【課題】基板に所定のストレスを加える工程が含まれた処理を施す前に、処理中の破壊を生ずる可能性のある基板を事前に見つけ出せるようにした基板事前検査方法を提供する。
【解決手段】基板にストレスを加えるストレス印加工程と、ストレス印加工程で加えたストレスに起因するアコースティック・エミッション現象で基板に発生する弾性波を検出する検出工程とを備え、検出工程で検出した弾性波に基づいて、基板が前記所定のストレスに耐えられるか否かを判断する。前記処理が、基板Ｓを吸着及び加熱するステージ３を備える処理室１で行う処理であって、前記所定のストレスを加える工程が、ステージ３に基板Ｓを吸着した状態で基板を所定の処理温度に加熱する加熱工程である場合、弾性波を検出するセンサ４を設けて、基板Ｓをステージ３に載置した状態で、加熱工程完了前にストレス印加工程及び検出工程を実行する。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法により、高い精度でアルミニウム溶湯中の水素量を評価することができる水素分析方法を提供する。
【解決手段】分析対象であるアルミニウム合金溶湯を、予め定められた凝固条件で凝固させることにより分析用の鋳造素材を作成し、作成された鋳造素材の所定位置に超音波探傷器の探傷子２を接触させ、鋳造素材１０の探傷子接触面１０ａと反対側の面１０ｂからの反射エコーの強さを求め、予め定められた凝固条件によって特定される反射エコーの強さとアルミニウム合金溶湯の水素含有量との関係と、求められた反射エコーとに基づいて、アルミニウム合金溶湯の水素含有流量を定量することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】冷却媒体や配管を使わず超音波センサによる探傷を行い、複雑で大掛かりな装置を不要とし、安全管理の負担を軽減し、また省スペースを実現する。
【解決手段】蒸気タービン車室にある鋳鋼物内部の亀裂１０２を探傷するため、蒸気タービン車室の外表面等に超音波センサ１０４を設置し、保温層の凹部において熱的に結合した熱伝導体１０５および熱電素子１０６を用いて超音波センサ１０４を冷却する。熱伝導体１０５や熱電素子１０６が保温層１０３から突出しないようにし、保温層凹部にファン１１０を設け、超音波センサ１０４の信号ケーブル１０９を熱伝導体１０５の内部を通すことにより、更なる省スペース化も可能である。凹部１０８に通風板１１１を設けることにより熱電素子１０６を保護することも可能である。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも高温環境下での空間電荷分布測定を実現可能とする空間電荷分布測定装置を提供することを課題とし、併せて、その装置を用いた空間電荷分布測定方法を提供することにより、その方法を用いて測定された高温用絶縁材料を提供できるようにすることにある。
【解決手段】 試料Ｓを挟んで対向する一対の電極１，２と、該一対の電極１，２の少なくとも一方の電極１を加熱するヒータ３と、該一方の電極１に配置される耐熱性の圧電素子からなるセンサ４と、試料Ｓに対してパルス電界を印加することによりセンサ４で生成されるパルス状の信号を信号線１８，１９を介して受信して増幅する増幅器５と、該増幅器５により増幅された信号の信号処理を行って空間電荷分布を求める信号処理手段とを備える空間電荷分布測定装置において、耐熱性を有する支承体１５をさらに備え、該支承体１５が前記一方の電極１との間でセンサ４を挟持することにより、センサ４が電極１に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、被検体の表面で気泡が発生することが防がれる超音波探傷装置及び超音波探傷方法を提供することである。
【解決手段】超音波探傷装置は、超音波媒質５０を貯える水槽１と、水槽１に設けられる超音波探触子２と、超音波媒質５０の第１温度を計測する超音波媒質温度センサ６と、被検体６０の第２温度を計測する被検体温度センサ５と、温度制御装置４とを具備する。温度制御装置４は、第１温度が第２温度以上になるように、超音波媒質５０を加熱し、又は、被検体６０を冷却する。 （もっと読む）

【課題】効率的にシリコンウェーハ中に存在する原子空孔の定量評価を行うことができる原子空孔の定量評価装置及び定量評価方法を提供する。
【解決手段】定量評価装置１は、超音波発振部27と超音波受信部28とを有する検出手段５と、完全結晶シリコンで構成されたシリコンウェーハ26に前記超音波発振部27と前記超音波受信部28とを形成したシリコン試料６と、前記シリコン試料６に対し外部磁場を印加する磁力発生手段４と、前記シリコン試料６を５０Ｋ以下の温度域に冷却・制御可能な冷却手段３とを備える。前記超音波発振部27と超音波受信部28とは、前記温度域で温度降下に伴うシリコンウェーハ26の膨張に追随できる物性をもち、電場を印加したまま温度を下げると分子軸が電場方向に配向される高分子材料で形成した薄膜振動子31と、前記薄膜振動子31に電場を印加する電極32,33とを有するトランスデューサ30を備える。 （もっと読む）

本発明は、概して、タンパク質及び核酸を含む標的検体を含むテストサンプルを分析するためのSAW共振器マイクロセンサ用のシグナル増幅方法に関する。該方法は、以下の工程を含む：第一の分子認識コンポーネント、及び、少なくとも1つのナノ粒子と結合された第二の分子認識コンポーネントと、サンプル中の検体を反応させる工程；及び、銀イオン及び/又は金イオンを含む増強液、及び、還元剤を添加することで、銀イオン及び/又は金イオンが、金属の銀及び/又は金に還元され、少なくとも1つのナノ粒子の表面上に析出される工程。そして、少なくとも1つのナノ粒子の増加質量を、SAWセンサによって検出する。 （もっと読む）

【課題】従来の人為的試行法から脱却し、純成分、更に自由に成分調整された多成分系の溶媒を、コンパクトな装置で自動的に臨界点を予測・同定できる臨界点探索方法と超臨界噴射装置を提供する。
【解決手段】物質溶液の臨界点を温度一定且つ圧力可変の条件下で振動速度の変曲点を探索し、複数の温度下で得られた該変曲点の極小点とする臨界点探索方法である。 物質溶液の臨界点を圧力一定且つ温度可変の条件下で振動速度の変曲点を探索し、複数の圧力下で得られた該変曲点の極小点とする臨界点探索方法である。 臨界点探索方法を用い、高圧燃料用配管に、燃料温度制御手段と、燃料圧力制御手段と、流体内部に音波を送信するプローブ音波振動子発生手段と、エコー信号を受信するプローブによる音波検知手段とを備え、該燃料の温度又は圧力を一定にし且つ圧力又は温度を変化させて目標とする超臨界状態に到達させてから内燃機関へ噴射する超臨界噴射装置である。 （もっと読む）

【課題】閉口欠陥検出確率を向上できる超音波探傷装置及び方法を提供することにある。
【解決手段】超音波探傷器２は、検査対象物３０に配置した超音波センサ３を用いて、探傷する。検査対象物３０を冷却する冷却素子４と、前記検査対象物を加熱する複数の加熱素子５（５Ａ１，５Ａ２，５Ｂ１，５Ｂ２）を備える。パソコン１は、冷却素子４を制御するとともに、超音波探傷信号をモニタしながら、複数の加熱素子５の内の任意の加熱素子を用いて検査対象物３０を加熱することで、欠陥に生じる熱応力分布を制御する。 （もっと読む）

【課題】連続的に鋳出されてくる連続鋳造棒に対して超音波探傷検査を行い、さらにこの検査方法を用いることにより高品質の連続鋳造棒を効率良く生産できる連続鋳造棒の製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】鋳型(35)出口から水平方向に連続的に鋳出される連続鋳造棒（Ｔ）に対し、鋳型(35)出口直後において冷却水（Ｃ）を鋳出し方向に供給するとともに、冷却水（Ｃ）に超音波探傷検査用プローブ(42)を接触させて内部欠陥を検査する。例えば、鋳型(35)出口から下流側に離間して配置した堰状体(40)の貫通孔(41)に連続鋳造棒（Ｔ）を遊挿し、堰状体(40)で冷却水（Ｃ）の流れを妨げて貯留し、貯留した冷却水（Ｃ）にプローブ(42)を挿入する。 （もっと読む）

【課題】 電気抵抗溶接を利用して作製される、２つの被覆金属板（３）の間の溶接点（２）を、超音波を用いてオンラインで検査する方法を提供する。
【解決手段】 本方法は、ａ）横方向に偏極した成分を有する一連の超音波パルスを生成するステップと、ｂ）検査対象であり、かつ、電気抵抗溶接を利用して作製された溶接点（２）を、当該溶接点２の作製中に、前記一連の超音波パルスを用いて超音波処理するステップと、ｃ）前記一連の超音波パルスが前記溶接点（２）を通過した後で、当該一連の超音波パルスを受け取るステップとから成る方法ステップを含む。本願は、さらに、本発明に係る前記方法を実行するのに適した装置にも関する。
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【課題】シリコン試料の表面に、適正化を図った薄膜振動子を形成することにより、シリコンウェーハ中の原子空孔濃度を、その濃度を高める等の加速処理を行うことなく、定量的に評価することができる、ウェーハ中に存在する原子空孔の定量評価装置等を提供する。
【解決手段】シリコンウェーハから所定の部位を切り出したシリコン試料５に対し外部磁場を印加する磁力発生手段２と、シリコン試料５を50Ｋ以下の温度域に冷却・制御可能な温度制御手段３と、シリコン試料５の表面に対し超音波パルスを発振し、発振させた超音波パルスをシリコン試料５中を伝播させ、伝播した超音波パルスの音速変化を検出する超音波発振・検出手段４とを有し、シリコン試料５の表面に、前記温度域でシリコン試料５の膨張に追随できる物性をもち、かつＣ軸が所定の方向に揃った薄膜振動子８を直接形成してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電型超音波探触子を用いて、水媒体を介して熱間材の超音波計測するにあたって、安定かつ高感度に計測可能とすることができる熱間材の超音波計測方法及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】熱間材表面で水媒体を核沸騰膜状態にして冷却する予備冷却手段を圧電探触子を機械走査する方向の直前に設けるとともに、水媒体内で生じた沸騰膜および気泡を押し流す水流の水媒体を形成して、その水媒体内において超音波を送受信する。 （もっと読む）

【課題】 鋳造時に被鋳造材の凝固層と非凝固層との境界面からの反射波を検出して凝固層の割合（固相率）を求める際に、検出した超音波信号が真の反射波信号であるかノイズ信号であるかを正確に判断することが重要である。
【解決手段】 溶湯３１の温度と溶湯中の超音波速度の関係を求め、キャビティ内へ超音波を照射し、その超音波が金型表面２ａから戻った第１の反射波及び金型表面２ｂから戻った第２の反射波を検出し、第１の反射波の検出時刻から第２の反射波の検出時刻までの超音波伝播時間ｔを計測し、溶湯温度と超音波速度の関係から溶湯の凝固直前の超音波速度ｖ１、及び凝固直後の超音波速度ｖ２を求め、超音波伝播時間ｔ、及び凝固直前後の超音波速度に基づいて溶湯の固相率を算出し、第２の反射波の検出レベルに対して閾値レベルＴｈを設定し、検出レベルが閾値レベルよりも大きい状態にあるときに算出された溶湯の固相率を用いて金型２の制御を行う。 （もっと読む）

本発明は、音、好ましくは、材料を貫通し、連続して測定され分析される超音波を使用して、セメントまたはジプサムなどのような無機バインダー含む材料などの材料あるいはポリマーあるいはセラミック、好ましくは、モルタルまたはコンクリート、特に、ショットクリートの動弾性率を求めることに関する。特に、本発明は、装置を使用して材料の動弾性率を決定する装置、測定デバイス、および方法に関する。
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超音波分析器は、使用時に分析対象であるサンプルを受容するための注入口と、使用時にサンプルを分析器に吸い込むためのポンプと、を備える。温度調節器は注入されたサンプルの温度を調節し、分析セルは温度が調節されたサンプルを受容しかつ分析用の超音波信号を通過させる。分析手段は分析セルから信号を受信し、この信号に基づくデータを出力する。
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【課題】閉口して部分接触を呈している亀裂の接触状態を一旦変化させることにより、この亀裂を以前の閉口している場合よりも顕在化させた状態を維持し、この間において亀裂を検出、または精度良く亀裂の大きさを評価することのできる亀裂の非破壊評価方法を提供すること。
【解決手段】部分接触を呈している亀裂２を有する機器・構造物１に対して、外力若しくは衝撃力３を負荷し、亀裂の接触状態を一旦変化させることにより２’、この亀裂が再び外力若しくは衝撃力３を負荷する以前の部分接触状態に至るまでの接触状態変化を利用して、亀裂を以前の部分接触しているときよりも顕在化させた状態２’’で検査装置４、４’を用いて亀裂を検査する。 （もっと読む）

【課題】 例えば２００〜４００℃の高温で使用でき、残響によるノイズを低減してＳＮ比を高めることができ、歩留まりを高め、キャリブレーションや試験に要する時間を短縮し、互換性を高め必要な予備品数を減らすことができる２振動子型高温用超音波探触子を提供する。
【解決手段】 送信又は受信する超音波の中心軸１１が被検査物の内部で交差する送信用及び受信用の探触子１０と、２つの探触子を着脱可能に取り付け被検査物１との間で超音波を伝播する耐熱性の伝播補助部材２０とを備える。伝播補助部材２０は、被検査物の計測面1aと接触する接触面２２と、接触面に近接して内部に設けられ接触面に対向し中心軸に直交する内底面２４と、内底面から中心軸を軸心として外面まで延びる１対の雌ネジ孔２６とを有する。２つの探触子１０は、雌ネジ孔と螺合する雄ネジ部１２と、雄ネジ部の上部に同軸に設けられ雄ネジ部より大径の拡径部１４と、拡径部の上面に固定された超音波振動子１６とからなる。雄ネジ部１２の下面１３は、伝播補助部材２０の内底面２４と密着するように形成されている。 （もっと読む）