【課題】高輝度パルス光源構成を提供する。
【解決手段】高輝度光源構成は、長寿命を有し高速度で変調することができる。本構成は、アクチュエータに取り付けられた可動部材と、可動部材に関連する発光蛍光体領域と、放射光出射領域に対し固定された点において発光蛍光体領域を照射する入射光源と、可動部材アクチュエータと入射光源を制御する光源制御装置と、を含む。入射光源（例えばレーザー）は照射スポットに高輝度入射光を供給し、発光蛍光体領域に高輝度出射光を放射させる。発光蛍光体領域は消光と光退色を低減するように照射スポットに対して動かされ、これにより光源構成の寿命を延ばす。蛍光体領域は広帯域光を放射することができる、および／またはそれぞれのピーク波長を放射する蛍光体を有するそれぞれのサブ領域を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】背景の変化や走行体から発せられる光等の外乱による誤検知を可能な限り少なくした走行体の先頭位置検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】本発明の走行体３の先頭位置検出方法は、走行体３の先頭部及び背景を画像センサ５により連続的に撮像し、撮像された画像を基に、連続する２つの画像間の差分画像を算出し、算出された差分画像に関し、走行体３の走行方向に垂直な方向に沿った輝度積算を行うことで差分投影輝度分布を算出し、算出された差分投影輝度分布に対し、所定の輝度閾値を超え始める位置を検出し、検出された位置を走行体３の先頭部の位置と認識する。 （もっと読む）

【課題】試験体に沿って移動させる機構を不要とすること。
【解決手段】試験体の輪郭を撮像した画像の画素毎の輝度情報を抽出し、各画素を第１方向に分割して複数の小領域を定義するとともに、各小領域の輝度情報を、各画素の輝度情報および第１方向に隣接する他の画素の輝度情報に基づいて決定する小領域定義部２１と、第１方向に直交する第２方向に並ぶ複数列のそれぞれの前記画素について、小領域定義部２１により決定された各小領域の輝度情報を第１方向に走査して、輝度情報が所定の閾値を越える境界の小領域の位置情報を抽出する作業を実施して試験体の輪郭データを生成する輪郭データ生成部２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】定量的な基準で、製造工程の手順や個々の重量に影響されることなく、油分の性状に関わらず被測定物表面の脱脂状態を自動的に検知する。
【解決手段】試料３０に光を照射する光源１４と、試料３０からの蛍光を検出するカメラ３２と、蛍光の強度分布を空間パターンの解析で得られる第１の指標と、蛍光の強度分布を統計解析して得られる第２の指標の少なくとも２つの指標を用いて、試料３０の脱脂の均一性及び脱脂の度合いを判定する手段を有する。 （もっと読む）

【課題】光路系に対する機械的な移動機構を用いずに、被測定物の厚みを高精度に測距可能な厚み測定方法及び厚み測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る厚み測定方法及び厚み測定装置によれば、レーザ照射手段１０から出射するレーザ光の周波数を所定の範囲内で変化させ、そのときの干渉光の干渉縞の周期を用いて原点Ｏから第１測定点Ｓ１までの光路長Ｌ１と原点Ｏから第２測定点Ｓ２までの光路長Ｌ２とを算出し、これに基づいて被測定物６の厚みｔを算出する。これにより、光路系に対する機械的な移動機構を用いることなく被測定物６の厚みｔを高精度に測距することができる。 （もっと読む）

【課題】エンコーダシステムを用いたステージを位置決めする場合、スケール間に存在する幾何学的誤差に起因する計測誤差を低減する。
【解決手段】可動体に配置された複数のセンサと、構造体に取り付けられた複数のスケールとを有し、前記可動体の変位を検出することによって前記可動体の位置を計測する計測装置であって、前記複数のスケールは、第１方向における前記可動体の変位を検出するための２つの第１スケールと、前記第１方向とは異なる第２方向における前記可動体の変位を検出するための２つの第２スケールとを含み、２つのセンサによる検出値とが等しくなるように前記可動体を前記第１位置から前記第２位置に移動させたときに前記２つの第１スケールに対向している２つのセンサによってそれぞれ検出される変位の間の差に基づいて、前記２つの第１スケールの間に存在する幾何学的誤差に起因する計測誤差を低減する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単に合成できると共に測定できない箇所が生じない３次元形状測定方法を得る。
【解決手段】定盤１０の平坦な定盤面１２に多数のマーク１４を形成すると共に、多数のマーク１４から大きさと間隔との違いにより少なくとも３つのマーク１４を特定可能に形成する。また、各マーク１４の大きさと間隔とを記憶する。そして、定盤面１２に定盤面１２より小さな被測定物１を載置して、被測定物１の部分領域を形状測定器２により少なくとも３つのマーク１４と共に光学的に３次元測定して測定値を得る。その後、形状測定器２を移動して、少なくとも３つのマーク１４と共に被測定物１の他の測定箇所の部分領域を光学的に３次元測定して測定値を得て、記憶したマーク１４の大きさ及び間隔と測定したマーク１４の大きさ及び間隔とに基づいて、両測定値を同一座標系に変換して合成する（ステップ１００〜２００）。 （もっと読む）

【課題】ガンコントローラに撮像装置を内蔵させることなく、ホトダイオードなどの受光素子を設けることにより、ガンコントローラなどで照準を合わせたＬＣＤ画面上の座標（カーソル）位置を検出するカーソル相対位置検出方法およびその装置を提供する。
【解決手段】ＬＣＤ画面の４隅にそれぞれ発光周波数の異なる赤外線ＬＥＤ（Ａ）１，（Ｂ）２，（Ｃ）３および（Ｄ）４が配置されている。ＬＣＤ画面から所定の距離のホトダイオード５で同時に発光した赤外線ＬＥＤの合成出力を得る。この合成出力をフーリエ変換して各赤外線ＬＥＤ毎に出力を得、ＦＰＧＡの論理機能を用いてＬＣＤ画面の座標位置（カーソル位置）を算出する。 （もっと読む）

【課題】 膜厚を測定するフィルムに光を照射し、その反射光または透過光のスペクトルからパワースペクトルを求めて膜厚を算出する膜厚測定装置では、ポリプロピレンやポリエチレン等ヘイズが大きい材質ではかけ離れた測定値が頻繁に得られるので測定が困難であり、またフィルムの傾きやしわによって測定値のばらつきが大きくなるので、オンライン膜厚計として用いることが困難であったという課題を解決する。
【解決手段】 パワースペクトルのピーク高さ、ピーク面積、反射率などの測定品質を算出し、この測定品質と閾値を比較して測定の有効、無効を判断して、有効なときのみ膜厚測定値を外部に出力するようにした。かけ離れた測定値を除去することができるので、測定の信頼性が高まり、また従来測定が困難であったポリエチレン等の膜厚が測定できる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、ノイズレベルが低く、かつ感度が高い変位検出装置を提供する。
【解決手段】変位（振動）可能に支持された金属層１４と、光学ガラス２３の表面に設けられた金属層２４とが所定のギャップｇを介して互いに対向配置されている。発光素子３０が所定の位置に固定されており、金属層２４の裏面に対して、所定の波長の光を所定の角度θで射出するようになっている。受光素子４０は、発光素子３０から射出された光のうち反射光を検出するようになっている。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの微細化に対して、プロセスマージンが狭小な場合でも半導体パターンの形状計測を高精度で行うことができるパターン形状計測方法を提供する。
【解決手段】パターン形状計測方法において、ベストマッチとなる計算波形が選出不可能な場合は、形状パラメータの内、少なくとも１つのパラメータを、パターン形状計測に依らない計測方法を用いる他計測装置にて得られた情報に基づいて固定値とし、再度、ライブラリと検出波形のマッチングを行い、ベストマッチとなる計算波形を選出するステップと、ベストマッチした計算波形より対象パターンの形状情報を求める。 （もっと読む）

【課題】比較的大きな被測定物に対しても高精度な測定が可能となるプロジェクター式測定装置を提供すること。
【解決手段】プロジェクター式測定装置１は、載置台１０と、照明部１６と、被測定物５を画像として所定倍率で光学的に取得する画像取得部２１と、画像取得部２１から出力される取得画像データに基づいて投写画像データとして出力して制御する画像制御部３１と、光源から射出される光束を、投写画像データに基づいて光変調素子により変調し、投写用光学像に変換して出力する光学変換部５１と、投写用光学像を所定倍率で投写する投写光学部５２と、投写用光学像が投写されて投写画像を形成すると共に、所定倍率で作成された基本形状図シート６を載置するスクリーン４０と、投写画像と基本形状図シート６との変位を変位データとして取得する変位取得部３６と、変位データに基づいて変位量を算出する変位量算出部３７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】球体を形状測定する作業性を向上させる形状測定方法及び形状測定装置を実現する。
【解決手段】形状測定装置１００は、球体２００を第１の回転部３１によって光軸Ｌ回りに所定の角度で回転させる度に、球体２００の一断面形状を撮像して得た複数の写像情報に基づいて、形状測定装置１００の系統誤差成分である対物レンズ４０の収差に関する第１情報を取得することができる。そして、第２の回転部３２によって、球体２００をステム２０１の軸回りに所定の角度で回転させる度に、球体２００を撮像して得た球体２００の断面形状に関する複数の第２情報に対して、その第１情報に応じた補正を施すことができるので、アパーチャを測定基準として用いなくても、より正確に球体２００の形状測定を行うことが可能になる。 （もっと読む）

【課題】測定光の伝送経路上のノイズ源から生じたノイズ成分を除去する。
【解決手段】所定の測定面における測定光の分布データから、測定光の伝送経路に存在するノイズ源によるノイズ成分を除去するノイズ除去装置であって、測定面における測定光の分布データを、ノイズ源に対応する面まで伝播計算した分布データを算出する第１伝播計算部と、第１伝播計算部が算出した分布データにおいて、ノイズ源によるノイズ成分を除去した分布データを算出するノイズ除去部と、ノイズ除去部が算出した分布データを、測定面まで伝播計算した分布データを算出する第２伝播計算部とを備えるノイズ除去装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】
フィルム上の突起、窪み、折れなどの平面異常による不良を高速に検査するにあたり、反射率や透過率から検査する方式の表面検査装置では平面異常だけを選択的に検出することは非常に困難であった。またレーザ光を使った凹凸測定による検出方法では検査範囲がレンズの大きさにより制限されていた。
【解決手段】
光源より出射された光を、前記平面に対してライン状に走査する光走査手段と、該走査光による該平面および平面異常部からの透過光または反射光を受光する拡散板と、拡散板に投影された光点を結像レンズを介して受光する反射光位置検知手段と、該検知手段からの検知信号により該平面異常部の角度を算出して平面異常の検査を行う角度検査測定部と、を有する光走査式平面検査装置とした。 （もっと読む）

【課題】 記録紙の繊維配向方向と光照射方向との関係次第では、同じ記録紙であっても、異なる判別結果になってしまう恐れがある
【解決手段】 画像を形成する記録紙の表面状態を検出する画像形成装置であって、第１光束と第２光束を出射する光源と、前記第１光束に照射された状態の記録紙表面の第１画像、及び、前記第２光束に照射された状態の記録紙表面の第２画像を撮像する撮像器と、を有し、前記第１光束の中心の光線を含む直線と前記第２光束の中心の光線を含む直線とを夫々記録紙表面に投影すると交差しており、前記第１画像及び、前記第２画像に基づいて記録紙表面の凹凸に関する情報を検出することを特徴とする画像形成装置。 （もっと読む）

【課題】照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】被検基板２０の表面に形成された繰り返しパターンを直線偏光Ｌ１により照明する手段１３と、表面における直線偏光Ｌ１の振動面の方向と繰り返しパターンの繰り返し方向との成す角度を斜めに設定する手段１１,１２と、繰り返しパターンから正反射方向に発生した光Ｌ２のうち、直線偏光Ｌ１の振動面に垂直な偏光成分Ｌ４を抽出する手段３８と、偏光成分Ｌ４の光強度に基づいて、繰り返しパターンの欠陥を検出する手段３９,１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】短時間かつ非接触にて、目封止部の深さ及び目封止部の欠陥を、同時に検査することが可能な目封止ハニカム構造体の検査装置を提供する。
【解決手段】一方の端面３５から他方の端面３６まで貫通する複数のセルを区画形成する多孔質の隔壁を有し、セルの端部に目封止部を有する筒状の目封止ハニカム構造体３１を検査対象として、検査対象である目封止ハニカム構造体３１の一方の端面３５を照らす光源１と、光源１から一方の端面３５に照射されて目封止ハニカム構造体３１の目封止部を透過して他方の端面３６から放射される光を、集光するカメラ側レンズ２と、カメラ側レンズ２で集光した光を、受光するカメラ３と、カメラ３で受光した光を画像処理して、目封止ハニカム構造体３１の目封止部を透過した光の明暗を表示する画像処理機４を備えた目封止ハニカム構造体の検査装置１００。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルの欠陥検査技術において、異物混入に起因する欠陥を精度高く検出する技術を提供する。
【解決手段】本発明に係る検査装置１は、表偏光板１０、検査対象の液晶パネル２０、裏偏光板３０およびバックライト４０を、表偏光板１０側から撮像して検査用画像６０を取得し、検査用画像６０および欠陥を精度よく検出するための視角特性情報を用いて液晶パネル２０の検査を行う。上記視角特性情報は、検査装置１が、表偏光板１０、標準として用いる液晶パネル２０’、裏偏光板３０およびバックライト４０を、表偏光板１０側から撮像して第１画像を取得するとともに、表偏光板１０およびバックライト４０を表偏光板１０側から撮像して第２画像を取得し、第１画像および第２画像に基づいて生成したものである。 （もっと読む）

【課題】高精度の測位ができ、かつ大きな情報量の識別子を伝達でき、さらに低コストで構築することができる測位システムを提供すること。
【解決手段】タグ1は、自タグのID情報を電波信号により送信し、該電波信号と同時または一定時間差で光点滅信号を送信する。リーダ装置の電波信号受信機3は、電子タグ1からの電波信号を受信する。カメラ2-1,2-2は、電子タグ1が存在する領域を撮影する。位置算出装置4は、カメラ画像における光点滅信号の位置から電子タグ1の位置を算出するとともに、光点滅信号と電波信号が受信されるタイミングの関係から、電子タグ1の位置に電波信号のID情報を対応付ける。 （もっと読む）