【課題】ダイヤフラムの反射面の劣化による検出精度の低下を抑制でき、しかも変位の検出範囲を拡大できる、光学式変位計を提供する。
【解決手段】光学式圧力計１０は、ダイヤフラム１１と、隔壁１４と、スリット１５と、発光素子１６と、検出用受光素子１７と、を備えたことを特徴とする。ダイヤフラム１１は、表裏をなす第一面１１１及び第二面１１２から成り、第一面１１１で受ける圧力Ｆに応じて変位ｄを生ずる。隔壁１４は、第二面１１２に対向するとともに、発光室１２と受光室１３とを仕切る。スリット１５は、隔壁１４と第二面１１２との間隙から成る。発光素子１６は、発光室１２に設けられ、電力Ｐを入力し光Ｌに変換して出力する。検出用受光素子１７は、受光室１３に設けられ、発光素子１６から出力されスリット１５を通過した光Ｌ’を入力し電気信号（光電流Ｉｏ）に変換して出力する。 （もっと読む）

【課題】高い測定精度を有する形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置１００は、被測定物体１５の形状を測定して測定値を出力するプローブ１２と、所定の空間内でプローブ１２を移動させる移動機構部であるアーム部１１に、プローブ１２を着脱する取付部１６と、空間内におけるプローブ１２の空間座標を測定する空間座標測定部３０と、プローブ１２により測定された被測定物体１５の測定値を、空間座標測定部３０により測定されたプローブ１２の空間座標により補正する制御部２０，５０と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】 対象物への反射部材の装着や取付けを行うことなく、撮影により、対象物を検出できる物体検出装置を提供することである。
【解決手段】 スクリーン１５に取付けられ、受けた光を再帰反射する再帰反射シート１７−１〜１７−３，１９−１，１９−２と、これら再帰反射シートを撮像する撮像ユニット７と、撮像により得られた差分画像を解析するＭＣＵ３３と、を備える。ＭＣＵ３３は、差分画像から、プレイヤ２５の足により再帰反射シートが遮蔽された部分に対応する遮蔽領域を検出する。遮蔽領域の検出は、プレイヤ２５の足を検出することに相当する。足が再帰反射シート上に位置する場合、その部分は差分画像に現れず、遮蔽領域となって現れるからである。足への再帰反射シートの装着や取付けを行うことなく、撮影により、足を検出できる。 （もっと読む）

【課題】照射光や戻り光の減衰を抑え、反射率の低い被測定物であっても正確に測定や位置決めを行うことのできるオートコリメータを提供する。
【解決手段】被測定物２０に照射光を照射し、該被測定物２０から反射してきた戻り光に基づいて被測定物２０の傾きを測定するためのオートコリメータにおいて、光源１１と、光源１１から発する光の一部を通過させて前記照射光とする照射光形成手段１２と、前記照射光を平行光に変換すると共に、前記戻り光を収束光に変換する対物レンズ１３とを設け、被測定物２０が対物レンズ１３と所定の角度で対向している場合に、前記照射光の光軸及び前記戻り光の光軸が前記対物レンズ１３の中心からずれた互いに異なる位置を通るように光源１１及び照射光形成手段１２を配置する。 （もっと読む）

【課題】焦点検出部として従来とは異なる範囲に対する十分な分解能を有し、表面までの範囲（距離）の全体を検出することができ、設計上あるいは範囲要件の制限を解消できる焦点センサを提供すること。
【解決手段】焦点センサ１００は、照明光源１０からの照明光束１３を、コリメータレンズ１５、第１光束分割面２０、第２光束分割面２５、対物レンズ３０を経てワーク表面４０で反射させる。反射光束１３’は逆の経路を進み、第１光束分割面２０を透過して二重範囲焦点検出装置１１０に入射される。二重範囲焦点検出装置１１０は、高分解能焦点検出装置として高分解能サブ開口レンズ１２０Ａ，１２０Ｂおよび高分解能光検出器１３３Ａ，１３３Ｂを備え、広範囲焦点検出装置として広範囲サブ開口１２５および広範囲光検出器１３５を備える。二重範囲焦点検出装置１１０の入射部分にはリレーレンズ装置を設けてもよい。二重範囲焦点検出装置の代わりに単一拡張範囲のシャックハルトマン焦点検出装置を用いてもよい。 （もっと読む）

【課題】光学式の位置検出手段を低コストに構成する。
【解決手段】位置検出装置１００は、多角形状に構成された検出平面範囲１０Ｒ内において対象物体の平面位置を光学的に検出するための装置であり、第１の位置検出光Ｌ２ａを放出する第１の位置検出用光源１２Ａと、第２の位置検出光Ｌ２ｂを放出する第２の位置検出用光源１２Ｂと、第１の位置検出光を内部に採り込む第１の光入射面１３ａ、第２の位置検出光を内部に採り込む第２の光入射面１３ｂ並びに内部を伝搬する第１の位置検出光及び第２の位置検出光を出射し第１の光入射面及び第２の光入射面と隣接するとともに交差する光出射面１３ｓを有する導光板１３と、導光板に対し第１の位置検出光及び第２の位置検出光の出射側に配置され、検出平面範囲に向けられた受光部１５ａを備え、検出平面範囲の角部の外側に隣接配置された光検出器１５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】簡易な装置で電柱等の中空長尺体の湾曲度合いを測定でき、また、大がかりな設備の設置を必要とせず、中空長尺体の設置場所に拘わらず湾曲度合いを容易に測定することが可能な中空長尺体湾曲測定装置を提供する。
【解決手段】電柱１の頂部内側又は電柱内部の頂部近傍に電柱１の下方向へ照射する発光素子５を設け、電柱１の内周壁に多数の受光素子６を設け、受光素子６で受ける発光素子５からの受光強度の分布に基づき電柱１の湾曲状態を検知する手段を設ける。受光素子６は、鉛直方向に所定の間隔で、且つ、円周方向に所定の間隔で多数配設され、足場ボルトの先端に設けて、足場ボルトの取付けにより電柱１の内側に突設されるようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】 移動ロボットの位置認識のための特徴マップ生成及び周辺の特徴情報抽出技術を提供する。
【解決手段】 光を放出する３Ｄ距離センサーを用いて取得された情報から反射関数を含む特徴情報を抽出し、これに基づいて特徴マップを生成させるために周辺の環境変化にあまり敏感ではない特徴マップを生成させることができ、特徴マッチング時の成功率を高めうる。 （もっと読む）

【課題】投受光分離部やスキャンミラー付近のビーム径を小さくしやすいビーム光投受光装置。
【解決手段】発光部が長径方向と短径方向を持つ光源３と、ビーム光投光光学系と、スキャンミラー１１と、投光光束と戻り光束を分離する投受光分離部材１３と、受光素子５と、戻り光束を受光素子５に集光させる集光レンズ部１５とを備え、ビーム光投光光学系は、発光部の長径方向及び短径方向の双方に対して正の屈折力を有するコリメートレンズ部５１、その後側焦点よりも対象物側に配置され、長径方向及び短径方向の双方に対して正の屈折力を有し、発光部の像を対象物側に形成する結像レンズ部５２、短径方向にて正又は負の屈折力を有し、短径方向での光束を平行光束に近づけると共に、長径方向の屈折力の絶対値が短径方向の屈折力の絶対値よりも小さい投光レンズ部５３を配列してなる。 （もっと読む）

【課題】
光学的な表面を有する基板の検査方法において、特に、原器あるいはマスターから複製される基板の適切な表面検査方法が開発されていないため、高密度化する記録媒体や光学素子の量産化が遅れている。
【解決手段】
原器あるいはマスターとそれから複製される基板とをそれぞれ反射ミラーとするような構成のマイケルソン型干渉計あるいは、マッハツェンダー型干渉計を構築することにより、原器あるいはマスターから反射する位相情報を含む光と、検査対象から反射する光とが干渉し干渉縞を観測する。干渉縞を解析することにより、原器あるいはマスターの表面が有する特定の光学的構造と、検査対象の表面構造との差異を観測することができ、検査対象の表面状態を検知することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】有意な検出情報が得られる対象物（光源１００）の位置の範囲を拡大し、広範囲にわたる対象物の位置を計測可能な位置計測システム等を提供する。
【解決手段】光源１００からの光を透過してリング状の光集中領域を形成するレンズ２１０と、このレンズ２１０により形成された光集中領域を検出する受光素子２２０と、この受光素子２２０により検出された光集中領域の検出情報に基づいて光源１００の位置を計測する演算装置３００とを備える。レンズ２１０は、光源１００側から数えた第１面における３次の像面湾曲収差係数が正であり、第２面における３次の像面湾曲収差係数が負であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 オイルミストや塵などの付着から装置を保護して測定精度の劣化を防止し、加工機械のそばでも測定が行える計測装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍの形状を測定する計測装置であって、前記被検物Ｍの形状情報を採取する検出手段（形状センサ２０、投影ユニット２１、撮像ユニット２２）と、前記計測部の周囲に気体流を形成する気体流形成手段（エアーポンプ３０、エアーホース３１、エアーダクト２１ｄ、２２ｃ）とを備え、気体流形成手段は、帯電した不活性ガスを前記気体流形成手段に供給される気体に前記気体の流れに略直交又は逆らう方向から吹き付けて、前記不純物を帯電させる帯電機構（不活性ガス供給部４７、イオン化ガス発生部４８、導入路４１）と、前記帯電させた不純物の帯電極性とは、逆の極性に帯電させた集塵機構（網目部材４２）とを有した集塵手段４０を備え、前記集塵手段を介して前記検出手段の外界の雰囲気よりも不純物の少ない気体を流して、前記検出手段を前記雰囲気から隔てる気体流形成手段である。 （もっと読む）

【課題】、オイルミストや塵などの付着から装置を保護して測定精度の劣化を防止し、加工機械のそばでも測定が行える計測装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍの形状を測定する計測装置であって、前記被検物Ｍの形状情報を採取する検出手段（形状センサ２０、投影ユニット２１、撮像ユニット２２）と、前記計測部の周囲に気体流を形成する気体流形成手段（エアーポンプ３０、エアーホース３１、エアーダクト２１ｄ、２２ｃ）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
表面検査装置では、より粒径の小さいＰＳＬを使用することで、より小さい欠陥を検査することが可能となる。しかし、ＰＳＬの粒径は、有限である。このことから、従来の表面検査装置では、近い将来に半導体製造工程の検査で必要となるＰＳＬに設定の無いほど小さい粒径の欠陥をどのように検査するかということに関しては配慮がなされていなかった。
【解決手段】
本発明は、被検査物体で散乱，回折、または反射された光の、波長，光量，光量の時間変化、および偏光の少なくとも１つを模擬した光を発生する光源装置を有し、前記光を表面検査装置の光検出器に入射させる
【効果】
より微小な欠陥を検査することができる。 （もっと読む）

【課題】測定レンジの異なるリニアゲージを小型かつ簡易に構成可能とする。
【解決手段】シャフト３３をボールスプライン３４で直動可能にフレーム３１に支持した可動機構アッセンブリ３のスリット板ホルダ３８にスリット板５を固定した上で、可動機構アッセンブリ３と、スリット板５の変位を非接触で検出するための光学、電気部材を固定した変位検出アッセンブリ１とを連結部材６を用いて連結しケース７に収容してリニアゲージを構成する。連結部材６とスリット板５の長さは、構成するリニアゲージの測定レンジに応じたスリット板５のストローク量が確保され、かつ、変位検出ブロックの変位検出範囲内にスリット板５が位置するように設定する。 （もっと読む）

【課題】変位測定用光学系及び角度測定用光学系の光源を兼用し、すなわち変位チルトセンサの光源を１つとしても、検出物体の位置変位、角度変位を同時に測定することができる変位チルトセンサを提供する。
【解決手段】検出領域に向けて測定用光を出射する投光部、および、検出領域で反射された測定用光を受光する受光部からなる光学系を備え、発光ダイオード等の投光素子と、投光レンズと、投光素子から出射された測定用光を細くする手段とを具備して投光部を構成し、また、角度検出部と変位検出部とを具備し、前記角度検出部は、角度測定用受光レンズと、角度測定用受光素子とを具備する角度検出部、および、変位測定用受光レンズと、変位測定用受光レンズとを具備する変位検出部を有して変位チルトセンサを構成する。 （もっと読む）

【課題】不均質部分による不良を精度よく検出し、不良部分を確実に排除可能な透明管体の外観検査装置及び外観検査システムを提供する。
【解決手段】光軸方向に順に光源１９、管軸方向のスリット３２を１本有するスリット部材２１、光軸直交方向に移送されるガラス管１５、撮像装置２０を配置し、スリット部材２１を背景にガラス管１５を所定単位時間毎に撮影し、撮影画像のガラス管内径部分を通してのスリット画像の幅寸法を測定手段３４で測定し、測定されたスリット画像の幅寸法をもとに、判断手段３５で、所定時間内の幅寸法の最大値、最小値及び最大値の差と、予め設定された各閾値とを比較してガラス管１５の外観の良否を判断する。 （もっと読む）

【課題】 スクリーン面上の複数点との距離を正確に測定できる光線を用いた距離測定装置を備えるプロジェクタを提供する。
【解決手段】 本発明のプロジェクタ1は、光源手段と、当該光源手段からの光を表示素子50に導光する光源側光学系と、表示素子50と、当該表示素子50から射出された画像をスクリーンに投影する投影側光学系とを備え、光源手段や表示素子50を制御するプロジェクタ制御手段を有し、当該プロジェクタ制御手段は、スクリーン61面上の三点までの距離を測定すると共に平均距離を測定する距離測定手段及び当該距離測定手段が測定したスクリーン61面上の複数点までの距離からスクリーン61の傾斜角を算出する傾斜角算出手段と、距離測定手段が測定及び傾斜角算出手段が算出した情報から歪みを補正した投影画像の画像データを作成する歪み補正手段とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】試料を目的温度へと迅速且つ温度分布良く到達し、試料の形状を迅速且つ正確に測定できる簡便な測定方法、保持装置及び形状測定装置を提供すること。
【解決手段】干渉計４０を用い試料９０の形状を測定する測定方法は、気密性材料で形成された匡体２１の内部に、低蒸気圧液体２５３が収容される収容部２５を設け、試料９０を、その一部が低蒸気圧液体２５３に浸された状態で、干渉計４０の光源から発射される測定光の光路ＯＰ上に配置し、匡体２１の内部を密閉して減圧し、測定光を光源から、試料９０のうち低蒸気圧液体２５３に浸されていない部分９１へと発射して干渉データを取得し、この干渉データに基づいて試料９０の形状を測定する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ることができる青果物品質判定装置を提供する。
【解決手段】青果物１・１・・・を照明する撮像用投光手段５１と、撮像用投光手段５１により照明された青果物１を撮像する撮像手段５２と、青果物１・１・・・に光を照射する内部測定用投光手段５３と、内部測定用投光手段５３により照射され青果物１を透過または反射した光を受光する内部測定用受光手段５４と、撮像用投光手段５１による照明中に、内部測定用投光手段５３による投光を中止させるとともに、撮像手段５２による撮像結果を取得し、内部測定用投光手段５３による投光中に、撮像用投光手段５１による照明を中止させるとともに、内部測定用受光手段５４による受光結果を取得し、撮像手段５２による撮像結果と、内部測定用受光手段５４による受光結果と、に基づいて青果物１・１・・・の品質を判定する制御装置７０と、を具備した。 （もっと読む）