の垂直位置を調整する段階は、前記研磨パッド311が前記ウェーハ70を研磨する間行われる。
【0116】
図13は、図8に示したパッド支持部材のまた他の一例を示す図である。
【0117】
図13を参照すると、パッド支持部材403は前記基板支持ユニット100の一側に前記基板支持ユニット100から離隔されて設置される。前記パッド支持部材403は前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記ウェーハ70と接触されない前記研磨パッド311の研磨面の一部分を支持して前記研磨パッド311が前記ウェーハ70の外側に傾くことを防止する。
【0118】
具体的に、前記パッド支持部材403は支持胴体450と、パッド部460と、連結部470と、位置調節部480とを含むことができる。前記支持胴体450は前記容器ユニット200(図3参照)の底板231に固定設置され、前記容器ユニット200の底板231から前記容器ユニット200の上面に向けて延長された柱形状を有する。
【0119】
前記支持胴体450の上端部には前記連結部470が垂直移動可能に結合され、前記連結部470の上端部には前記パッド部460が固定設置される。前記パッド部460は前記スピンヘッド110から離隔されて前記スピンヘッド110と隣接して位置し、前記ウェーハ70のエッジ研磨工程の時、前記研磨パッド311の一部分を支持する。
【0120】
前記パッド部460は前記連結部470の上端面に結合された支持プレート461と、 前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記研磨パッド311の一部分を支持する支持パッド462とを含むことができる。前記支持プレート461は上面及び側面が前記支持パッド462によってカバーされる。
【0121】
前記支持パッド462は合成樹脂材質からなり、前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記ウェーハ70と接触されず、前記ウェーハ70の外側に露出した前記研磨パッド311の一部分を支持する。本発明の一例として、前記支持パッド462の上面は円形状を有し、前記研磨パッド311の面積より小さい面積を有する。
【0122】
前記支持パッド462は前記研磨パッド311の移動軌跡またはその延長線上に配置される。すなわち、前記支持パッド462は前記研磨パッド311がスイング動作を通じて移動することができる移動経路線上に位置する。本発明の一例として、前記研磨パッド311の半径は前記支持パッド462と前記スピンヘッド110の離隔距離と前記支持パッド462の幅とを合わせたものと同一、またはより小さく設ける。これによって、前記支持パッド462が前記研磨パッド311を安定的に支持することができる。
【0123】
このように、前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記研磨パッド311は前記スピンヘッド110及び前記支持パッド462によって安定的に支持されるので、前記ウェーハ70の外側に傾かない。これによって、前記基板研磨部1000はウェーハ70のエッジを研磨する過程で前記研磨パッド311が傾いて発生する研磨不良及びウェーハ70のエッジ破損を防止することができるので、製品の収率を向上することができる。
【0124】
前記支持パッド462は前記支持プレート461から脱着可能に結合される。したがって、前記研磨パッド311によって前記支持パッド462が過摩耗された場合、前記支持パッド462を分離して交換することができる。
【0125】
前記支持プレート461と前記支持胴体450との間には前記ベローズ480が具備される。前記ベローズ480は空気圧によって収縮及び膨脹して前記支持パッド462の垂直位置を調節する。
【0126】
一方、前記基板支持ユニット100と前記パッド支持部材403との間には第2位置感知部720がさらに具備されることもできる。前記第2位置感知部720は前記基板支持ユニット100に対する前記研磨パッド311の相対的な水平位置をセンシングして前記研磨パッド311の水平位置値を前記制御部60に提供する。この実施形態において、前記第2位置感知部720は前記パッド支持部材403の一側に別に具備されるが、前記研磨ユニット300内に内蔵することもできる。
【0127】
前記制御部60は受信された前記研磨パッド311の水平位置値と前記支持パッド462の上面位置の垂直位置値によって前記位置調節部480を制御して前記支持パッド462の上面位置を調節する。
【0128】
図14A及び図14Bは、ウェーハ研磨の時、研磨パッドの位置による図13に示したパッド支持部材の上面の高さ変化を示す図である。
【0129】
図14Aを参照すると、前記研磨パッド311が前記ウェーハ70のエッジを除いた領域に位置する場合、前記ベローズ480が収縮し、これによって、前記支持パッド462が下に移動する。その結果、前記支持パッド462の上面が前記ウェーハ70の上面より下に位置する。
【0130】
図14Bを参照すると、前記研磨パッド311が前記ウェーハ70のエッジに位置する場合、前記ベローズ480が膨脹し、これによって、前記支持パッド462が上に移動する。その結果、前記支持パッド462の上面が前記ウェーハ70の外側に露出した前記研磨パッド311の研磨面の一部分と接して前記研磨パッド311を支持する。
【0131】
以上、実施形態を参照して説明したが、該当の技術分野の熟練された当業者は下記の特許請求の範囲に記載した本発明の思想及び領域から逸脱しない範囲内で本発明を多様に修正及び変更させることができることを理解することができる。
【符号の説明】
【0132】
100 基板支持ユニット
200 容器ユニット
300 研磨ユニット
401、402、403 パッド支持部材
510 第1処理流体供給ユニット
520 第2処理流体供給ユニット
610 ブラシユニット
620 エアロゾルユニット
700 パッドコンディショニングユニット
1000 基板研磨部
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体基板を研磨する基板研磨装置及び方法に関する。
【背景技術】
【0002】
一般的に、半導体素子の製造工程は薄膜の形成及び積層のために蒸着工程、写真工程、エッチング工程などの多数の単位工程を繰り返して実行しなければならない。ウェーハ上に要求される所定の回路パターンが形成されるまでこれら工程は繰り返され、回路パターンが形成された後にウェーハの表面には多くの屈曲が生ずるようになる。最近、半導体素子の高集積化によってその構造が多層化され、ウェーハ表面の屈曲数とこれらの間の段差が増加している。ウェーハ表面の非平坦化は写真工程でデフォーカス(Defocus)などの問題を発生させるので、ウェーハの表面を平坦化するために周期的にウェーハ表面を研磨しなければならない。
【0003】
ウェーハの表面を平坦化するために多様な表面平坦化技術があるが、このうち、狭い領域だけではなく、広い領域の平坦化においても優れた平坦度を得ることができる化学的機械的研磨(Chemical Mechanical Polishing:CMP)装置が主に使われている。化学的機械的研磨装置はタングステンや酸化物などが塗布されたウェーハの表面を機械的摩擦によって研磨させると共に化学的研磨剤によって研磨させる装置として、とても微細な研磨を可能にする。
【0004】
ウェーハ研磨の時、研磨装置は研磨パッドの上面にウェーハを配置させた後、ウェーハを研磨パッドに加圧しながら回転させてウェーハを研磨する。このような研磨装置はウェーハのエッジが過研磨されることを防止するためにウェーハを取り囲むリテーナリングを具備する。しかし、高価のリテーナリングはウェーハ研磨工程の時、ウェーハと共に研磨されるので、交換周期が短く、且つ分解過程が煩わしい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開2009−302503号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明の目的は、研磨効率を向上することができる基板研磨装置を提供することにある。
【0007】
また、本発明の目的は、上述の基板研磨装置を利用して基板を研磨する方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上述の本発明の目的を実現するための一特徴による基板研磨装置は、基板支持ユニット、研磨ユニット、及び少なくとも1つのパッド支持部材からなる。
【0009】
基板支持ユニットには基板が安着される。研磨ユニットは前記基板支持ユニットの上部に配置され、前記基板支持ユニットに安着された基板を研磨する研磨パッドと、前記基板支持ユニットに対する前記研磨パッドの相対的な位置が変わるように前記研磨パッドを移動させるパッド駆動部材とを具備する。パッド支持部材は前記基板支持ユニットに安着された基板のエッジ研磨の時、前記基板と接触されない前記研磨パッドの研磨面の一部分を支持するように前記基板支持ユニットの一側に設置される。
【0010】
また、上述の本発明の目的を実現するための一特徴による基板研磨装置は、容器ユニット、基板支持ユニット、研磨ユニット、及び少なくとも1つのパッド支持部材からなる。
【0011】
容器ユニットは開放された上部を有する。基板支持ユニットは前記容器ユニット内に設置され、基板が安着され、回転可能である。研磨ユニットは研磨工程の時、前記基板支持ユニットの上部に配置され、前記基板支持ユニットに安着された基板を研磨する研磨パッドと、前記研磨パッドが前記基板支持ユニットに安着された基板の中心領域から前記基板のエッジ領域までまたは前記基板のエッジ領域を通る位置まで移動可能になるように前記研磨パッドを移動させるパッド駆動部材とを具備する。パッド支持部材は前記容器ユニット内に設置され、前記基板支持ユニットから離隔されて前記基板支持ユニットの一側に配置された支持パッドを有する。
【0012】
また、上述の本発明の目的を実現するための一特徴による基板研磨方法は次の通りである。
【0013】
先ず、基板支持ユニットに基板を安着させる。前記基板支持ユニットの上部に研磨パッドを配置させる。前記基板支持ユニット及び前記研磨パッドのうちの少なくともいずれか1つが回転する間、前記研磨パッドが前記基板を加圧しながら研磨する。前記基板を研磨する過程は、前記基板と接触されない研磨パッドの一部分がパッド支持部材により支持されながら前記基板のエッジを研磨する。
【発明の効果】
【0014】
本発明によると、基板のエッジ研磨の時、パッド支持部材が基板の外側に露出した研磨パッドの一部分を支持するので、パッド支持部材は基板のエッジを研磨する過程で研磨パッドが基板の外側に傾くことを防止することができる。これによって、基板研磨装置は研磨効率を向上し、研磨過程で基板が破損されることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】本発明の一実施形態に係る枚葉式研磨システムを概略的に示す図である。
【図2】図1に示した基板研磨装置を示す斜視図である。
【図3】図2に示した基板支持ユニット及び容器ユニットを具体的に示す部分切開斜視図である。
【図4】図2に示した研磨ユニットを示す斜視図である。
【図5】図4に示した研磨ユニットを示す部分切開側面図である。
【図6】図5に示した垂直アーム部と加圧部とを示す縦断面図である。
【図7】図3に示したパッド支持部材を示す斜視図である。
【図8】図7に示したパッド支持部材、基板支持ユニット、及び研磨ユニット間の配置関係を示す図である。
【図9】図2に示した基板研磨部がウェーハを研磨する過程を示すフローチャートである。
【図10】ウェーハのエッジ研磨の時、図8に示したパッド支持部材が研磨パッドを支持する過程を示す図である。
【図11】図8に示したパッド支持部材の他の一例を示す図である。
【図12】ウェーハエッジ研磨の時、図11に示したパッド支持部材が研磨パッドを支持する過程を示す図である。
【図13】図8に示したパッド支持部材のまた他の一例を示す図である。
【図14A】ウェーハ研磨の時、研磨パッドの位置による図13に示したパッド支持部材の上面の高さ変化を示す図である。
【図14B】ウェーハ研磨の時、研磨パッドの位置による図13に示したパッド支持部材の上面の高さ変化を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、添付の図面を参照して本発明の望ましい実施形態をより詳細に説明する。以下では、ウェーハを半導体基板の一例として説明するが、本発明の技術的思想と範囲はここに限定されない。
【0017】
図1は、本発明の一実施形態に係る枚葉式研磨システムを概略的に示す図である。
【0018】
図1を参照すると、本発明の基板研磨システム2000は、ローディング/アンローディング部10と、インデックスロボット(Index Robot)20と、バッファ部30と、メイン移送ロボット(Main Transfer Robot)50と、多数の基板研磨部1000と、制御部60とを含むことができる。
【0019】
前記ローディング/アンローディング部10は多数のロードポート11a、11b、11c、11dを含む。この実施形態において、前記ローディング/アンローディング部10は4つのロードポート11a、11b、11c、11dを具備するが、前記ロードポート11a、11b、11c、11dの個数は前記基板研磨システム2000の工程効率及びフットプリント(Foot print)条件によって増加するか、または減少することもできる。
【0020】
前記ロードポート11a、11b、11c、11dにはウェーハが収納されるFOUP(Front Open Unified Pods)12a、12b、12c、12dが安着される。各FOUP12a、12b、12c、12dには、ウェーハを地面に対して水平に配置した状態で収納するための多数のスロットが形成される。前記FOUP12a、12b、12c、12dには各基板研磨部1000で処理が完了したウェーハまたは前記各基板研磨部1000に投入するウェーハを収納する。以下、説明の便宜のために、前記各基板研磨部1000によって処理が完了したウェーハを加工ウェーハといい、処理されていないウェーハを原始ウェーハという。
【0021】
前記ローディング/アンローディング部10と前記バッファ部30との間には第1移送通路41が形成され、前記第1移送通路41には第1移送レール42が設置される。前記インデックスロボット20は前記第1移送レール42に設置され、前記第1移送レール42に沿って移動しながら前記ローディング/アンローディング部10と前記バッファ部30との間にウェーハを移送する。すなわち、前記インデックスロボット20は前記ローディング/アンローディング部10に安着されたFOUP12a、12b、12c、12dから少なくとも一枚の原始ウェーハを引き出して前記バッファ部30に積載する。また、前記インデックスロボット20は前記バッファ部30から少なくとも一枚の加工ウェーハを引き出して前記ローディング/アンローディング部10に安着されたFOUP12a、12b、12c、12dに積載する。
【0022】
一方、前記バッファ部30は前記第1移送通路41の一側に設置される。前記バッファ部30は前記インデックスロボット20によって移送された原始ウェーハを収納し、前記基板研磨部で処理された加工ウェーハを収納する。
【0023】
前記メイン移送ロボット50は第2移送通路43に設置される。前記第2移送通路43には第2移送レール44が具備され、前記第2移送レール44には前記メイン移送ロボット50が設置される。前記メイン移送ロボット50は前記第2移送レール44に沿って移動しながら、前記バッファ部30と前記基板研磨部1000との間にウェーハを移送する。すなわち、前記メイン移送ロボット50は前記バッファ部30から少なくとも一枚の原始ウェーハを引き出して前記基板研磨部1000に提供し、前記基板研磨部1000で処理されたウェーハ、すなわち加工ウェーハを前記バッファ部30に積載する。
【0024】
前記第2移送通路43の両側には前記基板研磨部1000が配置され、各基板研磨部1000は前記原始ウェーハを研磨及び洗浄して前記加工ウェーハを作る。前記基板研磨部1000は少なくとも2つ以上の基板研磨部1000が前記第2移送通路43を挟んで互いに向き合うように配置される。本発明の一例として、基板研磨部1000は平面上で見る時、前記第2移送通路43の両側に各々2つずつ前記第2移送通路43に沿って並列配置されるが、前記第2移送通路43の両側に各々配置される基板研磨部1000の個数は前記基板研磨システム2000の工程効率及びフットプリントによって増加するか、または減少することもできる。
【0025】
一方、各基板研磨部1000は前記制御部60と連結され、前記制御部60の制御によって原始ウェーハを研磨及び洗浄する。すなわち、前記制御部60は前記基板研磨部1000を制御し、各基板研磨部1000の研磨工程を制御する。
【0026】
以下、図面を参照して前記基板研磨部1000の構成に対して具体的に説明する。
【0027】
図2は、図1に示した基板研磨装置を示す斜視図であり、図3は、図2に示した基板支持ユニット及び容器ユニットを具体的に示す部分切開斜視図である。
【0028】
図1乃至図3を参照すると、前記基板研磨システム2000はウェーハ70の上面を研磨する研磨工程及び研磨工程の後、ウェーハ70の表面を洗浄する洗浄工程を1つの基板研磨部1000内で順に進行することができる。
【0029】
具体的に、前記基板研磨部1000は、基板支持ユニット100と、容器ユニット(bowlunit)200と、研磨ユニット300と、パッド支持部材401と、第1及び第2処理流体供給ユニット510、520と、ブラシユニット610と、エアロゾルユニット620と、パッドコンディショニングユニット700とを含むことができる。
【0030】
前記基板支持ユニット100には前記メイン移送ロボット50から移送されたウェーハ70が安着される。前記基板支持ユニット100は前記ウェーハ70の研磨工程と洗浄工程が行われる間、前記ウェーハ70を支持及び固定させる。前記基板支持ユニット100は前記ウェーハ70が安着されるスピンヘッド110と、前記スピンヘッド110を支持する支持部120と、回転力を提供する基板駆動部材(未図示)とを含むことができる。
【0031】
前記スピンヘッド110は平面上で見る時、略円形状を有し、上面から下面に行くほど幅が減少する。本発明の一例として、前記スピンヘッド110は前記ウェーハ70を支持する上面の面積が前記ウェーハ70の面積より小さい。したがって、側面で見る時、前記スピンヘッド110に安着されたウェーハ70は端部が前記スピンヘッド110上面の端部より外側に突き出される。
【0032】
前記スピンヘッド110の下には前記支持部120が設置され、前記支持部120は前記基板駆動部材と連結される。前記支持部120は略円筒形状を有し、前記スピンヘッド110と結合する。前記基板駆動部材は前記支持部120を回転させ、前記支持部120の回転力は前記スピンヘッド110に伝達されて前記スピンヘッド110が回転する。研磨工程及び洗浄工程が行われる間、前記スピンヘッド110は上面に前記ウェーハ70を固定させた状態で前記基板駆動部材から提供される回転力によって回転する。
【0033】
前記基板支持ユニット100は前記容器ユニット200の内部に収容される。前記容器ユニット200は、第1及び第2処理容器(process bowl)210、220と、第1及び第2回収箱(recovery vat)230、240と、第1及び第2回収管251、252と、昇降部材260とを含むことができる。
【0034】
具体的に、前記第1及び第2処理容器210、220は前記基板支持ユニット100を取り囲み、前記ウェーハ70の研磨工程及び洗浄工程が行われる工程空間を提供する。前記第1及び第2処理容器210、220は各々上部が開放されており、前記第1及び第2処理容器210、220の開放された上部を通じて前記スピンヘッド110が露出する。この実施形態において、前記第1及び第2処理容器210、220は円形のリング形状を有するが、前記第1及び第2処理容器210、220の形状はこれに限定されず、多様な形状を有することができる。
【0035】
具体的に、前記第1処理容器210は側壁211と、上板212と、ガイド部213とを含むことができる。前記側壁211は略円形のリング形状を有し、前記基板支持ユニット100を取り囲む。
【0036】
前記側壁211の上端部は前記上板212と連結される。前記上板212は前記側壁211から延長されて形成され、前記側壁211から遠くなるほど上向きに傾いた傾斜面からなる。前記上板212は略円形のリング形状を有し、平面上で見る時、前記スピンヘッド110から離隔されて前記スピンヘッド110を取り囲む。
【0037】
前記ガイド部213は第1及び第2ガイド壁213a、213bを含む。前記第1ガイド壁213aは前記側壁211の内壁から突き出されて前記上板212と向き合い、前記側壁から遠くなるほど下向き傾いた傾斜面からなり、円形のリング形状を有する。前記第2ガイド壁213bは前記第1ガイド壁213aから下に垂直に延長され、前記側壁211と向き合い、円形のリング形状を有する。前記ガイド部213は前記ウェーハ70の研磨工程中、前記第1処理容器210の側壁211と上板212の内面側に飛散された処理液が前記第1回収箱230側に流れるようにガイドする。
【0038】
前記第1処理容器210の外側には前記第2処理容器220が設置される。前記第2処理容器220は前記第1処理容器210を取り囲み、前記第1処理容器210より大きいサイズを有する。
【0039】
具体的に、前記第2処理容器220は側壁221及び上板222を含むことができる。前記側壁221は略円形のリング形状を有し、前記第1処理容器210の側壁211を取り囲む。前記側壁221は前記第1処理容器210の側壁211と離隔されて位置し、前記第1処理容器210と連結される。
【0040】
前記側壁221の上端部は前記上板222と連結される。前記上板222は前記側壁221から延長されて形成され、前記側壁221から遠くなるほど上向きに傾いた傾斜面からなる。前記上板222は略円形のリング形状を有し、平面上で見る時、前記スピンヘッド110から離隔されて前記スピンヘッド110を取り囲む。前記上板222は前記第1処理容器210の上板212の上部で前記第1処理容器210の上板212と向き合い、前記第1処理容器210の上板212と離隔されて位置する。
【0041】
前記第1及び第2処理容器210、220の下には研磨工程及び洗浄工程で使われた処理液を回収する前記第1及び第2回収箱230、240が設置される。前記第1及び第2回収箱230、240は略円形のリング形状を有し、上部が開放されている。この実施形態において、前記第1及び第2回収箱230、240は円形のリング形状を有するが、前記第1及び第2回収箱230、240の形状はこれに限定されず、多様に形成されることができる。
【0042】
前記第1回収箱230は前記第1処理容器210の下に設置され、研磨工程で使われた処理液を回収する。第2回収箱240は前記第2処理容器220の下に設置され、洗浄工程で使われた処理液を回収する。
【0043】
具体的に、前記第1回収箱230は底板231と、第1側壁232と、第2側壁233と、連結部234とを含むことができる。前記底板231は略円形のリング形状を有し、前記支持部120を取り囲む。本発明の一例として、前記底板231は前記第1回収箱230に回収された処理液の排出を容易にするために縦断面が‘V’形状を有する。これによって、前記底板231にはリング形状の回収流路231aが形成され、前記処理液の排出及び回収が容易である。
【0044】
前記第1側壁232は前記底板231から垂直に延長されて処理液を回収する第1回収空間RS1を形成する。前記第2側壁233は前記第1側壁232から離隔されて前記第1側壁232と向き合う。前記連結部234は前記第1側壁232の上端部及び前記第2側壁233の上端部と連結され、前記第1側壁232から前記第2側壁233に行くほど上向きに傾いた傾斜面からなる。前記連結部234は前記第1回収空間RS1の外に落ちた処理液が前記第1回収空間RS1に流入されるように前記第1回収空間RS1側にガイドする。
【0045】
前記第1回収箱230の外側には前記第2回収箱240が設置される。前記第2回収箱240は前記第1回収箱230を取り囲み、前記第1回収箱230から離隔されて位置する。具体的に、前記第2回収箱240は底板241と、第1側壁242と、第2側壁243とを含むことができる。前記底板241は略円形のリング形状を有し、前記第1回収箱230の底板231を取り囲む。本発明の一例として、前記底板241は前記第2回収箱240に回収された処理液の排出を容易にするために縦断面が‘V’形状を有する。これによって、前記底板241にはリング形状の回収流路241aが形成され、処理液の排出及び回収が容易である。
【0046】
前記第1及び第2側壁242、243は前記底板241から垂直に延長されて処理液を回収する第2回収空間RS2を形成し、円形のリング形状を有する。前記第1側壁242は前記第1回収箱230の第1側壁232と第2側壁233との間に位置し、前記第1回収箱230の第1側壁232を取り囲む。前記第2回収箱240の第2側壁243は前記底板241を挟んで前記第1側壁242と向き合い、前記第1側壁242を取り囲む。前記第2回収箱240の第2側壁243は前記第1回収箱230の第2側壁233を取り囲み、上端部が前記第2処理容器220の側壁221の外側に位置する。
【0047】
前記ウェーハ70の研磨及び洗浄工程の時、各工程によって前記スピンヘッド110と前記第1及び第2処理容器210、220と間の垂直位置が変更され、前記第1及び第2回収箱230、240は互いに異なる工程で使われた処理液を回収する。
【0048】
具体的に、前記研磨工程の時、前記スピンヘッド110は第1処理容器210内に配置され、前記第1処理容器210の内部で前記ウェーハ70の研磨工程が行われる。研磨工程が行われる間、前記スピンヘッド110の回転によって前記ウェーハ70が回転する。これによって、前記研磨工程の時、前記ウェーハ70に噴射された処理液が前記ウェーハ70の回転力によって前記第1処理容器210の側壁211の内面及び上板212の内面側に飛散される。前記第1処理容器210の側壁211と上板212の内面についた処理液は前記第1処理容器210の上板212及び側壁211に沿って重力方向に流れて前記ガイド部213に到逹し、前記ガイド部213の内面に沿って重力方向に流れて前記第1回収箱230に回収される。
【0049】
研磨工程の後、洗浄工程の時、前記スピンヘッド110は前記第1処理容器210の上部で前記第2処理容器220の上板222の下に配置され、洗浄工程が行われる間回転する。これによって、洗浄工程で前記ウェーハに提供された処理液が前記第2処理容器220の上板222の内面と側壁221の内面及び前記第1処理容器210の外面側に飛散される。前記第1処理容器210の側壁211は前記第2回収箱240の底板241の上部に位置し、前記第1処理容器210の外面についた処理液は前記第1処理容器210の外面に沿って重力方向に流れて前記第2回収箱240に回収される。また、前記第2処理容器220の内面についた処理液は前記第2処理容器220の内面に沿って重力方向に流れて前記第2回収箱に回収される。
【0050】
このように、前記第1回収箱230は研磨工程で使われた処理液を回収し、前記第2回収箱240は洗浄工程で使われた処理液を回収する。これによって、前記容器ユニット200は容器ユニット200内で行われる各工程段階別に処理液を分離回収することができるので、処理液の再利用が可能であり、処理液の回収が容易である。
【0051】
前記第1回収箱230は前記第1回収管251と連結され、前記第2回収箱240は前記第2回収管252が連結される。前記第1回収管251は前記第1回収箱230の底板231に結合され、前記第1回収箱230の底板231には前記第1回収管251と連通される第1回収ホール231bが形成される。前記第1回収箱230の第1回収空間RS1に回収された処理液は前記第1回収ホール231bを経由して前記第1回収管251を通じて外部に排出される。
【0052】
この実施形態において、前記容器ユニット200は2つの処理容器210、220と2つの回収箱230、240とを具備するが、前記処理容器210、220と前記回収箱230、240の個数は研磨工程及び洗浄工程で使われる処理液の種類数及び分離回収する処理液の種類数によって増加することもできる。
【0053】
前記第2回収管252は前記第2回収箱240の底板241に結合され、前記第2回収箱240の底板241には前記第2回収管252と連通される第2回収ホール241bが形成される。前記第2回収箱240の第2回収空間RS2に回収された処理液は前記第2回収ホール241bを経由して前記第2回収管252を通じて外部に排出される。
【0054】
この実施形態において、前記第1回収管251と前記第2回収管252は各々1つずつ具備されるが、前記第1及び第2回収管251、252の個数は前記第1及び第2回収箱230、240の大きさ及び回収効率によって増加することもできる。
【0055】
一方、前記第2処理容器220の外側には垂直移動が可能な前記昇降部材260が設置される。前記昇降部材260は前記第2処理容器220の側壁221に結合され、前記第1及び第2処理容器210、220の垂直位置を調節する。具体的に、前記昇降部材260はブラケット261と、移動軸262と、駆動器263とを含むことができる。ブラケット261は前記第2処理容器220の側壁221に固定設置され、前記移動軸262と結合する。前記移動軸262は前記駆動器263に連結され、前記駆動器263によって上下方向に移動される。
【0056】
前記昇降部材260はウェーハ70がスピンヘッド110に安着されるか、またはスピンヘッド110から持ち上げられる時、スピンヘッド110が前記第1及び第2処理容器210、220の上部に突き出されるように前記第1及び第2処理容器210、220を下降させる。下降の時、前記第1回収箱230の第1及び第2側壁232、233と連結部234は前記第1処理容器210の側壁211と第1及び第2ガイド壁213a、213bによって形成された空間内に引き入れる。
【0057】
また、昇降部材260はウェーハ70の研磨工程及び洗浄工程進行の時、前記研磨工程で使われた処理液と前記洗浄工程で使われた処理液とを分離回収するために前記第1及び第2処理容器210、220を昇降及び下降させて各処理容器210、220と前記スピンヘッド110との間の相対的な垂直位置を調節する。
【0058】
この実施形態において、前記基板研磨部1000は前記第1及び第2処理容器210、220を垂直移動させて第1及び第2処理容器210、220と前記スピンヘッド110との間の相対的な垂直位置を変更させるが、前記スピンヘッド110を垂直移動させて前記第1及び第2処理容器210、220と前記スピンヘッド110との間の相対的な垂直位置を変更させることもできる。
【0059】
一方、前記容器ユニット200の外側には前記研磨ユニット300と、第1及び第2処理流体供給ユニット510、520と、前記ブラシユニット610と、前記エアロゾルユニット620と、前記パッドコンディショニングユニット700とが設置される。
【0060】
前記研磨ユニット300は前記基板支持ユニット100に固定されたウェーハ70の表面を化学的機械的方法で研磨して前記ウェーハ70の表面を平坦化する。
【0061】
図4は、図2に示した研磨ユニットを示す斜視図であり、図5は、図4に示した研磨ユニットを示す部分切開側面図である。
【0062】
図3、図4、及び図5を参照すると、研磨ユニット300は、加圧部310と、垂直アーム部320と、スイングアーム部(swingarmpart)330と、駆動部340と、から成るパッド駆動部材を含むことができる。
【0063】
具体的に、前記加圧部310は研磨工程の時、前記スピンヘッド110に固定されたウェーハ70の上部に配置される。前記加圧部310は前記ウェーハ70に接触された状態で回転して前記ウェーハ70を研磨し、前記加圧部310が前記ウェーハ70を研磨する間、前記ウェーハ70の上面には前記ウェーハ70のための薬液、例えば、スラリーが提供される。
【0064】
前記加圧部310の上端部には前記垂直アーム部320が固定設置される。前記垂直アーム部320は前記スピンヘッド110の上面に対して垂直に延長されて配置され、前記駆動部340から提供された回転力によって長さ方向の中心軸を基準として回転する。前記加圧部310及び前記垂直アーム部320の構成に対する具体的な説明は図6で説明する。
【0065】
前記垂直アーム部320の上部には前記スイングアーム部330が設置される。前記スイングアーム部330は棒形状の回転ケース331及び前記駆動部340からの回転力を前記垂直アーム部320に伝達するベルトプーリアセンブリを含むことができる。前記回転ケース331は一側が前記垂直アーム部320に結合され、他側が前記駆動部340に結合される。
【0066】
前記駆動部340は前記スイングアーム部330を回転させる第1駆動モータ341と、前記垂直アーム部320を回転させる第2駆動モータ342と、前記加圧部310の垂直位置を調節する垂直移動部343とを含むことができる。
【0067】
前記第1駆動モータ341は前記回転ケース331に結合され、前記回転ケース331に回転力を提供する。前記第1駆動モータ341は時計方向への回転力と反時計方向への回転力とを交互に繰り返して提供することができる。これによって、前記スイングアーム部330は前記駆動部340に結合された部分を中心軸として前記駆動部340によってスイングする。研磨工程の時、前記加圧部310は前記スイングアーム部330のスイング動作によって前記ウェーハ70の上部で円弧形態で水平往復移動することができる。このとき、前記研磨パッド311は、前記基板支持ユニット100に安着された前記ウェーハ70の中心領域から前記ウェーハ70のエッジ領域までまたは前記ウェーハ70のエッジ領域を通る位置まで移動可能になるように、パッド駆動部により移動される。
【0068】
前記第1駆動モータ341の下には前記第2駆動モータ342が設置される。前記第2駆動モータ342は前記ベルトプーリアセンブリに回転力を提供し、前記ベルトプーリアセンブリは前記第2駆動モータ342の回転力を前記垂直アーム部320に提供する。前記ベルトプーリアセンブリは前記回転ケース331に内蔵され、駆動プーリ332と、従動プーリ333と、ベルト334とを含むことができる。前記駆動プーリ332は前記第1駆動モータ341の上部に設置され、前記第1駆動モータ341を貫通する垂直アーム344の一側に結合される。前記垂直アーム344の他側には前記第2駆動モータ342が結合される。
【0069】
前記従動プーリ333は前記駆動プーリ332と向き合うように配置され、前記垂直アーム部320の上部に設置されて前記垂直アーム部320に結合される。前記駆動プーリ332と前記従動プーリ333は前記ベルト334を通じて互いに連結され、前記ベルト334は前記駆動プーリ332及び前記従動プーリ333に巻かれる。
【0070】
前記第2駆動モータ342の回転力は前記垂直アーム344を通じて前記駆動プーリ332に伝達され、これによって、前記駆動プーリ332が回転する。前記駆動プーリ332の回転力は前記ベルト334を通じて前記従動プーリ333に伝達され、これによって、前記従動プーリ333が回転する。前記従動プーリ333の回転力は流体供給部も兼ねる前記垂直アーム320に伝達され、これによって、前記加圧部310及び前記垂直アーム部320が回転する。
【0071】
前記第1駆動モータ341及び前記第2駆動モータ342の背後には前記垂直移動部343が設置される。前記垂直移動部343はボールスクリュ343aと、ナット343bと、第3駆動モータ343cとを含むことができる。前記ボールスクリュ343aは棒形状を有し、地面に対して垂直に設置される。前記ナット343bは前記ボールスクリュ343aに嵌合され、前記第2駆動モータ342に固定される。前記ボールスクリュ343aの下には前記第3駆動モータ343cが設置される。前記第3駆動モータ343cは前記ボールスクリュ343aと結合し、時計方向の回転力及び反時計方向の回転力を前記ボールスクリュ343aに提供することができる。前記ボールスクリュ343aは前記第3駆動モータ343cによって時計方向または反時計方向に回転する。前記ナット343bは前記ボールスクリュ343aの回転によって前記ボールスクリュ343aに沿って上下移動し、これによって、前記ナット343bに結合された第2駆動モータ342が前記ナット343bと共に上下移動する。前記第2駆動モータ342の垂直移動によって前記第1駆動モータ341及び前記スイングアーム部330が上下移動し、これによって、前記垂直アーム部320及び加圧部310も上下移動する。
【0072】
この実施形態において、前記垂直移動部343はボールスクリュ343aと、ナット343bと、第3駆動モータ343cとを具備し、リニアモータ方式で垂直移動力を提供するが、シリンダを具備して垂直移動力を提供することもできる。
【0073】
一方、前記第1駆動モータ341、第2駆動モータ342、前記ボールスクリュ343a、前記ナット343b及び垂直アーム344は駆動ケース345に内蔵され、前記駆動ケース345は垂直方向に長い棒形状を有する。
【0074】
以下、図面を参照して前記加圧部310及び前記垂直アーム部320に対して具体的に説明する。
【0075】
図6は、図5に示した垂直アーム部と加圧部とを示す縦断面図である。
【0076】
図2、図5、及び図6を参照すると、前記垂直アーム部320は前記駆動部340から提供された回転力によって回転して前記加圧部310を回転させ、前記加圧部310が前記ウェーハ70を加圧する圧力を制御するための空気を前記加圧部310に提供する。
【0077】
具体的に、前記垂直アーム部320はハウジング321と、回転軸322と、ロータリジョイント323と、第1及び第2ベアリング324a、324bと、第1及び第2補助軸325a、325bとを含むことができる。
【0078】
前記ハウジング321は略円筒状の管形状を有し、上端部が前記スイングアーム部330の回転ケース331内に挿入されて前記回転ケース331に結合され、下端部が前記加圧部310に結合される。
【0079】
前記回転軸322は前記ハウジング321内に具備され、前記ハウジング321と離隔されて位置する。前記回転軸322は前記ハウジング321の長さ方向に延長され、中央部に前記回転軸322の長さ方向に延長された空気通路322aが形成される。前記回転軸322は前記従動プーリ333に連結され、前記従動プーリ333の回転力によって長さ方向の中心軸を基準として回転する。前記回転軸322の上端部は前記ロータリジョイント323に連結結合され、前記ロータリジョイント323は前記回転軸322の空気通路322aに空気を提供し、前記従動プーリ333に固定結合される。前記ロータリジョイント323は回転部と固定部からなり、前記回転部は前記従動プーリ333に固定結合され、前記従動プーリ333の回転力によって回転する。前記ロータリジョイント323の固定部は空気を提供するエアライン80に連結される。前記エアライン80から提供された空気は前記ロータリジョイント323を通じて前記空気通路322aに流入され、前記空気通路322aに沿って流れて前記加圧部310に流入される。
【0080】
前記ハウジング321と前記回転軸322との間には前記第1及び第2ベアリング324a、324bが設置される。前記第1及び第2ベアリング324a、324bは前記ハウジング321と前記回転軸322とを連結し、前記回転軸322が安定的に回転するように前記回転軸322を支持する。前記第1ベアリング324aは前記スイングアーム部330と隣接して位置し、前記第2ベアリング324bは前記加圧部310と隣接して位置する。前記第1及び第2ベアリング324a、324bの内輪は前記回転軸322に結合されて前記回転軸322と共に回転し、外輪は前記ハウジング321に結合されて前記回転軸322の回転の時、回転しない。したがって、前記回転軸322のみが回転し、前記ハウジング321は回転しない。
【0081】
また、前記回転軸322と前記ハウジング321との間には前記第1及び第2補助軸325a、325bがさらに設置されることができる。前記第1補助軸325aは前記ハウジング321の内壁を取り囲み、前記ハウジング321を保護する。前記第2補助軸325bは前記回転軸322の外壁を取り囲み、前記回転軸322を保護する。
【0082】
前記回転軸322の下端部には前記加圧部310が固定設置される。前記加圧部310は研磨パッド311と、研磨ケース312と、上部及び下部プレート313、314と、パッドホルダ315と、結合プレート316と、ベローズ317とを含むことができる。
【0083】
前記研磨パッド311はプレート形状を有し、略円形のリング形状を有する。前記研磨パッド311は研磨工程の時、下面をウェーハの上面に接触させた状態で回転してウェーハを研磨する。なお、ウェーハを研磨するためには、基板支持ユニット100と研磨パッドのうち少なくともいずれか1つが回転する構成であればよい。前記研磨パッド311は前記ウェーハの直径より小さい直径を有し、研磨工程の時、前記駆動部340によってスイングしながら前記ウェーハを研磨する。このように、前記研磨パッド311が前記ウェーハより小さいサイズを有するので、前記研磨ユニット300は前記ウェーハを局所的に研磨することができ、特定領域での過研磨を防止することができる。
【0084】
前記研磨パッド311の上部には前記研磨ケース312が具備される。前記研磨ケース312は略円形のリング形状を有し、内部には前記上部及び下部プレート313、314と前記ベローズ317が設置される。前記研磨ケース312の上面中央部には結合ホールが形成され、前記結合ホールには結合プレート316が具備される。前記結合プレート316は前記研磨ケース312と離隔されて位置し、前記垂直アーム部320の回転軸322に固定結合される。
【0085】
前記結合プレート316の下面には前記上部プレート313が固定設置され、前記上部プレート313の下には前記上部プレート313と離隔されて前記下部プレート314が設置される。前記下部プレート314の下面には前記パッドホルダ315が結合され、前記パッドホルダ315の下面には前記研磨パッド311が結合される。
【0086】
一方、前記上部プレート313と前記下部プレート314との間には前記ベローズ317が具備される。前記ベローズ317は金属材質からなり、前記回転軸322の空気通路322aから提供される空気が注入され、空気圧によって垂直方向に膨脹及び収縮する。研磨工程の進行の時、前記ベローズ317は空気圧によって研磨パッド311がウェーハに密着されるように伸長される。また、前記基板支持ユニット100(図2参照)の上部で待機の時、前記ベローズ317は前記空気通路322aから提供される真空圧によって収縮され、これによって、前記研磨パッド311が前記基板支持ユニット100に安着されたウェーハから離隔される。
【0087】
このように、前記加圧部310は空気圧によって伸長及び収縮される前記ベローズ317を利用するので、研磨工程の時、前記研磨パッド311は前記ウェーハの上面形状によって傾くことが可能である。
【0088】
再び、図1乃至図3を参照すると、前記基板支持ユニット100の一側には前記パッド支持部材401が設置され、前記パッド支持部材401は前記容器ユニット200内に設置される。前記パッド支持部材401は前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記研磨パッド311(図6参照)の一部分を支持して前記研磨パッド311が前記ウェーハ70の外側に傾くことを防止する。前記パッド支持部材401の構成に対する具体的な説明は後述の図7及び図8でする。
【0089】
前記容器ユニット200の外側に設けられた前記第1及び第2処理流体供給ユニット510、520は前記ウェーハ70の研磨工程及び洗浄工程に必要な処理流体を前記基板支持ユニット100に固定されたウェーハ70に噴射する。具体的に、前記第1処理流体供給ユニット510は前記第2処理容器220の側壁221に固定設置される。研磨工程または洗浄工程の時、前記第1処理流体供給ユニット510は前記スピンヘッド110に固定されたウェーハ70に処理流体を噴射して前記ウェーハ70を処理する。この実施形態において、前記第1処理流体供給ユニット510から噴射される処理流体はウェーハ70の洗浄または乾燥のための処理液であり得る。または乾燥のための乾燥ガスであり得る。
【0090】
本発明の一例として、前記第1処理流体供給ユニット510は4つの噴射ノズルを具備するが、前記噴射ノズルの個数はウェーハ70の洗浄に使われる前記処理流体の種類数によって増加するか、または減少することもできる。
【0091】
前記第2処理流体供給ユニット520はスイング可能に設置され、前記スピンヘッド110に固定されたウェーハ70の上面に処理流体を噴射する。前記第2処理流体供給ユニット520から提供される処理流体はスラリーであり得る。また、前記研磨工程の時、スラリーは前記第2処理流体供給ユニット520ではなく、別途の薬液噴射部材(図示しない)によって前記ウェーハ70に噴射されることもできる。
【0092】
一方、前記ブラシユニット610は研磨工程の後、ウェーハ70表面の異物を物理的に除去する。前記ブラシユニット610は前記ウェーハ70の表面に接触されて前記ウェーハ70表面の異物を物理的に拭き取るブラシパッドを具備し、スイング可能である。洗浄工程の時、前記ブラシユニット610はスイング動作を通じて前記ブラシパッドを前記スピンヘッド110の上部に配置させた状態で前記ブラシパッドを回転させて前記スピンヘッド110に固定されたウェーハ70を洗浄する。
【0093】
前記ブラシユニット610の一側には前記エアロゾルユニット620が配置される。前記エアロゾルユニット620は前記スピンヘッド110に固定されたウェーハ70に処理液を微細粒子形態で高圧噴霧して前記ウェーハ70表面の異物を除去する。本発明の一例として、前記エアロゾルユニット620は超音波を利用して前記処理液を小さい粒子形態として噴霧する。前記ブラシユニット610は比較的大きい粒子の異物を除去するのに使われ、前記エアロゾルユニット620は前記ブラシユニット610に比べて比較的小さい粒子の異物を除去するのに使われる。
【0094】
一方、前記パッドコンディショニングユニット700は前記研磨ユニット300がホームポート(home port)で待機中である時、前記研磨ユニット300を洗浄及び再生させる。すなわち、前記研磨パッド311(図6参照)には前記研磨工程の効率を向上させるために前記ウェーハ70と接触される面に所定の研磨パターンが形成される。このような研磨パターンは前記ウェーハ70を研磨する過程で前記ウェーハ70との摩擦によって益々摩耗され、研磨過程で使われる薬液が前記研磨パターン内で硬化されることもできる。前記パッドコンディショニングユニット700は研磨パッド311の表面を研磨して前記研磨パッド311を再生させる。
【0095】
以下、図面を参照して前記パッド支持部材401の構成に対して具体的に説明する。
【0096】
図7は、図3に示したパッド支持部材を示す斜視図であり、図8は、図7に示したパッド支持部材、基板支持ユニット、及び研磨ユニット間の配置関係を示す図である。
【0097】
図2、図7、及び図8を参照すると、前記パッド支持部材401は前記基板支持ユニット100の一側に前記基板支持ユニット100から離隔されて設置される。前記パッド支持部材401は前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記ウェーハ70と接触されない前記研磨パッド311の研磨面の一部分を支持して前記研磨パッド311が前記ウェーハ70の外側に傾くことを防止する。
【0098】
具体的に、前記パッド支持部材401は支持胴体410と、パッド部420とを含むことができる。前記支持胴体410は前記容器ユニット200の底板231に固定設置され、前記容器ユニット200の底板231から前記容器ユニット200の上面に向けて延長された柱形状を有する。
【0099】
前記パッド部420は前記支持胴体410の上端部に固定結合され、前記スピンヘッド110と隣接して位置する。前記パッド部420は前記スピンヘッド110から離隔されて位置し、前記ウェーハ70のエッジ研磨工程の時、前記研磨パッド311の一部分を支持する。
【0100】
前記パッド部420は前記支持胴体410に固定結合された結合胴体421と、前記結合胴体421の上端面に結合された支持プレート422と、前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記研磨パッド311の一部分を支持する支持パッド424とを含むことができる。前記結合胴体421は第1ネジ430によって前記支持胴体410に脱着可能に結合され、柱形状を有する。前記支持プレート422は第2ネジ423によって前記結合胴体421に脱着可能に結合され、上面及び側面が前記支持パッド424によってカバーされる。
【0101】
前記支持パッド424は合成樹脂材質からなり、前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記ウェーハ70と接触されずに前記ウェーハ70の外側に露出した前記研磨パッド311の一部分を支持する。本発明の一例として、前記支持パッド424の上面は円形状を有し、前記研磨パッド311の面積より小さい面積を有する。
【0102】
側面で見る時、前記支持パッド424の上面は前記ウェーハ70の上面と同一線上に位置する。すなわち、前記支持パッド424の上面は前記スピンヘッド110に固定されたウェーハ70の高さと同一の高さを有する。また、前記支持パッド424は前記研磨パッド311の移動軌跡またはその延長線上に配置される。すなわち、前記支持パッド424は前記研磨パッド311がスイング動作を通じて移動することができる移動経路線上に位置する。本発明の一例として、前記研磨パッド311の半径は前記支持パッド424と前記スピンヘッド110の離隔距離と前記支持パッド424の幅とを合わせたものと同一、またはこれより小さく設ける。これによって、前記支持パッド424が前記研磨パッド311を安定的に支持することができる。
【0103】
このように、前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記研磨パッド311は前記スピンヘッド110及び前記支持パッド424によって安定的に支持されるので、前記ウェーハ70の外側に傾かない。これによって、前記基板研磨部1000はウェーハ70のエッジを研磨する過程で前記研磨パッド311が傾いて発生する研磨不良及びウェーハ70のエッジ破損を防止することができるので、製品の収率を向上することができる。
【0104】
前記支持パッド424は前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記スピンヘッド110と共に前記研磨パッド311を支持するので、前記研磨パッド311によって上面が摩耗される。前記支持パッド424の摩耗程度がひどい場合、前記支持パッド424の上面の高さが前記ウェーハ70の上面の高さより顕著に低くなる。その結果、前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記支持パッド424が前記研磨パッド311の一部分を支持しても前記研磨パッド311が前記ウェーハ70の外側に傾くことができる。これを防止するため、前記支持パッド424を交換する。前記支持パッド424の交換の時、前記支持パッド424を前記支持プレート422から分離した後、新しい支持パッドに交換することもでき、前記支持プレート422と前記支持パッド424とを共に分離して交換することもできる。
【0105】
前記基板研磨部1000は前記支持パッド424の摩耗程度を感知するために前記支持パッド424の上面の高さを感知して前記支持パッド424の上面の垂直位置値を出力する第1位置感知部710をさらに含むことができる。前記第1位置感知部710は前記支持パッド424の上部に設置され、前記支持パッド424上面の垂直位置値を前記制御部60に提供する。前記制御部60は前記支持パッド424の垂直位置値が予め設定された垂直位置範囲を逸脱するか否かをチェックして前記支持パッド424を交換するか否かを判断する。
【0106】
以下、図面を参照してウェーハ70のエッジ研磨の時、前記パッド支持部材401が前記研磨パッド311を支持する過程に対して具体的に説明する。
【0107】
図9は、図2に示した基板研磨部がウェーハを研磨する過程を示すフローチャートであり、図10は、ウェーハのエッジ研磨の時、図8に示したパッド支持部材が研磨パッドを支持する過程を示す図である。
【0108】
図9及び図10を参照すると、先ず、前記スピンヘッド110の上面に前記ウェーハ70を安着させる(S110)。
【0109】
続いて、前記ウェーハ70の上面に前記研磨パッド311を配置させる(S120)。
【0110】
次に、前記スピンヘッド110が回転してウェーハ70を回転させ、これと共に、前記研磨パッド311が前記ウェーハ70を加圧しながら回転して前記ウェーハ70を研磨する(S130)。前記ウェーハ70の研磨の時、前記ウェーハ70の上面にはスラリー90が提供され、前記研磨パッド311は回転しながらスイングして前記ウェーハ70に対する相対的な水平位置を変更させながら前記ウェーハ70を研磨する。
【0111】
前記研磨工程の時、前記研磨パッド311が前記ウェーハ70のエッジを研磨するためにスイング動作を通じて前記ウェーハ70のエッジに移動する。この時、前記支持パッド424の上面は前記ウェーハ70と接触しない研磨パッド311の一部分、すなわち、前記ウェーハ70の外側に露出した研磨パッド311の一部分を支持する。これによって、パッド支持部材401は前記研磨パッド311が前記ウェーハ70の外側に傾くことを防止することができる。
【0112】
図11は、図8に示したパッド支持部材の他の一例を示す図であり、図12は、ウェーハエッジ研磨の時、図11に示したパッド支持部材が研磨パッドを支持する過程を示す図である。
【0113】
図11及び図12を参照すると、パッド支持部材402は支持胴体410と、パッド部420と、位置調節部440とを含むことができる。前記パッド支持部材402は前記位置調節部440を除いては図8に示したパッド支持部材401と同一の構成を有する。したがって、以下、図8に示したパッド支持部材401と同一の構成要素に対しては参照番号を併記し、その具体的な説明は省略する。
【0114】
前記位置調節部440は前記支持胴体410の下部に固定結合され、前記支持胴体410を垂直移動させて前記パッド部420の上面、すなわち、支持パッド424の上面の高さを調節する。この実施形態において、前記位置調節部440はシリンダからなるが、駆動モータからなることもできる。
【0115】
前記位置調節部440は前記制御部60と連結され、前記制御部60によって制御されることもできる。すなわち、前記制御部60は前記第1位置感知部710から出力された前記支持パッド424の上面の垂直位置値を受信し、受信された位置値によって前記位置調節部440を制御し、前記支持パッド424の上面の高さを予め設定された高さ、例えば、前記ウェーハ70の上面の高さと同一に調節する。前記位置調節部440は、前記支持胴体410または前記支持パッド424と結合され、前記支持胴体410または前記支持パッド424を垂直移動させて前記支持パッド424の垂直位置を調節するものであればよい。前記支持パッド部材401の上面の垂直位置を調整する段階は、前記研磨パッド311が前記ウェーハ70を研磨する間行われる。
【0116】
図13は、図8に示したパッド支持部材のまた他の一例を示す図である。
【0117】
図13を参照すると、パッド支持部材403は前記基板支持ユニット100の一側に前記基板支持ユニット100から離隔されて設置される。前記パッド支持部材403は前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記ウェーハ70と接触されない前記研磨パッド311の研磨面の一部分を支持して前記研磨パッド311が前記ウェーハ70の外側に傾くことを防止する。
【0118】
具体的に、前記パッド支持部材403は支持胴体450と、パッド部460と、連結部470と、位置調節部480とを含むことができる。前記支持胴体450は前記容器ユニット200(図3参照)の底板231に固定設置され、前記容器ユニット200の底板231から前記容器ユニット200の上面に向けて延長された柱形状を有する。
【0119】
前記支持胴体450の上端部には前記連結部470が垂直移動可能に結合され、前記連結部470の上端部には前記パッド部460が固定設置される。前記パッド部460は前記スピンヘッド110から離隔されて前記スピンヘッド110と隣接して位置し、前記ウェーハ70のエッジ研磨工程の時、前記研磨パッド311の一部分を支持する。
【0120】
前記パッド部460は前記連結部470の上端面に結合された支持プレート461と、 前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記研磨パッド311の一部分を支持する支持パッド462とを含むことができる。前記支持プレート461は上面及び側面が前記支持パッド462によってカバーされる。
【0121】
前記支持パッド462は合成樹脂材質からなり、前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記ウェーハ70と接触されず、前記ウェーハ70の外側に露出した前記研磨パッド311の一部分を支持する。本発明の一例として、前記支持パッド462の上面は円形状を有し、前記研磨パッド311の面積より小さい面積を有する。
【0122】
前記支持パッド462は前記研磨パッド311の移動軌跡またはその延長線上に配置される。すなわち、前記支持パッド462は前記研磨パッド311がスイング動作を通じて移動することができる移動経路線上に位置する。本発明の一例として、前記研磨パッド311の半径は前記支持パッド462と前記スピンヘッド110の離隔距離と前記支持パッド462の幅とを合わせたものと同一、またはより小さく設ける。これによって、前記支持パッド462が前記研磨パッド311を安定的に支持することができる。
【0123】
このように、前記ウェーハ70のエッジ研磨の時、前記研磨パッド311は前記スピンヘッド110及び前記支持パッド462によって安定的に支持されるので、前記ウェーハ70の外側に傾かない。これによって、前記基板研磨部1000はウェーハ70のエッジを研磨する過程で前記研磨パッド311が傾いて発生する研磨不良及びウェーハ70のエッジ破損を防止することができるので、製品の収率を向上することができる。
【0124】
前記支持パッド462は前記支持プレート461から脱着可能に結合される。したがって、前記研磨パッド311によって前記支持パッド462が過摩耗された場合、前記支持パッド462を分離して交換することができる。
【0125】
前記支持プレート461と前記支持胴体450との間には前記ベローズ480が具備される。前記ベローズ480は空気圧によって収縮及び膨脹して前記支持パッド462の垂直位置を調節する。
【0126】
一方、前記基板支持ユニット100と前記パッド支持部材403との間には第2位置感知部720がさらに具備されることもできる。前記第2位置感知部720は前記基板支持ユニット100に対する前記研磨パッド311の相対的な水平位置をセンシングして前記研磨パッド311の水平位置値を前記制御部60に提供する。この実施形態において、前記第2位置感知部720は前記パッド支持部材403の一側に別に具備されるが、前記研磨ユニット300内に内蔵することもできる。
【0127】
前記制御部60は受信された前記研磨パッド311の水平位置値と前記支持パッド462の上面位置の垂直位置値によって前記位置調節部480を制御して前記支持パッド462の上面位置を調節する。
【0128】
図14A及び図14Bは、ウェーハ研磨の時、研磨パッドの位置による図13に示したパッド支持部材の上面の高さ変化を示す図である。
【0129】
図14Aを参照すると、前記研磨パッド311が前記ウェーハ70のエッジを除いた領域に位置する場合、前記ベローズ480が収縮し、これによって、前記支持パッド462が下に移動する。その結果、前記支持パッド462の上面が前記ウェーハ70の上面より下に位置する。
【0130】
図14Bを参照すると、前記研磨パッド311が前記ウェーハ70のエッジに位置する場合、前記ベローズ480が膨脹し、これによって、前記支持パッド462が上に移動する。その結果、前記支持パッド462の上面が前記ウェーハ70の外側に露出した前記研磨パッド311の研磨面の一部分と接して前記研磨パッド311を支持する。
【0131】
以上、実施形態を参照して説明したが、該当の技術分野の熟練された当業者は下記の特許請求の範囲に記載した本発明の思想及び領域から逸脱しない範囲内で本発明を多様に修正及び変更させることができることを理解することができる。
【符号の説明】
【0132】
100 基板支持ユニット
200 容器ユニット
300 研磨ユニット
401、402、403 パッド支持部材
510 第1処理流体供給ユニット
520 第2処理流体供給ユニット
610 ブラシユニット
620 エアロゾルユニット
700 パッドコンディショニングユニット
1000 基板研磨部
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板が安着される基板支持ユニットと、
前記基板支持ユニットの上部に配置され、前記基板支持ユニットに安着された基板を研磨する研磨パッド、及び前記基板支持ユニットに対する前記研磨パッドの相対的な位置が変わるように前記研磨パッドを移動させるパッド駆動部材を具備する研磨ユニットと、
前記基板支持ユニットに安着された基板のエッジ研磨の時、前記基板と接触されない前記研磨パッドの研磨面の一部分を支持するように、前記基板支持ユニットの一側に設けられた少なくとも1つのパッド支持部材とを含むことを特徴とする基板研磨装置。
【請求項2】
前記基板支持ユニットはその中心軸を基準として回転させる基板駆動部材をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の基板研磨装置。
【請求項3】
前記研磨パッドの研磨面は前記基板支持ユニットの上面より小さい面積を有することを特徴とする請求項2に記載の基板研磨装置。
【請求項4】
前記パッド駆動部材は前記研磨パッドをスイングさせることを特徴とする請求項3に記載の基板研磨装置。
【請求項5】
前記パッド駆動部材は、
前記研磨パッドと連結結合され、垂直方向に延長され、その中心軸を基準として回転して前記研磨パッドを自転させる垂直アーム部と、
前記垂直アーム部の上端に連結結合され、前記研磨パッドをスイングさせるようにスイング可能なスイングアーム部と、
前記スイングアーム部の一端に連結結合され、前記スイングアーム部をスイングさせるための回転力を前記スイングアーム部に提供し、前記垂直アーム部を回転させるための回転力を前記スイングアーム部を通じて前記垂直アーム部に提供する駆動部とを含むことを特徴とする請求項3に記載の基板研磨装置。
【請求項6】
前記パッド支持部材は前記研磨パッドの移動軌跡またはその延長線上に配置されることを特徴とする請求項3に記載の基板研磨装置。
【請求項7】
前記移動軌跡は円弧形状であることを特徴とする請求項6に記載の基板研磨装置。
【請求項8】
内部に前記パッド支持部材が設置され、上部が開放された容器ユニットをさらに含むことを特徴とする請求項1から7までの何れか一項に記載の基板研磨装置。
【請求項9】
前記パッド支持部材は、
前記基板支持ユニットの一側に設置された支持胴体と、
前記支持胴体の上部に結合され、前記基板支持ユニットから離隔して位置し、前記基板のエッジ研磨の時、前記研磨パッドを支持する支持パッドとを含むことを特徴とする請求項1に記載の基板研磨装置。
【請求項10】
前記支持パッドは前記支持胴体から脱着可能に結合されることを特徴とする請求項9に記載の基板研磨装置。
【請求項11】
前記支持パッドの摩耗程度を感知するために、前記パッド支持部材の高さを感知して前記支持パッド上面の位置値を出力する第1位置感知部をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載の基板研磨装置。
【請求項12】
前記支持胴体は前記容器ユニットの底板に固定設置されることを特徴とする請求項11に記載の基板研磨装置。
【請求項13】
前記パッド支持部材は、
前記支持胴体または前記支持パッドを垂直移動させて前記支持パッドの垂直位置を調節する位置調節部をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載の基板研磨装置。
【請求項14】
前記位置調節部は駆動モータまたはシリンダであり、
前記駆動モータまたは前記シリンダは前記支持胴体の下部に固定結合されることを特徴とする請求項13に記載の基板研磨装置。
【請求項15】
前記支持パッドの摩耗程度を感知するために、前記パッド支持部材の高さを感知して前記支持パッド上面の位置値を出力する第1位置感知部と、
前記第1位置感知部から出力された前記支持パッド上面の垂直位置値を受信し、受信された位置値によって前記位置調節部を制御して前記支持パッドの上面の位置を調節する制御部とをさらに含むことを特徴とする請求項13に記載の基板研磨装置。
【請求項16】
前記基板支持ユニットに対する前記研磨パッドの相対的な水平位置をセンシングし、前記研磨パッドの水平位置値を前記制御部に提供する第2位置感知部をさらに含むことを特徴とする請求項15に記載の基板研磨装置。
【請求項17】
前記制御部は受信された前記研磨パッドの水平位置値と前記支持パッドの上面位置の垂直位置値によって前記位置調節部を制御して前記支持パッドの上面位置を調節することを特徴とする請求項16に記載の基板研磨装置。
【請求項18】
前記位置調節部は空気圧によって膨脹及び収縮可能なベローズを含み、
前記ベローズは前記支持胴体と前記支持パッドとの間に設置され、収縮及び膨脹を通じて前記支持パッドの垂直位置を調節することを特徴とする請求項17に記載の基板研磨装置。
【請求項19】
前記支持胴体は柱形状を有し、
前記支持パッドの上面は前記研磨パッドの研磨面より小さい面積を有することを特徴とする請求項9に記載の基板研磨装置。
【請求項20】
前記研磨パッドの半径は、前記支持パッドと前記基板支持ユニットとの間の距離と前記支持パッドの幅とを合わせたものと同一、またはこれより小さいことを特徴とする請求項9に記載の基板研磨装置。
【請求項21】
前記支持パッドの上面は円形状を有し、
前記研磨パッドの半径は、前記支持パッドと前記基板支持ユニットとの間の距離と前記支持パッドの幅とを合わせたものと同一、またはこれより小さいことを特徴とする請求項9に記載の基板研磨装置。
【請求項22】
前記支持パッドは合成樹脂材質からなることを特徴とする請求項9に記載の基板研磨装置。
【請求項23】
上部が開放された容器ユニットと、
前記容器ユニット内に設置され、基板が安着され、回転可能な基板支持ユニットと、
研磨工程の時、前記基板支持ユニットの上部に配置され、前記基板支持ユニットに安着された基板を研磨する研磨パッド、及び前記研磨パッドが前記基板支持ユニットに安着された基板の中心領域から前記基板のエッジ領域までまたは前記基板のエッジ領域を通る位置まで移動可能になるように前記研磨パッドを移動させるパッド駆動部材を具備する研磨ユニットと、
前記容器ユニット内に設置され、前記基板支持ユニットから離隔されて前記基板支持ユニットの一側に配置された支持パッドを有するパッド支持部材とを含むことを特徴とする基板研磨装置。
【請求項24】
前記パッド支持部材は、
前記基板支持ユニットの一側に設置された支持胴体と、
前記支持胴体の上部に結合され、前記基板支持ユニットから離隔して位置し、前記基板のエッジ研磨の時、前記研磨パッドを支持する支持パッドを含むことを特徴とする請求項23に記載の基板研磨装置。
【請求項25】
前記パッド支持部材は、
前記支持胴体または前記支持パッドと結合し、前記支持胴体または前記支持パッドを垂直移動させて前記支持パッドの垂直位置を調節する位置調節部をさらに含むことを特徴とする請求項24に記載の基板研磨装置。
【請求項26】
前記研磨パッドの半径は、前記支持パッドと前記基板支持ユニットとの間の距離と前記支持パッドの幅とを合わせたものと同一、またはこれより小さいことを特徴とする請求項18から21までの何れか一項に記載の基板研磨装置。
【請求項27】
基板支持ユニットに基板を安着させる段階と、
前記基板支持ユニットの上部に研磨パッドを配置させる段階と、
前記基板支持ユニット及び前記研磨パッドのうちの少なくともいずれか1つが回転する間、前記研磨パッドが前記基板を加圧しながら研磨する段階とを含み、
前記基板を研磨する段階は、
前記基板と接触されない研磨パッドの一部分がパッド支持部材によって支持されながら前記基板のエッジを研磨する段階を含むことを特徴とする基板研磨方法。
【請求項28】
前記研磨パッドの直径は前記基板の直径より小さく、
前記研磨パッドは前記基板の中心領域から前記基板のエッジに移動しながら前記基板を研磨することを特徴とする請求項27に記載の基板研磨方法。
【請求項29】
前記研磨パッドは前記基板の上部でスイング移動しながら前記基板を研磨することを特徴とする請求項28に記載の基板研磨方法。
【請求項30】
前記パッド支持部材は側面で見る時、上面が前記研磨パッドと接触される前記基板の上面と同一線上に位置するように提供されることを特徴とする請求項27から29までの何れかの一項に記載の基板研磨方法。
【請求項31】
前記基板のエッジを研磨する段階は、
前記パッド支持部材上面の垂直位置をセンシングする段階と、
側面で見る時、前記パッド支持部材の上面が前記基板の上面と同一線上に位置するように、センシングされた垂直位置値によって前記水平調節部の上面の垂直位置を調節する段階とをさらに含むことを特徴とする請求項30に記載の基板研磨方法。
【請求項32】
前記パッド支持部材の上面の垂直位置をセンシングする段階と前記パッド支持部材の上面の垂直位置を調節する段階は、前記研磨パッドが前記基板のエッジを研磨する間行われることを特徴とする請求項30に記載の基板研磨方法。
【請求項33】
前記基板を研磨する段階は、
前記基板上での前記研磨パッドの水平位置をセンシングする段階と、
前記研磨パッドの水平位置値によって前記パッド支持部材の上面の垂直位置を調節する段階とを含む特徴とする請求項27に記載の基板研磨方法。
【請求項34】
前記パッド支持部材の上面の垂直位置を調節する段階は、
前記研磨パッドが前記基板のエッジを除いた領域に位置する場合、側面で見る時、前記パッド支持部材の上面を前記基板の上面より下に位置させるために、前記パッド支持部材の上面を下降させる段階と、
前記研磨パッドが前記基板のエッジに位置する場合、前記基板と接触されない研磨パッドの研磨面の一部分を前記パッド支持部材が支持するように、前記パッド支持部材の上面を昇降させる段階とを含むことを特徴とする請求項33に記載の基板研磨方法。
【請求項35】
前記パッド支持部材の上面を昇降させる段階は、
前記水平調節部の上面の垂直位置をセンシングする段階と、
側面で見る時、前記パッド支持部材の上面が前記基板の上面と同一線上に位置するように、前記パッド支持部材の上面の垂直位置を調節する段階とをさらに含むことを特徴とする請求項34に記載の基板研磨方法。
【請求項1】
基板が安着される基板支持ユニットと、
前記基板支持ユニットの上部に配置され、前記基板支持ユニットに安着された基板を研磨する研磨パッド、及び前記基板支持ユニットに対する前記研磨パッドの相対的な位置が変わるように前記研磨パッドを移動させるパッド駆動部材を具備する研磨ユニットと、
前記基板支持ユニットに安着された基板のエッジ研磨の時、前記基板と接触されない前記研磨パッドの研磨面の一部分を支持するように、前記基板支持ユニットの一側に設けられた少なくとも1つのパッド支持部材とを含むことを特徴とする基板研磨装置。
【請求項2】
前記基板支持ユニットはその中心軸を基準として回転させる基板駆動部材をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の基板研磨装置。
【請求項3】
前記研磨パッドの研磨面は前記基板支持ユニットの上面より小さい面積を有することを特徴とする請求項2に記載の基板研磨装置。
【請求項4】
前記パッド駆動部材は前記研磨パッドをスイングさせることを特徴とする請求項3に記載の基板研磨装置。
【請求項5】
前記パッド駆動部材は、
前記研磨パッドと連結結合され、垂直方向に延長され、その中心軸を基準として回転して前記研磨パッドを自転させる垂直アーム部と、
前記垂直アーム部の上端に連結結合され、前記研磨パッドをスイングさせるようにスイング可能なスイングアーム部と、
前記スイングアーム部の一端に連結結合され、前記スイングアーム部をスイングさせるための回転力を前記スイングアーム部に提供し、前記垂直アーム部を回転させるための回転力を前記スイングアーム部を通じて前記垂直アーム部に提供する駆動部とを含むことを特徴とする請求項3に記載の基板研磨装置。
【請求項6】
前記パッド支持部材は前記研磨パッドの移動軌跡またはその延長線上に配置されることを特徴とする請求項3に記載の基板研磨装置。
【請求項7】
前記移動軌跡は円弧形状であることを特徴とする請求項6に記載の基板研磨装置。
【請求項8】
内部に前記パッド支持部材が設置され、上部が開放された容器ユニットをさらに含むことを特徴とする請求項1から7までの何れか一項に記載の基板研磨装置。
【請求項9】
前記パッド支持部材は、
前記基板支持ユニットの一側に設置された支持胴体と、
前記支持胴体の上部に結合され、前記基板支持ユニットから離隔して位置し、前記基板のエッジ研磨の時、前記研磨パッドを支持する支持パッドとを含むことを特徴とする請求項1に記載の基板研磨装置。
【請求項10】
前記支持パッドは前記支持胴体から脱着可能に結合されることを特徴とする請求項9に記載の基板研磨装置。
【請求項11】
前記支持パッドの摩耗程度を感知するために、前記パッド支持部材の高さを感知して前記支持パッド上面の位置値を出力する第1位置感知部をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載の基板研磨装置。
【請求項12】
前記支持胴体は前記容器ユニットの底板に固定設置されることを特徴とする請求項11に記載の基板研磨装置。
【請求項13】
前記パッド支持部材は、
前記支持胴体または前記支持パッドを垂直移動させて前記支持パッドの垂直位置を調節する位置調節部をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載の基板研磨装置。
【請求項14】
前記位置調節部は駆動モータまたはシリンダであり、
前記駆動モータまたは前記シリンダは前記支持胴体の下部に固定結合されることを特徴とする請求項13に記載の基板研磨装置。
【請求項15】
前記支持パッドの摩耗程度を感知するために、前記パッド支持部材の高さを感知して前記支持パッド上面の位置値を出力する第1位置感知部と、
前記第1位置感知部から出力された前記支持パッド上面の垂直位置値を受信し、受信された位置値によって前記位置調節部を制御して前記支持パッドの上面の位置を調節する制御部とをさらに含むことを特徴とする請求項13に記載の基板研磨装置。
【請求項16】
前記基板支持ユニットに対する前記研磨パッドの相対的な水平位置をセンシングし、前記研磨パッドの水平位置値を前記制御部に提供する第2位置感知部をさらに含むことを特徴とする請求項15に記載の基板研磨装置。
【請求項17】
前記制御部は受信された前記研磨パッドの水平位置値と前記支持パッドの上面位置の垂直位置値によって前記位置調節部を制御して前記支持パッドの上面位置を調節することを特徴とする請求項16に記載の基板研磨装置。
【請求項18】
前記位置調節部は空気圧によって膨脹及び収縮可能なベローズを含み、
前記ベローズは前記支持胴体と前記支持パッドとの間に設置され、収縮及び膨脹を通じて前記支持パッドの垂直位置を調節することを特徴とする請求項17に記載の基板研磨装置。
【請求項19】
前記支持胴体は柱形状を有し、
前記支持パッドの上面は前記研磨パッドの研磨面より小さい面積を有することを特徴とする請求項9に記載の基板研磨装置。
【請求項20】
前記研磨パッドの半径は、前記支持パッドと前記基板支持ユニットとの間の距離と前記支持パッドの幅とを合わせたものと同一、またはこれより小さいことを特徴とする請求項9に記載の基板研磨装置。
【請求項21】
前記支持パッドの上面は円形状を有し、
前記研磨パッドの半径は、前記支持パッドと前記基板支持ユニットとの間の距離と前記支持パッドの幅とを合わせたものと同一、またはこれより小さいことを特徴とする請求項9に記載の基板研磨装置。
【請求項22】
前記支持パッドは合成樹脂材質からなることを特徴とする請求項9に記載の基板研磨装置。
【請求項23】
上部が開放された容器ユニットと、
前記容器ユニット内に設置され、基板が安着され、回転可能な基板支持ユニットと、
研磨工程の時、前記基板支持ユニットの上部に配置され、前記基板支持ユニットに安着された基板を研磨する研磨パッド、及び前記研磨パッドが前記基板支持ユニットに安着された基板の中心領域から前記基板のエッジ領域までまたは前記基板のエッジ領域を通る位置まで移動可能になるように前記研磨パッドを移動させるパッド駆動部材を具備する研磨ユニットと、
前記容器ユニット内に設置され、前記基板支持ユニットから離隔されて前記基板支持ユニットの一側に配置された支持パッドを有するパッド支持部材とを含むことを特徴とする基板研磨装置。
【請求項24】
前記パッド支持部材は、
前記基板支持ユニットの一側に設置された支持胴体と、
前記支持胴体の上部に結合され、前記基板支持ユニットから離隔して位置し、前記基板のエッジ研磨の時、前記研磨パッドを支持する支持パッドを含むことを特徴とする請求項23に記載の基板研磨装置。
【請求項25】
前記パッド支持部材は、
前記支持胴体または前記支持パッドと結合し、前記支持胴体または前記支持パッドを垂直移動させて前記支持パッドの垂直位置を調節する位置調節部をさらに含むことを特徴とする請求項24に記載の基板研磨装置。
【請求項26】
前記研磨パッドの半径は、前記支持パッドと前記基板支持ユニットとの間の距離と前記支持パッドの幅とを合わせたものと同一、またはこれより小さいことを特徴とする請求項18から21までの何れか一項に記載の基板研磨装置。
【請求項27】
基板支持ユニットに基板を安着させる段階と、
前記基板支持ユニットの上部に研磨パッドを配置させる段階と、
前記基板支持ユニット及び前記研磨パッドのうちの少なくともいずれか1つが回転する間、前記研磨パッドが前記基板を加圧しながら研磨する段階とを含み、
前記基板を研磨する段階は、
前記基板と接触されない研磨パッドの一部分がパッド支持部材によって支持されながら前記基板のエッジを研磨する段階を含むことを特徴とする基板研磨方法。
【請求項28】
前記研磨パッドの直径は前記基板の直径より小さく、
前記研磨パッドは前記基板の中心領域から前記基板のエッジに移動しながら前記基板を研磨することを特徴とする請求項27に記載の基板研磨方法。
【請求項29】
前記研磨パッドは前記基板の上部でスイング移動しながら前記基板を研磨することを特徴とする請求項28に記載の基板研磨方法。
【請求項30】
前記パッド支持部材は側面で見る時、上面が前記研磨パッドと接触される前記基板の上面と同一線上に位置するように提供されることを特徴とする請求項27から29までの何れかの一項に記載の基板研磨方法。
【請求項31】
前記基板のエッジを研磨する段階は、
前記パッド支持部材上面の垂直位置をセンシングする段階と、
側面で見る時、前記パッド支持部材の上面が前記基板の上面と同一線上に位置するように、センシングされた垂直位置値によって前記水平調節部の上面の垂直位置を調節する段階とをさらに含むことを特徴とする請求項30に記載の基板研磨方法。
【請求項32】
前記パッド支持部材の上面の垂直位置をセンシングする段階と前記パッド支持部材の上面の垂直位置を調節する段階は、前記研磨パッドが前記基板のエッジを研磨する間行われることを特徴とする請求項30に記載の基板研磨方法。
【請求項33】
前記基板を研磨する段階は、
前記基板上での前記研磨パッドの水平位置をセンシングする段階と、
前記研磨パッドの水平位置値によって前記パッド支持部材の上面の垂直位置を調節する段階とを含む特徴とする請求項27に記載の基板研磨方法。
【請求項34】
前記パッド支持部材の上面の垂直位置を調節する段階は、
前記研磨パッドが前記基板のエッジを除いた領域に位置する場合、側面で見る時、前記パッド支持部材の上面を前記基板の上面より下に位置させるために、前記パッド支持部材の上面を下降させる段階と、
前記研磨パッドが前記基板のエッジに位置する場合、前記基板と接触されない研磨パッドの研磨面の一部分を前記パッド支持部材が支持するように、前記パッド支持部材の上面を昇降させる段階とを含むことを特徴とする請求項33に記載の基板研磨方法。
【請求項35】
前記パッド支持部材の上面を昇降させる段階は、
前記水平調節部の上面の垂直位置をセンシングする段階と、
側面で見る時、前記パッド支持部材の上面が前記基板の上面と同一線上に位置するように、前記パッド支持部材の上面の垂直位置を調節する段階とをさらに含むことを特徴とする請求項34に記載の基板研磨方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14A】
【図14B】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14A】
【図14B】
【公開番号】特開2011−29643(P2011−29643A)
【公開日】平成23年2月10日(2011.2.10)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−164953(P2010−164953)
【出願日】平成22年7月22日(2010.7.22)
【出願人】(500376449)セメス株式会社 (61)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成23年2月10日(2011.2.10)
【国際特許分類】
【出願日】平成22年7月22日(2010.7.22)
【出願人】(500376449)セメス株式会社 (61)
【Fターム(参考)】
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