【課題】処理対象物に所定の処理を施す処理装置におけるアラインメントの精度を高精度に評価する。
【解決手段】露光ステージ１８に装着された基板Ｆのアラインメントマーク６０ａ〜６０ｄを読み取り、アラインメントマーク６０ａ〜６０ｄを基準として、一定の関係からなる複数の異なるテストパターンを基板Ｆに繰り返し露光記録し、テストパターン同士の位置関係を比較してアラインメントの精度を評価する。 （もっと読む）

【課題】 精密計測装置に用いることができる計測素子を提供する。
【解決手段】低コヒーレント光を含む光源と、該光源からの光線を２本の光線に分岐する光分岐／合流部と、分岐された光線の一方が照射される対象物が設置されるステージ部と、前記光分岐／合流部と前記ステージ部との光路の間に設けられた光を集光する集光部と、分岐された光線の他の一方が照射されるミラー部とを有し、前記対象物からの反射光（１）と前記ミラーからの反射光（２）を前記光分岐／合流部により再度合流させて干渉させ、前記対象物またはミラーの位置を、移動させることにより、前記対象物からの反射光（２）の光路長が同一となる位置を、光路長が同一の時に振幅が最大になる干渉波形の包絡線にフィッティングした理論曲線のピークの位置から求め、さらに、前記干渉波形の位相差から対象物の位置を特定することを特徴とする、計測素子。 （もっと読む）

【課題】 検査対象物が配された被検体の表面上で超音波探傷部を走査する際、検査対象物に対する超音波探傷部の正確な位置を特定することができる超音波探傷装置を提供すること。
【解決手段】 超音波探傷装置１は、配管（被検体）２に配された溶接線（検査対象物）を非破壊的に検査する超音波探傷装置であって、超音波を発して配管２上を移動する超音波探傷部４と、超音波探傷部４の配管２に対する位置を特定する位置計測部とを備えている。
位置計測部は、放射光を射出するＬＥＤ等の光源８を有する発光ユニット１０と、光源８からの射出光を検知する１次元の位置検出素子（受光子）１２を有する受光ユニット１３と、光源８から位置検出素子１２へ向かう光路上に配されて、光源８から射出された光束の放射角及び放射方向を変更して配管２の表面２Ａの反射光を規制する調整部１５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 画像の位置を高精度に検出することを課題とする。
【解決手段】 発光源からの照射光に対する像担持体からの反射光に基づき画像の位置を検出する画像位置検出装置において、前記像担持体の移動方向に所定の距離をおいて配置された２つの受光部と、前記像担持体の移動により前記像担持体上に付着したトナー像が前記２つの受光部の検出位置を通過する際、先に前記トナー像を検出する受光部から得られる第１のアナログ信号と、後に前記トナー像を検出する受光部から得られる第２のアナログ信号との差分を求め、前記差分から正負の状態を比較して２値出力する比較出力部とを有し、前記比較出力部は、前記第１のアナログ信号と前記第２のアナログ信号とにレベル差を設けて入力することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバと光源のスポット位置とのズレ量を正確に測定すること。
【解決手段】光モジュールの光スポット位置の測定方法であって、コネクタ(20)のスリーブ部(24)に位置記録用ファイバ(56)の一端側を挿入し、コネクタのレンズ部(22)が設けられている側に光記録部材(52)を配置する第１過程と、位置記録用ファイバの他端側から入射され、一端側から出射する記録光をレンズ部を通して光記録部材に結像させ、光記録部材に状態変化を生じさせて位置記録用ファイバの位置を記録する第２過程と、コネクタから位置記録用ファイバを取り外した後にレンズ部を通して光記録部材を観測し、位置記録用ファイバの位置を測定する第３過程と、コネクタに光源(10)を取り付け、レンズ部を通して光源を観測し、当該光源の位置を測定する第４過程と、位置記録用ファイバの位置と光源の位置とを比較し、差異を検出する第５過程と、を含む。 （もっと読む）

従来技術による部材の貫通孔の検査方法は一般にサーモグラフによる詰まり検出に高温ガスを使用する。本発明による部材（１０）の貫通孔構造の検査方法によれば、これは、カメラ（１３）の波長範囲に少なくとも１つの吸収端を有する媒体が使用され、この媒体がカメラ画像（１３）において不透明にて現われるようにすることによって簡単化される。
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【課題】電子写真用クリーニングブレードの板状体に対して、表面の歪み等を検出可能にし、偏光レンズを用い、ハロゲン光を照射して透明ないしは半透明の板状体の歪みを検査し、板状体の表面の歪みを判別する板状体の歪み検出方法及び板状体の歪み検出装置を提供する。
【解決手段】上記の透明または半透明の板状体の歪み検出装置は、投光手段と、少なくとも２つの偏光素子と、該板状体を透過した光を撮像するための撮像手段と及び、該撮像手段により得られた画像のデジタル処理手段とを有し、該板状体は該少なくとも２つの偏光素子の間に配置されており、該投光手段と該撮像手段とが対向して配置され、該板状体に投光された光が該板状体を透過する。 （もっと読む）

【課題】 高速測定を維持しつつノイズとなる信号を除去できるスペクトル干渉を用いた被検物体の測定方法、及び該方法を用いた眼科装置を提供する。
【解決手段】 低コヒーレント長の光の一部を被検物体に照射して反射光を物体光とするとともに低コヒーレント長の光の一部を参照光として物体光と合成して干渉させ，得られた干渉光を所定の周波数成分に分光して受光して受光信号を得るとともに、受光信号をフーリエ変換又は逆フーリエ変換して位相物体の断層像撮影または光学表面プロファイルの測定を行うための測定方法において、受光信号に含まれる物体光及び参照光の各自己相関信号の和となる信号成分を受光信号から差し引いた情報をフーリエ変換又は逆フーリエ変換することにより被検物体の画像情報を得る。 （もっと読む）

容器の口部の内面形状に関わる情報を確実に取得し得る最適な光学像を得ることができ、しかも、口部内径などの計測を正確かつ迅速に行える容器の口部検査装置である。この口部検査装置は、口部（９９ａ）のある容器（９９）の底部（９９ｂ）へ拡散光を照射するための光源（２）と、容器（９９）の口部（９９ａ）の中心を通る光軸（５）上にレンズ（１０）と絞り（１１）とを絞り（１１）がレンズ（１０）の後方に位置するように配置される光学系（１）とを含んでいる。前記絞り（１１）は、レンズ（１０）の後方側の焦点位置から光軸（５）沿いに所定の距離ｄだけ後方へずらせた位置に位置決めして、絞り（１１）の後方位置に口部（９９ａ）の光学像を結像させる。
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【課題】 ロードポート等においてウェハ収容容器からウェハを取り出す際に、前垂れウェハとロボットとの干渉を防止することである。
【解決手段】 ロードポート２には、ウェハ検出装置１が備えられている。ウェハ検出装置１は、上下にスライド自在なマッピング機構部５を備え、マッピング機構部５は、ウェハ収容容器３０内に挿入される一対のマッパー８を有している。各マッパー８の先端には、センサヘッド発光部１１とセンサヘッド受光部１２とが１つずつ設けられており、正常状態のウェハＷと平行な光軸が形成されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】
LCD 用等の基板上に生成される透明電導膜パターンの膜厚が薄くなるにつれ、パターンエッジ部でのコントラストが減少し、従来技術では測定が困難になって来た。このような透明電導膜部分とそれ以外の部分のコントラストを増大させ、膜厚の小さい透明電導膜パターンの寸法測定を容易に実現する技術を提供する。
【解決手段】
照明ユニットに可視光以下の領域に高い輝度を有する光を発生するランプと可視光以上の長波長成分を遮断する光学フィルタを具備して、透明電導膜部分とそれ以外の部分のコントラストを増大させ、膜厚の小さい透明電導膜パターンの寸法測定を容易に実現した。 （もっと読む）

【課題】 指紋の皮膚表面の湿り気の状態に拘わらず、さらには指紋の凹凸が不明瞭な場合にも、安定かつコントラストの向上した指紋画像を得る。
【解決手段】 撮像対象となる指紋１１を有する指先部１を被検体とし、被検体にこれを透過し得る光３０を照射する光源３と、被検体を透過する光源からの光を撮像して指紋の凸部が暗く凹部が明るい指紋画像を得る撮像手段５と、被検体を透過する光源からの光を撮像手段に結像させる光学系４とを備え、かつ、光学系の光軸４００に直交する面４０２に指先部の背側または腹側を当接させた位置を基準に、被検体の指先部先端側がその反対側に比して光学系から離れるように所定の角度傾いた状態となるように、光学系を配置した。 （もっと読む）

走査対象のターゲットまでの距離（Ｚ₀）を測定するためのシステム（４０４、６０４）を含む画像走査装置（１２）が提供される。画像走査装置は、光ビームを集束させてターゲットを画像化するための光学システム及び画像センサアレイ（４０３、６０３）を含む。この装置は、好ましくは焦点を調節してターゲットの画像を画像センサアレイ上に結像するために、光学システムの位置を調節するための自動焦点システムを含む。画像走査装置の１つの実施形態において、光ビームをコリメイトすることにより形成されるコリメイトされた照準パターンを分析することによって距離が測定される。別の実施形態において、光ビームがターゲットに当たった時のスペックル効果によって生じたスペックルパターンを分析することによって距離が測定される。
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【課題】結果として生じる走査信号における確実な高調波のフィルタリングを保証する光学位置測定装置を提供する。
【解決手段】位置に依存した走査信号を発生させるために使用される光学位置測定装置を提供する。互いに相対的に測定方向に可動に配設されている測定目盛と走査ユニットとから成る。走査ユニットは、光源と光電式検出器配列とを有し、この検出器配列は、複数の検出器要素ユニットから成り、検出器要素ユニットの幾何学的な形状及び／又は配列は、その上に少なくとも走査信号からの望ましくない高調波の部分フィルタリングが結果として生じるように選択されている。測定目盛は、周期性ＴＰＭのある、測定方向に周期的な異なった光学特性を有する目盛領域の配列から成る。 （もっと読む）

【課題】検査ステージからの反射光の影響を受けずにエッジ部分及び表面の状態を鮮明に抽出することができる円形若しくはリング状ワークの検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】円形若しくはリング状ワーク３を水平に載置する検査ステージ１と、該検査ステージ１の中心軸Ｌに沿った上方に設置され検査ステージ１上のワーク３の画像を撮像する撮像手段６と、該撮像手段６と検査ステージ１との間にあって撮像手段６の光軸と略同軸状に検査ステージ１上を照射することができる照射手段５とよりなり、上記検査ステージ１上にはテーパ面２ａを含むワーク保持部４が形成され、該テーパ面２ａは照射手段５からの照射光による反射光が撮像手段６に入光しないようなテーパ角度とされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】誤対応点の検出及びマッチング処理に対する信頼性評価の精度の向上を図る。
【解決手段】一又は複数のカメラ９，１０からなる撮像部２によって複数の画像Ｇｂ，Ｇｃを撮像し、ステレオ処理部５において、これら画像Ｇｂ，Ｇｃに対してマッチング処理を行い、視差補正部７の判定部１１により、各画像Ｇｂ，Ｇｃから一又は複数の特徴量を抽出し、これら一又は複数の特徴量に基づいてステレオ処理部５による複数の画像に対するマッチング処理の信頼性評価を行い、後続の補正部１２で判定部１１による評価情報に基づいてマッチング処理の際に生じるミスマッチングを補正する。 （もっと読む）

【課題】波面収差測定装置のシステム誤差を確実に既知とすることのできる波面収差測定装置の校正方法を提供する。
【解決手段】被検光学系（０）の透過波面（Ｗ）の形状の勾配のデータ（δＷ）を取得する波面収差測定装置の校正方法であって、前記波面収差測定装置内の所定光学系と前記被検光学系（０）との相対位置関係（θ）を変化させる変化手順と、互いに異なる複数の前記相対位置関係の下で（（ａ），（ａ’））それぞれ前記データを取得する測定手順と、前記取得された複数の前記データの間の差異（ΔδＷ）と、複数の前記相対位置関係の間の差異（θ１）とに基づき、前記所定光学系に起因するシステム誤差を求める校正手順とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】特に搬送途中のウェハ上の異物を実時間で検出できるウェハの異物検査方法、および半導体製造工程の量産ラインにおいて、大量の不良を未然に防ぎ、歩留りを維持させるための異物検査装置を提供する。
【解決手段】 半導体製造工程の量産ラインにおいて、異物検査装置を小型にし、半導体製造ラインの処理装置の入出力口あるいは処理装置間の搬送系に載置する。また、屈折率変化型のレンズアレイ、空間フィルタ、パターン情報除去回路により、製品ウェハ１１１上の繰り返しパターン部上の異物を検出し、搬送途中のウェハ上異物検査を可能にした。さらに、半導体製造工程の量産ラインにおいて簡便な異物モニタ１０１だけで異物をモニタリングすることにより、生産ラインを軽量化して製造コストの低減を可能にした。 （もっと読む）

【課題】
常時又は地震時等の災害時に於ける構造物、特に、２点間の変位量を所定の遠隔地に於いても迅速かつ適正に検出できる技術を提供する。
【解決手段】
構造物としての一方の桁３５、構造物としての他方の桁３６に於いて、該一方の桁３５と他方の桁３６の相互間の下方位置には橋台又は橋脚３７が配置してある。該橋脚３７は躯体で構成してもよい。上記橋脚３７は、上面に２点間変位計３８を配置し、上記２点間変位計３８は、上記光ファイバ固定治具及び複数列で構成された複数個又は多数固のプーリーでなる回転可能な光ファイバ巻回部材及びコイルバネ等でなる変位・荷重変換部材を搭載する。この２点間変位計３８から歪みセンサ機能を有する一方側及び他方側の光ファイバ３９、４０を引出すと共に該一方側の光ファイバ３９をＢＯＴＤＲ計測器４６に接続する。 （もっと読む）

加工物の形状、輪郭および／または粗さを測定するための測定装置（１）は、大きな開口数を有する非接触光プローブに基づいている。プローブは、少なくとも２つの光受容体が関連付けられる少なくとも２つの異なる焦点を有する。２つの光受容体は、加工物表面がプローブの測定範囲内に維持されるように、光プローブを追跡するための位置決め装置（１３）を制御するための差分信号を生成する。差分信号は、センサ器具（３）の位置の高速かつ正確な追跡をもたらすことが分かっている。
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