【課題】空間光を簡易な構成で効率的に光ファイバに入力可能な空間光測定用光ファイバ変換器を提供する。
【解決手段】本発明の空間光測定用光ファイバ変換器は、集光鏡と、集光鏡の焦点にその先端が配置され集光鏡で反射された光が入射される光ファイバプローブと、を備える。集光鏡は、例えば放物面鏡や楕円面鏡である。楕円面鏡の場合、光ファイバプローブは、楕円面鏡の一方の焦点にその先端が配置され、楕円面鏡の他方の焦点に配置された点光源からの光が、楕円面鏡で反射されて前記光ファイバプローブに入射される。 （もっと読む）

【課題】ホログラム画像記録媒体に微小ホログラムを連続して記録する場合の、該ホログラム画像記録媒体の新しい評価値を提供する。
【解決手段】評価対象のホログラム画像記録媒体に、要素ホログラムと同一サイズの微小ホログラムを、参照光及び信号光が共に平面波の２光束干渉及び平面波である参照光と球面波である信号光との２光束干渉のうちの、一方の２光束干渉により連続的に複数記録し、記録された前記微小ホログラムを平面波により照射して回折像を再生し、撮像された回折像を強度分布データから微小ホログラムと同一形状、サイズの強度分布データ列と回折光強度Ｉ_ｓとを得て、回折光強度Ｉ_ｓが最大値Ｉ_{ｓ（ｍａｘ）}をとるとき、ノイズ光強度Ｉ_ｎを求め、ホログラム画像記録媒体の評価値としてのＳＮ比＝Ｉ_{ｓ（ｍａｘ）}／Ｉ_ｎを求める。 （もっと読む）

【課題】波長フィルタ等の光学部品の従来よりも詳細な評価を可能とする光学特性評価方法および装置を提供することにある。
【解決手段】単一波長で発振する半導体レーザ７１からの光がアイソレータ７２を介してＦＢＧ７３に入射され、ＦＢＧ７３からの透過光の光強度を光検出器７４にて測定する。ここで、ＦＢＧ７３には温度調節器７５が取り付けられ、温度を一定に保持することができる。また、温度調節器７５は、温度制御器７６によって設定温度を自由に変化することができる。温度調節器７５の設定を１５℃から３５℃まで０．１℃刻みで変化させ、各温度において光検出器７４により検出される光強度を、温度係数を用いて各離調における光強度に換算する。反射ピーク波長近傍を除いた周辺波長ではＦＢＧ７３の影響がないため、周辺波長の光強度を近似的に平均化して、当該平均値によって測定範囲の光強度を規格化することにより、光強度を透過率に換算できる。 （もっと読む）

【課題】容易に検査できるとともに精度の高い検査を行える光学素子のマザー基板及び光学素子の検査方法を提供する。
【解決手段】ウェハー１Ａに回折パターン２を複数箇所に形成し、これらの回折パターン２の１つの大きさよりも大きくかつ回折パターン２と同一のピッチが形成された検査用パターン３を互いに離れた位置に形成してマザー基板１を構成した。照射部から照射される検査光の直径が大きくても、検査光の照射対象を面積が回折パターンより大きい検査用パターンとしたことで、確実に照射対象を狙うことができ、検査作業を容易に実施することができる。検査用パターンが互いに離れた位置に複数あるので、これらのパターンでの検出結果を比較して適正な検査を実施することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高い波長分解能かつ広いダイナミックレンジにて、アクティブ光部品とパッシブ光部品の両方の光部品を評価可能な光部品評価装置を提供することを目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、本願発明の光部品評価装置１０１は、波長可変光源１１からの出力光を外部に出力しかつローカル光として利用するための出力光分波部１２と、当該出力光をパッシブ光部品に入力させるための光出力端子１３と、被測定光と出力光の干渉光を２光束に偏光分離する光合分波部１５ａと、光合分波部１５ａからの干渉光を光電変換する第１受光器１６ａ及び第２受光器１６ｂと、パッシブ光部品からの出力光を被測定光として光電変換する第３受光器と、を備えることを特徴とする。これにより、ヘテロダイン検波を用いたアクティブ光部品の評価とパッシブ光部品の評価を可能とした。 （もっと読む）

【課題】見る角度による絵柄の角度依存性やグラデーションを検査することにより、回折構造絵柄表示体の検査を確実に行えるようにする。
【解決手段】回折格子表示体１の搬送路上に、回転軸１１、２１の回りで任意に角度調整可能でその回転軸に対して直交する方向にライン状の平行光束１２、２２を照射する平行光照明装置１３、２３と、照明部を所定方向からライン状に撮像可能なラインカメラ１７、２７とからなる第１の撮像系１０と第２の撮像系２０が配置され、第１の撮像系の回転軸１１と第２の撮像系の回転軸２１とが相互に角度をなすように配置されており、ラインカメラ１７、２７で撮像されたライン状の撮像情報を表示体１の搬送と同期して並列に並べることで、基準の表示体１の絵柄を表す画像と検査対象の表示体１の絵柄を表す画像とを比較することで検査対象の回折格子表示体を検査する。 （もっと読む）

【課題】回折格子の溝方向を容易に且つ精度良く調整することができる効率測定器及び回折格子の溝方向調整方法を提供する。
【解決手段】本発明の効率測定器１は、光源１０とその光路上に配置された分光器１２、分光器１２の光路上に配置されたスリット１４及び測定対象の回折格子１６等を保持するホルダー１８、前記回折格子１６からの回折光等の光強度（エネルギー）を検出する検出器２０、検出器２０における光入射位置と光学的に共役な位置に配置された的部材２２とを備えている。回折格子１６の溝方向を調整するときは、回折格子分光器１２からの０次回折光を回折格子１６に入射することにより得られる前記回折格子１６からの帯状の回折光を的部材２２に入射させる。このとき、的部材２２の溝方向調整用のマークに前記帯状の回折光が重なるように前記回折格子１６の姿勢を調整すると、前記回折格子１６の溝方向が垂直に調整される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、回折光学素子を含む被検体の回折性能を精密に測定するのに好適な回折性能測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の回折性能測定装置の一態様は、所定の波長帯域の光を出射する光源（１）と、前記光源が出射した光から前記波長帯域より狭い波長帯域の光を抽出する分光波長連続可変型のモノクロメータ（１０）と、回折光学素子を含む被検体（２７）へ前記モノクロメータが抽出した光を投光する投光部（２５）と、前記投光部が投光した光に応じて前記被検体で発生した回折光の強度を検出する検出部（２８）とを備える。 （もっと読む）

【課題】光反射体の反射光像による真贋判別を正確に、かつ、容易に実施することができる光反射体の真贋判別方法及びその真贋判別装置を提供する。
【解決手段】光反射体の真贋判別方法は、所定の入射角度で入射した光を特定の出射角度で反射する光反射体（１００）に対して、特定の波長の光を前記所定の入射角度で入射する波長入射ステップと、前記光反射体（１００）で反射する特定の波長の反射光を撮像する撮像ステップと、前記撮像ステップで撮像した前記反射光の反射光像と、前記光反射体の反射光像サンプルとを比較する比較ステップとを含む。 （もっと読む）

ＥＵＶ放射用の格子は複数の反射線を含む。各反射線は、複数の第１反射点および互いの間に配置される複数の第２の反射点を含む。第１反射点および第２反射点は、１８０±１０度（mod ３６０度）の相互位相差でＥＵＶ放射を反射するように構成される。 （もっと読む）

【課題】ＸＹシフトやＸＹ面内の回転などの偏心を容易に測定することができる光学素子を提供する。
【解決手段】光学素子１の回折面２と反対側の面３である平面、屈折面、第二の回折面に、少なくとも２個のアライメントマーク４が設け、回折面２の回折パターンと回折面２と反対側の面３のアライメントマーク４の相対的位置関係を求め、求めた相対的位置関係で光軸と直交する方向のＸＹシフトやＸＹ面内の回転を容易に検出して光学素子１をセットしたときの偏心を容易に測定する。 （もっと読む）

【課題】 要求される仕様条件を満足するかどうかを容易に判定でき、しかも位相差と回折効率を一台の装置で測定することができる光学素子特性測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】 偏光された光を光学素子に透過させ、透過した光を受光素子で受光して光学素子の光学特性を測定する光学素子特性測定方法及び装置において、一方で、光学素子を透過した光の光路上に偏光素子を挿入しかつ回転させて光学素子の位相差を求め、他方で、光学素子を透過した光の光路上から偏光素子を外し、光路に応じて受光素子を移動させて光学素子の回折効率を求める。 （もっと読む）

【課題】基材に付与されているＯＶＤの圧力跡、基材の波打ち若しくは搬送中の基材のバタツキ又はうねりに影響を受けず、安定してＯＶＤの品質の検査を可能とし、比較的安価なＯＶＤの検査装置の提供及びＯＶＤの検査方法である。
【解決手段】ＯＶＤ検査装置は、少なくとも基材の一部にＯＶＤが付与された基材において、ＯＶＤの付与状態を検査する装置であって、ＯＶＤが付与された基材を搬送する搬送手段と、ＯＶＤに対してレーザー光を照射する照射手段と、照射手段から照射したレーザー光に対してＯＶＤから反射した反射波を受信し、信号へ変換する受信手段と、受信手段で変換された信号と、あらかじめ定めた閾値とを比較判定する識別手段から成る。 （もっと読む）

【課題】任意の光信号を実時間ウェーブレット解析する方法および装置を提供すること。
【解決手段】光導波路内に標本化間隔をあけて直列に配置された複数のブラッググレーティング（ＢＧ）を有し、これらのＢＧの反射率が生成すべき所望のウェーブレットの振幅に対応し、かつ隣接するＢＧによって反射される光波の位相差が生成すべき所望のウェーブレットの振幅の符号の変化にあわせて０またはπになるように調整された標本化ブラッググレーティング（ＳＢＧ）を用い、被解析光信号を光サーキュレータによって上記ＳＢＧに導き、上記ＳＢＧから出力される反射光波を上記光サーキュレータによって取出す光信号のウェーブレット解析方法
（もっと読む）

【課題】入射光の特性に依存した固有の光学特性を有する光学部材で構成される画像を確認するための最適な照明条件を求めることができる画像検出装置を提供する。
【解決手段】画像Ｐを構成する光学特性ａ，ｂで構成された紋様を持つ検査媒体Ｍを照明する光源および法線Ｌ上に配置されたカメラを有する。ＸＹ面方向の回転位置α１、仰角β１で決めることのできる照明条件にて画像Ｐを撮像し、次に回転位置α２、仰角β１で決めることのできる照明条件にて画像Ｐを撮像する。こうして回転位置α、仰角βを順次変えながら撮像した複数の画像をオペレータに表示し、光学特性ａ，ｂによる画像変化に対する教示情報を基に紋様を確認するための最適な照明条件を求める。 （もっと読む）

本方法は、解析されるべきビームの経路上に２次元メッシュを有する回折格子を配置すること、各インターフェログラムが異なる回折次数を有する２つのサブビームから１平面内で得られる少なくとも２つの異なる色の少なくとも２つのインターフェログラムを処理することを含む。本発明は、分割された波面を解析して修正するために使用され得る。
（もっと読む）

【課題】高速な搬送装置と組み合わせても、その搬送過程で生じるバタツキやスキューといった変動に対して安定した検査を行う表面検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の波長成分を含む光を回折型光学的変化素子１０２に照射する光源２０１と、回折型光学的変化素子１０２で回折された第１の波長の回折光および第２の波長の回折光を検知する光検知手段２０３と、光検知手段２０３の検出結果に基づいて、第１の波長の回折光および第２の波長の回折光の色の違いに関する評価値を計算する計算手段２０４とを備える。 （もっと読む）

【課題】
特別な測定装置を用いず、光強度分布情報から光位相分布を高速且つ高精度に同定する光位相分布測定方法を提供する。
【解決手段】
異なる２つの光学系とＣＣＤとを備えた光位相分布測定系を用いて、被測定光を各光学系にそれぞれ入力し、強度と位相を変調し、出力された被測定光をＣＣＤにより検出し、検出された被測定光の強度分布を画像として測定するステップと、強度分布と各光学系の光学特性とに基づいて観測方程式を設定するステップと、観測方程式から位相分布同定逆問題を設定し、設定された位相分布同定逆問題を被測定光を表す複素振幅を設計変数とする第１の非線形最適化問題として定式化するステップと、被測定光の位相分布を級数展開することにより、第１の非線形最適化問題を級数展開式の展開係数を設計変数とする第２の非線形最適化問題に変換するステップと、第２の非線形最適化問題を解くことで被測定光の位相分布を同定するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】変位物体の位置、変位量、変位方向等の変位情報を検出する装置に用いる円形のディスクに関し、ウエハにパターンニングされた状態からディスクを個別に切り出すこと無く、ディスクが所望の回折効率を満たしているかどうかを測定すること。
【解決手段】光源から出射された光束をディスクの回折格子部に入射し、回折格子からの回折光を受光してディスクの回折効率を測定する装置において、光源と回折光受光素子が一体で回転する機能を有することにより、ウエハにパターンニングされたディスクを個別に切り出すことなく、ウエハにパターンニングされた状態でディスクの回折効率を連続的に測定できることを特徴とするディスクの回折効率測定装置。 （もっと読む）