【課題】被計測面の表面形状の計測において、部分領域の計測データのつなぎ合わせ（スティッチ）に要する計算負荷の低減に有利な技術を提供する。
【解決手段】正六角形の外形を有する被計測面２の表面形状を計測する計測方法であって、前記被計測面２に対して、前記被計測面２の全体を覆うように、平行四辺形の同一の外形を有する複数の部分領域８を設定する第１ステップと、前記複数の部分領域８のそれぞれの表面形状を計測装置で計測し、前記複数の部分領域８のそれぞれについて計測データを取得する第２ステップと、前記複数の部分領域８のそれぞれの前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面２の表面形状を算出する第３ステップと、を有し、前記平行四辺形は、１２０度と６０度の内角を有し、一辺の最大の長さが前記正六角形の一辺の長さ以下。 （もっと読む）

【課題】多層構造において層間ギャップを含む層を評価するための装置を提供する。
【解決手段】軸を横切って略整列した複数の縁部を呈する多層構造において、層間ギャップを含む層を評価するための装置１０は、少なくとも１つのパラメータを検知するように構成された検知ユニット１２、検知ユニットと結合されて、検知ユニットを軸に略沿って移動させるように構成された位置決めユニット１４、ならびに位置決めユニット１４および検知ユニット１２の少なくとも１つと結合された制御ユニット１６を含む。制御ユニット１６は、検知ユニット１２に電気信号を供給する。制御ユニットは１６、検知ユニットが複数の縁部を過ぎて移動するとき、少なくとも１つのパラメータの変化を監視する。制御ユニット１６は、少なくとも１つのパラメータの変化を使用して評価を行う。 （もっと読む）

【課題】軸を中心として回転対称な非球面部材における非球面の輪郭形状の測定において、軸を挟んだ対称な有効径の範囲全体を対象とすることなく、短い時間で輪郭形状の誤差を高精度に測定可能な面形状測定機、測定方法及び面形状の測定値の解析方法を提供する。
【解決手段】軸Ａを挟んだ非対称な範囲Ｍにおいて、軸Ａの一方の側の所定位置から他方の側の別の所定位置までの非球面の輪郭形状を測定し、範囲Ｍにおける非球面の輪郭形状の測定値を用いて、測定値を得ていない軸Ａを挟んだ他方の側の所定範囲に仮測定値として補完し、次いで、軸Ａを挟んだ非対称な範囲と仮測定値を補完された範囲とを合わせた範囲において、測定値と仮測定値と非球面の輪郭形状の設計値とを用いて、所定の収束条件を満たすまで収束計算を行なうことにより、非球面の輪郭形状の誤差を算出する。 （もっと読む）

【課題】非球面形状の数式フィッティングとアライメント補正との両方の最適解を容易に得ること。
【解決手段】本発明は、軸対称非球面形状を設計形状とした被評価非球面形状の座標データを測定する測定部１０と、測定部１０によって測定して得た座標データから非球面式の各係数を求め、当該係数による非球面の形状について並進、回転の座標移動変換、ｃ（曲率）、ｋ（コーニック係数）の係数変更の少なくともひとつを実施し、設計形状との形状差を算出する座標変換計算部２３１と、座標変換計算部２３１によって算出される形状差が最小となる並進、回転、ｃ、ｋの値を非線形最小二乗法によって求める非線形最小二乗計算部２３２と、非線形最小二乗計算部で並進、回転、ｃ、ｋの値の少なくともひとつを変更するたびに、形状差が最小となるＡ（非球面係数）を線形最小二乗法によって算出する線形最小二乗計算部２３３とを有する形状評価装置である。 （もっと読む）

【課題】バーミラーの形状、スライダの走り、スライダのヨーイング角の情報を、高精度に識別して測定可能な機能を備えるＸＹステージを実現する。
【解決手段】プラテン上をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御されるスライダと、前記スライダの一辺近傍に配置されたバーミラーと、このバーミラーに光を当てて距離を計測するレーザ干渉計とを具備するＸＹステージにおいて、
前記バーミラーに沿って等間隔に固定配置された３個の距離計と、
前記スライダを所定距離づつｎ回（ｎ≧２）平行移動させるスライダ移動手段と、
前記スライダの初期位置及び所定距離の移動毎に、前記距離計の測定値に基づいて前記バーミラーの形状、前記スライダの走り、前記スライダのヨーイング角の少なく共いずれかを演算するバーミラー形状演算装置と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】官能検査の結果とその傾向が一致するようにショックラインの程度を数値化し，定量的な合否判定を可能にする面形状評価方法を提供すること。
【解決手段】本発明の面形状評価方法では，検査対象品のショックラインの深さおよび幅の測定を，ショックラインの両側の凸部の高さの差が１．５μｍ以内となるように検査対象品をセットした状態で，ショックラインと垂直な走査線上で行い，あらかじめ検査対象品の種類に応じて合否判定ラインが定められた深さ−幅空間に前記測定の結果を当てはめ，合否判定ラインより浅いまたは幅広側である場合にその検査対象品を合格と判定し，深いまたは幅狭側である場合にその検査対象品を不合格と判定するものである。 （もっと読む）

【課題】コンベアレールの下フランジの上面の摩耗状態の検査を、簡素な構成により迅速かつ高精度に行う。
【解決手段】コンベアレール４上を走行するトロリ２からコンベアレール４の下フランジ７，８よりも下側に垂下する支持部材３２により非接触変位センサ３４，３５を上向きに支持し、該センサ３４，３５により下フランジ７，８の下面７Ｂ，８Ｂまでの距離Ｄ１，Ｄ２を測定し、この距離Ｄ１，Ｄ２を基準値と比較することによりコンベアレール４の下フランジ７，８の上面７Ａ，８Ａの摩耗状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】簡易な機構により、機器単体でも移設を好適に検知することができるとともに、当該機器が移設されたことを好適に示すことができる移設検知機構及び床設置型機器を提供することである。
【解決手段】床設置型機器１００に、重力により移動する振子レバー１１を備え、当該床設置型機器１００が設置面Ｂから離間した場合に、振子レバー１１の移動結果をラチェット機構１３を用いて機械的に保持する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、管路位置計測装置の姿勢・方位角センサーを最終地点で１８０°旋回させて計測することにより、管路位置の誤差を高精度に除去することを目的とする。
【解決手段】本発明による管路位置の検出方法は、管路位置計測装置(3)が管路(1)の出発地点(4)から最終地点(5)に到達した状態で、姿勢・方位角センサー(7)を１８０°旋回させた後に元に戻し、姿勢・方位角のＸ軸ベクトルと速度方向ベクトルの平行度誤差を管路(1)の位置の誤差として補正する方法である。 （もっと読む）

【課題】大型の揚水ポンプや遠心圧縮機，往復圧縮機の内部に設ける羽根車を、安全かつ速やかに自動三次元測定する三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】羽根車の測定に際し、測定対象物の設計データたる三次元ＣＡＤデータから、最適なスキャンパス情報を作成し、そのスキャンパス情報に基づき、アーム型三次元測定機の測定機手先部を三次元移動させる測定機取り付け部と、取得した表面形状情報を座標点群として順次記憶する制御端末とからなる。
制御端末内に設けた仮想空間内で、測定対象物を含めた実際の三次元測定にかかる構成機器から、装置の挙動をシミュレートし、最適なスキャンパス情報を作成する。スキャンパス情報は、中継ポイントと呼ばれる測定機取り付け部の三次元移動経路点と、その経路点間における測定機手先部の姿勢に関する情報からなる。 （もっと読む）

【課題】 プレス機の定盤面における悪化した平面度を良好な平面度であるときと同等の状態に補正する定盤面精度補正方法と、その補正のための立体補正シートを提供する。
【解決手段】 定盤面の基準平面からの変位測定データに基づいて補正シートの厚さを単位とし凹凸を反転した等高線データを得て、その各等高線が外形となるように補正シートを切断し各等高線切断補正シートを得て、各等高線の位置と各等高線切断補正シートの対応する外形の位置が一致するように積層接着し立体補正シートを得て、定盤面と立体面とが対向しかつ定盤面と立体補正シートの対応する測定点が一致するように位置合せして設置するようにした定盤面精度補正方法とその補正のための立体補正シート。 （もっと読む）

【課題】ワイヤ取付具の幾何学的データを自動的に決定することができる方法および装置を作り出すための解決法を提供する。
【解決手段】ワイヤ取付具の非接触走査のためのこの方法において、ワイヤ取付具は、第１距離センサ１４によって、かつ第２距離センサ１５によって走査される。第１距離センサ１４は、ワイヤ取付具を、この場合はクリンプコンタクト１の導体クリンプ３を、複数回、下から非接触的に走査する目的を果たす。第２距離センサ１５は、クリンプコンタクト１の導体クリンプ３を、上から非接触的に走査する目的を果たす。関連するｘ、ｙ軸を備える測定値から、ワイヤ取付具の幾何学的データが決定される。 （もっと読む）

大きな物体（６５０）の計測のために、計測アーム（６０４）が第１の位置（６１１）にある時に、計測アーム（６０４）の座標系内で既知の基準点を、光学的位置決めシステム（２０１，６０２，６０３）を使用することによって位置決めする。センサーを備えた計測アーム（６０４）の該センサーが、計測アームの異なるポジションの間で計測先端部がどのように動くかを知らせる。センサーを備えた計測アーム（６０４）は、第２の位置（６２１）へ移動され、第２の位置（６２１）において新たな基準点が位置決めされる。第２の位置においてもまた、センサーが、計測アームの異なるポジションの間で計測先端部がどのように動くかを知らせる。計測される点の位置を示す情報が、第１の基準点および第２の基準点の位置についての情報ならびに計測アームの各ポジションにおける計測先端部の位置を示す情報を使用することにより、共通座標系に変換される。 （もっと読む）

【課題】測定値のバラツキを少なくすることで、測定精度を向上させた。
【解決手段】旧ゴムゲージ測定機１は、スチールベルト層３１のベルト外周面Ｌｃまでの第１測定距離Ｄ１を測定する渦電流センサー２１と、渦電流センサー２１に接して固定され、バフタイヤ３０の外周面までの第２測定距離Ｄ２を測定するレーザー変位センサーとを備えている。渦電流センサー２１の検出コイル２１ａ及びレーザー変位センサー２２の検出端２２ａは、固定された回転軸を中心に回転するバフタイヤ３０の外周面Ｌａより一定距離をもって固定されている。両センサー２１、２２のセンサー間距離Ｄ３は一定であり、第１測定距離Ｄ１とセンサー間距離Ｄ３の和から第２測定距離Ｄ２を減じることで旧ゴムゲージＧが算出される。 （もっと読む）

【課題】 ３次元形状の計測データに対応する理論形状を記述するパラメータを高速に且つ安定して決定することができるようにする。
【解決手段】 パラメータα^(k)、β^(k)を既知量として、形状計測データＰ_iから中心軸１０１までの距離の誤差の２乗和Ｓ（ｘ₀^(k+1)，ｙ₀^(k+1)，α^(k)，β^(k)）を最小とするパラメータｘ₀^(k+1)、ｙ₀^(k+1)を決定し、決定したパラメータｘ₀^(k+1)、ｙ₀^(k+1)を既知量として、形状計測データＰ_iから中心軸１０１までの距離の誤差の２乗和Ｓ（ｘ₀^(k+1)，ｙ₀^(k+1)，α^(k+1)，β^(k+1)）を最小とするパラメータα^(k+1)、β^(k+1)を決定する。 （もっと読む）

【課題】ＡＦＭ型寸法測定機による寸法計測方法において、円柱形状のドットパターンや円柱穴形状のホールパターン等の非直線パターンの最大幅寸法を正確に計測するパターン寸法計測方法を提供するものであり、また、その計測方法を行い得るパターン寸法計測装置を提供する。
【解決手段】基板表面に垂直方向に励起振動する探針をカンチレバーに設けた原子間力顕微鏡で前記基板表面のパターンを寸法計測するパターン寸法計測方法において、前記探針の走査方向にほぼ垂直方向で、かつ前記基板表面に平行に前記探針を振動させて前記パターンのエッジを検出して寸法計測することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 電極チップ整形監視装置を簡素化でき、ロボットのティーチングが不要で、且つサイクルタイムに影響を与えないようにする。
【解決手段】 スポット溶接ロボットに設けた各軸回りに電極チップを回動させるためのサーボモータ２４における回転軸の回転位置、回転軸の回転速度及びモータ電流をそれぞれフィードバック制御するサーボモータ制御部７０Ａのフィードバック量（即ち、検出電流Ｉｆ、位置情報Ｐｆ、速度情報Ｖｆのうちの少なくとも一つ）と、このフィードバック量に対応させて予め設定した設定値幅とを比較することにより、電極チップの整形状態及びチップドレッサの作動状態を監視する。 （もっと読む）

【課題】 製造ラインにおけるロボットの作業点を高精度で計測するとともに、作業性及び安全性の向上を図る。
【解決手段】 作業対象製品を載置して搬送レール上を搬送する製品搬送手段１０を所定位置に停止させる。作業対象製品の設計指定位置９を目標に製品製造用ロボット１２の作業部１５を移動させ、製品搬送手段１０に固定設置された計測手段１１により上記ロボット１２の作業部１５の位置を計測する。そして、ロボット１２の作業部１５の位置と設計指定位置（指定点９）との誤差を計算し、その誤差に基づいて、ロボット１２の作業部１５の位置が設計指定位置に一致するようロボット１２に対し補正指示を出す。 （もっと読む）

【課題】 磁気テープのカッピングの影響を排除して正確なテープ寸法を容易に測定することができる磁気テープの測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】 磁気テープの測定装置は、磁気テープを置く支持部材と、少なくとも一部に透明部が設けられ、支持部材に置かれた磁気テープを覆うように該支持部材に取り付けられる蓋部材と、支持部材に対向配置された非接触式測定器と、を備える。蓋部材は、蓋部材を支持部材に取り付ける取付部と、磁気テープを視認するための透明部と、該透明部を取付部に対して伸縮可能に取り付ける伸縮部と、を有する。蓋部材を支持部材に取り付けた状態で、該支持部材の空気を引くことで伸縮部が伸縮し、透明部が支持部材側に変形して磁気テープを挟み込んで固定する。 （もっと読む）

【課題】 回転体の機械的誤差による影響を低減可能な回転角度検出装置及び内燃機関の運転制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の回転角度検出装置２０は、内燃機関１のクランクシャフト８に取り付けられ、かつ複数の歯部２１ａが回転方向Ｄに沿って設けられた回転体２１と、各歯部２１ａの前側エッジＥｆ及び後側エッジＥｂのそれぞれを検出可能な電磁ピックアップ２２及び波形整形器２３と、を備え、検出された前側エッジＥｆ又は後側エッジＥｂのいずれか一方を基準にしてクランクシャフト８の回転角度を検出する。そして、隣接する歯部２１ａ間の角度で、前側エッジＥｆを基準とした角度θｆと、後側エッジＥｂを基準とした角度θｂとを算出し、これらの誤差Δθｆ，Δθｂを比較して、前側エッジＥｆ又は後側エッジＥｂのいずれか一方を回転角度の検出の基準として設定する。 （もっと読む）