センサヘッド（２）と光学ユニット（３）との互いにマッチングされたパーツを含む、対象物表面の非接触式光学走査のための走査センサシステム。前記光学ユニット（３）は、取り付け装置（４）によって、前記センサヘッド（２）上に高精度で取り付け、位置決めすることができる。前記取り付け装置（４）は、そこに前記光学ユニット（３）を取り付け、位置決めすることが可能な三つの軸受け（２０，２１，２２）を備え、これら三つの軸受け（２０，２１，２２）のそれぞれは、その軸受け部対の軸受け部（１７ａ，１８ａ，１９ａ）のそれぞれが、前記軸受け部対の他方の軸受け部（１７ｂ，１８ｂ，１９ｂ）の少なくとも１つの軸受け面と接触する軸受け面を備える、その形状と位置とが互いにマッチングされた一対の軸受け部（１７ａ，１７ｂ；１８ａ，１８ｂ；１９ａ，１９ｂ）を有し、前記軸受け部対の一方の軸受け部（１７ｂ，１８ｂ，１９ｂ）は前記光学ユニット（３）上に配設され、前記軸受け部対の他方の軸受け部（１７ａ，１８ａ，１９ａ）は前記センサヘッド（２）上に配設されている。前記軸受け部対は、前記軸受け（２０，２１，２２）を貫通して延出する軸受け面に対して、側方方向において、前記軸受け部対の他方の軸受け部（１７ｂ，１９ｂ，１９ｂ）に対する一方の軸受け部（１７ａ，１８ａ，１９ａ）の側方移動に対して異なる移動制約を加えるように、即ち、第１軸受け部対（１７ａ，１７ｂ）については、全く側方移動が許容されないように、そして、第２の軸受け対部（１８ａ，１８ｂ）については、一空間方向における直線側方移動のみが許容され、そして第３の軸受け対部（１９ａ，１９ｂ）については、二つの空間方向における二次元的側方移動が許容されるように、構成されている。
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【課題】 干渉計の光路差を正弦波状に高速変化させ、光路差が位相シフト法に必要な所定の位置となるタイミングで光源を発光して物体表面の干渉画像を取得する高精度な干渉計測装置を提供する。
【解決手段】
本発明は、光源、正弦波駆動可能な位相シフタ、および撮像タイミング制御が可能な撮像装置からなる干渉光学系を用い、光源の発光タイミングと前記位相シフタの移動量と前記撮像装置の撮像タイミングとを同期可能に制御し、光路差を変えて撮像した複数の干渉画像から高さを算出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ベストフォーカス付近において適切なフォーカス計測を行うこと。
【解決手段】計測装置は、投影露光装置のフォーカス位置に対してエッジ間隔が極値を持つ検査マークが形成された基板を計測するための計測装置であって、前記検査マークのエッジ間隔が異なるフォーカス位置で極値を持つように計測条件を変更し、各計測条件で撮像された前記検査パターンのエッジ間隔情報を取得する取得手段と、前記各計測条件で撮像された前記検査パターンのエッジ間隔情報に基づいて、デフォーカス量を算出する算出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】容易に且つ高精度に位置合わせすることが可能な３次元形状測定システム、３次元形状測定装置、立体測定物、及び位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】立体的な測定対象物である立体測定物を非接触に３次元測定する３次元形状測定装置と立体測定物とを、所定の位置関係で測定する３次元形状測定システムにおいて、３次元形状測定装置は、立体測定物に光を照射する照射部を備え、立体測定物は、３次元形状測定装置と立体測定物との位置合わせの基準となる指標部を備え、指標部は、３次元形状測定装置と立体測定物とが所定の位置関係を満たすように配置された際に、照射部からの光が立体測定物に入射する位置に設けられている。 （もっと読む）

一実施形態において、座標測定装置は、第１の端および第２の端をそれらの間の少なくとも第１のアームセグメントおよび第２のアームセグメントとともに有する関節付きアームを含む。さらに、装置は、第１のアームセグメントを第２のアームセグメントに接続する少なくとも１つのボールソケット継ぎ手であって、ボール部材およびソケット部材を含むボールソケット継ぎ手と、上記関節付きアームの第１の端に取り付けられる測定プローブとを含むことができる。
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【課題】本発明は、接触式の測定装置と、撮像装置を用いた測定装置との間で、両者間の基準位置の校正を正確且つ容易に実行できる、基準位置校正治具、外形測定装置、外観検査装置、測定対象物保持装置、基準位置校正方法、外形測定方法、及び外観検査方法を実現する。
【解決手段】本発明による基準位置校正治具は、測定対象物に接触して形状を測定する接触式形状測定装置、及び測定対象物の画像を取得して形状を測定する画像認識形状測定装置において基準位置を校正するための基準位置校正治具であって、平坦面と、当該平坦面に形成されており、当該平坦面に垂直な周縁壁を有する円形の凹部又は円柱と、を備える。外形測定装置、外観検査装置、測定対象物保持装置は、当該基準位置校正治具を備える。基準位置校正方法、外形測定方法、及び外観検査方法は、これらの基準位置校正治具、外形測定装置、外観検査装置、又は測定対象物保持装置を用いる。 （もっと読む）

本発明は、三次元輪郭の非接触検出のための装置に関する。装置は、イメージング素子（１）を有するプロジェクタと、イメージング素子（１）上に生成されたストライプパターンを物体空間（３）内にイメージングする投影レンズ（２）とを備える。本発明は、２つのカメラレンズ（４）を有し、物体区間（３）を２つの異なる方向から監視するカメラ配列もさらに備える。プロジェクタおよびカメラ配列は、手に持てる測定ヘッド内に共に収容される。本発明は、さらに、当該装置を用いてｓ何次元輪郭を検出する方法にも関する。 （もっと読む）

【課題】既知の方法および装置を改良することである。
【解決手段】物体（２）の３次元座標を判定するための方法が提供される。この方法において、物体（２）上にフリンジパターンが投影される。物体（２）によって反射された光は記録・計測される。このような方法を改良するために、前記フリンジパターンは、結像素子によって物体（２）上に投影される。 （もっと読む）

サンプル１の表面２の様相を観察するための装置であり、この装置は、前記表面２を既定の方向から照光するための光源１１及び前記表面２を観察するための手段を有する。前記表面２を観察するための手段は、前記表面２に対し異なる方向に置かれた多数の実質的な平面鏡８を有する。前記手段はさらに、前記平面鏡８を観察するための光学系６、１４を有する。各平面鏡８は、前記サンプル１の前記表面２の画像を前記光学系６、１４の画像受信部６へ反射する。
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【課題】加工機の工具取付部に測定手段を装着して測定対象の形状等を測定する際に、高精度な測定を行えるようにすること。
【解決手段】演算制御部３７は、加工機１の加工用テーブル２及び主軸ヘッド６を所定方向に移動させ、加速度検出器４１、４６からの加速度信号を２回積分した値が所定の基準値内のときに、テーブル２及び主軸ヘッド６が停止したと判断し、工具取付部１０に装着した光学式測定装置１８は測定対象４で反射した測定用光を検出する。演算制御部３７は、ＮＣ制御装置９からテーブル２及び主軸ヘッド６の駆動用指令値を受けて同期をとりながら、テーブル２及び主軸ヘッド６を所定量ずつ移動させて測定対象４を走査しながら計測を行い、検出した測定用光に基づいて測定対象４の形状等を算出する。これにより、加工用テーブル２及び主軸ヘッド６の位置と測定データが同期し、測定対象４の形状等の算出が高精度に行われる。 （もっと読む）

【課題】横方向及び長手方向の計測学システムを提供する。
【解決手段】本発明は少なくとも一つの基準衛星（ＳＲ）及び一つの第二の衛星（ＳＳ）を備えた人工衛星編隊飛行用の衛星計測学システムに関する。
基準衛星において、光源（ＳＯ）は第二の衛星（ＳＳ）を照らすことを目的としている光線を放射し、光検出器（ＣＣＤ）の集合は第二の衛星によって反射された光を検出する。測定回路（ＣＩ）は第二の衛星（ＳＳ）からの光を受ける一つ又は複数の検出器を検知するために用いられる。
第二の衛星（ＳＳ）において、少なくとも一つの反射器（ＲＲ１）が基準衛星からの照射光を受け、それを基準衛星の検出器（ＣＣＤ）の集合に向かって反射する。
適用範囲：人工衛星の編隊飛行 （もっと読む）

対象物の三次元形状及び色彩を定義するために一般座標系の多重視点からの形状データを組み合わせる方法であって：１つ又は複数の光学データ／マーカを物体面に投影し；物体面のエリアに光を投影し；物体面からの反射光を捕え；光学データ／マーカを対象物の多重視点の基準点として使用し；対象物の形状を測定するのに多重視点と基準点を使用するステップから成る方法。
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【課題】 平面上の突起、窪み、折れなどの平面異常による外観不良を高速に検査するにあたり、反射率や透過率から検査する方式の表面検査装置では平面異常だけを選択的に検出することは非常に困難であった。またレーザ光を使った凹凸測定による検出方法では分解能が足りず外観不良を検査することは不可能であった。
【解決手段】光源より出射された光を、前記平面に対してライン状に走査する光走査手段と、該走査光による該平面および平面異常部からの反射光を受光する反射光位置検知手段と、該検知手段からの検知信号により該平面異常部の角度を算出して平面異常の検査を行う角度検査測定部と、を有する光走査式平面外観検査装置とした。また前記反射光位置検知手段は結像レンズによる結像位置から所定の距離だけ光軸方向に離れて設けることとした。 （もっと読む）

【課題】装着時において操作者に圧迫感や不快感を与えることなく、操作者の意図を高精度に反映した操作を実現する。
【解決手段】操作信号出力装置１００は、ＬＥＤ１０１〜１０４から発光された照射光を操作者Ｍの人体の一部に照射するように、人体に装着するリング本体１０５と、人体の一部に照射され、照射部位における散乱光あるいは透過光を受光する複数の受光素子１０６ａ〜ｄ，１０７ａ〜ｄ，１０８ａ〜ｄ，１０９ａ〜ｄを有し、これら複数の受光素子１０６ａ〜ｄ，１０７ａ〜ｄ，１０８ａ〜ｄ，１０９ａ〜ｄにおける照射光の受光結果の組み合わせに基づき、操作者Ｍの動作状態に対応した操作信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタなどの測定対象物が備える薄膜の三次元的な情報である膜厚分布を効率よく取得することのできる薄膜測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】基材と、基材上に形成された薄膜を備えた測定対象物の膜厚分布を測定するための装置であって、測定対象物の表面形状分布情報を取得する手段と、測定対象物上の任意の点の膜厚情報を取得する手段と、前記任意の点の膜厚情報と前記表面形状分布情報から前記表面形状分布情報が取得された領域の膜厚分布情報を求める手段とを備えることを特徴とする薄膜測定装置とする。 （もっと読む）

【課題】実際の照明光学系による照明スポット内の照度分布がガウス分布になっていない場合には、検出される異物・欠陥の粒径算出および被検査物体表面上での座標位置の検出精度が低下してしまう。
【解決手段】照明スポット内の照度分布を格納する照明スポット照度分布データテーブルを備え、異物・欠陥からの検出光強度データと、この照明スポット照度分布データテーブルに基づいて異物・欠陥の座標位置および粒径算出を行う。これにより、実際の照明光学系による照明スポット内の照度分布が必ずしもガウス分布とならない場合においても、検出される異物・欠陥の粒径算出および被検査物体表面上での座標位置の精度を向上させることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】光透過率及び長さが異なる２つの部材を交互に配置させた円筒状光拡散体の部材配列状態を安定して検査することができる画像データを算出する検査装置を提供する。
【解決手段】特徴量抽出処理部（４）は、ラインセンサ（３）の副走査毎に、画像データの品質を示す特徴量を検出し、検出した特徴量を記録処理部（５）に送信する。例えば、特徴量は予め決められた一定の値の閾値以上で検出された画像データの階調度のレベルの合計である。記録処理部（５）は、画像データと特徴量を関連付けて記録する。範囲特定処理部（６）は、記録処理部（５）を参照し、最も検出に有効である副走査の範囲を特徴量に基づいて特定する。画像抽出処理部（７）は、範囲特定処理部（６）から受信した副走査の範囲に基づいて、記録処理部（５）に記録された画像データを抽出し、抽出した画像データより計測処理用の画像データを合成する。 （もっと読む）

【課題】受光素子（フォトダイオード）の面積を低減した光源方向検知器、２つの光源方向検知器を用いて光源までの距離を検出して光源の位置を検知することができる光源位置検知装置、光源方向検知器または光源位置検知装置を適用して正確で迅速な遠隔制御が可能となる電子機器を提供する。
【解決手段】光源方向検知器１は、互いに分離して平面上に配置された複数の受光素子ＰＤ（第１受光素子ＰＤ１、第２受光素子ＰＤ２）と、光源ＬＥＤからの光信号（光信号ＬＳａ、光信号ＬＳｂ、光信号ＬＳｃ）を受光素子ＰＤへ集光するレンズ１１とを備える。第１受光素子ＰＤ１が出力した第１光信号検出値ＬＤ１および第２受光素子ＰＤ２が出力した第２光信号検出値ＬＤ２に対して演算処理部１３により演算処理を行ない、求めた演算処理値ＳＶｏｕｔに基づいて検知器出力ＳＧを出力する。 （もっと読む）

【課題】 被測定物を移動させても光路差が変化しない表面形状測定装置の提供。
【解決手段】 光の波長程度の凹凸がある表面形状を測定する装置において、照明光源１０と、対物レンズ２１と、被測定物４０と共役関係に配置された参照ミラー３２と、被測定物４０と参照ミラー３２からの反射光を重ね合わせるためのハーフミラー３１と、結像面にカラービデオカメラ２３を備え、被測定物４０と参照ミラー３２及びハーフミラー３１を一体的に移動可動な被測定物干渉ユニット３０にすることにより、被測定物４０を移動させても光路差が変化しないようにした。 （もっと読む）

【課題】
光学的手法を用いて、被検査体面の長手方向に生じる凹凸状欠点を検出し、凹凸状欠点の高さ、幅を短時間で精度良く求めることを可能とする検査装置を提供すること。
【解決手段】
被検査体である連続走行しているシート状物の一面に光照射手段、他面に撮像手段が設置し、前記撮像手段で撮像した透過光に基づいて、被検査体表面に存在する凹凸状欠点を検出、定量化するデータ処理手段を備え、前記データ処理手段では、凹凸状欠点部の出力信号波形の２つのピークの横方向の幅と縦方向の振幅の積により凹凸状欠点の高さを短時間で求めることができる。 （もっと読む）