【課題】検査手段がより溶接部の形状に倣うことが可能な検査装置。
【解決手段】少なくとも２つの部材を接合する線状の溶接部を探傷する検査装置１であって、基部２と、基部２に対して、溶接部Ｗに平行な軸線８回りに回転可能に支持されたアーム３，４，５，６，７と、アームに設けられ、探傷手段９を有する検出部１９と、アームを回転方向一方側に付勢することによって、検出部１９を溶接部Ｗに密着させる付勢部材２５と、を備える検査装置。 （もっと読む）

【課題】光学部品に対する接合用材料の塗布量の適否を検査する。
【解決手段】光源１５０を制御して光学部品に光を入射させる入射光制御部１３１と、センサー１５１を制御して光学部品における接合用材料が塗布された面からの出射光の光学特性を検出する光学特性検出部１３２と、検出された光学特性と適正範囲記憶部１５２に予め記憶している適正範囲とを比較することにより、接合用材料の塗布量の適否を判定する適否判定部１３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来の製造方法では、軸受装置用の部品に防汚ポリマーがコーティングされているか否かは人間の目視に頼るため検査漏れを生じる可能性が高く、作業効率も低い課題があった。
【解決手段】シャフト４と、シャフト４を環囲するスリーブ６と、を備えるべき軸受装置用の部品の製造方法において、シャフト４と、スリーブ６のうちの少なくとも一つをワーク１００と呼ぶとき、本製造方法は、ワーク１００に防汚ポリマー１２をコーティングする工程と、防汚ポリマー１２がコーティングされた範囲と重複する範囲にフォトルミネセンス材料を塗布する工程と、ワーク１００にフォトルミネセンス材料を励起する励起光２４を照射して、フォトルミネセンス材料の発する固有のスペクトルの光を光センサ２２で検出すると共に、光センサ２２の出力信号３０に応じてフォトルミネセンス材料が塗布されているか否かを表示する信号検出工程２００と、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】照明光学系を用いた検査で表面の透明薄膜状異物を容易に検査することができる表面異物検査方法を提供する。
【解決手段】白色光光源３からウエーハ１０の上面に白色光を照射し、前記ウエーハ１０の前記上面のうち前記白色光が照射される領域内に透明異物１２ａが存在する場合に、透明異物１２において光干渉による暗部を生じさせる入射角θで単色光を単色光光源４から前記ウエーハ１０に照射し、前記ウエーハ１０の前記上面のうち前記単色光の前記暗部において反射する白色光と、前記上面において反射する前記単色光を共通の受光素子５で受光することを特徴とする表面異物検査方法。 （もっと読む）

【課題】散乱光の空間分布がマイクロラフネスの差異に応じて、前方／後方／側方と色々な方向に変化することについて配慮し、特にエピタキシャル成長ウェハに出現するステップ・テラス構造は散乱光分布に異方性が生じることに配慮した表面形状計測装置を提供する。
【解決手段】試料１表面に光を照明し、光軸の方向が互いに異なる複数の検出光学系５１，５２により散乱光の空間分布を検出し、試料１表面の空間周波数スペクトルを算出する。 （もっと読む）

【課題】異なる反射率を示すものが被検査物に含まれる場合でも、検査を実施することのできる検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、感度補正係数を前記被検査物の反射率毎に複数種類予め記憶する感度補正係数記憶工程と、被検査物の反射率の情報を取得する情報取得工程と、前記情報取得工程で取得した前記反射率の情報に対応する感度補正係数を、複数種類予め記憶した前記感度補正係数の中から対応感度補正係数として選択する感度補正係数選択工程と、前記被検査物で反射した反射光を受光して、該反射光の受光量に基づく出力信号を取得する信号取得工程と、前記信号取得工程で取得した前記出力信号を、前記対応感度補正係数を用いて補正する補正工程と、前記補正工程で補正した前記出力信号に基づいて前記被検査物の良否を判定する判定工程と、を含む検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】投光器および受光器の診断機能を有する鋼帯の穴欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】連続的に搬送される鋼帯１を挟んだ上下に配置された投光器２および受光器３と、これらより少し上流に配置された溶接穴検出器５と、トラッキング装置６と、穴欠陥検出制御装置７と、表示装置８とからなる。穴欠陥検出制御装置７は、鋼帯１に穴欠陥があるかどうかを常時検出する穴欠陥検出部７１と、投光器２を常時診断する投光器診断部７２と、受光器３を所定のタイミングで診断する受光器診断部７３を有する。受光器診断部７３は、鋼帯１のコイル間の溶接部に設けた穴が穴欠陥として検出されたタイミングとほぼ同時か、前記穴が前記受光口の上を通過し前記溶接部が前記受光口の上に存在すると予測されたタイミングで、受光器の光検出器に診断光を入射して、受光器の光検出器からの光検出信号に基づいて受光器を診断する。 （もっと読む）

【課題】投光器および受光器の診断機能を有する鋼帯の穴欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】連続的に搬送される鋼帯１を挟んだ上下に配置された投光器２および受光器３と、光ファイバ４と、これらより少し上流に配置された溶接穴検出器５と、トラッキング装置６と、穴欠陥検出制御装置７と、表示装置８とからなる。穴欠陥検出制御装置７は、鋼帯１に穴欠陥があるかどうかを常時検出する穴欠陥検出部７１と、投光器２を常時診断する投光器診断部７２と、受光器３を所定のタイミングで診断する受光器診断部７３を有する。受光器診断部７３は、鋼帯１のコイル間の溶接部に設けた穴が穴欠陥として検出されたタイミングとほぼ同時か、前記穴が前記受光口の上を通過し前記溶接部が前記受光口の上に存在すると予測されたタイミングで、前記溶接部に対する穴欠陥検出が行われている間に、受光器の光検出器に診断光を入射して、受光器の光検出器からの光検出信号に基づいて受光器を診断する。 （もっと読む）

【課題】苦味と、酸味およびす上がりとの強い相関に着目し、柑橘類の苦味を光学的にかつ非破壊的に測定・評価することを目的とする。
【解決手段】受光部において受光した透過光を、複数の波長帯チャンネルのスペクトルに分光し、複数の波長帯チャンネルのスペクトルから、複数の波長帯チャンネルの吸光度を算出し、所定の波長帯チャンネルの吸光度、吸光度の差分、吸光度の２次微分のいずれか、または、これらの組み合わせからなる検量線式と、複数の波長帯チャンネルの吸光度とに基づいて、柑橘類の内部品質を評価する。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ波の反射波を利用して金属の腐食を防ぐための塗膜や半導体ウェーハのエピ層等の積層物中の欠陥（気泡）検査を行う際に測定対象物の位置合わせを容易に行えるテラヘルツ波を用いた検査装置及び検査方法。
【解決手段】第１レーザ光の照射によりテラヘルツ波を発振するテラヘルツ波発振アンテナ５、第２レーザ光に時間遅延を与える時間遅延機構７と、第２レーザ光に基づいた検出タイミングでテラヘルツ波を検出し、検出したテラヘルツ波の強度に応じた検出信号を生成するテラヘルツ波受信アンテナ８、測定対象物１００の位置と傾きとが所定の状態にあるか否かを検出する状態検出部、測定対象物の位置と傾きとが所定の状態にあり、時間遅延機構７で与えられる時間遅延を変化させた場合のテラヘルツ波受信アンテナで生成された検出信号に基づく時系列信号強度データのピーク値に基づいて測定対象物の欠陥の有無を検査する検査部部５４を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体基板表面の清浄度を正確に確認することのできる半導体基板洗浄装置および洗浄方法を提供する。
【解決手段】半導体基板洗浄装置１００は、半導体基板１０を洗浄する洗浄部１と、洗浄部１で洗浄された半導体基板１０の表面の反射強度を測定する反射式センサ２と、反射式センサ２による反射強度の測定結果に基づき、半導体基板１０の洗浄の適否を判定する判定部３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】鋼材を加熱する際に生じる温度ムラの影響を受けずに鋼材表面の欠陥、例えば、溶融亜鉛メッキを施す際に生じるいわゆるドロス疵を正しく認識する鋼材の欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】予め、無欠陥部を加熱した上で赤外線サーモグラフィカメラを用いて材料の表面温度を熱画像データとして取得し、表面温度のラプラシアン標準偏差を鋼材表面温度の関数として定めておく。被検査鋼材を加熱した上で赤外線サーモグラフィカメラを用いて材料の表面温度を熱画像データとして取得し、表面温度のラプラシアンを算出し、そのラプラシアンを、表面温度に対応するラプラシアンの標準偏差で補正し、補正したラプラシアンに基づいて被検査材表面付近の欠陥の有無を評価する。 （もっと読む）

【課題】工場、サービスステーションおよび生コン工場等での現場での品質管理の精度向上を課題とした。特に、セメントの色調を測定して、セメントの種類の特定、異物混入の判定、混合物の濃度管理を簡便にできるセメント用色彩色差計およびその使用方法を実現することを課題とした。
【解決手段】そこで、波長域が４００〜７５０ｎｍを含む光源、波長域４００〜７５０ｎｍの光を検知できる検知部と、透光性の試料カバー部、を含み、試料カバーを通して試料に照射する光源からの光の照射方向と、試料からの反射光を検知する検知管の取付け方向のなす角度が３０度から６０度に設定されて配置されることを特徴とするセメント用色彩色差計、を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学ガラスの洗浄時に生じるダメージを定量的に評価し、硝材に対して好適な洗浄条件の調査に有用な光学ガラスの潜傷評価方法及び潜傷評価装置を提供する。
【解決手段】評価対象の光学ガラスの表面に潜傷を付与する潜傷付与手段２と、潜傷付与手段２により付与された潜傷の形状を測定する第１の形状測定手段３と、第１の形状測定手段３により潜傷の形状を測定された光学ガラスの表面に洗浄液を接触させ、潜傷を拡大させる洗浄手段４と、洗浄手段４による洗浄後に、潜傷の形状を測定する第２の形状測定手段５と、第１の形状測定手段３及び第２の形状測定手段５で得られた結果から光学ガラスの洗浄前後の潜傷の状態を対比する対比手段６と、を有する光学ガラスの潜傷評価装置１。 （もっと読む）

【課題】異なる板厚を持つ複数枚の板材をレーザーで溶接する場合でも溶着状態をリアルタイムでかつ正確に検出することができる溶着状態検出方法を提供する。
【解決手段】板厚の異なる複数枚の板材を準備しＳ１、準備した複数枚の板材を少なくとも一部が重なるように固定しＳ２、固定した複数枚の板材が重なる部分に向けてレーザー光を照射しＳ３、前記レーザー光を移動させＳ４、レーザー照射部に形成されるキーホールが反射したレーザー光を受光しＳ５、受光したレーザー光の強度波形に基づいて前記板材の溶着状態を検出するＳ６。 （もっと読む）

【課題】レーザー光を利用した基板上の異物を検知する異物検知装置の光軸がズレることなく、吐出装置と固定する。
【解決手段】シート状基板と相対的に移動することにより基板を走査し、基板表面に塗布液を吐出する塗布装置において、塗布液の吐出装置の走査方向上流側に配置され、基板上の異物を検知する異物検知装置を少なくとも有する塗布装置であって、前記異物検知装置はレーザー光を基板表面と平行に照射する投光装置、前記投光されたレーザー光を受光する受光装置、投光装置ならびに受光装置それぞれに当接する面に弾性体を有し前記投光装置または受光装置の保持部材に対し接離自在のＬ型部材、および前記Ｌ型部材を前記投光装置または受光装置の保持部材に対し接離動作を行う作動部材により構成する。 （もっと読む）

【課題】紫外線を用い、空間分解能数ミクロン以下で液体ナトリウム中の可視化が行えるようにする。
【解決手段】フッ化マグネシウム窓２８を備えナトリウム中に浸漬可能な紫外線照射・検出装置１０、及びナトリウムバウンダリ外に設置される画像化装置１２を具備し、紫外線照射・検出装置は、ナトリウムバウンダリ外から供給される外部エネルギーにより波長１００〜１３０ｎｍの真空紫外線を発生し、その紫外線をフッ化マグネシウム窓を通して液体ナトリウム中の被検査体に向けて照射する紫外線発生部２２と、該被検査体からの反射・散乱光をフッ化マグネシウム窓を通して検出し可視光へ変換する紫外線検出部２４を備えた構造とする。紫外線検出部２４で得られた光信号は、多チャンネル光ファイバケーブル１４によって前記画像化装置へ送られ、可視化できる状態となる。 （もっと読む）

【課題】検査データと組み合わせて設計データを使用するためのさまざまな方法及びシステムが実現される。
【解決手段】設計データ空間における検査データの位置を決定するための一コンピュータ実施方法は、ウェハ上のアライメント部位に対する検査システムにより取り込まれたデータを所定のアライメント部位に対するデータにアラインさせることを含む。この方法は、さらに、設計データ空間における所定のアライメント部位の位置に基づいて設計データ空間におけるウェハ上のアライメント部位の位置を決定することを含む。それに加えて、この方法は、設計データ空間におけるウェハ上のアライメント部位の位置に基づいて設計データ空間における検査システムによりそのウェハについて取り込まれた検査データの位置を決定することを含む。一実施形態では、検査データの位置は、サブピクセル精度で決定される。 （もっと読む）

【課題】農作物が搬送部から落下した場合であっても、農作物が投光部又は受光部の上面で静止することを防止した農作物品質測定装置を提供する。
【解決手段】農作物品質測定装置１は、搬送ベルト３１ｂと、投光部４４と、受光部４６と、光分析部４８と、を備える。搬送ベルト３１ｂは、農作物を搬送する。投光部４４は、搬送ベルト３１ｂにより搬送される農作物に光を照射する。受光部４６は、投光部４４による照射光が農作物を透過した透過光を受光する。光分析部４８は、前記透過光を分析して、農作物の品質を測定する。投光部４４は、搬送ベルト３１ｂの下方に配置されるとともに、上面が傾斜した傾斜面４４ｃとなっている。 （もっと読む）