【課題】圧力検知部の状態をより正確に判定することができる圧力検知装置を提供する。
【解決手段】圧力検知装置１０１は、印加された荷重に基づいて信号を出力する感圧抵抗体３１と、自身の一端側に加えられた内燃機関の燃焼室内の圧力により、自身の他端部から感圧抵抗体３１に荷重を印加する伝達部５と、伝達部５をハウジング２に対して相対変位可能な状態で支持する支持部１１と、ハウジング２に対する伝達部５の相対変位方向と同一の方向に沿って、任意の荷重を感圧抵抗体３１に対して印加可能な加圧機構とを備える。さらに、圧力検知装置１０１は、内燃機関の停止時に加圧機構を制御することで、加圧機構から感圧抵抗体３１に対して所定量の荷重を印加する加圧機構制御部１０３と、所定量の荷重を印加した際の感圧抵抗体３１からの出力信号に基づいて、感圧抵抗体３１の状態を判定する状態判定部１０８とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板の両面に配置された引出電極間の短絡を防止して生産の歩留を高めた物理量検出モジュールを提供する。
【解決手段】圧電振動基板２６と、ダイアフラム５６を有し、前記圧電振動基板２６の一方の主面を覆うダイアフラム基板４８と、前記圧電振動基板２６の他方の主面を覆うベース基板１４と、実装基板９２と、を備え、前記圧電振動基板２６には、一対の接続部３２Ａ，３２Ｂが分離して配置され、前記ベース基板１４と前記ダイアフラム基板４８の何れかよりも外側に露出しており、前記圧電振動基板２６は、互いに信号の異なるパッド電極４２Ａ、４２Ｂと、導電膜４４Ａａと、を有し、前記導電膜４４Ａａは、他方の主面に設けられた引出電極４４Ａと前記パッド電極４４Ｂとを電気的に接続し、前記パッド電極４４Ａ，４４Ｂを前記実装基板９２に配置された接続電極９４に導電性を有する固定部材９６を介して電気的に接続したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、薄膜トランジスタ及びそれを利用した圧力センサーに関する。
ものである。
【解決手段】本発明の薄膜トランジスタは、ソース電極と、ドレイン電極と、半導体層と、ゲート電極と、絶縁層と、を含む。前記ソース電極は、前記ドレイン電極と間隔をあけて設置される。前記半導体層は、前記ソース電極及び前記ドレイン電極にそれぞれ電気的に接続される。前記半導体層は一つのチャネルを有し、該チャネルは前記ソース電極及び前記ドレイン電極の間に位置する。前記ゲート電極は、前記絶縁層により、前記ソース電極、前記ドレイン電極及び前記半導体層と絶縁状態で設置される。前記絶縁層は、弾性率が０．１ＭＰａ〜１０ＭＰａである高分子材料からなる。 （もっと読む）

【課題】 圧力の急激な変化に正しく応答する圧力センサを提供する。
【解決手段】 本発明の圧力センサは、電極層２と圧電体層３とが複数積層され、各電極層２に第１の電極２１および第２の電極２２を備え、隣り合う電極層２の第１の電極２１と第２の電極２２とが圧電体層３を介して対向するように配置され、隣り合う電極層２の第１の電極２１の端部同士が積層方向に重なるとともに第１の電極２１の端部同士が接続部４を介して電気的に接続されていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】安定して正確な圧力測定を行うことが可能な圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力センサ１００は、ハウジング１０８、受圧ピン１３２、力検知素子１１６、充填部材１４０を備える。ハウジング１０８は、その先端面１０８ｃに開口している案内孔１２８ａを備えている。受圧ピン１３２は、案内孔１２８ａ内に変位可能に配置されている。力検知素子１１６は、受圧ピン１３２よりもハウジング後端側であって、受圧ピン１３２の後端面１３２ａと対向して配置されている。充填部材１４０は、受圧ピン１３２およびハウジング１０８に比してばね定数が小さい部材であり、受圧ピン１３２と案内孔１２８ａとの隙間に配置されている。充填部材１４０の先端面１４０ｃは、ハウジング１０８の先端面１０８ｃまたは受圧ピン１３２の先端面１３２ｃのうち、ハウジング後端側に位置している面に対して、同一面内またはハウジング先端側に位置している。 （もっと読む）

【課題】歪抵抗薄膜全体としてのＴＣＲ値を低く抑えることが可能であると共に、温度サイクルに対して、比抵抗ρに代表される電気特性が安定で、かつ優れた高温安定性と高いゲージ率とを実現可能な歪抵抗薄膜および当該歪抵抗薄膜を用いたセンサの提供。
【解決手段】積層膜からなる歪抵抗薄膜１０、２０であって、上記積層膜が、クロム薄膜、酸化クロム薄膜または窒化クロム薄膜からなる第一の薄膜１１、２１と、第一の薄膜１１の両主面のうち第一面１１１または第一面２１１と第二面２１２に積層され、薄膜の膜厚を同一としたときのＴＣＲ値［ｐｐｍ・Ｋ^−１］が第一の薄膜より小さい第二の薄膜１２、２２、２３とを少なくとも一層以上有し、上記積層膜を構成する第二の薄膜１２、２２の一つが上記積層膜の表出面Ｓとして表出している歪抵抗薄膜とする。 （もっと読む）

【課題】圧力センサにおいて、大型化を抑制しつつ、絶縁部材に圧力検出素子が接触する可能性を低減させる。
【解決手段】圧力センサは、軸線方向に延び、先端側が底面部を形成する有底筒状の筐体と、圧力検出素子と、貫通孔４０を有する台座３０と、隙間をあけて貫通孔に挿通され、ボンディングワイヤによって圧力検出素子と電気的に接続される配線部５０と、を備える。さらに圧力センサは、貫通孔内の隙間に充填され、台座と配線部を絶縁すると共に配線部を保持する絶縁部材３６を有する。台座は、貫通孔の先端側開口が形成された対向面を有する台座本体３２と、対向面から突出し、圧力検出素子と当接する凸部３４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの信号強度及び検出感度を向上することができると共に、長期に亘って高い作動信頼性を確保することができ、且つシンプルな構成で製造容易化及び低コスト化を図り易いセンサを提供すること。
【解決手段】圧電性基板１１と、圧電性基板１１の一方の面に接合され、圧電性基板１１との間に気密封止されたキャビティＣを画成させる封止基板１２と、を具備するパッケージ１３と、圧電性基板１１の一方の面に形成され、圧電性基板１１と前記封止基板１２との接合部及びキャビティＣ内に配設されたＩＤＴ１６と、封止基板１２又は圧電性基板１１を厚み方向に貫通すると共にＩＤＴ１６に導通する貫通電極３３と、圧電性基板１１及び封止基板１２のうちの少なくとも一方に形成され、貫通電極３３に導通する外部接続電極１８と、を備え、圧電性基板１１は、パッケージ外部から作用する力学量に応じて変位する変位部２１を有し、圧電性基板１１には、変位部２１を圧電性基板１１の他方の面側に露出させる開放部Ｅが設けられているセンサ１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】 複雑な圧力伝達機構を用いる必要がなく、簡単な構造のセンサを用いて感度よく測定することができる水圧測定装置を提供する。
【解決手段】 光ファイバ１０の片側に光源１１、他方側に光検出部１２とを備え、光ファイバ１０の中間領域に水圧を検出する水圧センサ部１３が設けられ、水圧センサ部１３は、光ファイバで形成される感圧部１０ａと、周期の溝面が形成され、溝面を感圧部の光ファイバに対し軸方向に沿って当接させる棒状の溝付き部材１５と、感圧部１０ａが溝付き部材１５の溝面に圧接されるように固定するファイバ圧接部材１６とからなる光透過型のＬＰＦＧにより構成されるようにすることで、ＬＰＦＧによる特定波長の減衰量を水圧に応じて変化させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、圧力センサ素子の耐久性を向上させることを目的とする。
【解決手段】圧力センサ素子３０は、センサ面３３１および側面３３３を有する板状のシリコン基板３３０と、シリコン基板３３０のセンサ面３３１に接合された第２平面３２２、および側面３３３と略同一平面上に配置された側面３２３を有する板状のガラス基板３２０とを備え、ガラス基板３２０は、更に、第２平面３２２から側面３３３に向かうに従ってセンサ面３３１から離間しながら第２平面３２２と側面３２３とを繋ぐ面取り面３２６を有する。 （もっと読む）

【課題】 回路基板部を設け場合であっても燃焼圧センサを変更することなく低コスト性及び汎用性を高めるとともに、耐熱性部品及び耐振性部品、更には耐熱性構造及び耐振性構造に対する要求条件をより緩和させる。
【解決手段】 ケーブル部２を、長さの短いケーブル前部２ｆと長さの長いケーブル後部２ｒにより構成し、かつケーブル前部２ｆを、燃焼圧センサ５０ｓからの電気信号Ｓｄを入力可能に構成するとともに、ケーブル前部２ｆとケーブル後部２ｒの間に、ケーブル前部２ｆに入力する電気信号Ｓｄを、少なくとも増幅処理してケーブル後部２ｒに出力する回路基板部４を接続し、さらに、この回路基板部４を、密閉したケーシング部１２に収容し、かつケーシング部１２の内部に、回路基板部４を覆う絶縁性を有する充填材１１を充填する。 （もっと読む）

【課題】損傷することなくスプレーの噴出状態を精度よく測定できるスプレー圧力測定装置を提供する。
【解決手段】光ファイバー２５０を保持する板ばねの第一ばね部材２６０の長手方向の中央に、該第一ばね部材２６０より小さいばね定数の板ばねの第二ばね部材２７０を、圧力伝達部２２２の変位に応じて弾性変形する状態に設ける。微小な圧力で、かつ電磁波ノイズが生じる環境でも、微小な圧力を精度良く測定できる。過大圧が加わって圧力伝達部２２２が大きく変位する状況でも、第二ばね部材２７０が大きく弾性変形し、光ファイバー２５０を保持する第一ばね部材２６０は比較的に小さい弾性変形量となる。光ファイバー２５０に急激に大きな引張力が作用することを防止でき、光ファイバー２５０が断線するなどの損傷を防止できる。 （もっと読む）

【課題】 簡単かつ安価でコンパクトな構成でありながら、複数気筒であっても内燃機関の筒内圧に関連する情報を精度良く取得することができる筒内圧センサを提供する。
【解決手段】 本発明に係る内燃機関の筒内圧センサは、内燃機関の筒内圧力に関連する情報を取得する内燃機関の筒内圧センサであって、光ファイバ１０のコア１２に格子間隔に応じた特定波長の光を反射するブラッグ格子部１３が設けられたＦＢＧ光ファイバセンサ１の当該ブラッグ格子部１３を内燃機関の気筒付近に配設すると共に、前記ブラッグ格子部１３において反射された特定波長の光の波長変化に基づいて筒内圧力に関連する情報を取得することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可動部材の疲労強度を向上させ、振動等による可動部材の破損をより確実に防止する。
【解決手段】燃焼圧センサ１は、軸線ＣＬ１方向に延びる軸孔２３を有する筒状のハウジング２と、一端側が本体部２１に固定され、軸線ＣＬ１方向に沿って伸縮変形可能な筒状の可動部材８と、軸孔２３内に挿設されるとともに、外面が可動部材８の他端側に固定され、先端部が外部に露出する棒状の圧力伝達体３と、ハウジング２に直接又は間接的に固定されるとともに、圧力伝達体３から加えられる圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子４２とを備える。可動部材８は、自身の自然長よりも短く圧縮された状態で設けられる。 （もっと読む）

【課題】可動部材に加わる応力の分散を図り、可動部材の破損をより確実に防止する。
【解決手段】圧力センサとしての燃焼圧センサ１は、軸線ＣＬ１方向に延びる軸孔２３を有するハウジング２と、一端側がハウジング２に固定されるとともに、金属製で筒状をなす可動部材８と、外面が可動部材８の他端側に固定される圧力伝達体３と、圧力伝達体３から加えられる圧力に基づいて信号を出力するセンサ素子４２とを備える。可動部材８は、軸線ＣＬ１方向に沿って伸縮変形可能な蛇腹部８１と、蛇腹部８１の端部に連接して設けられた管状部８２，８３とを有する。管状部８２，８３に対して本体部２１又は圧力伝達体３が圧入接合されており、管状部８２，８３のうち本体部２１又は圧力伝達体３が圧入接合された部位の蛇腹部８１側の端縁と、蛇腹部８１及び管状部８２，８３の境界部分とが軸線ＣＬ１方向に沿って離間されている。 （もっと読む）

【課題】小型で信頼性の高いセンサーユニットと、このようなセンサーユニットを簡便に製造するための製造方法を提供する。
【解決手段】センサーユニット１は、ピエゾ抵抗素子を用いたセンサー２と、このセンサーに接合した能動素子モジュール５とを備え、センサー２は、ピエゾ抵抗素子２９Ｘ，２９Ｙ，２９Ｚに電気的に接続し可動機能領域２Ａの外側に位置する端子３１を有するセンサー本体３と、センサー本体３の枠部２３に接合された保護用蓋部材４と、を有し、能動素子モジュール５は、複数の貫通電極５３と、センサー２の可動機能領域２Ａを囲むように配設された絶縁性樹脂部材５４と、所望の貫通電極５３に接続し、かつ、絶縁性樹脂部材５４上まで達しているコンタクト電極５５とを有し、コンタクト電極５５がセンサー本体３の端子３１と接触した状態で、絶縁性樹脂部材５４がセンサー２と能動素子モジュール５とを接合している。 （もっと読む）

【課題】リード線カバーの利用に伴う不具合の可能性を低減できる技術を提供する。
【解決手段】ガスセンサのコネクタ部材は第１嵌合部を有し、ガスセンサのリード線カバーは第２嵌合部を有する。コネクタ部材に対するリード線カバーの、パイプ部材の周方向の位置は、第２嵌合部が第１嵌合部に嵌合することによって制限される。 （もっと読む）

【課題】Ｓｉ素子を押圧する押圧部材が有する受圧面よりも広い面にて圧力が伝達される機構を備えた圧力センサを構成する力検知素子において、その押圧部材の受圧面の外縁が容易に欠けたり割れたりしないような力検知素子を提供する。
【解決手段】力検知素子（素子接合体１４０）は感圧抵抗体１３１が形成されたＳｉ素子１３０上に押圧部材１２５を備える。当該押圧部材１２５の受圧面１２５ａは自身よりも広い面積を持つ圧力伝達部材（中間部材１２３）に押圧される。押圧部材１２５の外縁には面取り部１２５ａＬ，１２５ａＣが形成されている。 （もっと読む）

本発明は、動作の際の内燃機関の燃焼空間における圧力を検出する圧力センサ（１０）の圧力センサ測定要素（２６）に関する。圧力センサ測定要素は、分離隔壁（５４）と、力測定要素（３２）へ前記分離隔壁（５４）の変形を伝達するプランジャー（５６）と、前記プランジャー（５６）を収容するとともに、燃焼空間に面することになる第１端部（１２）においては前記分離隔壁（５４）によって閉じられており、反対側の第２端部（１６）においては前記力測定要素（３２）を保持するようを設計されているスリーブ（３６）と、を有する。同じ機能性をもたせながら、圧力センサ測定要素（２６）をよりコスト効率よく生産できるように、プランジャー（５６）を隔壁／プランジャユニット（３８）として分離隔壁（５４）と一体的に形成し、そしてスリーブ（３６）および隔壁／プランジャユニット（３８）を同じ金属材料から形成することを提案する。
（もっと読む）